CN209747461U - 拉平装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种拉平装置，包括拉平支架、与拉平支架转动连接的压平导辊、设于拉平支架的拉平安装座、以及设于拉平安装座上的至少两个拉平机构；拉平机构包括与拉平安装座滑动连接的竖直驱动件、设于竖直驱动件的输出端且与压平导辊相对应的拉平压板、以及用于驱动竖直驱动件于压平导辊的轴线方向相对拉平安装座滑动的横向驱动组件。干膜于压平导辊的上表面移动，当干膜具有褶皱现象时，设置在拉平安装座上的两个或者其中两个拉平机构从干膜的中部压住干膜并开始向相反的方向运动实现对干膜施加两侧的力并将干膜压平；进而实现将在移动至晶圆的上表面过程中发生褶皱的干膜压平，保证贴膜的平整性。

Description

拉平装置

技术领域

本实用新型涉及贴膜设备领域，尤其涉及一种拉平装置。

背景技术

晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆；在硅晶片上可加工制作成各种电路元件结构，而成为有特定电性功能的集成电路产品。

现有的如晶圆等产品的生产过程中，需要对成品进行贴膜处理，通常为卷绕的干膜(卷绕的干膜撕掉底膜后进行贴膜)贴附于晶圆表面，卷绕的干膜展开移动至晶圆的上表面进行贴膜，但干膜在移动至晶圆的上表面过程中容易发生褶皱，进而影响干膜与晶圆贴覆的平整性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种拉平装置，旨在解决现有技术中，干膜在移动至晶圆的上表面过程中容易发生褶皱，进而影响干膜与晶圆贴覆的平整性的问题。

为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：

拉平装置，包括拉平支架、与所述拉平支架转动连接的压平导辊、设于所述拉平支架的拉平安装座、以及设于所述拉平安装座上的至少两个拉平机构；所述拉平机构包括与所述拉平安装座滑动连接的竖直驱动件、设于所述竖直驱动件的输出端且与所述压平导辊相对应的拉平压板、以及用于驱动所述竖直驱动件于所述压平导辊的轴线方向相对所述拉平安装座滑动的横向驱动组件。

进一步地，所述横向驱动组件包括与所述竖直驱动件相连的丝杠螺母、与所述丝杠螺母相配合的丝杠轴、以及设于所述拉平安装座且用于驱动所述丝杠轴转动的第一拉平电机。

进一步地，所述拉平机构还包括设于所述竖直驱动件与所述拉平安装座之间的拉平滑块，所述拉平滑块与所述拉平安装座滑动连接，所述竖直驱动件通过所述拉平滑块与所述拉平安装座滑动连接。

进一步地，所述横向驱动组件包括设于所述拉平滑块的第二拉平电机、设于所述拉平安装座的拉平齿条、以及设于所述第二拉平电机的输出轴且与所述拉平齿条相啮合的拉平齿轮。

进一步地，所述拉平安装座上设有拉平导轨，所述拉平滑块与所述拉平导轨滑动连接。

进一步地，所述竖直驱动件为拉平气缸，所述拉平压板与所述拉平气缸的活塞杆相连。

进一步地，所述拉平压板靠近所述压平导辊的一侧的表面设有与所述压平导辊相对应的拉平凹槽。

进一步地，所述压平导辊设有与所述拉平压板相接触的拉平柔性件。

进一步地，所述拉平支架包括相对且间隔设置的两个拉平固定座；所述压平导辊位于两个所述拉平固定座之间并与所述拉平固定座转动连接。

进一步地，所述拉平固定座开设有拉平转动孔，所述拉平转动孔内设有拉平轴承，所述拉平轴承套设于所述压平导辊的外部。

本实用新型的有益效果：干膜于压平导辊的上表面移动，当干膜具有褶皱现象时，设置在拉平安装座上的两个或者其中两个拉平机构从干膜的中部压住干膜并开始向相反的方向运动实现对干膜施加两侧的力并将干膜压平；进而实现将在移动至晶圆的上表面过程中发生褶皱的干膜压平，保证贴膜的平整性。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型的实施例中拉平装置的结构示意图；

图2为图1中A处的局部放大图；

图中：

1、拉平支架；11、拉平固定座；111、拉平转动孔；2、压平导辊；21、拉平柔性件；3、拉平安装座；4、拉平机构；41、竖直驱动件；42、拉平压板；421、拉平凹槽；43、横向驱动组件；431、第一拉平电机；44、拉平滑块；5、拉平轴承。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。

