CN209747463U - 送膜装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种送膜装置，包括贴膜切膜台、原料膜供应组件、废膜收卷组件、设于贴膜切膜台与原料膜供应组件之间且用于分离干膜与底膜的分膜辊、设于贴膜切膜台的调节组件、以及底膜收卷组件；贴膜切膜台开设有安装长孔，调节组件包括调节辊、调节杆、以及弹性件。原料膜供应组件输送的原料膜在分膜辊处分离为干膜与底膜，底膜收卷组件将底膜卷绕收集，干膜继续运动至贴膜切膜台并与贴膜切膜台上设置的调节组件相配合，干膜移动过程中与调节辊的下表面接触，弹性件通过调节杆持续向调节辊施加压力，进而实现安装在安装长孔的调节辊时刻对干膜施加压力，使得干膜持续保持张紧状态，避免干膜处于松弛状态并影响干膜贴附于晶圆的平整性。

Description

送膜装置

技术领域

本实用新型涉及贴膜设备领域，尤其涉及一种送膜装置。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。

现有的如晶圆等产品的生产过程中，需要对成品进行贴膜处理，通常为干膜贴附于晶圆表面，然后沿晶圆的边缘切割使得晶圆与干膜分离，并使得干膜变成废膜，卷绕的原料膜上的干膜需要与底膜脱离后并移动至晶圆的正上方才可进行贴膜，但干膜在移动过程中容易松弛，进而影响干膜与晶圆贴覆的平整性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种送膜装置，旨在解决现有技术中，干膜在移动过程中容易松弛的问题。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

送膜装置，包括贴膜切膜台、设于所述贴膜切膜台一侧的原料膜供应组件、设于所述贴膜切膜台另一侧的废膜收卷组件、设于所述贴膜切膜台与所述原料膜供应组件之间且用于分离干膜与底膜的分膜辊、设于所述贴膜切膜台的调节组件、以及底膜收卷组件；所述贴膜切膜台开设有安装长孔，所述调节组件包括端部位于所述安装长孔的调节辊、与所述贴膜切膜台滑动连接且与所述调节辊相抵接的调节杆、以及设于所述调节杆与所述贴膜切膜台之间的弹性件。

进一步地，所述贴膜切膜台于所述安装长孔的内壁开设有滑动孔，所述弹性件设于所述滑动孔内，所述调节杆远离所述调节辊的一端位于所述滑动孔内并与所述弹性件接触设置。

进一步地，所述调节辊的端部的侧表面具有接触平面，所述调节杆于所述接触平面与所述调节辊相抵接。

进一步地，所述调节辊的端部的侧表面开设有调节凹槽，所述调节杆伸入所述调节凹槽并与所述调节凹槽的底部相抵接。

进一步地，所述安装长孔内的内壁设有若干转动钢珠。

进一步地，所述弹性件为弹簧。

进一步地，所述贴膜切膜台设有用于将干膜贴附于晶圆的贴膜机构、以及对干膜进行切割的切膜组件。

进一步地，所述原料膜供应组件包括送膜支架、与所述送膜支架转动连接第一气涨轴、用于驱动所述第一气涨轴转动的第一转动驱动件、以及设于所述送膜支架的多个第一张紧辊。

进一步地，所述废膜收卷组件包括送膜支架、与所述送膜支架转动连接的第二气涨轴、用于驱动所述第二气涨轴转动的第二转动驱动件、以及设于所述贴膜切膜台的第二张紧辊。

进一步地，所述底膜收卷组件包括送膜支架、与所述送膜支架转动连接第三气涨轴、用于驱动所述第三气涨轴转动的第三转动驱动件、以及设于所述送膜支架的多个第三张紧辊。

本实用新型的有益效果：原料膜供应组件输送的原料膜在分膜辊处分离为干膜与底膜，底膜收卷组件将底膜卷绕收集，干膜继续运动至贴膜切膜台并与贴膜切膜台上设置的调节组件相配合，干膜移动过程中与调节辊的下表面接触，弹性件通过调节杆持续向调节辊施加压力，进而实现安装在安装长孔的调节辊时刻对干膜施加压力，使得干膜持续保持张紧状态，避免干膜处于松弛状态并影响干膜贴附于晶圆的平整性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的实施例中送膜装置的第一视角的结构示意图；

