CN210036046U - 一种用于oled制造装置的烘干机 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及显示技术领域，具体涉及一种用于OLED制造装置的烘干机；技术方案是：包括机架，机架中部设置有工作台，工作台用于放置加热容器，加热容器内设有加热部件、侧壁设置有封闭门、顶部间隔设有外突的出气接口和进气接口，出气接口内设有第一单向阀，进气接口设置有第一开关阀；机架上部正对工作台设置有接插板，接插板竖直设置有出气套管、进气套管，出气套管下端可与出气接口密封套接，进气套管下端可与进气接口密封套接；出气套管上端与换向阀进口连接，换向阀一出口与真空泵进气口相连，进气套管上端与保护气储罐出气口相连。本实用新型用于OLED基板的烘干处理，具有烘干效率高、可避免水分再次附着在基板上的特点。

Description

一种用于OLED制造装置的烘干机

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，具体涉及一种用于OLED制造装置的烘干机。

背景技术

有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode，缩写：OLED)显示技术，具有电压低，视角宽、响应速度快、温度适应性好等优势，是新一代的显示技术。OLED器件通常包括：基板、置于基板上的ITO透明阳极、置于ITO透明阳极上的空穴注入层(HIL)、置于空穴注入层上的空穴传输层(HTL)、置于空穴传输层上的发光层(EML)、置于发光层上的电子传输层 (ETL)、置于电子传输层上的电子注入层(EIL)以及置于电子注入层上的阴极。而OLED器件对水分和氧气非常敏感，故基板的干燥程度非常关键，即使基板上残留极微量的水分，OLED 器件制备完成后，水分会破坏器件，特别是在通电流的情况下，水分会与有机材料进行电化学反应，破坏材料的结构，影响有机材料的光电性能，从而导致OLED器件劣化，寿命降低。

现行的OLED基板处理制程中，基板(玻璃或者塑料基板)在进入镀膜机前需要进行清洗、烘烤、UV处理。其中烘烤工序包括低温烘烤，其主要目的是为了去除基板上残留的水分。以玻璃基板为例，为了提高生产效率，一般在200～300℃环境下烘烤30～40min，但经过烘烤的玻璃基板温度会很高，会对后续制作造成一定影响，故需对烘烤过的基板进行冷却。而冷却时是在洁净度较高的空气气氛下冷却，因此这一过程会使基板表面重新附着少量水分，严重影响OLED器件的质量和使用寿命。

实用新型内容

针对上述OLED基板烘烤处理后会再次附着少量水分，严重影响OLED器件质量和寿命的技术问题，本实用新型提供了一种用于OLED制造装置的烘干机，该装置用于OLED基板的烘干处理，具有烘干效率高、可避免水分再次附着在基板上的特点。

本实用新型通过下述技术方案实现：

一种用于OLED制造装置的烘干机，包括机架，所述机架中部设置有工作台，所述工作台用于放置加热容器，所述加热容器为密封的腔体内设有加热部件、侧壁设置有封闭门、顶部间隔设有外突的出气接口和进气接口，所述出气接口内设有第一单向阀，所述进气接口设置有第一开关阀；所述机架上部正对工作台设置有可上下移动的接插板，所述接插板竖直设置有出气套管、进气套管，所述出气套管下端可与出气接口密封套接，所述进气套管下端可与进气接口密封套接；所述出气套管上端与换向阀进口连接，所述换向阀一出口与真空泵进气口相连，所述进气套管上端通过干燥器与保护气储罐出气口相连。

优选的，还包括相变储热器，所述相变储热器包括内部由相变蓄热材料填充的壳体，所述壳体内还布设有热回收金属管、热输出金属管，所述热输出金属管进口连接有第二开关阀、出口连接有第三开关阀；所述换向阀为二位三通换向阀、且另一出口与热回收金属管进口相连，所述热回收金属管出口与保护气收集容器进口相连。

优选的，所述加热容器覆盖有保温层、侧壁设置有中空的预热腔，所述预热腔分设有预热进口、预热出口；所述预热进口通过循环泵与第三开关阀相连，所述预热出口与第二开关阀相连。