需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

以下结合具体实施例对本实用新型的实现进行详细的描述。

如图1-图2所示，本实用新型实施例提出了一种拉平装置，包括拉平支架1、与拉平支架1转动连接的压平导辊2、设于拉平支架1的拉平安装座3、以及设于拉平安装座3上的至少两个拉平机构4；拉平机构4包括与拉平安装座3滑动连接的竖直驱动件41、设于竖直驱动件41的输出端且与压平导辊2相对应的拉平压板42、以及用于驱动竖直驱动件41于压平导辊2的轴线方向相对拉平安装座3滑动的横向驱动组件43。

在本实用新型的实施例中，干膜于压平导辊2的上表面移动，当干膜具有褶皱现象时，设置在拉平安装座3上的两个或者其中两个拉平机构4从干膜的中部压住干膜并开始向相反的方向运动实现对干膜施加两侧的力并将干膜压平；进而实现将在移动至晶圆的上表面过程中发生褶皱的干膜压平，保证贴膜的平整性；拉平机构4对干膜施力的过程为：竖直驱动件41带动拉平压板42向靠近压平导辊2的方向移动并将与压平导辊2的上表面的干膜接触，使得拉平压板42对干膜施加一定的压力，然后两个或者其中两个拉平机构4的横向驱动组件43带动其对应的竖直驱动件41沿压平导辊2的轴线方向运动，且两个或者其中两个拉平机构4的竖直驱动件41的运动方向相反，与竖直驱动件41相连的拉平压板42随着竖直驱动件41移动且两个拉平压板42的运动方向相反，进而实现拉平压板42将褶皱的干膜拉平。

进一步地，请参阅图1，作为本实用新型提供的拉平装置的另一种具体实施方式，横向驱动组件43包括与竖直驱动件41相连的丝杠螺母、与丝杠螺母相配合的丝杠轴、以及设于拉平安装座3且用于驱动丝杠轴转动的第一拉平电机431。第一拉平电机431通过丝杠轴与丝杠螺母组成的丝杠副带动竖直驱动件41沿压平导辊2的轴线方向运动。

进一步地，请参阅图1，作为本实用新型提供的拉平装置的另一种具体实施方式，拉平机构4还包括设于竖直驱动件41与拉平安装座3之间的拉平滑块44，拉平滑块44与拉平安装座3滑动连接，竖直驱动件41通过拉平滑块44与拉平安装座3滑动连接。竖直驱动件41通过拉平滑块44与拉平安装座3滑动连接，因此竖直驱动件41可伸出于拉平安装座3并使得拉平压板42位于压平导辊2的正上方，使得竖直驱动件41可位于拉平安装座3的侧面，无需将竖直驱动件41安装于拉平安装座3的下表面，简化了拉平装置整体的结构。

进一步地，请参阅图1，作为本实用新型提供的拉平装置的另一种具体实施方式，横向驱动组件43包括设于拉平滑块44的第二拉平电机、设于拉平安装座3的拉平齿条、以及设于第二拉平电机的输出轴且与拉平齿条相啮合的拉平齿轮。设于拉平滑块44的第二拉平电机带动拉平齿轮转动，使得拉平齿轮与拉平齿条之间具有相互作用力，进而带动与拉平滑块44相连的竖直驱动件41沿压平导辊2的轴线方向运动。

进一步地，请参阅图1，作为本实用新型提供的拉平装置的另一种具体实施方式，拉平安装座3上设有拉平导轨，拉平滑块44与拉平导轨滑动连接。拉平滑块44与拉平导轨滑动连接进而实现与拉平安装座3的滑动连接，可在拉平滑块44上设置滑动凹槽，在拉平导轨上设置与滑动凹槽相配合的滑动凸起，使得拉平滑块44只能相对拉平导轨沿拉平导轨的长度方向移动。

进一步地，请参阅图1，作为本实用新型提供的拉平装置的另一种具体实施方式，竖直驱动件41为拉平气缸，拉平压板42与拉平气缸的活塞杆相连。拉平气缸的活塞杆的伸缩带动拉平压板42的上下运动。于其他实施例中，竖直驱动件41也可为电机与丝杠轴或者齿轮齿条结构带动拉平压板42沿竖直方向运动。

