CN110640572A

CN110640572A - 具有良好防水性能的异形晶片轮廓修磨倒角执行机构

Info

Publication number: CN110640572A
Application number: CN201910874138.7A
Authority: CN
Inventors: 马世杰; 岳军; 赵忠志; 姜志艳; 任云星; 苗俊芳; 折飞; 闫冬
Original assignee: Northwest Electronic Equipment Institute of Technology
Current assignee: Northwest Electronic Equipment Institute of Technology
Priority date: 2019-09-17
Filing date: 2019-09-17
Publication date: 2020-01-03

Abstract

本发明公开了一种具有良好防水性能的异形晶片轮廓修磨倒角执行机构，解决了如何最大程度地避免冲刷晶片与倒角砂轮冷却水进入到精密执行机构中的问题。在Y向移动平台的前后两侧分别连接前部Y向伸缩弹性皮腔（14）和后部Y向伸缩弹性皮腔（13），在Y向移动平台的左右两侧分别连接左部X向伸缩弹性皮腔（6）和右部X向伸缩弹性皮腔（7），组成一个封闭的挡水伞，由于前部Y向伸缩弹性皮腔和后部Y向伸缩弹性皮腔（13）具有前后弹性伸缩的功能，部X向伸缩弹性皮腔和右部X向伸缩弹性皮腔具有左右弹性伸缩的功能，而DD马达安装在Y向移动平台的下面，从而实现了执行机构在实现XYθ三轴的复合运动时，不会发生伞面水渗漏现象。

Description

具有良好防水性能的异形晶片轮廓修磨倒角执行机构

技术领域

本发明涉及一种异形晶片轮廓修磨倒角设备，特别涉及一种异形晶片轮廓修磨倒角设备中的执行机构。

背景技术

碲锌镉（CdZnTe）晶体是一种重要的功能晶体材料，由于其具有优异的性能，广泛应用于国防军工、信息、微电子和光电子等尖端技术领域，CdZnTe晶体的另外一个用途是作为红外光学晶体碲镉汞薄膜生长的外延衬底；CdZnTe晶体具有脆性大和硬度低的特性，属于各向异性软脆性功能晶体材料；CdZnTe晶体的生产过程是：先在铸锭炉内培养生长出柱状晶体，然后，沿晶向将柱状晶体切割成片状晶片，由于晶体所生长的晶向不规则，切割得到的片状晶片是多样的和不规则的，需要对得到的片状晶片的尖角及轮廓进行修磨，以防其在后续抛磨工艺中，在片状晶片的尖角处和轮廓边棱处出现应力集中的现象，导致片状晶片在抛磨中碎裂；片状晶片经轮廓修磨和倒角后形成了取料毛坯晶片，在取料毛坯晶片上切割取出产品晶片。

将片状晶片加工成取料毛坯晶片是通过轮廓修磨倒角机上进行的，现有的倒角设备是先对不规则的片状晶片进行轮廓识别，识别出它的最大内接圆直径，并以此为修磨轮廓轨迹；一般是将被修磨的片状晶片吸附在轮廓修磨倒角机上的旋转吸盘上，旋转吸盘是连接在直接驱动电机（DD马达）上，DD马达安装在Y向导轨副上，Y向导轨副又安装在X向导轨副上，使片状晶片能实现XYθ三轴的复合运动，使其外缘轮廓与砂轮接触，实现修磨和倒角，片状晶片在倒角过程中，有冷却液不断的冲刷晶片与倒角砂轮，以达到冷却磨削温度的目的，由于轮廓修磨倒角是一个动态执行过程，而执行该过程的X向导轨副、Y向导轨副和DD马达均属于精密执行机构，如何最大程度地避免冲刷晶片与倒角砂轮冷却水进入到精密执行机构中，使晶片轮廓修磨倒角执行机构具有良好的防水性能，成为保障其正常运行的突出问题。

