CN209766393U - 一种顶针装置及晶圆升降系统 - Google Patents
一种顶针装置及晶圆升降系统 Download PDFInfo
- Publication number
- CN209766393U CN209766393U CN201920649295.3U CN201920649295U CN209766393U CN 209766393 U CN209766393 U CN 209766393U CN 201920649295 U CN201920649295 U CN 201920649295U CN 209766393 U CN209766393 U CN 209766393U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- thimble
- signal switch
- point signal
- pressure point
- ejector pin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 claims abstract description 6
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims description 16
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 8
- 230000003068 static effect Effects 0.000 abstract description 7
- 230000002159 abnormal effect Effects 0.000 abstract description 5
- 230000005611 electricity Effects 0.000 abstract description 3
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 239000012634 fragment Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
本实用新型提供一种顶针装置，包括：顶针、压点信号开关及筒体；进一步的，本实用新型还提供一种晶圆升降系统，包括：静电吸盘、马达及多个所述顶针装置，所述顶针装置受到大于所述阈值的压力时，所述顶针装置的顶针接触到所述顶针装置的压点信号开关，并且导通压点信号开关发出一停止运动信号，所述马达接收到所述停止运动信号并控制所述顶针装置停止上升，从而避免了晶圆与静电吸盘之间仍有较大的静电或者仍有静电时，晶圆被所述顶针装置顶破的异常情况，减少了生产成本的损失，提高了工作效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体制造设备技术领域，特别涉及一种顶针装置及晶圆升降系统。
背景技术
晶圆升降系统是半导体制造中重要的工艺设备之一，晶圆升降系统包括：顶针、静电吸盘及马达，当所述顶针托载晶圆时，所述马达可以控制托载晶圆的所述顶针相对静电吸盘上升或者下降一定的高度。
在现有技术中，晶圆升降系统中的顶针在顶起被托载的晶圆时，时常会发生将晶圆顶破的异常情况，从而对生产成本造成一定的损失，大大降低了工作效率。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种顶针装置及晶圆升降系统，以解决顶针顶起晶圆的过程中造成晶圆破片的问题。
为解决上述技术问题，本实用新型提供一种顶针装置，所述顶针装置包括：筒体、顶针及压点信号开关，所述顶针及所述压点信号开关均设置于所述筒体内，并且所述顶针突出于所述筒体的顶面，所述顶针在受到小于或者等于一阈值的压力时，与所述压点信号开关之间具有间隔；所述顶针在受到大于所述阈值的压力时，能够在所述筒体内向着所述压点信号开关运动，并且，所述压点信号开关在接触到所述顶针后能够发出一停止运动信号。
可选的，在所述顶针装置中，所述顶针包括：顶针本体和设于所述顶针本体上的阻挡部，所述阻挡部与所述筒体的内壁接触。
可选的，在所述顶针装置中，所述阻挡部包括环形结构，并且套设在所述顶针本体的侧壁上；或者，所述阻挡部包括多个块状结构，并且沿所述顶针本体周向对称设置在所述顶针本体的侧壁上。
可选的，在所述顶针装置中，所述压点信号开关设于所述筒体的内侧壁上，所述顶针在受到小于或者等于所述阈值的压力时，所述顶针与所述压点信号开关之间具有间隔；所述顶针在受到大于所述阈值的压力时，能够在所述筒体内向着所述压点信号开关运动，所述阻挡部能够接触到所述压点信号开关。
