CN209754366U - 掩模板修复装置及掩模板张网设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种掩模板修复装置及掩模板张网设备，所述掩模板修复装置，用于修复掩模板，所述掩模板包括精细金属掩模板、多个支撑条和多个遮挡条；所述遮挡条和所述支撑条交叉设置，并位于所述精细金属掩模板的同一侧，且所述支撑条位于所述遮挡条与所述精细金属掩模板之间；所述掩模板修复装置包括：设置于所述精细金属掩模板的远离所述遮挡条的一侧，用于向所述遮挡条吹送气流，以使所述遮挡条与所述精细金属掩模板之间形成供支撑条穿过的间隙的吹风结构。本实用新型所提供的掩模板修复装置及掩模板张网设备，能够改善现有技术中在进行掩模板修复时所存在的对掩模板有效区造成损伤、作业时间长、工作效率低的问题。

Description

掩模板修复装置及掩模板张网设备

技术领域

本实用新型涉及显示技术领域，尤其涉及一种掩模板修复装置及掩模板张网设备。

背景技术

在OLED(Organic Light Emission Display，有机电致发光二极管)显示产品制造技术中，真空蒸镀用的掩模板是至关重要的部件，掩模板的质量直接影响着生产制造成本和产品质量。OLED蒸镀过程用的掩模板主要包括精细金属掩模板(Fine Metal Mask，简称：FMM)、及设置于精细金属掩模板FMM下方的遮挡条(Cover Sheet)和支撑条(HowlingSheet)，其中，精细金属掩模板FMM上具有多个开口，用于蒸镀发光层材料，在蒸镀基板上形成像素图形，精细金属掩模板FMM的四边焊接在掩模板框架上，精细金属掩模板FMM由多个掩模条组成，遮挡条设置在相邻两个掩模条之间的间隙所正对的位置，支撑条设置在遮挡条与精细金属掩模板FMM之间，遮挡条与支撑条横纵交叉设置。

在日常的作业当中，掩膜板上的支撑条损伤或者材料更新时，须更换支撑条。为了降低成本，通常保留未损伤的精细金属掩模板FMM及遮挡条，而仅仅将支撑条去除掉之后，更换新的支撑条上去。

由于精细金属掩模板FMM在上端，遮挡条在下端，支撑条在两者之间，因此，在现有技术中，进行支撑条更换时，会存在以下问题：

1)支撑条在去除时，会用剪刀将其两端从框架上剪掉，支撑条的端部平整度不能保证，极有可能损伤精细金属掩模板FMM和遮挡条的有效区；

2)支撑条去除后，需要从遮挡条与精细金属掩模板FMM之间穿入，在进行穿入时，由于精细金属掩模板FMM与遮挡条紧贴着，需用借助细小工具辅助，由操作人员利用细小工具按下遮挡条，以使遮挡条与精细金属掩模板FMM之间产生间隙，而将支撑条穿入间隙内，这样操作极有可能会因操作力度、操作稳定性等操作不当而损伤遮挡条表面，且支撑条穿入顶端，也可能会损伤有效区；

3)各类掩膜板上精细金属掩模板FMM的掩模条数量不同，利用细小工具按下遮挡条时，需要插入至精细金属掩模板FMM中相邻两掩模条之间的间隙处，故支撑条的穿入作业时间较长；并且，支撑条在穿入过程当中，至少需要三人共同进行操作，一人用细小工具按着遮挡条，一人抓紧支撑条，避免分散，一人在精细金属掩膜板FMM下方，用手指推进，工作效率低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种掩模板修复装置及掩模板张网设备，能够改善现有技术中在进行掩模板修复时所存在的对掩模板有效区造成损伤、作业时间长、工作效率低的问题。

本实用新型所提供的技术方案如下：

本实用新型实施例中提供了一种掩模板修复装置，用于修复掩模板，所述掩模板包括精细金属掩模板、多个支撑条和多个遮挡条；所述遮挡条和所述支撑条交叉设置，并位于所述精细金属掩模板的同一侧，且所述支撑条位于所述遮挡条与所述精细金属掩模板之间；所述掩模板修复装置包括：

