CN209674180U - 曝光机 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于曝光设备技术领域，尤其涉及一种曝光机，包括主机体和两个传输装置，两个传输装置均包括安装架、收卷胶辊和驱动机构，两个安装架分别安装于主机体的输入端和输出端，两个收卷胶辊分别安装于两个安装架上，两个驱动机构均包括驱动电机和与驱动电机传动连接的电磁离合器，驱动电机和电磁离合器均安装于对应的安装架上，且电磁离合器与对应的收卷胶辊传动连接。当待曝光膜料到达指定位置后，两电磁离合器的输出轴转动方向相反，使得两收卷胶辊发生转动方向相反的趋势，由于两收卷胶辊能够将待曝光膜料在主机体内的位置牢牢限定，这样待曝光膜料便不会在外界因素的影响下发生错位，有效提升了待曝光膜料的位置精度。

Description

曝光机

技术领域

本实用新型属于曝光设备技术领域，尤其涉及一种曝光机。

背景技术

曝光设备的工作原理是利用曝光件对待曝光膜料进行曝光成像。而在曝光设备内，通常都设置有用于传输待曝光膜料的传送系统以将待曝光膜料传送至曝光设备内的指定位置。

在实际曝光过程中，待曝光膜料相对于基板的位置关系常会由于外界因素的影响而发生错位，现有的传送系统虽能够实现对待曝光膜料的有效传输，但无法预防上述错位现象的发生，进而易导致曝光失准。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种曝光机，旨在解决现有技术中的待曝光膜料易相对于基板发生错位的技术问题。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：一种曝光机，包括主机体和两个传输装置，两个所述传输装置均包括安装架、收卷胶辊和驱动机构，两个所述安装架分别安装于所述主机体的输入端和输出端，两个所述收卷胶辊分别可转动地安装于两个所述安装架上并均用于传送待曝光膜料通过所述主机体，两个所述驱动机构均包括驱动电机和与所述驱动电机传动连接的电磁离合器，所述驱动电机和所述电磁离合器均安装于对应的所述安装架上，且所述电磁离合器与对应的所述收卷胶辊传动连接。

进一步地，两个所述传输装置均包括第一传输胶辊、第二传输胶辊和第三传输胶辊，所述第一传输胶辊、所述第二传输胶辊和所述第三传输胶辊依序沿背离所述主机体的方向可转动地安装于对应的所述安装架上并与所述收卷胶辊共同形成用于传输所述待曝光膜料的传输路径。

进一步地，所述第一传输胶辊靠近所述主机体设置，所述第二传输胶辊位于所述第一传输胶辊背离所述主机体的一侧，所述第三传输胶辊位于所述第二传输胶辊和所述收卷胶辊之间。

进一步地，两个所述传输装置均还包括用于承托所述待曝光膜料的承接组件，所述承接组件安装于所述安装架上并位于所述第一传输胶辊和所述主机体之间。

进一步地，两个所述承接组件均包括吸气板和承托板，所述吸气板安装于所述安装架上并位于所述第一传输胶辊和所述主机体之间，所述吸气板开设有用于与外界抽真空装置相连通的吸气腔，所述承托板安装于所述吸气板上且覆盖于所述吸气腔，所述承托板上开设有若干吸气孔，各所述吸气孔均与所述吸气腔相连通。

进一步地，两个所述吸气板的底部均安装有用于与外界抽真空装置相连通的吸气嘴，所述吸气嘴与对应的所述吸气腔相连通。

进一步地，两个所述驱动机构均包括第一传动轮、第二传动轮和第一传动皮带，所述第一传动轮安装于对应的所述驱动电机的驱动轴，所述第二传动轮安装于对应的所述电磁离合器的输入轴，所述第一传动皮带套设于所述第一传动轮和所述第二传动轮之间。

进一步地，两个所述驱动机构均还包括第三传动轮、第四传动轮和第二传动皮带，所述第三传动轮安装于对应的所述电磁离合器的输出轴，所述第四传动轮安装于对应的所述收卷胶辊的一端，所述第二传动皮带套设于所述第三传动轮和所述第四传动轮之间。

进一步地，两个所述驱动机构均还包括第一架体，所述第一架体安装于对应的所述安装架上，所述收卷胶辊安装有所述第四传动轮的一端穿设过所述安装架并可转动地安装于所述第一架体上。

