CN210025474U

CN210025474U - 切膜机构

Info

Publication number: CN210025474U
Application number: CN201920342977.XU
Authority: CN
Inventors: 谢军
Original assignee: Luoyang Sowo Precision Machinery Co Ltd
Current assignee: Guangdong Siwo advanced equipment Co.,Ltd.
Priority date: 2019-03-18
Filing date: 2019-03-18
Publication date: 2020-02-07
Anticipated expiration: 2029-03-18

Abstract

本实用新型公开了一种切膜机构，包括安装板、与安装板转动连接的切刀组件、用于驱动切刀组件相对安装板转动以使切刀组件与待切产品的边界抵接的破膜驱动组件、以及用于驱动安装板运动以完成切割动作的切割驱动组件。切膜机构在初始状态下，切刀组件向远离待切割产品的方向倾斜；破膜驱动组件带动切刀组件向靠近待切割产品的方向转动，切刀组件转动过程具有水平及竖直方向的两个分运动，竖直分运动使得切刀组件将干膜切破并使得切刀组件的端部低于待切割产品，水平分运动使得切刀组件向靠近待切割产品的方向运动直至与待切割产品的边界抵接；因此可实现切刀组件在低于低于待切割产品后再与待切割产品的边界抵接，不会对待切割产品造成损坏。

Description

切膜机构

技术领域

本实用新型涉及切割设备领域，尤其涉及一种切膜机构。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。

现有的如晶圆等产品的生产过程中，需要对成品进行贴膜处理，通常为较大尺寸的膜贴附于晶圆等产品的表面，再利用切膜装置沿着晶圆等产品的边界进行切割。切膜之前，需要先将刀具与晶圆等产品的边界抵接，但在抵接过程中刀具容易损伤产品。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种切膜机构，旨在解决现有技术中，刀具与晶圆等产品的边界抵接过程中刀具容易损伤产品的问题。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

切膜机构，包括安装板、与所述安装板转动连接的切刀组件、用于驱动所述切刀组件相对所述安装板转动以使所述切刀组件与待切产品的边界抵接的破膜驱动组件、以及用于驱动所述安装板运动以完成切割动作的切割驱动组件。

进一步地，所述切刀组件包括与所述安装板转动连接的刀座、以及固定安装于所述刀座的刀具。

进一步地，所述破膜驱动组件包括与所述刀座转动连接的转动块、以及活动端与所述转动块相连的驱动气缸；所述驱动气缸的固定端与所述安装板转动连接。

进一步地，所述刀座上设有第一转动座；所述转动块与所述第一转动座转动连接。

进一步地，所述安装板上设有第二转动座；所述驱动气缸的固定端与所述第二转动座转动连接。

进一步地，所述切刀组件还包括设于所述刀座的转动轴，所述刀座通过所述转动轴与所述安装板转动连接。

进一步地，所述破膜驱动组件包括设于所述转动轴的从动齿轮、设于所述安装板的驱动电机、以及设于所述驱动电机的输出轴且与所述从动齿轮相啮合的主动齿轮。

进一步地，所述切割驱动组件为旋转驱动装置；所述切割驱动组件与所述安装板之间设有连接板，所述连接板开设有连接通孔，所述安装板于长度方向开设有若干螺纹孔；所述连接板与所述安装板之间设有连接螺钉，所述连接螺钉贯穿所述连接通孔与所述螺纹孔螺纹连接。

进一步地，所述连接板开设有滑动槽，所述安装板设有位于所述滑动槽内的滑动凸起。

进一步地，所述安装板开设有导向长孔，所述连接板设有位于所述导向长孔内的导向柱。

本实用新型的有益效果：切膜机构在初始状态下，切刀组件向远离待切割产品的方向倾斜，且切刀组件位于干膜的上方且间隙较小；破膜驱动组件带动切刀组件向靠近待切割产品的方向转动，切刀组件转动过程具有水平及竖直方向的两个分运动，竖直分运动使得切刀组件将干膜切破并使得切刀组件的端部低于待切割产品，水平分运动使得切刀组件向靠近待切割产品的方向运动直至与待切割产品的边界抵接；因此可实现切刀组件在低于低于待切割产品后再与待切割产品的边界抵接，不会对待切割产品造成损坏。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的实施例中切膜机构的第一视角的结构示意图；