设置于所述精细金属掩模板的远离所述遮挡条的一侧，用于向所述遮挡条吹送气流，以使所述遮挡条与所述精细金属掩模板之间形成供支撑条穿过的间隙的吹风结构。

进一步的，所述吹风结构包括：气枪、及用于控制所述气枪的吹风量的第一控制器。

进一步的，所述精细金属掩模板包括沿第一方向依次排列的多个掩模条，相邻两个所述掩模条之间具有空隙，多个所述遮挡条一一对应地设置在各所述空隙所正对的位置；

所述掩模板修复装置包括多个所述吹风结构，至少部分所述吹风结构在所述第一方向上间隔设置，且对应地设置在所述空隙所在位置，用于通过所述空隙向所述遮挡条吹送气流。

进一步的，所述精细金属掩模板包括沿第一方向依次排列的多个掩模条，相邻两个所述掩模条之间具有空隙，多个所述遮挡条一一对应地设置在各所述空隙所正对的位置；

所述掩模板修复装置还包括：

用于移动所述吹风结构，以使所述吹风结构移动至各所述空隙预定位置上的移动机构，所述移动机构与所述吹风结构连接。

进一步的，所述移动机构包括：

用于在第一方向上水平移动所述吹风结构，以使所述吹风结构移动至各所述空隙所在位置的第一移动部；

及，用于在第二方向上水平移动所述吹风结构，以使所述吹风结构移动至与各支撑条在所述第二方向上的待安装位置的第二移动部，所述第一方向与所述第二方向垂直。

进一步的，所述第一移动部包括能够在所述第一方向上水平移动的架体；

所述第二移动部包括设置在所述架体上、沿所述第二方向延伸的轨道；

其中，所述吹风结构设置在所述轨道上，并能够沿所述轨道移动。

进一步的，所述掩模板修复装置还包括：

用于根据预设控制参数，控制所述第一移动部和所述第二移动部移动的第二控制器。

进一步的，所述掩模板还包括框架；所述掩模板修复装置还包括：用于将支撑条的两端焊接于所述框架上的焊接机构。

一种掩模板张网设备，用于掩模板张网，所述掩模板包括框架、及设置于所述框架上的精细金属掩模板、支撑条和遮挡条；所述遮挡条和所述支撑条交叉设置，并位于所述精细金属掩模板一侧，且所述支撑条位于所述遮挡条与所述精细金属掩模板之间；所述掩模板张网设备包括如上所述的掩模板修复装置。

进一步的，所述掩模板张网设备还包括：用于采集所述遮挡条、所述支撑条及所述精细金属掩模板的图像信息的图像采集器，所述图像采集器设置于所述轨道上，并能够在所述轨道上移动。

本实用新型所带来的技术效果如下：

本实用新型所提供的掩模板修复装置及掩模板张网设备，在进行掩模板的支撑条修复时，可利用吹风结构向掩模板的遮挡条上吹送气流，使得遮挡条与精细金属掩模板分离而具有间隙，以使得旧支撑条从该间隙穿出，新支撑条从该间隙穿入，这样，通过气流与遮挡条和精细金属掩模板接触，来代替现有技术中的细小工具按压接触遮挡条的方式，避免了实物与遮挡条和精细金属掩模板直接接触而容易造成掩模板损伤的问题，且吹风结构的气流相较于操作人员按压方式，气流更稳定，不会出现由于按压力度等操作不当而引起对掩模板造成损伤的问题，且可减少旧支撑条的穿出、新支撑条的穿入时间，节省时间，无需专门操作人员按压遮挡条，节省人力，提高工作效率。

附图说明

图1表示蒸镀用的掩模板的结构主视图；

图2表示图1中A-A向断面示意图；

图3表示本实用新型实施例提供的掩模板修复装置在修复支撑条时的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。

如图1和图2所示，OLED显示基板、AMOLED显示基板等显示产品在蒸镀时的掩模板主要包括框架10、精细金属掩模板FMM 20、多个支撑条30及多个遮挡条40，其中，精细金属掩模板FMM 20、支撑条30和遮挡条40均焊接于所述框架10上；且所述遮挡条40和所述支撑条30交叉设置，位于所述精细金属掩模板FMM 20的同一侧，并且所述精细金属掩模板FMM20通常包括沿第一方向X依次排列的多个掩模条21，相邻两个所述掩模条21之间具有空隙22，多个所述遮挡条40一一对应地设置在各所述空隙22所正对的位置，用于遮挡所述空隙22，所述支撑条30与所述遮挡条40交叉，并设置在所述遮挡条40与所述精细金属掩模板FMM20之间。

