CN209637997U - 一种应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵，包括泵体、螺杆组件和泵盖；螺杆组件设置于所述泵体内，泵盖盖设于所述泵体的端部；泵体的内壁和/或所述螺杆组件的外表面设置有碳化钨涂层。本实用新型的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵通过在泵体的内壁和/或所述螺杆组件的外表面等抽吸工艺介质的过流部位设置碳化钨涂层，提高螺杆泵的硬度、耐磨、耐高温特性，大大提高了螺杆泵的使用寿命，且碳化钨涂层的厚度可调，提高组装精度，增加泵体运行稳定性，其解决了现有技术螺杆泵的螺杆表面易磨损、磨损后螺杆咬合、组装间隙调整困难以及使用寿命短等问题。本实用新型具有结构简单、耐磨耐高温、使用寿命长等特点。

Description

一种应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵

技术领域

本实用新型涉及螺杆泵领域，特别是涉及一种应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵。

背景技术

螺杆真空泵属于干式真空泵，其靠一对相对高速运动的螺旋螺杆产生抽吸形成真空，由于其螺杆之间间隙小，抽吸气体在泵体内可被多级压缩，因此，可达到高真空度要求。

在实际操作中，真空减压干燥工艺中会有干燥颗粒或杂质进入泵体内，且螺杆在运行过程中由于压缩气体而产生高温效果，并由于工艺介质中的夹渣颗粒对螺杆表面的磨损，以及运行误差导致螺杆之间相互咬合，以至于螺杆的使用寿命大大下降。

目前，国内外的螺杆真空泵应用技术已成熟，特别在电子、半导体、制药、精密加工等行业已得到广泛的应用。但由于螺杆真空泵工作过程中压缩气体而产生大量的热，使螺杆存在热变形的风险，在平衡螺杆加工后组装间隙以及运行间隙后采用涂层来弥补机加误差，同时对螺杆起到防腐保护作用，但国内外的真空泵都存在螺杆涂层寿命短及螺杆易磨损等缺点，导致泵体的可靠性大大降低。

实用新型内容

基于此，本实用新型的目的在于，提供一种具有结构简单、耐磨耐高温、使用寿命长等特点的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵。

本实用新型的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵，包括泵体、螺杆组件和泵盖；

所述螺杆组件设置于所述泵体内，所述泵盖盖设于所述泵体的端部；

所述泵体的内壁和/或所述螺杆组件的外表面设置有碳化钨涂层。

本实用新型的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵通过在泵体的内壁和/或所述螺杆组件的外表面等抽吸工艺介质的过流部位设置碳化钨涂层，提高螺杆泵的硬度、耐磨、耐高温特性，大大提高了螺杆泵的使用寿命，且碳化钨涂层的厚度可调，提高组装精度，增加泵体运行稳定性，其解决了现有技术螺杆泵的螺杆表面易磨损、磨损后螺杆咬合、组装间隙调整困难以及使用寿命短等问题。

