CN209717360U - 一种金刚石研磨液供给装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种金刚石研磨液供给装置，包括内设空腔呈长方体结构的底座，所述底座的上表面中部开有圆孔，且底座的底部内壁靠近圆孔的正下方设置有支撑座，所述支撑座的顶端设置有环形安装座，且环形安装座的顶端转动连接有转动托盘，所述转动托盘的顶端预留有凹槽，且转动托盘的顶端设置有呈圆环状结构的托盘盖，所述底座相向的两侧均滑动连接有滑动块，且两个滑动块的顶端均固定固定架。本实用新型中，在斜孔内的研磨液向下流动的时候可以先聚集在基板的上表面中部，之后随着转动的研磨盘，在离心力的作用下被均匀地分散至周边部位，环形挡圈可以将研磨液拦在特制研磨盘的上表面防止其洒向外界。
Description
技术领域
本实用新型涉及打磨装置技术领域，尤其涉及一种金刚石研磨液供给装置。
背景技术
但是，在现有的基板研磨装置中，因为若从基板的外侧供给研磨液，则研磨液通过基板及研磨垫的旋转被从外面向中心供给，所以基板的边缘部分的研磨液供给量多于中心部分，并且很难将研磨液的量均匀地供给于基板整个面。
随着基板的尺寸逐渐大面积化，利用现有的研磨液供给方式很难均匀地供给研磨液。例如，在为了将研磨液供应于大面积的基板而设置多个喷嘴的情况下，从多个喷嘴供应研磨液的区域相互重叠，从而研磨液的供应量会变得不均匀。此外，为了将研磨液供应于大面积的基板，从喷嘴供应出的研磨液的喷射量过多，从而研磨液的消耗量变多，并且在基板的边缘和中心部分的研磨液供给量的差异变得更大。因此就需要一种可以方便将研磨液输送至基板的表面使其均匀分布的装置。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种金刚石研磨液供给装置。
为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：
一种金刚石研磨液供给装置，包括内设空腔呈长方体结构的底座，所述底座的上表面中部开有圆孔，且底座的底部内壁靠近圆孔的正下方设置有支撑座，所述支撑座的顶端设置有环形安装座，且环形安装座的顶端转动连接有转动托盘，所述转动托盘的顶端预留有凹槽，且转动托盘的顶端设置有呈圆环状结构的托盘盖，所述底座相向的两侧均滑动连接有滑动块，且两个滑动块的顶端均固定固定架，两个所述固定架的顶端之间设置有两根开口相对且互相平行的槽钢滑轨，两根所述槽钢滑轨之间滑动连接有同一个矩形滑框，且矩形滑框的中间套接有电机箱，所述电机箱内设置有打磨机，且打磨机的输出轴顶端设置有特质研磨盘，所述特制研磨盘的上表面靠近圆周边缘处预留有环形挡圈，所述矩形滑框的侧面通过螺栓固定有研磨液箱，且研磨液箱的底部设置有倾斜设置的喷射头。
优选的，所述转动托盘的底部圆周外壁处预留有环形槽，且环形槽内卡接有圆锥辊子轴承。
优选的，所述转动托盘的下表面中部开有齿轮槽，且底座的底部靠近齿轮槽的下方设置有驱动电机，驱动电机的输出轴顶端固定有与齿轮槽互相啮合的主动齿轮。
优选的，所述支撑座的圆周内壁靠近顶端通过螺栓固定有电控定位销，且转动托盘的下表面靠近圆周边缘处开有等距离分布的限位孔，限位孔的尺寸与电控定位销的销轴直径相适配。
优选的，所述特制研磨盘的上表面靠近环形挡圈处开有等距离分布的锥形沉孔，且锥形沉孔的底部均开有斜孔，斜孔的底端靠近特制研磨盘的中部。
优选的，两根所述槽钢滑轨之间靠近一侧固定有电动推杆，且电动推杆延伸杆的顶端固定在矩形滑框的侧面。