优选的，所述热回收金属管与保护气收集容器之间还设置有空压机。

优选的，所述预热进口设有第二单向阀,所述预热出口设有第三单向阀。

优选的，所述预热进口、预热出口为外突式接口且间隔设置在加热容器顶部；所述接插板还竖直设置有预热进口套管、预热出口套管，所述预热进口套管下端可与预热进口密封套接、上端与循环泵连接，所述预热出口套管下端可与预热出口密封套接、上端与热输出金属管进口相连。

本实用新型与现有技术相比，具有如下的优点和有益效果：

加热容器顶部间隔设有外突的出气接口和进气接口，所述出气套管下端可与出气接口密封套接，所述进气套管下端可与进气接口密封套接，通过出气套管和进气套管的上下移动，能够实现加热容器管路的快速连接。通过换向阀使真空泵与加热容器连通，对加热容器抽真空，能够降低加热容器内的水分沸点，从而快速、低功耗的对OLED基板进行烘干。烘干后，给加热容器输入保护气，一方面能够快速的冷却基板，另一方面能够防止水汽进入加热容器内，造成水分在OLED基板上的二次附着。

另外，保护气经加热容器输出后，由相变蓄热器实现热量回收后，再收集起来；实现保护气、加热器和OLED基板余热的回收。

附图说明

此处所说明的附图用来提供对本实用新型实施例的进一步理解，构成本申请的一部分，并不构成对本实用新型实施例的限定。在附图中：

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的加热容器结构示意图；

图3为本实用新型的相变蓄热器结构示意图；

图4为本实用新型的管路连接示意图；

图5为本实用新型的套管结构示意图。

附图中标记及对应的零部件名称：

1-机架，2-工作台，3-加热容器，4-封闭门，5-出气接口，6-进气接口，7-第一单向阀， 8-第一开关阀，9-出气套管，10-进气套管，11-换向阀，12-真空泵，13-干燥器，14-保护气储罐，15-相变储热器，16-空压机，17-保护气收集容器，18-保温层，19-预热腔，20-接插板， 21-预热进口，22-预热出口，24-循环泵，25-第二单向阀，26-第三单向阀，27-预热进口套管， 28-预热出口套管，82-第二开关阀，83-第三开关阀，101-预热进口，102-预热出口，141-减压阀，151-壳体，152-热回收金属管，153-热输出金属管。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，下面结合实施例和附图，对本实用新型作进一步的详细说明，本实用新型的示意性实施方式及其说明仅用于解释本实用新型，并不作为对本实用新型的限定。

实施例

如图1～5所示，一种用于OLED制造装置的烘干机，包括用于安装所有零部件的机架1，通常由铝合金型材搭成，也可以是其他型材搭建，如工程塑料、不锈钢架、刚架等。所述机架1中部设置有工作台2，所述工作台2用于放置烘干基板的加热容器3，为防止加热容器3在工作工程中晃动，在工作台2的台面上通常设置有与加热容器3底部适配的凹缺(图中未示出)。所述加热容器3具有密封的腔体且内设有加热部件，加热部件只要能对水分加热即可，可以是加热电阻丝、激光灯、微波发生器等。加热容器侧壁设置有封闭门4，用于打开加热容器3以放入或取出基板，且封闭门4在关闭的状态下，加热容器3的内部空间为密闭状态。

其中，加热容器3顶部间隔设有外突的出气接口5和进气接口6，也就是说进出气接口5 和进气接口6的有一部分突出设置在加热容器3的顶端。所述出气接口5内设有第一单向阀 7，以防止外部的气体从出气接口5进入加热容器3内；所述进气接口6设置有第一开关阀8，以控制进气接口6与外部的导通或隔断，通常为球阀、针型阀、蝶阀等，优选为球阀，启/闭迅速，密封可靠。所述机架1上部正对工作台2设置有可上下移动的接插板20，具体来说，接插板20通过竖直设置在传机架1上方，并通丝杆机构、齿轮齿条机构、电推杆机构，等能够实现接插板20沿导轨上下移动的直线驱动机构。

同时，所述接插板20竖直设置有出气套管9、进气套管10，可以理解的是，接触板20下移至预设位置时，所述出气套管9下端可与出气接口5密封套接，所述进气套管10下端可与进气接口6密封套接。具体来说，出气套管9内孔与出气接口5突出的部分外形适配，并设置有相应的密封橡胶；同样的，进气套管10内孔与进气接口6突出的部分外形适配，并设置有相应的密封橡胶。通常，出气接口5、进气接口6突出部分一般为带有一定锥度的圆柱，相应的出气套管9、进气套管10结构如图5所示，管体101内固定有下端设置有锥形开口的橡胶套102，通过橡胶套102密封出气套管9与出气接口5之间的缝隙，同样的，进气套管 10与进气接口6之间的缝隙由橡胶套102密封。