进一步优选地，所述泵体包括连接为一体的左端泵体、中间泵体和右端泵体；

所述螺杆组件设置于所述左端泵体、中间泵体和右端泵体之间；

所述中间泵体的内壁设置有所述碳化钨涂层。

所述中间泵体作为主要的工艺介质的过流部位，在所述中间泵体设置所述碳化钨涂层，可以提高其耐磨和耐高温特性。

进一步优选地，所述螺杆组件包括主动螺杆和从动螺杆；

所述主动螺杆与所述从动螺杆啮合传动，且所述主动螺杆和所述从动螺杆的两端均分别枢接于所述左端泵体和所述右端泵体上；

所述主动螺杆和所述从动螺杆的螺旋外表面设置有所述碳化钨涂层。

所述主动螺杆和所述从动螺杆的螺旋外表面作为工艺介质的主要过流部位，设置所述碳化钨涂层，可以提高耐磨和耐高温特性。

进一步优选地，所述螺杆组件还包括主动齿轮和从动齿轮；

所述主动齿轮与所述主动螺杆的一端传动连接，所述从动齿轮与所述从动螺杆的一端传动连接，且所述主动齿轮与所述从动齿轮啮合传动连接。

通过所述主动齿轮与所述从动齿轮啮合传动，带动所述主动螺杆和所述从动螺杆转动，提高传动效率。

进一步优选地，所述泵盖包括左端泵盖和右端泵盖；

所述左端泵盖盖设于所述左端泵体的端部，所述右端泵盖盖设于所述右端泵体的端部；

所述主动齿轮和所述从动齿轮位于所述左端泵盖内。

所述左端泵盖和所述右端泵盖可以对所述左端泵体和所述右端泵体形成密封和保护。

进一步优选地，所述主动螺杆和所述从动螺杆平行设置，且所述主动螺杆和所述从动螺杆的两端均设置有机械密封；

所述机械密封将所述中间泵体密封，并使所述左端泵体和所述右端泵体内分别形成润滑腔体。

进一步优选地，所述主动螺杆和所述从动螺杆分别为铸铁主动螺杆和铸铁从动螺杆；所述中间泵体为铸铁中间泵体。

所述主动螺杆和所述从动螺杆分别设置为铸铁主动螺杆和铸铁从动螺杆，铸铁材料具有优良的耐磨性能；铸铁材料具有优良的耐磨性能。

进一步优选地，所述碳化钨涂层的厚度为60um-200um；

所述碳化钨涂层的硬度为1200-1500Hv。

将所述碳化钨涂层的厚度设置在60um-200um之间，可以提高耐磨和耐高温特性；将所述碳化钨涂层的硬度设置为1200-1500Hv，可以提高碳化钨涂层的硬度和强度。

进一步优选地，所述碳化钨涂层的孔隙率＜1％；

所述碳化钨涂层与所述泵体的内壁和/或所述螺杆组件的外表面的结合强度＞80MPa。

将所述碳化钨涂层的孔隙率设置为＜1％，使所述碳化钨涂层更加致密，不易脱落，可以使所述碳化钨涂层更加耐磨、耐高温；将所述碳化钨涂层与所述泵体的内壁和/或所述螺杆组件的外表面的结合强度设置为＞80MPa，使设置所述碳化钨涂层后具有足够的强度。

进一步优选地，所述碳化钨涂层的表面粗糙度为Ra1.6。将所述碳化钨涂层的表面粗糙度为Ral.6，可以提高耐磨和耐高温特性。

相对于现有技术，本实用新型的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵通过在泵体的内壁和/或所述螺杆组件的外表面等抽吸工艺介质的过流部位设置碳化钨涂层，提高螺杆泵的硬度、耐磨、耐高温特性，大大提高了螺杆泵的使用寿命，且碳化钨涂层的厚度可调，提高组装精度，增加泵体运行稳定性，其解决了现有技术螺杆泵的螺杆表面易磨损、磨损后螺杆咬合、组装间隙调整困难以及使用寿命短等问题。本实用新型的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵具有结构简单、耐磨耐高温、使用寿命长等特点。

为了更好地理解和实施，下面结合附图详细说明本实用新型。

附图说明

图1是本实用新型的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵优选结构的结构示意图。

具体实施方式

在本说明书中提到或者可能提到的上、下、左、右、前、后、正面、背面、顶部、底部等方位用语是相对于各附图中所示的构造进行定义的，它们是相对的概念。因此，有可能会根据其所处不同位置、不同使用状态而进行相应地变化。所以，也不应当将这些或者其他的方位用语解释为限制性用语。

请参阅图1，图1是本实用新型的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵优选结构的结构示意图。本实用新型的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵，包括泵体1、螺杆组件2和泵盖3。所述螺杆组件2设置于所述泵体1内，所述泵盖3盖设于所述泵体1的端部；所述泵体1的内壁和/或所述螺杆组件2的外表面设置有碳化钨涂层。