可选的，在所述顶针装置中，所述压点信号开关设于所述筒体的内底壁上，所述顶针在受到小于或者等于所述阈值的压力时，所述顶针与所述压点信号开关之间具有间隔；所述顶针在受到大于所述阈值的压力时，能够在所述筒体内向着所述压点信号开关运动，所述顶针本体能够接触到所述压点信号开关。
可选的，在所述顶针装置中，所述顶针装置还包括：弹簧，所述弹簧套设于所述顶针本体上，并且位于所述阻挡部和所述筒体内底壁之间的所述顶针本体上。
可选的，在所述的顶针装置中，所述顶针在受到小于或者等于一阈值的压力时，与所述压点信号开关之间的间隔介于大于0且小于等于3cm之间。
本实用新型还提供一种晶圆升降系统，包括：静电吸盘、马达及多个所述顶针装置，多个所述顶针装置均安装在所述静电吸盘上，所述马达与所述顶针装置中的压点信号开关电性连接，当所述顶针装置中的顶针受到小于或者等于阈值的压力时，所述马达能够控制所述顶针装置相对静电吸盘的表面上升；当所述顶针受到大于所述阈值的压力时，能够在所述筒体内向着所述压点信号开关运动，并且，所述压点信号开关在接触到所述顶针后能够发出一停止运动信号，所述马达能够接收所述停止运动信号并控制所述顶针装置停止上升。
可选的，在所述晶圆升降系统中，所述静电吸盘的表面设有多个通孔，所述顶针装置对应地设于所述通孔内。
可选的，在所述晶圆升降系统中，所述通孔的数量大于或者等于3个，并且所述多个通孔均匀分布在所述静电吸盘上。
可选的，在所述晶圆升降系统中，所述顶针装置相对所述静电吸盘表面的可升降高度介于0～6cm之间。
综上所述，本实用新型提供一种顶针装置，包括：顶针、压点信号开关及筒体，所述顶针在受到小于或者等于一阈值的压力时，与所述压点信号开关之间具有间隔；所述顶针在受到大于所述阈值的压力时，能够在所述筒体内向着所述压点信号开关运动，并且所述压点信号开关在接触到所述顶针后能够发出一停止运动信号。本实用新型还提供一种晶圆升降系统，包括：静电吸盘、马达及多个所述顶针装置，所述顶针装置受到大于所述阈值的压力时，所述顶针装置的顶针接触到所述顶针装置的压点信号开关，并且导通压点信号开关发出一停止运动信号，所述马达接收到所述停止运动信号并控制所述顶针装置停止上升，从而避免了晶圆与静电吸盘之间仍有较大的静电时，晶圆被所述顶针装置顶破的异常情况，减少了生产成本的损失，提高了工作效率。
附图说明
图1是本实用新型实施例一的顶针装置示意图；
图2是本实用新型实施例一的晶圆升降系统示意图；
图3是本实用新型实施例二的顶针装置示意图；
其中，100-顶针装置，110-筒体，120-顶针，121-顶针本体，122-阻挡部，130-压点信号开关，140-弹簧，210-静电吸盘，211-通孔，220-马达。
具体实施方式
以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的顶针装置及晶圆升降系统作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。
目前刻蚀机台的晶圆升降系统中的顶针装置在顶起被托载的晶圆时，因为晶圆升降系统无法判定晶圆与静电吸盘之间的静电吸附力的释放程度以及无法检测顶起晶圆时的实时静电吸附力，所以常常会出现在静电吸附力仍有大量残余未释放时，顶针装置就照常顶起了被托载的晶圆的意外情况，从而导致晶圆被顶破，对生产成本造成一定的损失，也影响了工作效率。
实施例一
针对上述问题，本实用新型提供一种顶针装置，参考图1，图1是本实用新型实施例一的顶针装置示意图，所述顶针装置包括：筒体110、顶针120及压点信号开关130，所述顶针120及所述压点信号开关130均设置于所述筒体110内，并且所述顶针120突出于所述筒体110的顶面，其中，所述压点信号开关130可以部分或者全部设置于所述筒体110内，所述顶针120在受到小于或者等于一阈值的压力时，与所述压点信号开关130之间具有间隔；所述顶针120在受到大于所述阈值的压力时，能够在所述筒体110内向着所述压点信号开关130运动，并且，所述压点信号开关130在接触到所述顶针120后能够发出一停止运动信号。具体的，在本实施例中，所述顶针120受到小于所述阈值的压力时，所述顶针120也有在所述筒体110内向着所述压点信号开关130运动的可能，但是不会触碰到所述压点信号开关130，此时，所述间隔的取值区间为(0cm，3cm]。