另外，所述出气套管9上端与换向阀11进口连接，换向阀11可以是多位多通的电磁换向阀或手动换向阀，为简化结构和方便操作，优选使用二位三通电磁换向阀，且固定在插接板20上。所述换向阀11一出口与真空泵12进气口相连，当出气套管9与真空泵12连通时，可对加热容器3抽真空；应当知晓的是，水的沸点与气压有关，因此对加热容器3抽真空，可以降低加热容器3内水分的沸点，通过较低的温度便可将其蒸发，蒸发的水汽则由真空泵抽走。而抽取真空相对于使水分升温，更快、功耗更低，因此本实施例的烘干效率高。所述进气套管10上端通过干燥器13与保护气储罐14出气口相连，应当理解的是，保护气储罐 14内储存的气体可以为加热容器3提供保护气，如氦气、氮气等，且设置有减压阀141，能够快速的冷却基板；而干燥器13则可以干燥保护气，能够防止水汽进入加热容器内，造成水分在OLED基板上的二次附着。

进一步的，还包括相变储热器15，所述相变储热器15包括内部由相变蓄热材料填充的壳体151，相变蓄热材料根据保护气、加热器和OLED基板余热的温度选用，以确保能够通过相变蓄热材料的相变回收这部分热量。所述壳体151内还布设有热回收金属管152，以供吸收热量后的保护气体与相变材料进行热交换；壳体151同时还设置有热输出金属管153，以便气体或液体与相变材料进行热交换，将相变材料所吸收的热量导出。所述热输出金属管 153进口连接有第二开关阀82、出口连接有第三开关阀83，以控制热输出金属管153与外部的通断。

使用时，热回收金属管152进口相连与换向阀11的另一出口相连，以实现预热的回收，节约能源。同时，热回收金属管152出口与保护气收集容器17进口相连，以便将保护气收集起来，实现保护气的回收。优选的，所述热回收金属管152与保护气收集容器17之间还设置有空压机16，以对使用后的保护气进行压缩处理，缩小保护气收集容器17的体积，减小本实施例的占地面积。

更优的是，所述加热容器3覆盖有保温层18，防止加热容器3与环境中的空气进行过多的热交换，造成能源的流失。所述加热容器3侧壁设置有中空的预热腔19，所述预热腔19 分设有预热进口21、预热出口22；所述预热进口21通过循环泵24与第三开关阀83相连，所述预热出口22与第二开关阀82相连。应当明白的是，通过循环泵24可将相变储热器15 吸收的热量，导入预热腔19内，以利用余热对加热容器3进行预热。需要注意的是，仅有相变储热器15内吸收有热量方可进行该操作。

为方便，相变蓄热器15与预热腔19的连接，所述预热进口21、预热出口22为外突式接口且间隔设置在加热容器3顶部；所述接插板20还竖直设置有预热进口套管27、预热出口套管28，所述预热进口套管27下端可与预热进口21密封套接、上端与循环泵24连接，所述预热出口套管28下端可与预热出口22密封套接、上端与热输出金属管153进口相连。可知的是，预热进口套管27、预热出口套管28结构同样如图5所示，这里不再赘述。优选的，所述预热进口21设有第二单向阀25,所述预热出口22设有第三单向阀26。防止在撤除相变蓄热器15后，预热腔19与外部导通，造成加热容器3内部的热量流失。

本实施例的工作过程及原理：

将OLED基板放置在加热架上，实现一次烘干多个基板；然后打开封闭门4加热架放置时加热容器3内，关闭封闭门4。通过传输装置(如机械手、人工等)，将加热容器3放置在工作台2上。

首次操作时，确保所有的阀门处于关闭状态，下移插接插板20，使出气套管9与出气接口5密封套接、进气套管10与进气接口6密封套接，预热进口套管27与预热进口21密封套接、预热出口套管28与预热出口22密封套接；切换换向阀11，启动真空泵12，对加热容器3内腔抽真空。同时，开启加热容器3的加热部件，进行加热。

