CN209636318U - 一种pecvd辅助加热装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种PECVD辅助加热装置，涉及太阳能电池设备技术领域，包括主加热炉体、前端盖组件、后端盖组件、石墨舟以及辅助加热装置；所述的主加热炉体呈圆筒状，所述的前端盖组件和后端盖组件分别盖在主加热炉体的两端开口处，在主加热炉体内部形成反应腔室，所述的石墨舟即位于反应腔室内；所述的辅助加热装置包括多个加热套管，且多个加热套管均伸入反应腔室内，并位于石墨舟的一侧，加热套管的一端从前端盖组件处或后端盖组件处伸出；本实用新型的有益效果是：该PECVD辅助加热装置在升温阶段辅助主加热炉体加热，从而缩短加热时间和工艺时间，提高生产效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及太阳能电池设备技术领域，更具体的说，本实用新型涉及一种PECVD辅助加热装置。
背景技术
PECVD(Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)等离子体增强化学气象沉积是利用低温等离子体做能量源，硅片置于低气压下辉光放电的阴极上，利用辉光放电(或另加发热体)使硅片升温到预定的温度，然后通入适量的反应气体，气体经一秕化学和等离子体反应，在硅片上形成固态薄膜。
随着管式PECVD的单管单批次产能越来越大，石墨舟和加热炉体也随之加大，原有的单一炉体加热方式已经无法达到快速响应升温的要求了，增长了升温时间，降低了生产效率。
实用新型内容
为了克服现有技术的不足，本实用新型提供一种PECVD辅助加热装置，该PECVD辅助加热装置在升温阶段辅助主加热炉体加热，从而缩短加热时间和工艺时间，提高生产效率。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：一种PECVD辅助加热装置，其改进之处在于：包括主加热炉体、前端盖、后端盖组件、石墨舟以及辅助加热装置；
所述的主加热炉体呈圆筒状，所述的前端盖组件和后端盖组件分别盖在主加热炉体的两端开口处，在主加热炉体内部形成反应腔室，所述的石墨舟即位于反应腔室内；
所述的辅助加热装置包括多个加热套管，且多个加热套管均伸入反应腔室内，并位于石墨舟的一侧，加热套管的一端从前端盖组件处或后端盖组件处伸出。
在上述的结构中，所述的主加热炉体的内部设置有呈管状的石英管，所述的石墨舟和辅助加热装置均设置在石英管内。
在上述的结构中，所述的前端盖组件包括前支撑板、前保温圈、前法兰以及前端盖板；
所述的前保温圈抵靠在前支撑板的一侧，且前保温圈和前支撑板均穿过于石英管的一端，所述的前法兰固定于前支撑板的另一侧，所述的前端盖板盖在所述的前法兰上。
在上述的结构中，所述的后端盖组件后支撑板、后保温圈、后法兰以及后端盖板；
所述的后保温圈抵靠在后支撑板的一侧，且后保温圈和后支撑板均穿过于石英管的另一端，所述的后法兰固定于后支撑板的另一侧，所述的后端盖板盖在所述的后法兰上。
本实用新型的有益效果是：为了提升工艺效果和缩短工艺时间，在反应腔室中增加辅助加热装置，通过辐射迅速提高石墨舟和硅片的温度，缩短恒温时间，达到更好的镀膜效果。相比原有PECVD设备，明显提升生产效率，同时由于只在两个工序中应用此辅助加热装置，能更好的利用加热产生的热量，达到节能减排的目的。
附图说明
图1为本实用新型的一种PECVD辅助加热装置的立体结构示意图。
图2为本实用新型的一种PECVD辅助加热装置的剖面示意图。
图3为本实用新型的一种PECVD辅助加热装置的分解示意图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
以下将结合实施例和附图对本实用新型的构思、具体结构及产生的技术效果进行清楚、完整地描述，以充分地理解本实用新型的目的、特征和效果。显然，所描述的实施例只是本实用新型的一部分实施例，而不是全部实施例，基于本实用新型的实施例，本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例，均属于本实用新型保护的范围。另外，专利中涉及到的所有联接/连接关系，并非单指构件直接相接，而是指可根据具体实施情况，通过添加或减少联接辅件，来组成更优的联接结构。本实用新型创造中的各个技术特征，在不互相矛盾冲突的前提下可以交互组合。