在所述支撑条30损坏修复或者需要材料更新时，为了降低成本，仅仅更换支撑条30，而保留精细金属掩模板FMM 20和遮挡条40，这样，需要将旧的支撑条30从框架10上去除，更换上新的支撑条30焊接于框架10上，但是，通常，精细金属掩模板FMM 20与遮挡条40紧贴在一起，因此现有技术中利用细小工具从精细金属掩模板FMM 20的多个掩模条21之间的空隙22处按压遮挡条40，以使得两者分离出现间隙，便于将旧支撑条30穿出、及将新支撑条30穿入。但是，这样由于细小工具与遮挡条40和精细金属掩模板FMM 20之间直接接触，会对遮挡条40和精细金属掩模板FMM 20的有效区造成损伤，且按压力度不当、按压位置不稳定等操作不当会极易损伤遮挡条40和精细金属掩模板FMM 20，并且，旧支撑条30穿出、新支撑条30穿入作业时间长，所需人手多，工作效率低。

如图3所示，本实用新型实施例的掩模板修复装置，用于更换所述支撑条30；所述掩模板修复装置包括：吹风结构100，所述吹风结构100设置于所述精细金属掩模板的远离所述遮挡条40的一侧，用于向所述遮挡条40吹送气流，以使所述遮挡条40与所述精细金属掩模板分离，两者之间形成供支撑条30穿过的间隙。

本实用新型所提供的掩模板修复装置，在进行掩模板的支撑条30修复或更换时，可利用吹风结构100透过精细金属掩模板FMM 20，向掩模板的遮挡条40上吹送气流，使得遮挡条40与精细金属掩模板之间具有间隙，以使得旧支撑条30从该间隙穿出去除，新支撑条30从该间隙穿入焊接于框架10，这样，通过气流与遮挡条40和精细金属掩模板接触，来代替现有技术中的细小工具按压接触遮挡条40的方式，避免了实物与遮挡条40和精细金属掩模板接触容易造成损伤的问题，且吹风结构100的气流相较于操作人员按压方式，气流更稳定，不会出现由于按压力度不当、按压位置不稳定等操作不当所引起的对掩模板造成损伤的问题，且通过气流使得遮挡条40与精细金属掩模板FMM20之间分离而出现间隙，可减少旧支撑条30的穿出、新支撑条30的穿入时间，节省作业时间，且无需专门操作人员来按压遮挡条40，节省人力，提高工作效率。

在本实用新型所提供的示例性实施例中，所述吹风结构100包括：气枪、及用于控制所述气枪的吹风量的第一控制器。

采用上述方案，所述吹风结构100采用气枪来向掩模板上吹送气流，气枪的吹风量可根据第一控制器来调节，以对应遮挡条40不同张紧力。其中吹风量不宜过大，过大容易损伤掩模板。

需要说明的是，在遮挡条40与精细金属掩模板FMM 20之间穿出或穿入支撑条30时，需要频繁调整遮挡条40的位置，在上述方案中，所述吹风结构100采用气枪，气枪的吹风量及吹风位置比较精确，容易在遮挡条40位置的调整时，精准地找到合适位置。

当然可以理解的是，在实际应用中，所述吹风结构100也可以是利用其他结构来实现，并不仅局限于气枪，例如，所述吹风结构100还可以是采用吹气管等，在此不一一列举。

此外，在本实用新型所提供的一种示例性的实施例中，所述掩模板修复装置包括多个所述吹风结构100，至少部分所述吹风结构100在所述第一方向X上间隔设置，且对应地设置在所述空隙22所在位置，用于通过所述空隙22向所述遮挡条40吹送气流。

上述实施例中，所述吹风结构100的数量可以有多个，多个吹风结构100在第一方向X上间隔设置，以对应地设置在相邻两个掩模条21之间的空隙22所在位置，而能够通过所述空隙22来向遮挡条40上吹送气流。其中，所述第一方向X为所述支撑条30的设置方向，所述吹风结构100的数量可以是与所述空隙22的数量相同，这样，一个吹风结构100可正对一个空隙22来吹风，此时，所述吹风结构100还可以是在与所述第一方向X垂直的第二方向Y上移动，所述第二方向Y为所述遮挡条40的延伸方向，这样，当更换到框架10的任一根支撑条30时，可以通过在第二方向Y上移动所述吹风结构100，使得吹风结构100移动至该支撑条30与该吹风结构100所对应的遮挡条40的交叉位置点，来对遮挡条40进行吹风；或者，所述吹风结构100可以呈阵列式分布，既在第一方向X上间隔排列，又在第二方向Y上间隔排列，其中一个吹风结构100可对应一个支撑条30与遮挡条40的交叉位置点来设置。

