CN209691778U - 一种掏片式硅片传输机构 - Google Patents

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张学强
戴军
张建伟
罗银兵
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Abstract

本实用新型公开了一种掏片式硅片传输机构,包括夹持组件和传输组件,传输组件为直线电机,夹持组件通过安装板连接于直线电机的动子座上,夹持组件包括若干吸力臂,吸力臂包括真空腔体、盖板和抽气接头,真空腔体一端与安装板固定连接,真空腔体另一端设置有一面开口的真空腔,盖板水平密封真空腔,盖板上设置有连通真空腔的气孔,抽气接头设置于真空腔体下方且连通真空腔,方便从其他机构拾取硅片,硅片表面未全部放置于夹持组件上,接触面积小,减小出现不良影响的概率,结构简单,运行速度快且平稳。

Description

一种掏片式硅片传输机构
技术领域
本实用新型涉及硅片输送机构技术领域,具体涉及一种掏片式硅片输送机构。
背景技术
在光伏领域,太阳能光伏硅片被广泛应用,太阳能光伏硅片在生产过程中,需要经切方磨圆、酸洗、黏胶、切片、清洗脱胶和甩干等工序,其中有的工序需要通过机械手进行硅片的传输,有的工序需要通过硅片传输带进行传输,如:酸洗、清洗脱胶等。
目前,硅片的传送主要依靠分段式皮带传输,具体而言,将硅片放置于输送带上,且硅片表面的蓝膜直接与输送带接触,依靠蓝膜与输送带之间的摩擦力,从而硅片随输送带传输。在两端皮带连接处容易出现卡料现象,导致硅片堆积,影响硅片质量,皮带传输过程中,会出现皮带松弛,太阳能光伏硅片前进打滑卡滞等问题,都会使得硅片传输不稳定,容易出现偏移问题,无法进行纠偏,使得工序内的操作批量出现漏序的问题,且当输送带表面受到污染后,硅片表面的蓝膜容易被污染,甚至被划伤,然而晶体硅太阳电池的生产过程中对硅片的表面质量要求较高,一旦硅片表面的蓝膜被污染或者被划伤,会导致硅片表面的杂质容易引起堵网、断线或者硅片产生暗电流或表面脏污降为B级片等许多问题,严重的会导致硅片批量的报废、返工,费时费力,影响工作效率。
因此,本申请针对上述问题提供一种新的硅片传输装置。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是提供一种掏片式硅片传输机构,以解决现有技术中存在的硅片传输过程中硅片易卡料、被污染或者被划伤的技术问题。
为了解决上述技术问题,本实用新型提供了一种掏片式硅片传输机构,包括夹持组件和传输组件,所述传输组件为直线电机,所述夹持组件通过安装板连接于所述直线电机的动子座上,所述夹持组件包括若干吸力臂,所述吸力臂包括真空腔体、盖板和抽气接头,所述真空腔体一端与所述安装板固定连接,所述真空腔体另一端设置有一面开口的真空腔,所述盖板水平密封所述真空腔,所述盖板上设置有连通所述真空腔的气孔,所述抽气接头设置于所述真空腔体下方且连通所述真空腔,方便从其他机构拾取硅片,硅片表面未全部放置于夹持组件上,接触面积小,减小出现不良影响的概率,结构简单,运行速度快且平稳。
进一步的,所述盖板与所述真空腔体通过紧固件固定连接,所述真空腔内设置有若干凸台,所述紧固件一端穿过所述凸台,所述紧固件另一端内陷于所述盖板表面,所述盖板贴合于所述凸台,保证盖板水平密封真空腔。
进一步的,所述紧固件为螺栓,所述凸台与所述真空腔体一体成型,结构简单,方便安装。
进一步的,所述盖板上表面间隔设置有若干凹槽,进一步减少硅片与本机构的接触面积。
进一步的,所述盖板采用PEEK材料制成,硅片与PEEK材料之间不易产生痕迹。
进一步的,所述吸力臂设置有3个,保证硅片夹持的稳定。
进一步的,所述吸力臂沿所述直线电机长度方向设置,方便插入其他机构。
进一步的,所述安装板侧面设置有定位板,所述直线电机两端设置有与所述定位板配合的光电定位座,有利于对夹持机构进行定位。
本实用新型的一种掏片式硅片传输机构与现有技术相比的有益效果是,结构简单,操作方便,运行速度快,运行平稳,硅片与夹持机构接触面积小,减小出现污染或划伤等不良影响的概率。
附图说明
图1是本实用新型工作时的整体结构示意图;
图2是本实用新型的夹持组件结构示意图;
图3是本实用新型的吸力臂结构爆炸图。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施例对本实用新型作进一步说明,以使本领域的技术人员可以更好地理解本实用新型并能予以实施,但所举实施例不作为对本实用新型的限定。
参照图1所示,本实用新型的一种掏片式硅片30传输机构的一实施例,包括夹持组件10和传输组件20,所述传输组件20为直线电机,所述夹持组件10通过安装板31连接于所述直线电机的动子座上,直线电机结构简单,运动速度快,运行平稳,能够保证硅片30在传输过程中的稳定性,为使夹持组件10能够停留在吸取位置和指定位置,所述安装板31侧面设置有定位板32,所述直线电机两端设置有与所述定位板32配合的光电定位座33,当安装板31带动定位板32移动至对应的光电定位座33位置时,直线电机停止运行,待夹持组件10上的动作完成后,直线电机反向运行,移动至另一端的光电定位座33处;所述夹持组件10包括若干吸力臂11,吸力臂11在直线电机的带动下伸入放置硅片30的机构内,吸取硅片30后对硅片30进行传输,因此本实施例中,所述吸力臂11沿所述直线电机长度方向设置,方便吸力臂11能够伸入其他机构内,为保证硅片30的稳定,本实施例中,所述吸力臂11设置有3个,保证硅片30前后左右均被稳定支撑。
参照图2和图3所示,为本实施例中吸力臂11结构爆炸图,所述吸力臂11包括真空腔体12、盖板13和抽气接头14,所述真空腔体12一端与所述安装板31固定连接,通过直线电机推动其来回移动,所述真空腔体12另一端设置有一面开口的真空腔15,所述盖板13水平密封所述真空腔15,所述盖板13上设置有连通所述真空腔15的气孔16,所述抽气接头14设置于所述真空腔体12下方且连通所述真空腔15,抽气接头14连接抽真空设备,抽真空设备通过抽气接头14对真空腔15进行抽真空,由于抽真空形成的负压使得气孔16位置能够吸附住硅片30,由于盖板13水平设置,吸附的硅片30贴附于盖板13表面,因此可以保证硅片30的平整,且在硅片30表面不会产生皮带印、污染或划伤等不良影响,同样不会造成硅片30的卡料。进一步的,为方便安装盖板13及保证盖板13对真空腔15的密封,所述盖板13与所述真空腔体12通过紧固件17固定连接,为防止紧固件17的紧固力将盖板13压向真空腔体12内,无法保证盖板13的水平,所述真空腔15内设置有若干凸台18,所述紧固件17一端穿过所述凸台18,所述紧固件17另一端内陷于所述盖板13表面,所述盖板13贴合于所述凸台18,保证了盖板13的水平,同时紧固件17内陷于盖板13表面使得紧固件17不会对硅片30造成影响,本实施例中,为了结构简单便于实施,所述紧固件17选择为螺栓,进一步的,所述凸台18与所述真空腔体12一体成型,保证凸台18位置的稳定,方便安装;更进一步的,所述盖板13上表面间隔设置有若干凹槽19,从而减小吸力臂11与硅片30的接触面积,减小在硅片30表面留下痕迹的可能,同时本实施例中,所述盖板13采用PEEK材料制成,PEEK材料具有低粉尘、低气体放出、低离子溶出、低吸水性的特点,使得硅片30与PEEK材料接触时不容易在硅片30表面留下痕迹。
本实用新型在工作时,直线电机直接驱动吸力臂插入到放置硅片的设备中进行取料,无需其他机构进行转接,插入后抽真空装置启动,对真空腔进行抽真空,由于负压作用,硅片被牢牢吸附于盖板表面,由于盖板与硅片接触面积小,且直线电机运行的平稳,减小硅片表面产生污染或划伤等不良影响的可能性,确保硅片的质量。
以上所述实施例仅是为充分说明本实用新型而所举的较佳的实施例,本实用新型的保护范围不限于此。本技术领域的技术人员在本实用新型基础上所作的等同替代或变换,均在本实用新型的保护范围之内。本实用新型的保护范围以权利要求书为准。