与现有技术相比，本实用新型提供了一种金刚石研磨液供给装置，具备以下有益效果：
1.通过设置在特制研磨盘上表面的锥形沉孔和斜孔，从而在斜孔内的研磨液向下流动的时候可以先聚集在基板的上表面中部，之后随着转动的研磨盘，在离心力的作用下被均匀地分散至周边部位，环形挡圈可以将研磨液拦在特制研磨盘的上表面防止其洒向外界。
2.通过设置在转动托盘下表面的齿轮槽，以及与之相适配的主动齿轮，从而可以实现转动托盘的旋转，进而加快转动托盘上表面基板与特制研磨盘的相对运动速度，提高了打磨效率。
3.通过设置的滑动连接在两根槽钢滑轨内矩形滑框，配合电动推杆的带动，从而可以带动电机箱以及特制研磨盘在转动托盘内的基板上任意移动，从而可以对指定位置进行特殊处理，提高了装置的可调性。
该装置中未涉及部分均与现有技术相同或可采用现有技术加以实现，本实用新型结构简单且随着转动托盘的转动可以自动将研磨液均匀的平铺开来。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种金刚石研磨液供给装置的剖视结构示意图；
图2为本实用新型提出的一种金刚石研磨液供给装置特制研磨盘的结构示意图；
图3为本实用新型提出的一种金刚石研磨液供给装置图1中A处的放大结构示意图。
图中：1-底座、2-电控定位销、3-驱动电机、4-特制研磨盘、5-齿轮槽、6- 滑动块、7-转动托盘、8-托盘盖、9-喷射头、10-研磨液箱、11-矩形滑框、12- 电机箱、13-打磨机、14-电动推杆、15-圆锥辊子轴承、16-支撑座、17-环形挡圈、18-锥形沉孔、19-斜孔、20-限位孔。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
参照图1-3，一种金刚石研磨液供给装置，包括内设空腔呈长方体结构的底座1，底座1的上表面中部开有圆孔，且底座1的底部内壁靠近圆孔的正下方设置有支撑座16，支撑座16的顶端设置有环形安装座，且环形安装座的顶端转动连接有转动托盘7，转动托盘7的顶端预留有凹槽，且转动托盘7的顶端设置有呈圆环状结构的托盘盖8，底座1相向的两侧均滑动连接有滑动块6，且两个滑动块6的顶端均固定固定架，两个固定架的顶端之间设置有两根开口相对且互相平行的槽钢滑轨，两根槽钢滑轨之间滑动连接有同一个矩形滑框11，且矩形滑框11的中间套接有电机箱12，电机箱12内设置有打磨机13，且打磨机13的输出轴顶端设置有特制研磨盘4，特制研磨盘4的上表面靠近圆周边缘处预留有环形挡圈17，矩形滑框11的侧面通过螺栓固定有研磨液箱10，且研磨液箱10的底部设置有倾斜设置的喷射头9。
本实用新型中，转动托盘7的底部圆周外壁处预留有环形槽，且环形槽内卡接有圆锥辊子轴承15。
其中，转动托盘7的下表面中部开有齿轮槽5，且底座1的底部靠近齿轮槽 5的下方设置有驱动电机3，驱动电机3的输出轴顶端固定有与齿轮槽5互相啮合的主动齿轮。
其中，支撑座16的圆周内壁靠近顶端通过螺栓固定有电控定位销2，且转动托盘7的下表面靠近圆周边缘处开有等距离分布的限位孔20，限位孔20的尺寸与电控定位销2的销轴直径相适配。
其中，特制研磨盘4的上表面靠近环形挡圈17处开有等距离分布的锥形沉孔18，且锥形沉孔18的底部均开有斜孔19，斜孔19的底端靠近特制研磨盘4 的中部，从而在斜孔19内的研磨液向下流动的时候可以先聚集在基板的上表面中部，之后随着转动的研磨盘，在离心力的作用下被均匀地分散至周边部位。
其中，两根槽钢滑轨之间靠近一侧固定有电动推杆14，且电动推杆14延伸杆的顶端固定在矩形滑框11的侧面。
