CN209753688U - 一种平面靶材校平装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种平面靶材校平装置，该校平装置通过待校平的平面靶材沿其长度方向进行水平移动，与校平测量装置进行平面度误差测量，取得平面靶材变形处的平面度误差值，并通过手动校平装置对该变形处进行手动抵压校平，结构简单，能够对平面靶材进行快速校平，校平精度高，校平效果好，并且不会损坏平面靶材，从而使平面靶的溅射成膜均匀，成膜与衬底之间的附着力好，提高了平面靶的生产质量。
Description
技术领域
本实用新型涉及平面靶加工技术领域，尤其是涉及一种平面靶材校平装置。
背景技术
平面靶材是板状的，长度长，厚度较薄，刚性差，容易弯曲变形，而且对于一些材料如高纯铜、高纯铝等金属材料制成的高纯平面靶，其靶材强度更差，在平面靶材加工过程中，会对平面靶进行多次吊运，难免会因搬运或应力加工等原因而造成平面靶材的弯曲变形。
平面靶材在进行溅射成膜加工时，平面靶材的平面度误差过大，会导致成膜不均匀，成膜与衬底之间的附着力差等问题。
为保证生产出高质量的平面靶，需提供一种平面靶材校平装置，以保证平面靶材的溅射加工精度，提高平面靶的生产质量。
实用新型内容
针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的是提供一种平面靶材校平装置，能够快速对发生弯曲变形的平面靶材进行物理校平，使用方便，校平精度高，提高了平面靶的溅射加工精度，提高了平面靶的生产质量。
为了实现上述目的，本实用新型所采用的技术方案是：一种平面靶材校平装置，校平装置包括机架、工作台、校平测量装置和手动校平装置，工作台，用于带动待校平的平面靶材沿其长度方向进行水平移动，与手动校平装置进行校平配合，工作台移动安装在机架的中部，工作台的台面活动设置有至少两个用于活动支撑平面靶材的支撑件，各支撑件分别沿工作台的移动方向间隔分布，相邻的两个支撑件之间的区间形成有校平区间，各支撑件的顶部均设置有支撑部，支撑部活动抵顶平面靶材的底面；校平测量装置，用于检测平面靶材的平整度，校平测量装置设置在机架的中部，校平测量装置具有一测量杆，测量杆活动抵顶于该平面靶材的上表面，以测量出平面靶材的平面度公差以及校平量；手动校平装置，用于对平面靶材与各校平区间相应的各个部分进行手工校平，手动校平装置安装在机架的中上部，手动校平装置具有一可以作升降运动的抵压杆，抵压杆位于平面靶材的上方，抵压杆垂直于工作台，抵压杆的端部设置有抵压部，抵压部活动抵压校平区间上的平面靶材，以通过抵压杆下行抵压平面靶材的上凸变形处，对平面靶材进行冷校平，结构简单，精度高。
在进一步的技术方案中，该校平区间的间距设置为30～50cm。
在进一步的技术方案中，各该支撑件均设置为垫板，各垫板相互平行设置，相邻的两块垫板之间的间隔形成该校平区间。
在进一步的技术方案中，该支撑部包括一垫片，垫片固接于该垫板的顶面，垫片的上表面设置为光面，该垫板通过垫片的上表面活动支撑平面靶材，以实现平面靶材进行校平时，平面靶材能够与垫块发生相对位移，不会因摩擦力而损坏平面靶材。
在进一步的技术方案中，该机架的中上部设置有一横架，横架设置有至少两根竖直的导杆，该手动校平装置分别滑动安装于各导杆，手动校平装置与横架之间连接有压缩弹簧装置，横架的中间开设有一通孔，该抵压杆活动穿设于通孔，抵压杆的端部竖直向下延伸至横架的下方，通过压缩弹簧装置降低手动校平装置的最大抵压力，进一步提高了校平装置的可靠性，降低压坏平面靶材的几率。
在进一步的技术方案中，该机架的顶部固定有一顶架，各该导杆的顶端连接顶架，该手动校平装置包括一中板和千斤顶，中板滑动安装于各导杆，该压缩弹簧装置连接于中板和该横架之间，该抵压杆固接于中板的底面，千斤顶固接在中板的顶面，千斤顶具有一液压推杆和手摇柄，手摇柄驱动连接液压推杆，液压推杆的顶端抵顶于顶架，手摇柄的端部向外延伸。