图2为图1中A处的局部放大图；

图3为本实用新型的实施例中送膜装置的第二视角的结构示意图；

图4为图3中B处的局部放大图；

图中：

400、原料膜；4001、干膜；40011、废膜；4002、底膜；

1、贴膜切膜台；101、安装长孔；102、贴膜机构；103、切膜组件；2、原料膜供应组件；201、第一气涨轴；202、第一张紧辊；3、废膜收卷组件；301、第二气涨轴；302、第二张紧辊；4、分膜辊；5、调节组件；501、调节辊；5011、接触平面；502、调节杆；503、弹性件；6、底膜收卷组件；601、第三气涨轴；602、第三张紧辊；7、送膜支架。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

以下结合具体实施例对本实用新型的实现进行详细的描述。

如图1-图4所示，本实用新型实施例提出了一种送膜装置，包括贴膜切膜台1、设于贴膜切膜台1一侧的原料膜供应组件2、设于贴膜切膜台1另一侧的废膜收卷组件3、设于贴膜切膜台1与原料膜供应组件2之间且用于分离干膜4001与底膜4002的分膜辊4、设于贴膜切膜台1的调节组件5、以及底膜收卷组件6；贴膜切膜台1开设有安装长孔101，调节组件5包括端部位于安装长孔101的调节辊501、与贴膜切膜台1滑动连接且与调节辊501相抵接的调节杆502、以及设于调节杆502与贴膜切膜台1之间的弹性件503。

在本实用新型的实施例中，送膜装置为贴膜切膜台1输送干膜4001的过程为：原料膜供应组件2输送的原料膜400在分膜辊4处分离为干膜4001与底膜4002，底膜收卷组件6将底膜4002卷绕收集，干膜4001继续运动至贴膜切膜台1并与贴膜切膜台1上设置的调节组件5相配合，干膜4001移动过程中与调节辊501的下表面接触，弹性件503通过调节杆502持续向调节辊501施加压力，进而实现安装在安装长孔101的调节辊501时刻对干膜4001施加压力，使得干膜4001持续保持张紧状态，避免干膜4001处于松弛状态并影响干膜4001贴附于晶圆的平整性；干膜4001在贴膜切膜台1先通过贴膜机构102与晶圆贴合，再通过切膜组件103沿晶圆的边缘将干膜4001切除，使得晶圆与干膜4001整体分离，干膜4001形成废膜40011，废膜40011继续运动并被废膜收卷组件3卷绕收集，进而完成干膜4001的送膜。

进一步地，请参阅图4，作为本实用新型提供的送膜装置的另一种具体实施方式，贴膜切膜台1于安装长孔101的内壁开设有滑动孔，弹性件503设于滑动孔内，调节杆502远离调节辊501的一端位于滑动孔内并与弹性件503接触设置。将调节杆502远离调节辊501的一端位于滑动孔内并与弹性件503接触设置，使得滑动孔可作为调节杆502移动时的导向孔，调节杆502只沿其自身的轴线方向向调节辊501施力，调节杆502所受的反作用力也只沿其自身的轴线方向，避免了调节杆502受力的偏转。

进一步地，请参阅图4，作为本实用新型提供的送膜装置的另一种具体实施方式，调节辊501的端部的侧表面具有接触平面5011，调节杆502于接触平面5011与调节辊501相抵接。调节杆502于接触平面5011与调节辊501相抵接，避免调节杆502相对调节辊501的表面滑动。

进一步地，作为本实用新型提供的送膜装置的另一种具体实施方式，调节辊501的端部的侧表面开设有调节凹槽，调节杆502伸入调节凹槽并与调节凹槽的底部相抵接，避免调节杆502脱离调节辊501的上表面。

进一步地，作为本实用新型提供的送膜装置的另一种具体实施方式，安装长孔101内的内壁设有若干转动钢珠。调节辊501受调节杆502的压力于安装长孔101内滑动时与转动钢珠的表面基础，减小了调节辊501与安装长孔101的内壁之间的摩擦力。

进一步地，请参阅图2，作为本实用新型提供的送膜装置的另一种具体实施方式，弹性件503为弹簧。

进一步地，请参阅图1，作为本实用新型提供的送膜装置的另一种具体实施方式，贴膜切膜台1设有用于将干膜4001贴附于晶圆的贴膜机构102、以及对干膜4001进行切割的切膜组件103。贴膜机构102及切膜组件103均为现有技术，贴膜机构102将干膜4001压紧贴覆与晶圆的表面，切膜组件103沿晶圆的边缘对干膜4001进行切割，使得晶圆脱离干膜4001。