发明内容

本发明提供了一种具有良好防水性能的异形晶片轮廓修磨倒角执行机构，解决了如何最大程度地避免冲刷晶片与倒角砂轮冷却水进入到精密执行机构中的技术问题。

本发明是通过以下技术方案解决以上技术问题的：

本发明的总体构思是：在Y向移动平台的前后两侧分别连接前部Y向伸缩弹性皮腔和后部Y向伸缩弹性皮腔，在Y向移动平台的左右两侧分别连接左部X向伸缩弹性皮腔和右部X向伸缩弹性皮腔，组成一个封闭的挡水伞，将X向导轨副、Y向导轨副和DD马达遮挡在此伞下方，从而起到防止冷却水进入到这些执行机构中，由于前部Y向伸缩弹性皮腔和后部Y向伸缩弹性皮腔具有前后弹性伸缩的功能，左部X向伸缩弹性皮腔和右部X向伸缩弹性皮腔具有左右弹性伸缩的功能，而DD马达安装在Y向移动平台的下面，从而实现了执行机构在实现XYθ三轴的复合运动时，挡水伞只会发生风箱式皱褶变化，而不会发生伞面水渗漏现象。

一种具有良好防水性能的异形晶片轮廓修磨倒角执行机构，包括在工作台上固定设置的X向丝杠导轨副，在X向丝杠导轨副上的X向移动平台上设置有Y向丝杠导轨副，在Y向丝杠导轨副的Y向移动平台上连接有直接驱动电机，在向上伸出的直接驱动电机的输出轴上连接有旋转吸盘，在旋转吸盘上吸附有异形晶片，在旋转吸盘的上方一侧设置有异形晶片轮廓修磨倒角砂轮，在异形晶片轮廓修磨倒角砂轮的两侧均设置有冷却水喷嘴，在X向丝杠导轨副的四周外侧的工作台上固定设置有晶片轮廓修磨倒角操作盒支架，晶片轮廓修磨倒角操作盒支架上固定设置有中空的回字形台板，在回字形台板的前侧台面上设置有前侧X向倒L形导轨，在回字形台板的后侧台面上设置有后侧X向倒L形导轨，前侧X向倒L形导轨与后侧X向倒L形导轨是彼此平行设置的，在前侧X向倒L形导轨的左部与后侧X向倒L形导轨的左部之间活动设置有左部X向伸缩弹性皮腔，在前侧X向倒L形导轨的右部与后侧X向倒L形导轨的右部之间活动设置有右部X向伸缩弹性皮腔，在左部X向伸缩弹性皮腔的右端面上固定连接有Y向伸缩弹性皮腔左隔离导轨板，在右部X向伸缩弹性皮腔的左端面上固定连接有Y向伸缩弹性皮腔右隔离导轨板，在Y向伸缩弹性皮腔左隔离导轨板的前部与Y向伸缩弹性皮腔右隔离导轨板的前部之间活动设置有前部Y向伸缩弹性皮腔，在Y向伸缩弹性皮腔左隔离导轨板的后部与Y向伸缩弹性皮腔右隔离导轨板的后部之间活动设置有后部Y向伸缩弹性皮腔，在前部Y向伸缩弹性皮腔的后侧面与后部Y向伸缩弹性皮腔的前侧面之间连接有Y向移动平台，在Y向伸缩弹性皮腔左隔离导轨板的前端与Y向伸缩弹性皮腔右隔离导轨板的前端之间固定连接有前端安装板，在Y向伸缩弹性皮腔左隔离导轨板的后端与Y向伸缩弹性皮腔右隔离导轨板的后端之间固定连接有后端安装板，在前侧X向倒L形导轨和后侧X向倒L形导轨的外侧四周的回字形台板上设置有长方形框架，在长方形框架上分别设置有排水口和箱内湿气抽吸口。

在左部X向伸缩弹性皮腔的前侧下端设置有倒L形导轨前端安装凹槽，在左部X向伸缩弹性皮腔的后侧下端设置有倒L形导轨后端安装凹槽，前侧X向倒L形导轨设置在倒L形导轨前端安装凹槽中，后侧X向倒L形导轨设置在倒L形导轨后端安装凹槽中。

