CN209796846U - 一种电子束扫描测量仪真空输送装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及机械设备技术领域，尤其为一种电子束扫描测量仪真空输送装置，包括晶圆片原料箱、真空输送箱和扫描测量箱，所述晶圆片原料箱位于真空输送箱和扫描测量箱一侧，且真空输送箱位于扫描测量上方，所述真空输送箱与晶圆片原料箱之间通过管道连接，所述真空输送箱外部上方安装有电机，所述电机下方转轴连接有转盘，所述转盘下方可拆卸连接有粘尘板，且粘尘板设置有多个。本实用新型结构简单，使得待检测的晶圆片在真空环境下进行传输，密封效果好，可以有效排除空气中杂质和灰层对产品质量的影响，可以防止晶圆片在输送过程中损坏的现象，并且可以对传送的数量进行计数检测，提升其功能性，适合广泛推广和使用。

Description

一种电子束扫描测量仪真空输送装置

技术领域

本实用新型涉及机械设备技术领域，具体为一种电子束扫描测量仪真空输送装置。

背景技术

电子束是是利用电子枪中阴极所产生的电子在阴阳极间的高压加速电场作用下被加速至很高的速度，经透镜会聚作用后，形成密集的高速电子流，其具有高能量密度。为了保证晶原片的质量，在晶原片生产过程中会使用电子束扫描测量仪对零件进行测试，再由后道工序决定是否返工或者报废，以用来提升晶原片的产品质量。

目前现有的电子束扫描测量仪一般采采用人工上料或者是传送带进行上料，一般密封效果不好，晶原片完全暴露在空气中，空气中的杂质和灰层容易对对产品产生影响，因此，针对上述问题提出一种电子束扫描测量仪真空输送装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种电子束扫描测量仪真空输送装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种电子束扫描测量仪真空输送装置，包括晶圆片原料箱、真空输送箱和扫描测量箱，所述晶圆片原料箱位于真空输送箱和扫描测量箱一侧，且真空输送箱位于扫描测量箱上方，所述真空输送箱与晶圆片原料箱之间通过管道连接，所述真空输送箱外部上方安装有电机，所述电机下方转轴连接有转盘，所述转盘下方可拆卸连接有粘尘板，且粘尘板设置有多个，所述粘尘板两侧设置有限位卡板，所述真空输送箱内壁两侧设置有滑动板，所述滑动板表面固定连接有弹性滑动垫，所述真空输送箱下方固定连接有下料仓，且下料仓位于扫描测量箱内部上方，所述下料仓内部安装有阀门。

优选的，所述真空输送箱一侧设置有真空管，所述真空管内壁设置有防尘罩，所述防尘罩内部设置有过滤网层，所述真空管另一端固定连接有真空泵，且真空泵位于真空输送箱外部另一侧。

优选的，所述扫描测量箱内壁两侧安装有电子束扫描测量仪体，所述扫描测量箱内部下方安装有传送带。

优选的，所述下料仓底端一侧安装有红外线计数传感器。

与现有技术相比，本实用新型具有如下有益效果：

1、该种一种电子束扫描测量仪真空输送装置，在使用时通过利用在设置的真空输送箱，通过利用在真空输送箱一侧设置的真空泵，通过利用真空泵和真空管在真空输送箱内部产生负压，从而可以将晶圆片原料箱内部的待检测的晶圆片从管道传送到真空输送箱内部，从而可以使得晶原片从下料仓进入到扫描测量箱内部，通过利用待检测的晶圆片在真空环境下进行传输，使得密封效果好，可以排除空气中杂质对产品质量的影响。

2、通过利用在真空输送箱内壁两侧设置有滑动板，同时在滑动板表面固定连接有弹性滑动垫，可以有效防止晶圆片从真空输送箱掉落在扫描测量箱时产生损坏的现象，通过滑动板和弹性滑动垫可以对晶圆片进行有效防护，降低晶圆片飞快下落时的冲击力，从而可以有效保证晶圆片在输送过程中的安全性能。