优选的，所述顶针120包括：顶针本体121和设于所述顶针本体121上的阻挡部122，所述阻挡部122与所述筒体110的内壁接触。其中，所述阻挡部122包括环形结构，并且套设在所述顶针本体121的侧壁上；或者，所述阻挡部122包括多个块状结构，并且沿所述顶针本体121周向对称设置在所述顶针本体121的侧壁上。在本实施例中，所述顶针本体121的长度介于19～21cm之间。所述顶针本体121的长度可以根据实际顶起晶圆的需要设置，本申请对所述顶针本体121的长度不做任何限定。
进一步的，所述压点信号开关130设于所述筒体110的内底壁上，所述顶针120在受到小于或者等于所述阈值的压力时，能够在所述筒体110内向着所述压点信号开关130运动，同时，所述顶针本体121的底部端面与所述压点信号开关130之间具有间隔；所述顶针120在受到大于所述阈值的压力时，能够在所述筒体110内向着所述压点信号开关130运动，并且所述顶针本体121的底部端面能够接触到所述压点信号开关130。
优选的，所述顶针装置还包括：弹簧140，所述弹簧140套设于所述顶针本体121上，并且位于所述阻挡部122和所述筒体110内底壁之间的所述顶针本体121上，其中，所述弹簧140能够被所述阻挡部122限位，在所述顶针120在所述筒体110内向着所述压点信号开关130运动时，所述弹簧140能够在所述阻挡部122的移动中被压缩。在本实施例中，所述弹簧的长度介于8～10cm之间。此外，所述弹簧140与所述筒体110之间具有间隙，所述间隙可以选择介于0cm～3cm的数值，例如2cm。
本实用新型还提供一种晶圆升降系统，参考图2，图2是本实用新型实施例一的晶圆升降系统示意图，所述晶圆升降系统包括：静电吸盘210、马达220及多个所述顶针装置100，多个所述顶针装置100均安装在所述静电吸盘210上，所述马达220与所述顶针装置100中的压点信号开关130电性连接，当所述顶针装置100中的顶针120受到小于或者等于所述阈值的压力时，所述马达220能够控制所述顶针装置100相对静电吸盘210的表面上升；当所述顶针120受到大于所述阈值的压力时，能够在所述筒体110内向着所述压点信号开关130运动，并且，所述压点信号开关130在接触到所述顶针120后能够发出一停止运动信号，所述马达220能够接收所述停止运动信号并控制所述顶针装置100停止上升，从而避免了晶圆与静电吸盘之间仍有较大的静电吸附力时，晶圆被所述顶针装置顶破的异常情况，减少了生产成本的损失，提高了工作效率。在本实施例中，所述马达220设于所述静电吸盘210的底部。本申请对马达的具体位置不作任何限定。
进一步的，所述静电吸盘210的表面设有多个通孔211，所述顶针装置100对应地设于所述通孔211内。所述通孔211的数量大于或者等于3个，并且所述多个通孔211均匀分布在所述静电吸盘210上。
在本实施例中，所述顶针装置100相对所述静电吸盘210表面的可升降高度介于0～6cm之间。
在本实施例中，所述阈值的取值由静电吸盘吸附力以及被升降的晶圆的重量决定，本申请对所述阈值的取值不做任何限定。其中，被升降的晶圆的重量具体参考被升降的晶圆的尺寸及厚度。例如，顶针装置在受到大于100N的压力时，顶起晶圆会造成晶圆破片，则所述阈值可以设定为100N。
实施例二
参考图3，图3是本实用新型实施例二的顶针装置示意图，所述顶针装置包括：筒体110、顶针120及压点信号开关130，所述顶针120包括：顶针本体121及阻挡部122。所述压点信号开关130设于所述筒体110的内侧壁上，所述顶针120在受到小于或者等于所述阈值的压力时，所述阻挡部122与所述压点信号开关130之间具有间隔；所述顶针120在受到大于所述阈值的压力时，能够在所述筒体110内向着所述压点信号开关130运动，所述阻挡部122能够接触到所述压点信号开关。
在本实施例中，所述顶针装置的所述阻挡部122包括环形结构，并且套设在所述顶针本体121的侧壁上，环形结构的所述阻挡部122可以保证在所述顶针120受到大于所述阈值的压力时有效接触到设于所述筒体110内侧壁上的所述压点信号开关130，提高了所述顶针装置的可靠性。
其中，本实施例二未描述的部分可相应参考实施例一，本实施例二不再赘述。
综上所述，本实用新型提供一种顶针装置，包括：顶针、压点信号开关及筒体，所述顶针在受到小于或者等于一阈值的压力时，与所述压点信号开关之间具有间隔；所述顶针在受到大于所述阈值的压力时，能够在所述筒体内向着所述压点信号开关运动，并且所述压点信号开关在接触到所述顶针后能够发出一停止运动信号。本实用新型还提供一种晶圆升降系统，包括：静电吸盘、马达及多个所述顶针装置，所述顶针装置受到大于所述阈值的压力时，所述顶针装置的顶针接触到所述顶针装置的压点信号开关，并且导通压点信号开关发出一停止运动信号，所述马达接收到所述停止运动信号并控制所述顶针装置停止上升，从而避免了晶圆与静电吸盘之间仍有较大的静电或者静电释放不完全时，晶圆被所述顶针装置顶破的异常情况，减少了生产成本的损失，提高了工作效率。
