CN209822668U - 一种用于多晶太阳能电池的pecvd的冷却装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型提供了一种用于多晶太阳能电池的PECVD的冷却装置。包括第一壳体、底座、多个第一抽风机，第一壳体固设于底座上方，第一壳体内的两个相对应的侧壁上分别设有一个第一运输件，第一运输件可用于运输盛放多晶太阳能电池的石墨舟；第一壳体的顶端设置有多个第一进气口，底座在靠近第一壳体的两侧分别设置有第二进气口，第一抽风机均固设于底座上，底座上还设有多个与第一抽风机的风道相贯通的第一出气口，第一抽风机可将空气由第一进气口与第二进气口吸入，并由第一出气口排出，从而通过空气的热量交换来给多晶太阳能电池降温。本实用新型有着结构简单、降温速度快、降温效果好、使用寿命长、能对太阳能电池片的两面进行同步降温的优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及晶太阳能电池的增反膜的制备领域，具体涉及一种用于多晶太阳能电池的PECVD的冷却装置。
背景技术
随着现代科技的发展，各种新型能源的使用技术得到了巨大的发展，太阳能光伏发电以其无枯竭危险、无污染、不受资源分布地域的限制的优点而被各大能源公司所青睐。
为了最大限度地减小多晶太阳能电池的光反射损失，提高太阳电池光电转换效率，目前主要有两种方法：一是在电池表面制作绒面，二是在表面镀上一层或多层光学匹配的减反射膜。制作绒面可以将入射到电池表面的光分散到各个角度，从而增加入射光在电池中的光程，增加光的吸收。但是这样的表面对所有的波长都会有效的吸收，包括不希望吸收的那些光子能量不足以产生电子-空穴对的红外辐射。所以各个设计单位都将精力投入到了对减反膜的设计上，用于制造减反膜的技术为等离子化学气相沉积技术及PECVD工艺，而用于制造减反膜的PECVD设备也变得十分重要。
目前，现有技术中对太阳能电池进行PECVD处理时通常是使用石墨舟作为太阳能电池片的承载工具，但由于经减反射膜沉积完成之后石墨舟的温度过高，需要将其快速冷却至35-50℃。为了提高PECVD设备制造太阳电池的减反膜效率，大量的冷却系统被制造了出来。如专利申请号为201521107414.0的“一种快速冷却的太阳能电池PECVD石墨舟冷却房”，通过在冷却房房体顶部设置带抽风机的热排管、在待冷却石墨舟的下方设置冷却平台、在冷却房房体的两侧壁设置对称的排风扇来达到降温的作用。但这种设计会因为冷空气的沉降作用而使得冷却平台吹出的冷风在石墨舟底部盘旋后，而该发明中两侧壁的排风扇设置与石墨舟底部，从而会将冷却平台吹出的大部风冷风快速排出，而会使得热量交换后的暖风经过石墨舟上方后，被热排管吸出，从而使得石墨舟上方的降温效果大减。
因此，一种结构简单、利于维护、使用方便、降温速度快、降温效果好、使用寿命长、能对经过PECVD处理后的太阳能电池片的两面进行同步降温的冷却系统变得十分重要。
发明内容
为了有效解决上述技术问题，本实用新型提供了一种用于多晶太阳能电池的PECVD的冷却装置。包括第一壳体、底座、多个第一抽风机，所述第一壳体固设于所述底座上方，所述第一壳体内的两个相对应的侧壁上分别设有一个第一运输件，所述第一运输件可用于运输盛放多晶太阳能电池的石墨舟；所述第一壳体的顶端设置有多个第一进气口，所述底座在靠近第一壳体的两侧分别设置有第二进气口，所述第一抽风机均固设于底座上，所述底座上还设有多个与第一抽风机的风道相贯通的第一出气口，所述第一抽风机可将空气由第一进气口与第二进气口吸入，并由第一出气口排出，从而通过空气的热量交换来给多晶太阳能电池降温。
进一步，所述第一进气口、第二进气口、第一出气口上均设有防尘罩。
进一步，所述第一运输件包括多个均匀分布的第一运输辊。
进一步，所述第二进气口的开口方向与第一运输件运输石墨舟的运输方向所界定的夹角为45-60°。
进一步，所述第一壳体在第一运输件的运输方向的两端分别设有一个第一电动阀门，所述第一电动阀门可通过开启阀门来配合第一运输件运输石墨舟，还可以在第一抽风机执行降温工作时关闭阀门，从而减小对其他装置内的废气的吸入。
本实用新型通过多个第一运输辊来运输盛放多晶太阳能电池的石墨舟，进而减小了第一运输件所占的体积，从而增加了冷却系统内的散热空间；本实用新型通过第一进气口、第二进气口与第一抽风机相配合实现石墨舟两面的同时降温，进而可配合第一出气口提高冷却系统的气体温度交换速度；本发明通过第一电动阀门的自动开闭与各开口防尘罩的设置来减少了外部废气的进入，从而提高了本实用新型的使用寿命。本实用新型有着结构简单、降温速度快、降温效果好、使用寿命长、能对经过PECVD处理后的太阳能电池片的两面进行同步降温的优点。
附图说明
图1为本实用新型的一种用于多晶太阳能电池的PECVD的冷却装置的侧视图；
图2为本实用新型的一种用于多晶太阳能电池的PECVD的冷却装置的主视图；
图中：1-第一壳体、11-第一进气口、111-防尘罩、12-第一电动阀门、2-底座、21-第二进气口、22-第一出气口、3-第一运输件、31-第一运输辊、4-第一抽风机、5-石墨舟。
具体实施方式
为了更清楚地说明本实用新型实施方式和/或现有技术中的技术方案，下面将对照附图说明本实用新型的具体实施方式。显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图，并获得其他的实施方式。另，涉及方位的属于仅表示各部件间的相对位置关系，而不是绝对位置关系。