3、通过利用在真空输送箱外部上方安装有电机，同时在电机下方转轴连接有转盘，并在转盘下方可拆卸连接有粘尘板，使得粘尘板两侧设置有限位卡板，通过电机带动转盘转动从而可以带动下方的粘尘板进行转动，从而可以将真空输送箱中漂浮的少量灰层进行有效收集，进一步防止灰层对产品的影响，同时通过利用在粘尘板两侧设置有限位卡板可以方便粘尘板与限位卡板之间的可拆卸连接，方便粘尘板的更换。

4、通过在下料仓底端一侧安装有红外线计数传感器，可以有效感应从下料仓内掉落下的晶圆片的数量，可以对传送的数量进行计数检测，提升其功能性，同时通过扫描测量箱内壁两侧电子束扫描测量仪体扫描后的晶原片通过传送带输送出，降低人工负担，提升工作效率。

附图说明

图1为本实用新型一种电子束扫描测量仪真空输送装置的整体结构示意图。

图2为本实用新型一种电子束扫描测量仪真空输送装置的粘尘板结构示意图。

图3为本实用新型一种电子束扫描测量仪真空输送装置的滑动板结构示意图。

图中：1-晶圆片原料箱；2-真空输送箱；3-扫描测量箱；4-电机； 5-转盘；6-粘尘板；7-限位卡板；8-滑动板；9-弹性滑动垫；10- 下料仓；11-阀门；12-真空管；13-防尘罩；14-过滤网层；15-真空泵；16-电子束扫描测量仪；17-传送带；18-红外线计数传感器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：

一种电子束扫描测量仪真空输送装置，包括晶圆片原料箱1、真空输送箱 2和扫描测量箱3，所述晶圆片原料箱1位于真空输送箱2和扫描测量箱3一侧，且真空输送箱2位于扫描测量箱3上方，所述真空输送箱2与晶圆片原料箱1之间通过管道连接，所述真空输送箱2外部上方安装有电机4，所述电机4下方转轴连接有转盘5，所述转盘5下方可拆卸连接有粘尘板6，且粘尘板6设置有多个，所述粘尘板6两侧设置有限位卡板7，所述真空输送箱2内壁两侧设置有滑动板8，所述滑动板8表面固定连接有弹性滑动垫9，所述真空输送箱2下方固定连接有下料仓10，且下料仓10位于扫描测量箱3内部上方，所述下料仓10内部安装有阀门11。

本实施例中如图1、2和3所示，通过设置的真空输送箱2、电机4、转盘5、粘尘板6和限位卡板7可以将真空输送箱中漂浮的少量灰层进行有效收集，进一步防止灰层对产品的影响，通过设置的滑动板8和弹性滑动垫9可以有效防止晶圆片从真空输送箱掉落在扫描测量箱时产生损坏的现象，对晶圆片进行有效防护。

其中，所述真空输送箱2一侧设置有真空管12，所述真空管12内壁设置有防尘罩13，所述防尘罩13内部设置有过滤网层14，所述真空管12另一端固定连接有真空泵15，且真空泵15位于真空输送箱2外部另一侧。