本发明的提高了晶片倒角效率的前提下，具有良好的防水防漏效果，同时可以有效降低倒角腔体内的湿度，保证了晶片轮廓修磨倒角执行机构的正常高效运行。

附图说明

图1是本发明的结构示意图；

图2是本发明的Y向移动平台、前部Y向伸缩弹性皮腔14、后部Y向伸缩弹性皮腔13、左部X向伸缩弹性皮腔6和右部X向伸缩弹性皮腔7之间的连接关系图；

图3是左部X向伸缩弹性皮腔6与后侧X向倒L形导轨21及前侧X向倒L形导轨20之间的配合关系图。

具体实施方式

下面结合附图对本发明进行详细说明：

一种具有良好防水性能的异形晶片轮廓修磨倒角执行机构，包括在工作台上固定设置的X向丝杠导轨副1，在X向丝杠导轨副1上的X向移动平台上设置有Y向丝杠导轨副2，在Y向丝杠导轨副2的Y向移动平台10上连接有直接驱动电机，在向上伸出的直接驱动电机的输出轴11上连接有旋转吸盘12，在旋转吸盘12上吸附有异形晶片，在旋转吸盘12的上方一侧设置有异形晶片轮廓修磨倒角砂轮17，在异形晶片轮廓修磨倒角砂轮17的两侧均设置有冷却水喷嘴18，在X向丝杠导轨副1的四周外侧的工作台上固定设置有晶片轮廓修磨倒角操作盒支架3，晶片轮廓修磨倒角操作盒支架3上固定设置有中空的回字形台板4，在回字形台板4的前侧台面上设置有前侧X向倒L形导轨20，在回字形台板4的后侧台面上设置有后侧X向倒L形导轨21，前侧X向倒L形导轨20与后侧X向倒L形导轨21是彼此平行设置的，在前侧X向倒L形导轨20的左部与后侧X向倒L形导轨21的左部之间活动设置有左部X向伸缩弹性皮腔6，在前侧X向倒L形导轨20的右部与后侧X向倒L形导轨21的右部之间活动设置有右部X向伸缩弹性皮腔7，在左部X向伸缩弹性皮腔6的右端面上固定连接有Y向伸缩弹性皮腔左隔离导轨板8，在右部X向伸缩弹性皮腔7的左端面上固定连接有Y向伸缩弹性皮腔右隔离导轨板9，在Y向伸缩弹性皮腔左隔离导轨板8的前部与Y向伸缩弹性皮腔右隔离导轨板9的前部之间活动设置有前部Y向伸缩弹性皮腔14，在Y向伸缩弹性皮腔左隔离导轨板8的后部与Y向伸缩弹性皮腔右隔离导轨板9的后部之间活动设置有后部Y向伸缩弹性皮腔13，在前部Y向伸缩弹性皮腔14的后侧面与后部Y向伸缩弹性皮腔13的前侧面之间连接有Y向移动平台10，在Y向伸缩弹性皮腔左隔离导轨板8的前端与Y向伸缩弹性皮腔右隔离导轨板9的前端之间固定连接有前端安装板16，在Y向伸缩弹性皮腔左隔离导轨板8的后端与Y向伸缩弹性皮腔右隔离导轨板9的后端之间固定连接有后端安装板15，在前侧X向倒L形导轨20和后侧X向倒L形导轨21的外侧四周的回字形台板4上设置有长方形框架5，在长方形框架5上分别设置有排水口和箱内湿气抽吸口19。

在左部X向伸缩弹性皮腔6的前侧下端设置有倒L形导轨前端安装凹槽22，在左部X向伸缩弹性皮腔6的后侧下端设置有倒L形导轨后端安装凹槽23，前侧X向倒L形导轨20设置在倒L形导轨前端安装凹槽22中，后侧X向倒L形导轨21设置在倒L形导轨后端安装凹槽23中；右部X向伸缩弹性皮腔7与前侧X向倒L形导轨20及后侧X向倒L形导轨21之间的配合关系与左部X向伸缩弹性皮腔6与该两导轨的配合关系是相同的；Y向伸缩弹性皮腔左隔离导轨板8、Y向伸缩弹性皮腔右隔离导轨板9、后端安装板15和前端安装板16组成一个中央长方体框架，该中央长方体框架的左侧边与左部X向伸缩弹性皮腔6连接在一起，该中央长方体框架的右侧边与Y向伸缩弹性皮腔右隔离导轨板9连接在一起，组成一个长方形状的可沿X向伸缩的弹性皮腔风箱；在该中央长方体框架内由后部Y向伸缩弹性皮腔13、Y向移动平台10和前部Y向伸缩弹性皮腔14组成了一个可沿Y向伸缩的弹性皮腔风箱；当Y向移动平台10向后移动时，后部Y向伸缩弹性皮腔13收缩，前部Y向伸缩弹性皮腔14拉伸，当Y向移动平台10向前移动时，后部Y向伸缩弹性皮腔13拉伸，前部Y向伸缩弹性皮腔14收缩；当Y向移动平台10向左移动时，左部X向伸缩弹性皮腔6收缩，右部X向伸缩弹性皮腔7拉伸，当Y向移动平台10向右移动时，左部X向伸缩弹性皮腔6拉伸，右部X向伸缩弹性皮腔7收缩；在Y向移动平台10上的向上伸出的直接驱动电机的输出轴11上设置有密封圈，以防止冷却水从输出轴11的缝隙中渗入电机中。