在进一步的技术方案中，该压缩弹簧装置包括多个压缩弹簧，各压缩弹簧分别套设于各该导杆及该抵压杆，各压缩弹簧的两端分别连接该中板和该横架。
在进一步的技术方案中，该校平装置设置有一用于减少该抵压部下压行程的中间垫块，中间垫块活动置放于该平面靶材的顶面，各中间垫块分别位于各该校平区间的中间，抵压部分别下行抵压各中间垫块，以降低抵压杆的下降行程，进一步加快校平的效率，以及避免平面靶材被压坏。
在进一步的技术方案中，该校平测量装置包括一百分表，该机架的中部转动安装有一百分表支架，百分表支架设置有锁定机构，锁定机构连接机架，百分表固定安装于百分表支架，百分表具有一该测量杆，测量杆的端部活动抵顶于该平面靶材的上表面。
采用上述结构后，本实用新型和现有技术相比所具有的优点是：本实用新型提供了一种平面靶材校平装置，通过待校平的平面靶材沿其长度方向进行水平移动，与校平测量装置进行平面度误差测量，取得平面靶材变形处的平面度误差值，并通过手动校平装置对该变形处进行手动抵压校平，结构简单，使用方便，校平精度高，校平效果好，并且不会损坏平面靶材。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的结构示意图。
图2是图1的A处放大图。
图中：
1-机架、11-工作台、111-支撑件、112-支撑部、12-横架、13-导杆、14-顶架、15-百分表支架
21-中板、22-千斤顶、221-液压推杆、222-手摇柄、23-抵压杆、231-抵压部、24-压缩弹簧、25-中间垫块；
31-百分表、32-测量杆；
4-平面靶材。
具体实施方式
以下仅为本实用新型的较佳实施例，并不因此而限定本实用新型的保护范围。
一种平面靶材校平装置，如图1和图2所示，该校平装置包括机架1、工作台11、校平测量装置和手动校平装置，工作台11，用于带动待校平的平面靶材4沿其长度方向进行水平移动，与手动校平装置进行校平配合。工作台11移动安装在机架1的中部，工作台11的台面活动设置有至少两个用于活动支撑平面靶材4的支撑件111，各支撑件111分别沿工作台11的移动方向间隔分布，相邻的两个支撑件111之间的区间形成有校平区间，各支撑件111的顶部均设置有支撑部112，支撑部112活动抵顶平面靶材4的底面；校平测量装置，用于检测平面靶材4的平整度，校平测量装置设置在机架1的中部，校平测量装置具有一测量杆32，测量杆32活动抵顶于平面靶材4的上表面；手动校平装置，用于对平面靶材4与各校平区间相应的各个部分进行手工校平，手动校平装置安装在机架1的中上部，手动校平装置具有一可以作升降运动的抵压杆23，抵压杆23位于平面靶材4的上方，抵压杆23垂直于工作台11，抵压杆23的端部设置有抵压部231，抵压部231活动抵压校平区间上的平面靶材4。
具体地，工作台11带动平面靶材4进行水平移动(本实施例所述的工作台11带动待校平的平面靶材4沿其长度方向进行水平移动，是指，平面靶材4为长方形靶板，平面靶材4的工装方向与工作台11的长度方向对齐)，通过校平测量装置测得平面度误差大于标准值的变形处，把平面靶材4的变形处移动至手动校平装置的抵压杆23的下方，通过抵压杆23下行抵压平面靶材4的变形处进行校平，同时通过校平测量装置测量配合手动控制校平量。结构简单，校平精度高，不会反弹，无须进行多次校平。
校平区间的间距设置为30～50cm。较好的实施方式是，根据平面靶材4的变形处的范围大小而设定，优选的，校平区间的间距大于变形处的范围长度10～20cm。该设定能够保证平面靶材4进行冷校平的过程中，不会对平面靶材4造成二次变形损坏。