如图1或2所示，本实用新型的实施例提供了一种用于多晶太阳能电池的PECVD的冷却装置。本实施例的装置包括第一壳体1、底座2、多个第一抽风机4，所述第一壳体1固设于所述底座2上方，所述第一壳体1内的两个相对应的侧壁上分别设有一个第一运输件3，所述第一运输件3可用于运输盛放多晶太阳能电池的石墨舟5。
在本实用新型的实施例中，所述第一运输件3包括多个均匀分布的第一运输辊31。在运输石墨舟5时，石墨舟两端分别抵接在位于第一壳体1的不同壁面的第一运输辊31上，从而可通过控制第一运输辊31转动来带动石墨舟移动。而本实用新型中的第一运输辊31因为其所占空间较小，进而对减小对装置内流动气体的阻碍，从而提高了空气的热交换效果。此外，在运输石墨舟被送入或送出时，大量的灰尘或废气会被吸入，从而影响本装置的使用寿命。所以，第一壳体1在第一运输件3的运输方向的两端分别设有一个第一电动阀门12，所述第一电动阀门12可通过开启阀门来配合第一运输件3运输石墨舟5，还可以在第一抽风机4执行降温工作时关闭阀门，从而防止其他装置内的废气被大量吸入第一壳体1内，从而提高了本装置的使用寿命。
在本实用新型的实施例中，所述第一壳体1的顶端设置有多个第一进气口11，所述底座2在靠近第一壳体1的两侧分别设置有第二进气口21，所述第一抽风机4均固设于底座2上，所述底座2上还设有多个与第一抽风机4的风道相贯通的第一出气口22，所述第一抽风机4可将空气由第一进气口11与第二进气口21吸入，并由第一出气口22排出，从而通过空气的热量交换来给多晶太阳能电池降温。另外，第一进气口11、第二进气口21、第一出气口22上均设有防尘罩111，从而能有效阻挡空气中的灰尘进入装置中。
在本实用新型中，所述第二进气口21的开口方向与第一运输件3运输石墨舟5的运输方向所界定的夹角为45-60°，进而在本实用新型进行降温工作时，由第二进气口21进入的空气会沿此角度进入装置内，从而在气体向下流动时能与整个石墨舟5的下端面进行温度交换。而由第一进气口11进入的冷空气会优先与石墨舟5的上端面接触，进而会跟石墨舟5的上端优先进行温度交换。而第一抽风机4与第一出气口22的设置会将交换热量后的热气及时排出，从而加快了本实用新型的降温效率，而本实用新型的设置方式也使得能对石墨舟5的两端面进行同步降温。
以上内容是结合具体的优选实施方式对本实用新型所作的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干简单推演或替换，都应当视为属于本实用新型的保护范围。
Claims (5)
1.一种用于多晶太阳能电池的PECVD的冷却装置，用于给经过PEVCD处理后的多晶太阳能电池降温，其特征在于：包括第一壳体（1）、底座（2）、多个第一抽风机（4），所述第一壳体（1）固设于所述底座（2）上方，所述第一壳体（1）内的两个相对应的侧壁上分别设有一个第一运输件（3），所述第一运输件（3）可用于运输盛放多晶太阳能电池的石墨舟（5）；所述第一壳体（1）的顶端设置有多个第一进气口（11），所述底座（2）在靠近第一壳体（1）的两侧分别设置有第二进气口（21），所述第一抽风机（4）均固设于底座（2）上，所述底座（2）上还设有多个与第一抽风机（4）的风道相贯通的第一出气口（22），所述第一抽风机（4）可将空气由第一进气口（11）与第二进气口（21）吸入，并由第一出气口（22）排出，从而通过空气的热量交换来给多晶太阳能电池降温。
2.如权利要求1所述的一种用于多晶太阳能电池的PECVD的冷却装置，其特征在于：所述第一进气口（11）、第二进气口（21）、第一出气口（22）上均设有防尘罩（111）。
3.如权利要求1所述的一种用于多晶太阳能电池的PECVD的冷却装置，其特征在于：所述第一运输件（3）包括多个均匀分布的第一运输辊（31）。
4.如权利要求1所述的一种用于多晶太阳能电池的PECVD的冷却装置，其特征在于：所述第二进气口（21）的开口方向与第一运输件（3）运输石墨舟（5）的运输方向所界定的夹角为45-60°。
5.如权利要求1所述的一种用于多晶太阳能电池的PECVD的冷却装置，其特征在于：所述第一壳体（1）在第一运输件（3）的运输方向的两端分别设有一个第一电动阀门（12），所述第一电动阀门（12）可通过开启阀门来配合第一运输件（3）运输石墨舟（5），还可以在第一抽风机（4）执行降温工作时关闭阀门，从而减小对其他装置内的废气的吸入。
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| CN201920529299.8U CN209822668U (zh) | 2019-04-18 | 2019-04-18 | 一种用于多晶太阳能电池的pecvd的冷却装置 |
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| CN201920529299.8U CN209822668U (zh) | 2019-04-18 | 2019-04-18 | 一种用于多晶太阳能电池的pecvd的冷却装置 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023227089A1 (zh) * | 2022-05-27 | 2023-11-30 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 控温装置及半导体工艺设备 |
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2019
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