具体地，所述泵体1包括连接为一体的左端泵体11、中间泵体12和右端泵体13。所述左端泵体11、中间泵体12和右端泵体13依次通过螺栓进行轴向连接。

所述螺杆组件2设置于所述左端泵体11、中间泵体12和右端泵体13之间。

所述中间泵体12的内壁设置有所述碳化钨涂层。

所述中间泵体12作为主要的工艺介质的过流部位，在所述中间泵体设置所述碳化钨涂层，可以提高其耐磨和耐高温特性。

所述螺杆组件2包括主动螺杆21和从动螺杆22。

所述主动螺杆21与所述从动螺杆22啮合传动，且所述主动螺杆21和所述从动螺杆22的两端均分别枢接于所述左端泵体和所述右端泵体13上。通过所述主动螺杆21与所述从动螺杆22的螺旋结构对工艺气体进行多级压缩，进而产生高真空。

所述主动螺杆21和所述从动螺杆22的螺旋外表面设置有所述碳化钨涂层。

所述主动螺杆21和所述从动螺杆22的螺旋外表面作为工艺介质的主要过流部位，设置所述碳化钨涂层，可以提高耐磨和耐高温特性。

本实施例的所述螺杆组件2还包括主动齿轮23和从动齿轮24。

所述主动齿轮23与所述主动螺杆21的一端传动连接，所述从动齿轮24与所述从动螺杆22的一端传动连接，且所述主动齿轮23与所述从动齿轮24啮合传动连接。

通过所述主动齿轮23与所述从动齿轮24啮合传动，带动所述主动螺杆21和所述从动螺杆22转动，提高传动效率。

本实施例的所述泵盖3包括左端泵盖31和右端泵盖32。

所述左端泵盖31盖设于所述左端泵体11的端部，所述右端泵盖32盖设于所述右端泵体13的端部。所述左端泵盖31和右端泵盖32通过螺栓分别与所述左端泵体11和所述右端泵体13连接，并采用密封垫密封。

所述主动齿轮23和所述从动齿轮24位于所述左端泵盖31内。

所述左端泵盖31和所述右端泵盖32可以对所述左端泵体11和所述右端泵体13形成密封和保护。

所述主动螺杆21和所述从动螺杆22平行设置，且所述主动螺杆21和所述从动螺杆22的两端均设置有机械密封。

所述机械密封将所述中间泵体12密封，并使所述左端泵体11和所述右端泵体13内分别形成润滑腔体。

进一步优选地，所述主动螺杆21和所述从动螺杆22分别为铸铁主动螺杆和铸铁从动螺杆。

所述主动螺杆21和所述从动螺杆22分别设置为铸铁主动螺杆和铸铁从动螺杆，铸铁材料具有优良的耐磨性能。

所述中间泵体12为铸铁中间泵体。铸铁材料具有优良的耐磨性能。

所述碳化钨涂层的厚度为60um-200um。所述碳化钨涂层的硬度为1200-1500Hv。将所述碳化钨涂层的厚度设置在60um-200um之间，可以提高耐磨和耐高温特性。将所述碳化钨涂层的硬度设置为1200-1500Hv，可以提高碳化钨涂层的硬度和强度。

优选地，本实施例的所述碳化钨涂层的孔隙率＜1％。所述碳化钨涂层与所述泵体1的内壁和/或所述螺杆组件2的外表面的结合强度＞80MPa。

将所述碳化钨涂层的孔隙率设置为＜1％，使所述碳化钨涂层更加致密，不易脱落，可以使所述碳化钨涂层更加耐磨、耐高温；将所述碳化钨涂层与所述泵体1的内壁和/或所述螺杆组件2的外表面的结合强度设置为＞80MPa，使所述泵体或所述螺杆组件2设置所述碳化钨涂层后具有足够的强度。

所述碳化钨涂层的表面粗糙度为Ra1.6。将所述碳化钨涂层的表面粗糙度为Ra1.6，可以提高耐磨和耐高温特性。

另外，所述碳化钨涂层可以进行二次打磨加工，同时可以通过打磨碳化钨涂层进行弥补涂层及螺杆组件2加工误差，进一步优化螺杆真空泵的运行间隙，以便于调整泵体1组装精度，能够更有效的保证泵体1的稳定性，大大提高泵体1的使用寿命。