具体地，抵压部231可以设置为可替换的零部件，抵压部231的大小规格根据平面靶材4的大小规格而设定装配。
各支撑件111均设置为垫板，各垫板相互平行设置，相邻的两块垫板之间的间隔形成校平区间。
支撑部112包括一垫片，垫片固接于垫板的顶面，垫片的上表面设置为光面，垫板通过垫片的上表面活动支撑平面靶材4。该结构能够使平面靶材4进行下压式的冷校平的过程中，平面靶材4与支撑件111之间能够发生相对位移，避免两者之间产生足以损坏平面靶材4表面的摩擦力。另外，能够保持各支撑件111的高度不会因磨损而造成误差，影响平面靶材4的工装水平度，从而导致校平测量装置所测得的平面度误差与实际不符。
机架1的中上部设置有一横架12，横架12设置有至少两根竖直的导杆13，手动校平装置分别滑动安装于各导杆13，手动校平装置与横架12之间连接有压缩弹簧装置，横架12的中间开设有一通孔，抵压杆23活动穿设于通孔，抵压杆23的端部竖直向下延伸至横架12的下方。该结构通过手动校平装置与横架12之间连接的压缩弹簧装置，降低抵压杆23的抵压作用力，避免了用于平面靶材4的校正抵压力过大而压坏平面靶材4。
机架1的顶部固定有一顶架14，各导杆13的顶端连接顶架14，手动校平装置包括一中板21和千斤顶22，中板21滑动安装于各导杆13，压缩弹簧装置连接于中板21和横架12之间，抵压杆23固接于中板21的底面，千斤顶22固接在中板21的顶面，具体地，千斤顶22选用额载为5N的千斤顶22，千斤顶22具有一液压推杆221和手摇柄222，手摇柄222驱动连接液压推杆221，液压推杆221的顶端抵顶于顶架14，手摇柄222的端部向外延伸。通过手动操作的手动校平装置的手摇柄222驱动控制抵压杆23的下行低压运动，能够更好的把控平面靶材4的校平量，不会出现校平延迟而导致校平量过度，进一步提高了校平装置的可靠性和精准度。
压缩弹簧装置包括多个压缩弹簧24，各压缩弹簧24分别套设于各导杆13及抵压杆23，各压缩弹簧24的两端分别连接中板21和横架12。
校平装置设置有一用于减少抵压部231下压行程的中间垫块25，中间垫块25活动置放于平面靶材4的顶面，各中间垫块25分别位于各校平区间的中间，抵压部231分别下行抵压各中间垫块25。该结构能够有效降低抵压杆23的下行行程，加快校平的速度，提高生产效率。
较好的实施方式是，校平测量装置包括一百分表31，机架1的中部转动安装有一百分表支架15，百分表支架15设置有锁定机构，锁定机构连接机架1，百分表31固定安装于百分表支架15，百分表具有一测量杆32，测量杆32的端部活动抵顶于平面靶材4的上表面。当然，校平测量装置也可以选用红外测量装置或偏摆仪或数据采集仪等即时测量装置，此处不作详述。
本实施例所提供的一种平面靶材校平装置有以下有益效果：该校平装置通过待校平的平面靶材4沿其长度方向进行水平移动，与校平测量装置进行平面度误差测量，取得平面靶材4变形处的平面度误差值，并通过手动校平装置对该变形处进行手动抵压校平，结构简单，能够对平面靶材4进行快速校平，校平精度高，校平效果好，并且不会损坏平面靶材4，还能使平面靶的溅射成膜均匀，成膜与衬底之间的附着力好，提高了平面靶的生产质量。
以上内容仅为本实用新型的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本实用新型的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本实用新型的限制。
Claims (9)
1.一种平面靶材校平装置，其特征在于：校平装置包括机架(1)、工作台(11)、校平测量装置和手动校平装置，