在本实用新型的另一种示例性的实施例中，所述掩模板修复装置还包括：用于移动所述吹风结构100，以使所述吹风结构100移动至各所述空隙22预定位置上的移动机构，所述移动机构与所述吹风结构100连接。

采用上述方案，所述吹风结构100的数量可以有一个或者多个，可以通过移动机构来移动吹风结构100，使得在支撑条30穿出、穿入时，吹风结构100根据需要来移动至各所述空隙22所对应的合适位置上对遮挡条40进行吹风。

在本示例性的实施例中，所述移动机构包括：

用于在第一方向X上水平移动所述吹风结构100，以使所述吹风结构100移动至各所述空隙22所在位置的第一移动部；

及，用于在第二方向Y上水平移动所述吹风结构100，以使所述吹风结构100移动至与各支撑条30在所述第二方向Y上的待安装位置的第二移动部，所述第一方向X与所述第二方向Y垂直。

采用上述方案，所述第一方向X为所述支撑条30的设置方向，所述第二方向Y为所述遮挡条40的设置方向，所述吹风结构100可以通过第一移动部在第一方向X上水平移动，以移动至掩模条21之间的各空隙22所在位置(即，各遮挡条40所在位置)，而所述第二移动部可以在第二方向Y上移动所述吹风结构100，也就是，沿所述空隙22移动，而移动至各支撑条30与遮挡条40的交叉位置点附近，或者，根据实际操作中的需求，来水平两个方向上移动吹风结构100至合适位置。

在本示例性的实施例中，如图3所示，所述第一移动部包括能够在所述第一方向X上水平移动的架体200；所述第二移动部包括设置在所述架体200上、沿所述第二方向Y延伸的轨道300；其中，所述吹风结构100设置在所述轨道300上，并能够沿所述轨道300移动。

以上仅是提供了一种第一移动部和第二移动部的示例性实施例，应当理解的是，在实际应用中，所述第一移动部和所述第二移动部的具体结构并不仅局限于此。

此外，在本实用新型所提供的示例性的实施例中，所述掩模板修复装置还包括：用于根据预设控制参数，控制所述第一移动部和所述第二移动部移动的第二控制器。

采用上述方案，可以根据掩模板的具体结构参数，例如，支撑条30的间距、遮挡条40的间距等参数，预先设置好各吹风结构100的移动参数，从而实现自动控制吹风结构100移动的目的。

此外，在本实用新型所提供的示例性的实施例中，所述掩模板还包括框架10；所述掩模板修复装置还包括：用于将支撑条30的两端焊接于所述框架10上的焊接机构。

采用上述方案，将新支撑条30穿入至遮挡条40与精细金属掩模板之间的合适位置之后，可通过所述焊接机构将支撑条30的两端焊接于框架10上，完成支撑条30的修复作业。

需要说明的是，在掩模板制造工艺中，需要利用掩模板张网设备来对掩模板上的支撑条30和遮挡条40张网于框架10上，本实用新型实施例所提供的掩模板修复装置其可以是设置于该掩模板张网设备内。具体地，在该掩模板张网设备内增设所述吹风结构100来进行支撑条30的修复或更换。

通常，该掩模板张网设备内设置有用于采集所述遮挡条40、所述支撑条30及所述精细金属掩模板的图像信息的图像采集器，所述图像采集器通常可移动，其移动是利用一在第一方向X上可移动的架体200和在架体200上设置的沿第二方向Y延伸的轨道300来实现，本实用新型示例性实施例中所提供的掩模板修复装置中，吹风结构100即设置在该图像采集器的架体200上，并沿该架体200上的轨道300移动。

本实用新型实施例的又一个目的就是提供一种掩模板张网设备，用于掩模板张网，所述掩模板包括框架10、及设置于所述框架10上的精细金属掩模板、支撑条30和遮挡条40；所述遮挡条40和所述支撑条30交叉设置，并位于所述精细金属掩模板的同一侧，且所述支撑条30位于所述遮挡条40与所述精细金属掩模板之间；所述掩模板张网设备包括如上所述的掩模板修复装置。

在上述方案中，本实用新型实施例所提供的掩模板张网设备其可以是内部设置该掩模板修复装置，具体地，在该掩模板张网设备内增设所述吹风结构100来进行支撑条30的修复或更换。显然，该掩模板张网设备具有该掩模板张网设备所能带来的有益效果，在此不再赘述。