上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本实用新型领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。
Claims (11)
1.一种顶针装置，其特征在于，所述顶针装置包括：筒体、顶针及压点信号开关，所述顶针及所述压点信号开关均设置于所述筒体内，并且所述顶针突出于所述筒体的顶面，所述顶针在受到小于或者等于一阈值的压力时，与所述压点信号开关之间具有间隔；所述顶针在受到大于所述阈值的压力时，能够在所述筒体内向着所述压点信号开关运动，并且，所述压点信号开关在接触到所述顶针后能够发出一停止运动信号。
2.根据权利要求1所述的顶针装置，其特征在于，所述顶针包括：顶针本体和设于所述顶针本体上的阻挡部，所述阻挡部与所述筒体的内壁接触。
3.根据权利要求2所述的顶针装置，其特征在于，所述阻挡部包括环形结构，并且套设在所述顶针本体的侧壁上；或者，所述阻挡部包括多个块状结构，并且沿所述顶针本体周向对称设置在所述顶针本体的侧壁上。
4.根据权利要求3所述的顶针装置，其特征在于，所述压点信号开关设于所述筒体的内侧壁上，所述顶针在受到小于或者等于所述阈值的压力时，所述顶针与所述压点信号开关之间具有间隔；所述顶针在受到大于所述阈值的压力时，能够在所述筒体内向着所述压点信号开关运动，所述阻挡部能够接触到所述压点信号开关。
5.根据权利要求3所述的顶针装置，其特征在于，所述压点信号开关设于所述筒体的内底壁上，所述顶针在受到小于或者等于所述阈值的压力时，所述顶针与所述压点信号开关之间具有间隔；所述顶针在受到大于所述阈值的压力时，能够在所述筒体内向着所述压点信号开关运动，所述顶针本体能够接触到所述压点信号开关。
6.根据权利要求2所述的顶针装置，其特征在于，所述顶针装置还包括：弹簧，所述弹簧套设于所述顶针本体上，并且位于所述阻挡部和所述筒体内底壁之间的所述顶针本体上。
7.根据权利要求1～5中任一项所述的顶针装置，其特征在于，所述顶针在受到小于或者等于一阈值的压力时，与所述压点信号开关之间的间隔介于大于0且小于等于3cm之间。
8.一种晶圆升降系统，其特征在于，包括：静电吸盘、马达及多个如权利要求1-7中任一项所述的顶针装置，多个所述顶针装置均安装在所述静电吸盘上，所述马达与所述顶针装置中的压点信号开关电性连接，当所述顶针装置中的顶针受到小于或者等于阈值的压力时，所述马达能够控制所述顶针装置相对静电吸盘的表面上升；当所述顶针受到大于所述阈值的压力时，能够在所述筒体内向着所述压点信号开关运动，并且，所述压点信号开关在接触到所述顶针后能够发出一停止运动信号，所述马达能够接收所述停止运动信号并控制所述顶针装置停止上升。
9.根据权利要求8所述的晶圆升降系统，其特征在于，所述静电吸盘的表面设有多个通孔，所述顶针装置对应地设于所述通孔内。
10.根据权利要求9所述的晶圆升降系统，其特征在于，所述通孔的数量大于或者等于3个，并且所述多个通孔均匀分布在所述静电吸盘上。
11.根据权利要求10所述的晶圆升降系统，其特征在于，所述顶针装置相对所述静电吸盘表面的可升降高度介于0～6cm之间。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201920649295.3U CN209766393U (zh) | 2019-05-07 | 2019-05-07 | 一种顶针装置及晶圆升降系统 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201920649295.3U CN209766393U (zh) | 2019-05-07 | 2019-05-07 | 一种顶针装置及晶圆升降系统 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN209766393U true CN209766393U (zh) | 2019-12-10 |
Family
ID=68761169