工作台(11)，用于带动待校平的平面靶材(4)沿其长度方向进行水平移动，与手动校平装置进行校平配合，工作台(11)移动安装在机架(1)的中部，工作台(11)的台面活动设置有至少两个用于活动支撑平面靶材(4)的支撑件(111)，各支撑件(111)分别沿工作台(11)的移动方向间隔分布，相邻的两个支撑件(111)之间的区间形成有校平区间，各支撑件(111)的顶部均设置有支撑部(112)，支撑部(112)活动抵顶平面靶材(4)的底面；
校平测量装置，用于检测平面靶材(4)的平整度，校平测量装置设置在机架(1)的中部，校平测量装置具有一测量杆(32)，测量杆(32)活动抵顶于所述平面靶材(4)的上表面；
手动校平装置，用于对平面靶材(4)与各校平区间相应的各个部分进行手工校平，手动校平装置安装在机架(1)的中上部，手动校平装置具有一可以作升降运动的抵压杆(23)，抵压杆(23)位于平面靶材(4)的上方，抵压杆(23)垂直于工作台(11)，抵压杆(23)的端部设置有抵压部(231)，抵压部(231)活动抵压校平区间上的平面靶材(4)。
2.根据权利要求1所述的一种平面靶材校平装置，其特征在于：所述校平区间的间距设置为30～50cm。
3.根据权利要求2所述的一种平面靶材校平装置，其特征在于：各所述支撑件(111)均设置为垫板，各垫板相互平行设置，相邻的两块垫板之间的间隔形成所述校平区间。
4.根据权利要求3所述的一种平面靶材校平装置，其特征在于：所述支撑部(112)包括一垫片，垫片固接于所述垫板的顶面，垫片的上表面设置为光面，所述垫板通过垫片的上表面活动支撑平面靶材(4)。
5.根据权利要求1至4任一项所述的一种平面靶材校平装置，其特征在于：所述机架(1)的中上部设置有一横架(12)，横架(12)设置有至少两根竖直的导杆(13)，所述手动校平装置分别滑动安装于各导杆(13)，手动校平装置与横架(12)之间连接有压缩弹簧装置，
横架(12)的中间开设有一通孔，所述抵压杆(23)活动穿设于通孔，抵压杆(23)的端部竖直向下延伸至横架(12)的下方。
6.根据权利要求5所述的一种平面靶材校平装置，其特征在于：所述机架(1)的顶部固定有一顶架(14)，各所述导杆(13)的顶端连接顶架(14)，
所述手动校平装置包括一中板(21)和千斤顶(22)，中板(21)滑动安装于各导杆(13)，所述压缩弹簧装置连接于中板(21)和所述横架(12)之间，所述抵压杆(23)固接于中板(21)的底面，千斤顶(22)固接在中板(21)的顶面，千斤顶(22)具有一液压推杆(221)和手摇柄(222)，手摇柄(222)驱动连接液压推杆(221)，液压推杆(221)的顶端抵顶于顶架(14)，手摇柄(222)的端部向外延伸。
7.根据权利要求6所述的一种平面靶材校平装置，其特征在于：所述压缩弹簧装置包括多个压缩弹簧(24)，各压缩弹簧(24)分别套设于各所述导杆(13)及所述抵压杆(23)，各压缩弹簧(24)的两端分别连接所述中板(21)和所述横架(12)。
8.根据权利要求1所述的一种平面靶材校平装置，其特征在于：所述校平装置设置有一用于减少所述抵压部(231)下压行程的中间垫块(25)，中间垫块(25)活动置放于所述平面靶材(4)的顶面，各中间垫块(25)分别位于各所述校平区间的中间，抵压部(231)分别下行抵压各中间垫块(25)。
9.根据权利要求1所述的一种平面靶材校平装置，其特征在于：所述校平测量装置包括一百分表(31)，所述机架(1)的中部转动安装有一百分表支架(15)，百分表支架(15)设置有锁定机构，锁定机构连接机架(1)，百分表(31)固定安装于百分表支架(15)，百分表具有一所述测量杆(32)，测量杆(32)的端部活动抵顶于所述平面靶材(4)的上表面。
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