工作原理：使用时将研磨液注入到研磨液箱10中，调整研磨液箱10底部的喷射头9，使得喷射头9的底端位于特制研磨盘4的正上方，之后再将待打磨的基板放置在转动托盘7的上表面的凹槽内；之后再控制底座1两侧的固定架滑动滑动至中间部位，使得特制研磨盘4位于基板的打磨范围内，之后再控制特制研磨盘4下降至基板的表面即可进行打磨；打磨时控制喷射头9顶端的电磁阀打开，此时喷射头9开始向下输送研磨液，之后研磨液经锥形沉孔18落入斜孔19内，斜孔19内的研磨液向下流动的时候可以先聚集在基板的上表面中部，之后随着转动的研磨盘，在离心力的作用下被均匀地分散至周边部位。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种金刚石研磨液供给装置，包括内设空腔呈长方体结构的底座(1)，其特征在于，所述底座(1)的上表面中部开有圆孔，且底座(1)的底部内壁靠近圆孔的正下方设置有支撑座(16)，所述支撑座(16)的顶端设置有环形安装座，且环形安装座的顶端转动连接有转动托盘(7)，所述转动托盘(7)的顶端预留有凹槽，且转动托盘(7)的顶端设置有呈圆环状结构的托盘盖(8)，所述底座(1)相向的两侧均滑动连接有滑动块(6)，且两个滑动块(6)的顶端均固定固定架，两个所述固定架的顶端之间设置有两根开口相对且互相平行的槽钢滑轨，两根所述槽钢滑轨之间滑动连接有同一个矩形滑框(11)，且矩形滑框(11)的中间套接有电机箱(12)，所述电机箱(12)内设置有打磨机(13)，且打磨机(13)的输出轴顶端设置有特制研磨盘(4)，所述特制研磨盘(4)的上表面靠近圆周边缘处预留有环形挡圈(17)，所述矩形滑框(11)的侧面通过螺栓固定有研磨液箱(10)，且研磨液箱(10)的底部设置有倾斜设置的喷射头(9)。
2.根据权利要求1所述的一种金刚石研磨液供给装置，其特征在于，所述转动托盘(7)的底部圆周外壁处预留有环形槽，且环形槽内卡接有圆锥辊子轴承(15)。
3.根据权利要求1所述的一种金刚石研磨液供给装置，其特征在于，所述转动托盘(7)的下表面中部开有齿轮槽(5)，且底座(1)的底部靠近齿轮槽(5)的下方设置有驱动电机(3)，驱动电机(3)的输出轴顶端固定有与齿轮槽(5)互相啮合的主动齿轮。
4.根据权利要求1所述的一种金刚石研磨液供给装置，其特征在于，所述支撑座(16)的圆周内壁靠近顶端通过螺栓固定有电控定位销(2)，且转动托盘(7)的下表面靠近圆周边缘处开有等距离分布的限位孔(20)，限位孔(20)的尺寸与电控定位销(2)的销轴直径相适配。
5.根据权利要求1所述的一种金刚石研磨液供给装置，其特征在于，所述特制研磨盘(4)的上表面靠近环形挡圈(17)处开有等距离分布的锥形沉孔(18)，且锥形沉孔(18)的底部均开有斜孔(19)，斜孔(19)的底端靠近特制研磨盘(4)的中部。
6.根据权利要求1所述的一种金刚石研磨液供给装置，其特征在于，两根所述槽钢滑轨之间靠近一侧固定有电动推杆(14)，且电动推杆(14)延伸杆的顶端固定在矩形滑框(11)的侧面。
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN111958490A (zh) * | 2020-08-06 | 2020-11-20 | 泉州市海恩德机电科技发展有限公司 | 可高速运转的圆周供水机构 |
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