参照图1、图2以及图3所示，本实用新型揭示了一种PECVD辅助加热装置，具体的，包括主加热炉体10、前端盖组件20、后端盖组件30、石墨舟40以及辅助加热装置50；所述的主加热炉体10呈圆筒状，所述的前端盖组件20和后端盖组件30分别盖在主加热炉体10的两端开口处，在主加热炉体10内部形成反应腔室101，所述的石墨舟40即位于反应腔室101内；所述的辅助加热装置50包括多个加热套管501，且多个加热套管501均伸入反应腔室101内，并位于石墨舟40的一侧，加热套管501的一端从前端盖组件20处或后端盖组件30处伸出。
在上述的实施例中，如图3所示，所述的主加热炉体10的内部设置有呈管状的石英管102，所述的石墨舟40和辅助加热装置50均设置在石英管102内。并且，所述的前端盖组件20包括前支撑板201、前保温圈202、前法兰203以及前端盖板204；所述的前保温圈202抵靠在前支撑板201的一侧，且前保温圈202和前支撑板201均穿过于石英管102的一端，所述的前法兰203固定于前支撑板201的另一侧，所述的前端盖板204盖在所述的前法兰203上。进一步的，所述的后端盖组件30包括后支撑板301、后保温圈302、后法兰303以及后端盖板304；所述的后保温圈302抵靠在后支撑板301的一侧，且后保温圈302和后支撑板301均穿过于石英管102的另一端，所述的后法兰303固定于后支撑板301的另一侧，所述的后端盖板304盖在所述的后法兰303上。
我们对本实用新型的一种PECVD辅助加热装置50的工作过程进行详细说明，首先打开前端盖板204，装入冷态的石墨舟40(带有硅片)，关闭前端盖板204，进行升温和抽真空，此时主加热炉体10和辅助加热装置50一同加热，进入恒温状态，通气反应镀膜，此后降温并恢复常压，打开前端盖板204并取出石墨舟40。在此流程中，工艺时间的缩短和效果的提升主要取决于升温和恒温段的时间，为了提升工艺效果和缩短工艺时间，在反应腔室101中增加辅助加热装置50，通过辐射迅速提高石墨舟40和硅片的温度，缩短恒温时间，达到更好的镀膜效果。相比原有PECVD设备，明显提升生产效率，同时由于只在两个工序中应用此辅助加热装置50，能更好的利用加热产生的热量，达到节能减排的目的。
以上是对本实用新型的较佳实施进行了具体说明，但本实用新型创造并不限于所述实施例，熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型精神的前提下还可做出种种的等同变形或替换，这些等同的变形或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。
Claims (4)
1.一种PECVD辅助加热装置，其特征在于：包括主加热炉体、前端盖组件、后端盖组件、石墨舟以及辅助加热装置；
所述的主加热炉体呈圆筒状，所述的前端盖组件和后端盖组件分别盖在主加热炉体的两端开口处，在主加热炉体内部形成反应腔室，所述的石墨舟即位于反应腔室内；
所述的辅助加热装置包括多个加热套管，且多个加热套管均伸入反应腔室内，并位于石墨舟的一侧，加热套管的一端从前端盖组件处或后端盖组件处伸出。
2.根据权利要求1所述的一种PECVD辅助加热装置，其特征在于：所述的主加热炉体的内部设置有呈管状的石英管，所述的石墨舟和辅助加热装置均设置在石英管内。
3.根据权利要求2所述的一种PECVD辅助加热装置，其特征在于：所述的前端盖组件包括前支撑板、前保温圈、前法兰以及前端盖板；
所述的前保温圈抵靠在前支撑板的一侧，且前保温圈和前支撑板均穿过于石英管的一端，所述的前法兰固定于前支撑板的另一侧，所述的前端盖板盖在所述的前法兰上。
4.根据权利要求3所述的一种PECVD辅助加热装置，其特征在于：所述的后端盖组件后支撑板、后保温圈、后法兰以及后端盖板；
所述的后保温圈抵靠在后支撑板的一侧，且后保温圈和后支撑板均穿过于石英管的另一端，所述的后法兰固定于后支撑板的另一侧，所述的后端盖板盖在所述的后法兰上。
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2019
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