图2为本实用新型的实施例中切膜机构的第二视角的结构示意图；

图3为本实用新型的实施例中切膜机构的第二视角的结构示意图；

图中：

1、安装板；11、第二转动座；12、螺纹孔；13、滑动凸起；14、导向长孔；2、切刀组件；21、刀座；211、第一转动座；22、刀具；23、转动轴；3、破膜驱动组件；31、转动块；32、驱动气缸；4、切割驱动组件；5、连接板；6、待切割产品；7、干膜。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

以下结合具体实施例对本实用新型的实现进行详细的描述。

如图1-图3所示，本实用新型实施例提出了一种切膜机构，包括安装板1、与安装板1转动连接的切刀组件2、用于驱动切刀组件2相对安装板1转动以使切刀组件2与待切产品的边界抵接的破膜驱动组件3、以及用于驱动安装板1运动以完成切割动作的切割驱动组件4。

在本实用新型的实施例中，切膜机构在初始状态下，切刀组件2向远离待切割产品6的方向倾斜，且切刀组件2位于干膜7的上方且间隙较小；破膜驱动组件3带动切刀组件2向靠近待切割产品6的方向转动，切刀组件2转动过程具有水平及竖直方向的两个分运动，竖直分运动使得切刀组件2将干膜7切破并使得切刀组件2的端部低于待切割产品，水平分运动使得切刀组件2向靠近待切割产品6的方向运动直至与待切割产品6的边界抵接；因此可实现切刀组件2在低于低于待切割产品后再与待切割产品6的边界抵接，不会对待切割产品6造成损坏。相对于切刀组件2直接从竖直方向向下运动将干膜7切破并与待切割产品6的边界抵接的方式，能避免切刀组件2直接从竖直方向向下运动时将待切割产品6损坏。

进一步地，请参阅图1，作为本实用新型提供的切膜机构的一种具体实施方式，切刀组件2包括与安装板1转动连接的刀座21、以及固定安装于刀座21的刀具22。刀座21相对安装板1转动时带动刀具22转动。切刀组件2也可为切刀直接与安装板1转动连接。刀具22上设有倾斜的刀刃，刀具22上设有与刀座21相连多个安装位置，以实现刀具22伸出刀座21的长度的调节。

进一步地，请参阅图1-图2，作为本实用新型提供的切膜机构的一种具体实施方式，破膜驱动组件3包括与刀座21转动连接的转动块31、以及活动端与转动块31相连的驱动气缸32；驱动气缸32的固定端与安装板1转动连接。破膜驱动组件3带动切刀组件2转动的过程为：驱动气缸32的活动端的伸缩过程带动转动块31的运动，转动块31运动过程中带动切刀组件2转动。

进一步地，请参阅图3，作为本实用新型提供的切膜机构的一种具体实施方式，刀座21上设有第一转动座211；转动块31与第一转动座211转动连接。第一转动座211可为相对且间隔设置的两块导向板，转动块31与第一转动座211的导向板之间可设置转轴以实现转动连接。

进一步地，请参阅图3，作为本实用新型提供的切膜机构的一种具体实施方式，安装板1上设有第二转动座11；驱动气缸32的固定端与第二转动座11转动连接。第二转动座11可为相对且间隔设置的两块导向板，驱动气缸32的固定端与第二转动座11的导向板之间可设置转轴以实现转动连接。

进一步地，请参阅图1，作为本实用新型提供的切膜机构的一种具体实施方式，切刀组件2还包括设于刀座21的转动轴23，刀座21通过转动轴23与安装板1转动连接。

进一步地，作为本实用新型提供的切膜机构的一种具体实施方式，破膜驱动组件3包括设于转动轴23的从动齿轮、设于安装板1的驱动电机、以及设于驱动电机的输出轴且与从动齿轮相啮合的主动齿轮(附图中未示出)。破膜驱动组件3带动切刀组件2转动的过程为：驱动电机带动转动齿轮转动并带动与主动齿轮相啮合的从动齿轮转动，进而带动与从动齿轮相连的转动轴23转动，最终实现带动刀座21以及设置在刀座21上的刀具22的转动。