进一步地，请参阅图1，作为本实用新型提供的拉平装置的另一种具体实施方式，拉平压板42靠近压平导辊2的一侧的表面设有与压平导辊2相对应的拉平凹槽421。拉平凹槽421为与压平导辊2的表面相对应的圆弧槽，使得拉平压板42与干膜的接触面积增加，拉平压板42对干膜的实力面积也增加，提升将干膜拉平的效率与效果。

进一步地，请参阅图1，作为本实用新型提供的拉平装置的另一种具体实施方式，压平导辊2设有与拉平压板42相接触的拉平柔性件21。拉平柔性件21具有一定的摩擦力，拉平压板42拉平干膜时，干膜不会相对压平导辊2滑动，只完成拉平压板42将干膜拉平，提升拉平的效果。拉平柔性件21可为硅胶等部件。

进一步地，请参阅图1，作为本实用新型提供的拉平装置的另一种具体实施方式，拉平支架1包括相对且间隔设置的两个拉平固定座11；压平导辊2位于两个拉平固定座11之间并与拉平固定座11转动连接。干膜从两个拉平固定座11指间的间隙通过并与压平导辊2的上表面接触。

进一步地，请参阅图2，作为本实用新型提供的拉平装置的另一种具体实施方式，拉平固定座11开设有拉平转动孔111，拉平转动孔111内设有拉平轴承5，拉平轴承5套设于压平导辊2的外部，也即压平导辊2通过拉平轴承5与拉平固定座11转动连接，极大的降低了压平导辊2与拉平固定座11之间的摩擦力，因此干膜移动过程中可带动压平导辊2相对拉平固定座11转动，降低了干膜与压平导辊2之间的摩擦力，便于干膜的移动。

需要声明的是，另一种具体实施方式中的方案可为在其他实施例的基础上进一步改进的实施方案。

显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。

Claims (10)

1.拉平装置，其特征在于，包括拉平支架、与所述拉平支架转动连接的压平导辊、设于所述拉平支架的拉平安装座、以及设于所述拉平安装座上的至少两个拉平机构；所述拉平机构包括与所述拉平安装座滑动连接的竖直驱动件、设于所述竖直驱动件的输出端且与所述压平导辊相对应的拉平压板、以及用于驱动所述竖直驱动件于所述压平导辊的轴线方向相对所述拉平安装座滑动的横向驱动组件。

2.根据权利要求1所述的拉平装置，其特征在于，所述横向驱动组件包括与所述竖直驱动件相连的丝杠螺母、与所述丝杠螺母相配合的丝杠轴、以及设于所述拉平安装座且用于驱动所述丝杠轴转动的第一拉平电机。

3.根据权利要求1所述的拉平装置，其特征在于，所述拉平机构还包括设于所述竖直驱动件与所述拉平安装座之间的拉平滑块，所述拉平滑块与所述拉平安装座滑动连接，所述竖直驱动件通过所述拉平滑块与所述拉平安装座滑动连接。

4.根据权利要求3所述的拉平装置，其特征在于，所述横向驱动组件包括设于所述拉平滑块的第二拉平电机、设于所述拉平安装座的拉平齿条、以及设于所述第二拉平电机的输出轴且与所述拉平齿条相啮合的拉平齿轮。

5.根据权利要求3所述的拉平装置，其特征在于，所述拉平安装座上设有拉平导轨，所述拉平滑块与所述拉平导轨滑动连接。

6.根据权利要求1所述的拉平装置，其特征在于，所述竖直驱动件为拉平气缸，所述拉平压板与所述拉平气缸的活塞杆相连。

7.根据权利要求1-6任一项所述的拉平装置，其特征在于，所述拉平压板靠近所述压平导辊的一侧的表面设有与所述压平导辊相对应的拉平凹槽。

8.根据权利要求1-6任一项所述的拉平装置，其特征在于，所述压平导辊设有与所述拉平压板相接触的拉平柔性件。

9.根据权利要求1-6任一项所述的拉平装置，其特征在于，所述拉平支架包括相对且间隔设置的两个拉平固定座；所述压平导辊位于两个所述拉平固定座之间并与所述拉平固定座转动连接。

10.根据权利要求9所述的拉平装置，其特征在于，所述拉平固定座开设有拉平转动孔，所述拉平转动孔内设有拉平轴承，所述拉平轴承套设于所述压平导辊的外部。