Claims (8)

1.一种掏片式硅片传输机构,其特征在于,包括夹持组件和传输组件,所述传输组件为直线电机,所述夹持组件通过安装板连接于所述直线电机的动子座上,所述夹持组件包括若干吸力臂,所述吸力臂包括真空腔体、盖板和抽气接头,所述真空腔体一端与所述安装板固定连接,所述真空腔体另一端设置有一面开口的真空腔,所述盖板水平密封所述真空腔,所述盖板上设置有连通所述真空腔的气孔,所述抽气接头设置于所述真空腔体下方且连通所述真空腔。
2.如权利要求1所述的一种掏片式硅片传输机构,其特征在于,所述盖板与所述真空腔体通过紧固件固定连接,所述真空腔内设置有若干凸台,所述紧固件一端穿过所述凸台,所述紧固件另一端内陷于所述盖板表面,所述盖板贴合于所述凸台。
3.如权利要求2所述的一种掏片式硅片传输机构,其特征在于,所述紧固件为螺栓,所述凸台与所述真空腔体一体成型。
4.如权利要求1所述的一种掏片式硅片传输机构,其特征在于,所述盖板上表面间隔设置有若干凹槽。
5.如权利要求1所述的一种掏片式硅片传输机构,其特征在于,所述盖板采用PEEK材料制成。
6.如权利要求1所述的一种掏片式硅片传输机构,其特征在于,所述吸力臂设置有3个。
7.如权利要求1所述的一种掏片式硅片传输机构,其特征在于,所述吸力臂沿所述直线电机长度方向设置。
8.如权利要求1所述的一种掏片式硅片传输机构,其特征在于,所述安装板侧面设置有定位板,所述直线电机两端设置有与所述定位板配合的光电定位座。
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CN112478777A (zh) * 2020-12-13 2021-03-12 恩纳基智能科技无锡有限公司 一种多功能贴片机

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