本实用新型的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵的最高工作温度可达500℃，满足了大部分领域对真空泵的工作温度要求。

本实用新型的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵在泵体1的内壁和/或所述螺杆组件2的外表面等抽吸工艺介质的过流部位设置碳化钨涂层，以满足螺杆真空泵稳定运行过程中的耐磨、耐高温特性，大大提高了螺杆真空泵的使用寿命，可以为企业带来重大的经济收益。

相对于现有技术，本实用新型的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵通过在泵体的内壁和/或所述螺杆组件的外表面等抽吸工艺介质的过流部位设置碳化钨涂层，提高螺杆泵的硬度、耐磨、耐高温特性，大大提高了螺杆泵的使用寿命，且碳化钨涂层的厚度可调，提高组装精度，增加泵体运行稳定性，其解决了现有技术螺杆泵的螺杆表面易磨损、磨损后螺杆咬合、组装间隙调整困难以及使用寿命短等问题。本实用新型的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵具有结构简单、耐磨耐高温、使用寿命长等特点。

以上所述实施例仅表达了本实用新型的几种实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵，其特征在于：包括泵体、螺杆组件和泵盖；

所述螺杆组件设置于所述泵体内，所述泵盖盖设于所述泵体的端部；

所述泵体的内壁和/或所述螺杆组件的外表面设置有碳化钨涂层。

2.根据权利要求1所述的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵，其特征在于：所述泵体包括连接为一体的左端泵体、中间泵体和右端泵体；

所述螺杆组件设置于所述左端泵体、中间泵体和右端泵体之间；

所述中间泵体的内壁设置有所述碳化钨涂层。

3.根据权利要求2所述的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵，其特征在于：所述螺杆组件包括主动螺杆和从动螺杆；

所述主动螺杆与所述从动螺杆啮合传动，且所述主动螺杆和所述从动螺杆的两端均分别枢接于所述左端泵体和所述右端泵体上；

所述主动螺杆和所述从动螺杆的螺旋外表面设置有所述碳化钨涂层。

4.根据权利要求3所述的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵，其特征在于：所述螺杆组件还包括主动齿轮和从动齿轮；

所述主动齿轮与所述主动螺杆的一端传动连接，所述从动齿轮与所述从动螺杆的一端传动连接，且所述主动齿轮与所述从动齿轮啮合传动连接。

5.根据权利要求4所述的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵，其特征在于：所述泵盖包括左端泵盖和右端泵盖；

所述左端泵盖盖设于所述左端泵体的端部，所述右端泵盖盖设于所述右端泵体的端部；

所述主动齿轮和所述从动齿轮位于所述左端泵盖内。

6.根据权利要求5所述的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵，其特征在于：所述主动螺杆和所述从动螺杆平行设置，且所述主动螺杆和所述从动螺杆的两端均设置有机械密封；

所述机械密封将所述中间泵体密封，并使所述左端泵体和所述右端泵体内分别形成润滑腔体。

7.根据权利要求6所述的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵，其特征在于：所述主动螺杆和所述从动螺杆分别为铸铁主动螺杆和铸铁从动螺杆；

所述中间泵体为铸铁中间泵体。

8.根据权利要求1-7任一项所述的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵，其特征在于：所述碳化钨涂层的厚度为60um-200um；

所述碳化钨涂层的硬度为1200-1500Hv。

9.根据权利要求8所述的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵，其特征在于：所述碳化钨涂层的孔隙率＜1％；

所述碳化钨涂层与所述泵体的内壁和/或所述螺杆组件的外表面的结合强度＞80MPa。

10.根据权利要求8所述的应用于真空减压干燥的碳化钨螺杆真空泵，其特征在于：所述碳化钨涂层的表面粗糙度为Ra1.6。