加热一段时间后(加热时间根据加热的最高温度、水残留量、真空度确定)，切换换向阀 11使出气套管9上端与热回收金属管152进口相连，并关闭真空泵12；调节减压阀141，使保护气储罐14输出合适压力的保护气，开启第一开关阀8，使保护气进入加热容器3的内腔内，使基板在保护气气氛下进行冷却。冷却一段时间后，(冷却时间根据加热的最高温度、保护气流量确定，通常一到两分钟即可)，关闭第一开关阀8、减压阀141，并上移接插板20，使加热容器3处于可移动状态，通过机械手或手工将加热容器3移至下一工位，以进行进一步的处理。

重复上述步骤，进行下一加热容器3的加热、冷却，不同的是：在真空泵12对加热容器 3抽真空时，开启循环泵24、第二开关阀82、第三开关阀83，将相变蓄热器15内储存的热量，导入预热腔19内，以对加热容器3进行预热，间隔一段时间后(通常为两分钟)，关闭循环泵24、第二开关阀82、第三开关阀83使导热腔与相变蓄热器15断开。然后再开启加热容器3内的加热部件，以进行加热烘干OLED基板。

以上所述的具体实施方式，对本实用新型的目的、技术方案和有益效果进行了进一步详细说明，所应理解的是，以上所述仅为本实用新型的具体实施方式而已，并不用于限定本实用新型的保护范围，凡在本实用新型的精神和原则之内，所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种用于OLED制造装置的烘干机，包括机架(1)，其特征在于：所述机架(1)中部设置有工作台(2)，所述工作台(2)用于放置加热容器(3)，所述加热容器(3)具有密封的腔体且内设有加热部件、侧壁设置有封闭门(4)、顶部间隔设有外突的出气接口(5)和进气接口(6)，所述出气接口(5)内设有第一单向阀(7)，所述进气接口(6)设置有第一开关阀(8)；

所述机架(1)上部正对工作台(2)设置有可上下移动的接插板(20)，所述接插板(20)竖直设置有出气套管(9)、进气套管(10)，所述出气套管(9)下端可与出气接口(5)密封套接，所述进气套管(10)下端可与进气接口(6)密封套接；

所述出气套管(9)上端与换向阀(11)进口连接，所述换向阀(11)一出口与真空泵(12)进气口相连，所述进气套管(10)上端通过干燥器(13)与保护气储罐(14)出气口相连。

2.根据权利要求1所述的用于OLED制造装置的烘干机，其特征在于：还包括相变储热器(15)，所述相变储热器(15)包括内部由相变蓄热材料填充的壳体(151)，所述壳体(151)内还布设有热回收金属管(152)、热输出金属管(153)，所述热输出金属管(153)进口连接有第二开关阀(82)、出口连接有第三开关阀(83)；

所述换向阀(11)为二位三通换向阀、且另一出口与热回收金属管(152)进口相连，所述热回收金属管(152)出口与保护气收集容器(17)进口相连。

3.根据权利要求2所述的用于OLED制造装置的烘干机，其特征在于：所述加热容器(3)覆盖有保温层(18)、侧壁设置有中空的预热腔(19)，所述预热腔(19)分设有预热进口(21)、预热出口(22)；所述预热进口(21)通过循环泵(24)与第三开关阀(83)相连，所述预热出口(22)与第二开关阀(82)相连。

4.根据权利要求2所述的用于OLED制造装置的烘干机，其特征在于：所述热回收金属管(152)与保护气收集容器(17)之间还设置有空压机(16)。

5.根据权利要求3所述的用于OLED制造装置的烘干机，其特征在于：所述预热进口(21)设有第二单向阀(25),所述预热出口(22)设有第三单向阀(26)。

6.根据权利要求3所述的用于OLED制造装置的烘干机，其特征在于：所述预热进口(21)、预热出口(22)为外突式接口且间隔设置在加热容器(3)顶部；

所述接插板(20)还竖直设置有预热进口套管(27)、预热出口套管(28)，所述预热进口套管(27)下端可与预热进口(21)密封套接、上端与循环泵(24)连接，所述预热出口套管(28)下端可与预热出口(22)密封套接、上端与热输出金属管(153)进口相连。

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