进一步地，请参阅图1，作为本实用新型提供的切膜机构的一种具体实施方式，切割驱动组件4为旋转驱动装置；切割驱动组件4与安装板1之间设有连接板5，连接板5开设有连接通孔，安装板1于长度方向开设有若干螺纹孔12；连接板5与安装板1之间设有连接螺钉，连接螺钉贯穿连接通孔与螺纹孔12螺纹连接。切割驱动组件4可为带动安装板1做直线运动、折线运动、曲线运动及圆周运动等运动的装置，以实现对不同轮廓的待切割产品6的切割。当切割驱动组件4为旋转驱动装置时，连接板5开设有连接通孔，安装板1于长度方向开设有若干螺纹孔12；连接板5与安装板1之间设有连接螺钉，可调节安装板1伸出于连接板5的长度，进而调节设置在安装板1上的切刀组件2随着安装板1做圆周切割运动时，圆周的半径可调节，以适应不同尺寸的产品。

进一步地，请参阅图3，作为本实用新型提供的切膜机构的一种具体实施方式，连接板5开设有滑动槽，安装板1设有位于滑动槽内的滑动凸起13。调节安装板1伸出于连接板5的长度时，可操作安装板1沿着连接板5滑动至预设长度，再用连接螺钉锁紧。

进一步地，请参阅图3，作为本实用新型提供的切膜机构的一种具体实施方式，安装板1开设有导向长孔14，连接板5设有位于导向长孔14内的导向柱。调节安装板1伸出于连接板5的长度时，通过安装板1上的导向长孔14与连接板5上的导向柱的配合，避免安装板1与连接板5之间位置的偏移。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims

1.切膜机构，其特征在于，包括安装板、与所述安装板转动连接的切刀组件、用于驱动所述切刀组件相对所述安装板转动以使所述切刀组件与待切产品的边界抵接的破膜驱动组件、以及用于驱动所述安装板运动以完成切割动作的切割驱动组件。

2.根据权利要求1所述的切膜机构，其特征在于，所述切刀组件包括与所述安装板转动连接的刀座、以及固定安装于所述刀座的刀具。

3.根据权利要求2所述的切膜机构，其特征在于，所述破膜驱动组件包括与所述刀座转动连接的转动块、以及活动端与所述转动块相连的驱动气缸；所述驱动气缸的固定端与所述安装板转动连接。

4.根据权利要求3所述的切膜机构，其特征在于，所述刀座上设有第一转动座；所述转动块与所述第一转动座转动连接。

5.根据权利要求3所述的切膜机构，其特征在于，所述安装板上设有第二转动座；所述驱动气缸的固定端与所述第二转动座转动连接。

6.根据权利要求2所述的切膜机构，其特征在于，所述切刀组件还包括设于所述刀座的转动轴，所述刀座通过所述转动轴与所述安装板转动连接。

7.根据权利要求6所述的切膜机构，其特征在于，所述破膜驱动组件包括设于所述转动轴的从动齿轮、设于所述安装板的驱动电机、以及设于所述驱动电机的输出轴且与所述从动齿轮相啮合的主动齿轮。

8.根据权利要求1-7任一项所述的切膜机构，其特征在于，所述切割驱动组件为旋转驱动装置；所述切割驱动组件与所述安装板之间设有连接板，所述连接板开设有连接通孔，所述安装板于长度方向开设有若干螺纹孔；所述连接板与所述安装板之间设有连接螺钉，所述连接螺钉贯穿所述连接通孔并与所述螺纹孔螺纹连接。

9.根据权利要求8所述的切膜机构，其特征在于，所述连接板开设有滑动槽，所述安装板设有位于所述滑动槽内的滑动凸起。

10.根据权利要求8所述的切膜机构，其特征在于，所述安装板开设有导向长孔，所述连接板设有位于所述导向长孔内的导向柱。