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201920649295.3U Expired - Fee Related CN209766393U (zh) | 2019-05-07 | 2019-05-07 | 一种顶针装置及晶圆升降系统 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN209766393U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112802795A (zh) * | 2020-12-11 | 2021-05-14 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 升针方法、半导体工艺设备 |
| WO2023197140A1 (zh) * | 2022-04-12 | 2023-10-19 | 华为技术有限公司 | 探针组件、静电吸盘装置、半导体设备及吸附工件的方法 |
-
2019
- 2019-05-07 CN CN201920649295.3U patent/CN209766393U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112802795A (zh) * | 2020-12-11 | 2021-05-14 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 升针方法、半导体工艺设备 |
| CN112802795B (zh) * | 2020-12-11 | 2023-11-14 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | 升针方法、半导体工艺设备 |
| WO2023197140A1 (zh) * | 2022-04-12 | 2023-10-19 | 华为技术有限公司 | 探针组件、静电吸盘装置、半导体设备及吸附工件的方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN209766393U (zh) | 一种顶针装置及晶圆升降系统 | |
| CN111341719B (zh) | 承载装置、半导体设备及残余电荷的检测方法 | |
| CN102110629B (zh) | 静电夹持装置、减少残余电荷的方法及等离子体处理设备 | |
| US20220152777A1 (en) | Wafer loading bracket, wafer loading system, and wafer mounting method for cmp process | |
| US10059572B2 (en) | Core grasping method | |
| TW201724346A (zh) | 等離子蝕刻設備、晶片頂升裝置及其頂升方法 | |
| CN102270597A (zh) | 用于晶圆交换装置的晶圆托架组件和晶圆交换装置 | |
| CN109003921A (zh) | 工艺设备及其工作方法 | |
| KR101242441B1 (ko) | 반도체소자 몰딩시스템용 금형장치 | |
| CN106895041B (zh) | 具有安全装置的气缸致动器 | |
| CN204516734U (zh) | 升降针机构 | |
| CN109244023B (zh) | 半导体设备工艺腔的晶圆升降装置 | |
| CN112802795B (zh) | 升针方法、半导体工艺设备 | |
| CN210936533U (zh) | 用于汽车安全气囊排气罩壳体的侧壁孔检测的装置 | |
| CN208680294U (zh) | 一种多工位的熔断器触刀帽冲制成型装置 | |
| CN208303552U (zh) | 一种弧形板件冷冲压装置 | |
| CN211820816U (zh) | 一种真空插板开关阀 | |
| CN206898190U (zh) | 快速检测冲压失误的装置 | |
| WO2023197140A1 (zh) | 探针组件、静电吸盘装置、半导体设备及吸附工件的方法 | |
| CN113681580A (zh) | 一种膜片弹簧自动抓取装置 | |
| CN205767682U (zh) | 一种液压机行程限位机构 | |
| CN209981498U (zh) | 一种高频机接点装置 | |
| TW201508299A (zh) | 按鍵測試裝置及方法 | |
| KR101677148B1 (ko) | 그리퍼장치 | |
| JP3084022U (ja) | 環形接触式感応装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20191210 |