进一步地，两个所述驱动机构均还包括第二架体和第三架体，所述第二架体和所述第三架体均安装于对应的所述安装架上，所述驱动电机和所述电磁离合器分别安装于对应的所述第二架体和对应的所述第三架体上。

本实用新型的有益效果：本实用新型的曝光机，工作时，两传输装置的驱动电机通过电磁离合器驱动两收卷胶辊转动，进而可首先将待曝光膜料输运至主机体内的指定位置。而当待曝光膜料到达指定位置后，可控制两电磁离合器的输出轴的转动方向相反，进而也使得带动待曝光膜料的两收卷胶辊发生转动方向相反的趋势，这样便起到了绷紧待曝光膜料的效果，进而能够将待曝光膜料限定在指定位置，此时即使出现了外界因素的干扰，由于两收卷胶辊能够将待曝光膜料在主机体内的位置牢牢限定，这样待曝光膜料便不会在外界因素(比如震动或晃摆等)的影响下发生错位，这样便消除了待曝光膜料易相对于主机体内的基板发生错位的现象，有效提升了待曝光膜料在主机体内的位置精度。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本实用新型实施例提供的曝光机的结构示意图；

图2为本实用新型实施例提供的曝光机的传输装置的结构示意图；

图3为本实用新型实施例提供的曝光机的传输装置的爆炸结构示意图；

图4为图3中A处的局部放大视图；

图5为本实用新型实施例提供的曝光机的承接组件的爆炸结构示意图。

其中，图中各附图标记：

10—主机体 20—传输装置 21—安装架

22—收卷胶辊 23—驱动机构 24—第一传输胶辊

25—第二传输胶辊 26—第三传输胶辊 27—承接组件

231—驱动电机 232—电磁离合器 233—第一传动轮

234—第二传动轮 235—第一传动皮带 236—第三传动轮

237—第四传动轮 238—第二传动皮带 239—第一架体

240—第二架体 241—第三架体 242—保护罩

271—吸气板 272—承托板 273—吸气腔

274—吸气孔 275—吸气嘴。

具体实施方式

下面详细描述本实用新型的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图1～5描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“长度”、“宽度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1、图3和图4所示，本实用新型实施例提供了一种曝光机，包括主机体10和两个传输装置20，两个传输装置20分别位于主机体10的两侧并用于输送待曝光膜料通过主机体10。具体地，两个传输装置20分别用于输出待曝光膜料和收卷待曝光膜料，且两个传输装置20分别对应于主机体10两侧设有的待曝光膜料输入端和待曝光膜料输出端设置。

进一步地，两个传输装置20均包括安装架21、收卷胶辊22和驱动机构23，两个安装架21分别安装于主机体10的输入端和输出端，两个收卷胶辊22分别可转动地安装于两个安装架21上并均用于传送待曝光膜料通过主机体10，两个驱动机构23均包括驱动电机231和与驱动电机231传动连接的电磁离合器232，驱动电机231和电磁离合器232均安装于对应的安装架21上，且电磁离合器232与对应的收卷胶辊22传动连接。

以下对本实用新型实施例提供的曝光机作进一步说明：本实用新型实施例提供的曝光机，工作时，两传输装置20的驱动电机231通过电磁离合器232驱动两收卷胶辊22转动，进而可首先将待曝光膜料输运至主机体10内的指定位置。而当待曝光膜料到达指定位置后，可控制两电磁离合器232的输出轴的转动方向相反，进而也使得带动待曝光膜料的两收卷胶辊22发生转动方向相反的趋势，这样便起到了绷紧待曝光膜料的效果，进而能够将待曝光膜料限定在指定位置，此时即使出现了外界因素的干扰，由于两收卷胶辊22能够将待曝光膜料在主机体10内的位置牢牢限定，这样待曝光膜料便不会在外界因素(比如震动或晃摆等)的影响下发生错位，这样便消除了待曝光膜料易相对于主机体10内的基板发生错位的现象，有效提升了待曝光膜料在主机体10内的位置精度。

在本实用新型的另一个实施例中，如图1～3所示，两个传输装置20均包括第一传输胶辊24、第二传输胶辊25和第三传输胶辊26，第一传输胶辊24、第二传输胶辊25和第三传输胶辊26依序沿背离主机体10的方向可转动地安装于对应的安装架21上并与收卷胶辊22共同形成用于传输待曝光膜料的传输路径。具体地，通过设置第一传输胶辊24、第二传输胶辊25和第三传输胶辊26，并使得第一传输胶辊24、第二传输胶辊25和第三传输胶辊26依序沿背离主机体10的方向排布，这样要输入主机体10或自主机体10输出的待曝光膜料即可通过各传输胶辊的过渡传输而平稳运动，保证了待曝光膜料的移动稳定性。