Claims

1.一种具有良好防水性能的异形晶片轮廓修磨倒角执行机构，包括在工作台上固定设置的X向丝杠导轨副（1），在X向丝杠导轨副（1）上的X向移动平台上设置有Y向丝杠导轨副（2），在Y向丝杠导轨副（2）的Y向移动平台（10）上连接有直接驱动电机，在向上伸出的直接驱动电机的输出轴（11）上连接有旋转吸盘（12），在旋转吸盘（12）上吸附有异形晶片，在旋转吸盘（12）的上方一侧设置有异形晶片轮廓修磨倒角砂轮（17），在异形晶片轮廓修磨倒角砂轮（17）的两侧均设置有冷却水喷嘴（18），在X向丝杠导轨副（1）的四周外侧的工作台上固定设置有晶片轮廓修磨倒角操作盒支架（3），晶片轮廓修磨倒角操作盒支架（3）上固定设置有中空的回字形台板（4），其特征在于，在回字形台板（4）的前侧台面上设置有前侧X向倒L形导轨（20），在回字形台板（4）的后侧台面上设置有后侧X向倒L形导轨（21），前侧X向倒L形导轨（20）与后侧X向倒L形导轨（21）是彼此平行设置的，在前侧X向倒L形导轨（20）的左部与后侧X向倒L形导轨（21）的左部之间活动设置有左部X向伸缩弹性皮腔（6），在前侧X向倒L形导轨（20）的右部与后侧X向倒L形导轨（21）的右部之间活动设置有右部X向伸缩弹性皮腔（7），在左部X向伸缩弹性皮腔（6）的右端面上固定连接有Y向伸缩弹性皮腔左隔离导轨板（8），在右部X向伸缩弹性皮腔（7）的左端面上固定连接有Y向伸缩弹性皮腔右隔离导轨板（9），在Y向伸缩弹性皮腔左隔离导轨板（8）的前部与Y向伸缩弹性皮腔右隔离导轨板（9）的前部之间活动设置有前部Y向伸缩弹性皮腔（14），在Y向伸缩弹性皮腔左隔离导轨板（8）的后部与Y向伸缩弹性皮腔右隔离导轨板（9）的后部之间活动设置有后部Y向伸缩弹性皮腔（13），在前部Y向伸缩弹性皮腔（14）的后侧面与后部Y向伸缩弹性皮腔（13）的前侧面之间连接有Y向移动平台（10），在Y向伸缩弹性皮腔左隔离导轨板（8）的前端与Y向伸缩弹性皮腔右隔离导轨板（9）的前端之间固定连接有前端安装板（16），在Y向伸缩弹性皮腔左隔离导轨板（8）的后端与Y向伸缩弹性皮腔右隔离导轨板（9）的后端之间固定连接有后端安装板（15），在前侧X向倒L形导轨（20）和后侧X向倒L形导轨（21）的外侧四周的回字形台板（4）上设置有长方形框架（5），在长方形框架（5）上分别设置有排水口和箱内湿气抽吸口（19）。

2.根据权利要求1所述的一种具有良好防水性能的异形晶片轮廓修磨倒角执行机构，其特征在于，在左部X向伸缩弹性皮腔（6）的前侧下端设置有倒L形导轨前端安装凹槽（22），在左部X向伸缩弹性皮腔（6）的后侧下端设置有倒L形导轨后端安装凹槽（23），前侧X向倒L形导轨（20）设置在倒L形导轨前端安装凹槽（22）中，后侧X向倒L形导轨（21）设置在倒L形导轨后端安装凹槽（23）中。