并且，优选的，所述掩模板张网设备还包括：用于采集所述遮挡条40、所述支撑条30及所述精细金属掩模板的图像信息的图像采集器，所述图像采集器设置于所述轨道300上，并能够在所述轨道300上移动。

采用上述方案，利用掩模板张网设备自身所具备的、用于移动图像采集器的架体200和轨道300，来作为吹风结构100的第一移动部和第二移动部，只需保证图像采集器与所述吹风结构100在移动时互相不干涉即可，无需为所述吹风结构100单独再设置移动结构，整体设备结构简单，不增加成本。当然可以理解的是，所述吹风结构100的第一移动部和第二移动部也可以是单独设置。

以上所述是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型所述原理的前提下，还可以作出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种掩模板修复装置，用于修复掩模板，所述掩模板包括精细金属掩模板、多个支撑条和多个遮挡条；所述遮挡条和所述支撑条交叉设置，并位于所述精细金属掩模板的同一侧，且所述支撑条位于所述遮挡条与所述精细金属掩模板之间；其特征在于，所述掩模板修复装置包括：

设置于所述精细金属掩模板的远离所述遮挡条的一侧，用于向所述遮挡条吹送气流，以使所述遮挡条与所述精细金属掩模板之间形成供支撑条穿过的间隙的吹风结构。

2.根据权利要求1所述的掩模板修复装置，其特征在于，

所述吹风结构包括：气枪、及用于控制所述气枪的吹风量的第一控制器。

3.根据权利要求1所述的掩模板修复装置，其特征在于，

所述精细金属掩模板包括沿第一方向依次排列的多个掩模条，相邻两个所述掩模条之间具有空隙，多个所述遮挡条一一对应地设置在各所述空隙所正对的位置；

所述掩模板修复装置包括多个所述吹风结构，至少部分所述吹风结构在所述第一方向上间隔设置，且对应地设置在所述空隙所在位置，用于通过所述空隙向所述遮挡条吹送气流。

4.根据权利要求1所述的掩模板修复装置，其特征在于，

所述精细金属掩模板包括沿第一方向依次排列的多个掩模条，相邻两个所述掩模条之间具有空隙，多个所述遮挡条一一对应地设置在各所述空隙所正对的位置；

所述掩模板修复装置还包括：

用于移动所述吹风结构，以使所述吹风结构移动至各所述空隙预定位置上的移动机构，所述移动机构与所述吹风结构连接。

5.根据权利要求4所述的掩模板修复装置，其特征在于，

所述移动机构包括：

用于在第一方向上水平移动所述吹风结构，以使所述吹风结构移动至各所述空隙所在位置的第一移动部；

及，用于在第二方向上水平移动所述吹风结构，以使所述吹风结构移动至与各支撑条在所述第二方向上的待安装位置的第二移动部，所述第一方向与所述第二方向垂直。

6.根据权利要求5所述的掩模板修复装置，其特征在于，

所述第一移动部包括能够在所述第一方向上水平移动的架体；

所述第二移动部包括设置在所述架体上、沿所述第二方向延伸的轨道；

其中，所述吹风结构设置在所述轨道上，并能够沿所述轨道移动。

7.根据权利要求6所述的掩模板修复装置，其特征在于，

所述掩模板修复装置还包括：

用于根据预设控制参数，控制所述第一移动部和所述第二移动部移动的第二控制器。

8.根据权利要求1所述的掩模板修复装置，其特征在于，

所述掩模板还包括框架；所述掩模板修复装置还包括：用于将支撑条的两端焊接于所述框架上的焊接机构。

9.一种掩模板张网设备，用于掩模板张网，所述掩模板包括框架、及设置于所述框架上的精细金属掩模板、多个支撑条和多个遮挡条；所述遮挡条和所述支撑条交叉设置，并位于所述精细金属掩模板的同一侧，且所述支撑条位于所述遮挡条与所述精细金属掩模板之间；其特征在于，所述掩模板张网设备包括如权利要求1至8任一项所述的掩模板修复装置。

10.根据权利要求9所述的掩模板张网设备，其特征在于，所述掩模板修复装置为如权利要求6所述的掩模板修复装置；所述掩模板张网设备还包括：用于采集所述遮挡条、所述支撑条及所述精细金属掩模板的图像信息的图像采集器，所述图像采集器设置于所述轨道上，并能够在所述轨道上移动。