在本实用新型的另一个实施例中，如图1～3所示，第一传输胶辊24靠近主机体10设置，第二传输胶辊25位于第一传输胶辊24背离主机体10的一侧，第三传输胶辊26位于第二传输胶辊25和收卷胶辊22之间。具体地，当待曝光膜料输入至主机体10时，首先可通过第三传输胶辊26和第二传输胶辊25的承托并在两收卷胶辊22的带动下运动至第一传输胶辊24处，再经由第一传输胶辊24输运至主机体10内。而当待曝光膜料自主机体10输出时，可先经由第一传输胶辊24和第二传输胶辊25过渡，再经由第三传输胶辊26卷绕至收卷胶辊22上，这样便确保了待曝光膜料传输过程的稳定进行。

在本实用新型的另一个实施例中，如图2、图3和图5所示，两个传输装置20还包括用于承托待曝光膜料的承接组件27，承接组件27安装于安装架21上并位于第一传输胶辊24和主机体10之间。具体地，通过在第一传输胶辊24和主机体10之间设置承接组件27，这样待曝光膜料在经由第一传输胶辊24进入到主机体10时，便能够受到承接组件27的承托作用而进一步保证了其运动稳定性。

在本实用新型的另一个实施例中，如图2、图3和图5所示，两个承接组件27均包括吸气板271和承接板272，吸气板271安装于安装架21上并位于第一传输胶辊24和主机体10之间，吸气板271开设有用于与外界抽真空装置相连通的吸气腔273，承接板272安装于吸气板271上且覆盖于吸气腔273，承接板272上开设有若干吸气孔274，各吸气孔274均与吸气腔273相连通。具体地，在单次生产过程中，当待曝光膜料输运至承接板272上时，各吸气孔274便可对外界的穿过主机体10的牵引膜和待曝光膜料(待曝光产品)实现吸附，此时可将牵引膜和待曝光膜料使用胶带粘合绑定，之后可关闭真空，吸气腔273充气，各吸气孔274又可将牵引膜和待曝光膜料吹离承接板272，进行下一工序。

在本实用新型的另一个实施例中，如图2、图3和图5所示，两个吸气板271的底部均安装有用于与外界抽真空装置相连通的吸气嘴275，吸气嘴275与对应的吸气腔273相连通。具体地，通过在吸气板271的底部设置吸气嘴275，并使得吸气嘴275与外界抽真空装置相连通，这样吸气嘴275即可抽吸吸气腔273内的气体，从而实现了各吸气孔274的吸气作用。

在本实用新型的另一个实施例中，如图2～4所示，两个驱动机构23均包括第一传动轮233、第二传动轮234和第一传动皮带235，第一传动轮233安装于对应的驱动电机231的驱动轴，第二传动轮234安装于对应的电磁离合器232的输入轴，第一传动皮带235套设于第一传动轮233和第二传动轮234之间。具体地，由于第一传动轮233、第二传动轮234和第一传动皮带235的存在，这样第一传动皮带235即可将驱动电机231输出的动力通过与第一传动轮233和第二传动轮234的配合而输出至电磁离合器232的输入轴。

在本实用新型的另一个实施例中，如图2～4所示，两个驱动机构23均还包括第三传动轮236、第四传动轮237和第二传动皮带238，第三传动轮236安装于对应的电磁离合器232的输出轴，第四传动轮237安装于对应的收卷胶辊22的一端，第二传动皮带238套设于第三传动轮236和第四传动轮237之间。具体地，由于第三传动轮236、第四传动轮237和第二传动皮带238的存在，这样第二传动皮带238又可将电磁离合器232的输出轴所输出的动力通过与第三传动轮236和第四传动轮237的配合而输出至收卷胶辊22，这样便实现了驱动收卷胶辊22转动。

在本实用新型的另一个实施例中，如图2～4所示，两个驱动机构23均还包括第一架体239，第一架体239安装于对应的安装架21上，收卷胶辊22安装有第四传动轮237的一端穿设过安装架21并可转动地安装于第一架体239上。具体地，由于第一架体239的存在，这样收卷胶辊22的一端便可通过安装于第一架体239上而实现稳定的可转动安装，避免了直接安装于安装架21上而导致安装架21的结构复杂性上升。