本实施例中如图1所示，通过设置的真空管12、防尘罩13、过滤网层14 和真空泵15可以少量灰层进入到真空管中。

其中，所述扫描测量箱3内壁两侧安装有电子束扫描测量仪体16，所述扫描测量箱3内部下方安装有传送带17。

本实施例中如图1所示，通过设置的传送带17可以将扫描后的晶原片通过传送带输送出，降低人工负担，提升工作效率。

其中，所述下料仓10底端一侧安装有红外线计数传感器18。

本实施例中如图1所示，通过设置的红外线计数传感器18可以有效感应从下料仓内掉落下的晶圆片的数量，可以对传送的数量进行计数检测。

本实用新型工作流程：该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220V 市电电连接，并且主控器可为电子束扫描测量仪真空输送装置等起到控制的常规已知设备。需要说明的是，本实用新型为一种电子束扫描测量仪真空输送装置，晶圆片原料箱1、真空输送箱2、扫描测量箱3、电机4、转盘5、粘尘板6、限位卡板7、滑动板8、弹性滑动垫9、下料仓10、阀门11、真空管 12、防尘罩13、过滤网层14、真空泵15、电子束扫描测量仪16、传送带17、红外线计数传感器18，部件均为通用标准件或本领域技术人员知晓的部件，其结构和原理都为本技术人员均可通过技术手册得知或通过常规实验方法获知，工作时通过利用在真空输送箱2一侧的真空泵15，通过利用真空15泵和真空管12在真空输送箱内部产生负压，从而可以将晶圆片原料箱1内部的待检测的晶圆片从管道传送到真空输送箱2内部，在输送过程中通过利用在真空输送箱2内壁两侧的有滑动板8，同时利用在滑动板8表面固定连接的弹性滑动垫9，可以有效防止晶圆片从真空输送箱掉落在扫描测量箱时产生损坏的现象，对晶圆片进行有效防护，同时通过利用在真空输送箱2外部上方安装有电机4，同时在电机4下方转轴连接有转盘5，并在转盘5下方可拆卸连接有粘尘板6，使得粘尘板6两侧设置有限位卡板7，通过电机4带动转盘5转动从而可以带动下方的粘尘板6进行转动，从而可以将真空输送箱中漂浮的少量灰层进行有效收集，进一步防止灰层对产品的影响，同时通过利用在粘尘板6两侧设置有限位卡板7可以方便粘尘板6与转盘5之间的可拆卸连接，方便粘尘板的更换，真空输送箱2内的晶原片从下料仓10进入到扫描测量箱 3内部，下料仓10底端一侧安装的红外线计数传感器18，可以有效感应从下料仓内掉落下的晶圆片的数量，可以对传送的数量进行计数检测，同时通过扫描测量箱3内壁两侧电子束扫描测量仪体16扫描后的晶原片通过传送带17 输送出。红外线计数传感器18型号为HB961 ZNJC2-6E2R。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (4)

1.一种电子束扫描测量仪真空输送装置，包括晶圆片原料箱(1)、真空输送箱(2)和扫描测量箱(3)，所述晶圆片原料箱(1)位于真空输送箱(2)和扫描测量箱(3)一侧，且真空输送箱(2)位于扫描测量箱(3)上方，其特征在于：所述真空输送箱(2)与晶圆片原料箱(1)之间通过管道连接，所述真空输送箱(2)外部上方安装有电机(4)，所述电机(4)下方转轴连接有转盘(5)，所述转盘(5)下方可拆卸连接有粘尘板(6)，且粘尘板(6)设置有多个，所述粘尘板(6)两侧设置有限位卡板(7)，所述真空输送箱(2)内壁两侧设置有滑动板(8)，所述滑动板(8)表面固定连接有弹性滑动垫(9)，所述真空输送箱(2)下方固定连接有下料仓(10)，且下料仓(10)位于扫描测量箱(3)内部上方，所述下料仓(10)内部安装有阀门(11)。

2.根据权利要求1所述的一种电子束扫描测量仪真空输送装置，其特征在于：所述真空输送箱(2)一侧设置有真空管(12)，所述真空管(12)内壁设置有防尘罩(13)，所述防尘罩(13)内部设置有过滤网层(14)，所述真空管(12)另一端固定连接有真空泵(15)，且真空泵(15)位于真空输送箱(2)外部另一侧。

3.根据权利要求1所述的一种电子束扫描测量仪真空输送装置，其特征在于：所述扫描测量箱(3)内壁两侧安装有电子束扫描测量仪体(16)，所述扫描测量箱(3)内部下方安装有传送带(17)。

4.根据权利要求1所述的一种电子束扫描测量仪真空输送装置，其特征在于：所述下料仓(10)底端一侧安装有红外线计数传感器(18)。