进一步地，请参阅图1，作为本实用新型提供的送膜装置的另一种具体实施方式，原料膜供应组件2包括送膜支架7、与送膜支架7转动连接第一气涨轴201、用于驱动第一气涨轴201转动的第一转动驱动件、以及设于送膜支架7的多个第一张紧辊202。第一转动驱动件(可为电机)带动第一气涨轴201转动完成原料膜400的释放，原料膜400于各个第一张紧辊202之间环绕并移动至分膜辊4。

进一步地，请参阅图1，作为本实用新型提供的送膜装置的另一种具体实施方式，废膜收卷组件3包括送膜支架7、与送膜支架7转动连接的第二气涨轴301、用于驱动第二气涨轴301转动的第二转动驱动件、以及设于贴膜切膜台1的第二张紧辊302。第二转动驱动件(可为电机)带动第二气涨轴301转动完成废膜40011的收卷。

进一步地，请参阅图1，作为本实用新型提供的送膜装置的另一种具体实施方式，底膜收卷组件6包括送膜支架7、与送膜支架7转动连接第三气涨轴601、用于驱动第三气涨轴601转动的第三转动驱动件、以及设于送膜支架7的多个第三张紧辊602。第三转动驱动件(可为电机)带动第三气涨轴601转动完成底膜4002的收卷。

需要声明的是，另一种具体实施方式中的方案可为在其他实施例的基础上进一步改进的实施方案。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.送膜装置，其特征在于，包括贴膜切膜台、设于所述贴膜切膜台一侧的原料膜供应组件、设于所述贴膜切膜台另一侧的废膜收卷组件、设于所述贴膜切膜台与所述原料膜供应组件之间且用于分离干膜与底膜的分膜辊、设于所述贴膜切膜台的调节组件、以及底膜收卷组件；所述贴膜切膜台开设有安装长孔，所述调节组件包括端部位于所述安装长孔的调节辊、与所述贴膜切膜台滑动连接且与所述调节辊相抵接的调节杆、以及设于所述调节杆与所述贴膜切膜台之间的弹性件。

2.根据权利要求1所述的送膜装置，其特征在于，所述贴膜切膜台于所述安装长孔的内壁开设有滑动孔，所述弹性件设于所述滑动孔内，所述调节杆远离所述调节辊的一端位于所述滑动孔内并与所述弹性件接触设置。

3.根据权利要求1所述的送膜装置，其特征在于，所述调节辊的端部的侧表面具有接触平面，所述调节杆于所述接触平面与所述调节辊相抵接。

4.根据权利要求1所述的送膜装置，其特征在于，所述调节辊的端部的侧表面开设有调节凹槽，所述调节杆伸入所述调节凹槽并与所述调节凹槽的底部相抵接。

5.根据权利要求1所述的送膜装置，其特征在于，所述安装长孔内的内壁设有若干转动钢珠。

6.根据权利要求1-5任一项所述的送膜装置，其特征在于，所述弹性件为弹簧。

7.根据权利要求1-5任一项所述的送膜装置，其特征在于，所述贴膜切膜台设有用于将干膜贴附于晶圆的贴膜机构、以及对干膜进行切割的切膜组件。

8.根据权利要求1-5任一项所述的送膜装置，其特征在于，所述原料膜供应组件包括送膜支架、与所述送膜支架转动连接第一气涨轴、用于驱动所述第一气涨轴转动的第一转动驱动件、以及设于所述送膜支架的多个第一张紧辊。

9.根据权利要求1-5任一项所述的送膜装置，其特征在于，所述废膜收卷组件包括送膜支架、与所述送膜支架转动连接的第二气涨轴、用于驱动所述第二气涨轴转动的第二转动驱动件、以及设于所述贴膜切膜台的第二张紧辊。

10.根据权利要求1-5任一项所述的送膜装置，其特征在于，所述底膜收卷组件包括送膜支架、与所述送膜支架转动连接第三气涨轴、用于驱动所述第三气涨轴转动的第三转动驱动件、以及设于所述送膜支架的多个第三张紧辊。