在本实用新型的另一个实施例中，如图2～4所示，两个驱动机构23均还包括第二架体240和第三架体241，第二架体240和第三架体241均安装于对应的安装架21上，驱动电机231和电磁离合器232分别安装于对应的第二架体240和对应的第三架体241上。具体地，通过将驱动电机231和电磁离合器232分别安装于第二架体240和第三架体241上，这样便在保证驱动电机231和电磁离合器232的安装稳定性的同时，也避免了将驱动电机231和电磁离合器232直接安装于安装架21上而导致安装架21的结构复杂性上升的问题出现。

进一步地，安装架21上还装设有保护罩242，驱动电机231、电磁离合器232和收卷胶辊22安装有第四传动轮237的一端均位于保护罩242内。这样，驱动电机231、电磁离合器232和收卷胶辊22之间的传动连接结构便能够受到保护罩242的有效保护作用而避免被外界环境因素的所影响。

以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种曝光机，其特征在于：包括主机体和两个传输装置，两个所述传输装置均包括安装架、收卷胶辊和驱动机构，两个所述安装架分别安装于所述主机体的输入端和输出端，两个所述收卷胶辊分别可转动地安装于两个所述安装架上并均用于传送待曝光膜料通过所述主机体，两个所述驱动机构均包括驱动电机和与所述驱动电机传动连接的电磁离合器，所述驱动电机和所述电磁离合器均安装于对应的所述安装架上，且所述电磁离合器与对应的所述收卷胶辊传动连接。

2.根据权利要求1所述的曝光机，其特征在于：两个所述传输装置均包括第一传输胶辊、第二传输胶辊和第三传输胶辊，所述第一传输胶辊、所述第二传输胶辊和所述第三传输胶辊依序沿背离所述主机体的方向可转动地安装于对应的所述安装架上并与所述收卷胶辊共同形成用于传输所述待曝光膜料的传输路径。

3.根据权利要求2所述的曝光机，其特征在于：所述第一传输胶辊靠近所述主机体设置，所述第二传输胶辊位于所述第一传输胶辊背离所述主机体的一侧，所述第三传输胶辊位于所述第二传输胶辊和所述收卷胶辊之间。

4.根据权利要求2所述的曝光机，其特征在于：两个所述传输装置均还包括用于承托所述待曝光膜料的承接组件，所述承接组件安装于所述安装架上并位于所述第一传输胶辊和所述主机体之间。

5.根据权利要求4所述的曝光机，其特征在于：两个所述承接组件均包括吸气板和承托板，所述吸气板安装于所述安装架上并位于所述第一传输胶辊和所述主机体之间，所述吸气板开设有用于与外界抽真空装置相连通的吸气腔，所述承托板安装于所述吸气板上且覆盖于所述吸气腔，所述承托板上开设有若干吸气孔，各所述吸气孔均与所述吸气腔相连通。

6.根据权利要求5所述的曝光机，其特征在于：两个所述吸气板的底部均安装有用于与外界抽真空装置相连通的吸气嘴，所述吸气嘴与对应的所述吸气腔相连通。

7.根据权利要求1～6任一项所述的曝光机，其特征在于：两个所述驱动机构均包括第一传动轮、第二传动轮和第一传动皮带，所述第一传动轮安装于对应的所述驱动电机的驱动轴，所述第二传动轮安装于对应的所述电磁离合器的输入轴，所述第一传动皮带套设于所述第一传动轮和所述第二传动轮之间。

8.根据权利要求1～6任一项所述的曝光机，其特征在于：两个所述驱动机构均还包括第三传动轮、第四传动轮和第二传动皮带，所述第三传动轮安装于对应的所述电磁离合器的输出轴，所述第四传动轮安装于对应的所述收卷胶辊的一端，所述第二传动皮带套设于所述第三传动轮和所述第四传动轮之间。

9.根据权利要求8所述的曝光机，其特征在于：两个所述驱动机构均还包括第一架体，所述第一架体安装于对应的所述安装架上，所述收卷胶辊安装有所述第四传动轮的一端穿设过所述安装架并可转动地安装于所述第一架体上。

10.根据权利要求1～6任一项所述的曝光机，其特征在于：两个所述驱动机构均还包括第二架体和第三架体，所述第二架体和所述第三架体均安装于对应的所述安装架上，所述驱动电机和所述电磁离合器分别安装于对应的所述第二架体和对应的所述第三架体上。