CN209626180U - 适于真空室的真空气路结构 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了适于真空室的真空气路结构，包括分子泵和阀体组件，分子泵的出气口与前级泵的三通管第一管口相连通，阀体组件包括阀体，阀体上开设有主通道，阀体底部设置有低真空规；阀体上部水平开设有进出气通道；阀体的左右两侧交错设置有第一、第二真空电磁阀，阀体上水平设置有进气通道和抽真空通道，抽真空通道出气口的快插接头与三通管第二管口连通。本实用新型结构简单紧凑，将进气通道和抽真空通道集成在阀体组件上，不仅能够快速实现过渡腔室与外界空气连通，使外界气体进入过渡腔室减小负压；还能快速将过渡腔室内的气体抽走，保证真空室的高真空度，满足样品检测需求。

Description

适于真空室的真空气路结构

技术领域

本实用新型涉及飞行时间质谱仪，尤其是涉及一种适于真空室的真空气路结构。

背景技术

基质辅助激光解析离子源飞行时间质谱仪的真空室是固态样品解析过程，样品靶槽内的样品通过进出样机构自离子源室的舱门进入真空环境，即样品先进入由样品靶槽和舱门围成的过渡腔室（即低真空度（10^-2mbar）区域），然后样品随样品靶槽移动至真空室的高真空度（10^-7mbar）区域。因而，真空室外需要设置真空系统，当需要更换样品时真空系统对过渡腔室放气，当样品进入真空室后真空系统需要抽取真空室的空气，保证真空室的高真空度。现有真空系统的抽真空阀体和通气阀体单独设置，占用空间，安装麻烦。

发明内容

本实用新型目的在于提供一种结构紧凑的适于真空室的真空气路结构，阀体组件既具有进气作用，还具有抽真空作用。

为实现上述目的，本实用新型采取下述技术方案：

本实用新型所述的飞行时间质谱仪用真空气路结构，包括连通设置在真空室侧壁上的分子泵和阀体组件，所述分子泵的出气口与前级泵的三通管第一管口相连通，所述阀体组件的抽气出口通过管路与所述三通管第二管口相连通，所述阀体组件包括固连在所述真空室侧壁上的阀体，所述阀体上开设有自其顶部向下延伸的主通道，阀体底部设置有用于检测所述主通道内真空度的低真空规；阀体上部水平开设有用于连通过渡腔室和所述主通道的进出气通道；所述阀体的左右两侧交错设置有第一真空电磁阀和第二真空电磁阀，与所述第二真空电磁阀对应处的阀体上水平设置有用于连通主通道和所述第二真空电磁阀的进气通道，与所述第一真空电磁阀对应处的阀体上水平开设有用于连通主通道和所述第一真空电磁阀的抽真空通道，在所述抽真空通道出气口处设置有快插接头，所述管路插装在所述快插接头上。

所述主通道为贯穿所述阀体的通孔，在主通道的顶部密封插装有密封块，阀体的底部通过螺栓密封设置有用于连接所述低真空规的连接件。

所述低真空规通过法兰与所述连接件相固连，低真空规的探头向上穿过连接件延伸至所述主通道内。

本实用新型优点在于结构简单紧凑，将进气通道和抽真空通道集成在阀体组件上，不仅能够快速实现过渡腔室与外界空气连通，使外界气体进入过渡腔室减小负压；还能快速将过渡腔室内的气体抽走，保证真空室的高真空度，满足样品检测需求。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

图2是图1中阀体组件的结构示意图。

图3是图2中A-A向的剖视结构示意图。

图4是图2中B-B向的剖视结构示意图。

图5是图2中C-C向的剖视结构示意图。

图6是图2的俯视图。

图7是图6中N-N向的剖视结构示意图。

具体实施方式

如图1-图7所示，本实用新型所述适于真空室的真空气路结构，包括连通设置在真空室1侧壁上的分子泵2和阀体组件4，所述分子泵2的出气口与前级泵3的三通管第一管口相连通，所述阀体组件4的抽气出口通过管路5与所述三通管第二管口相连通，所述阀体组件4包括固连在所述真空室1侧壁上的阀体4.1，所述阀体4.1上开设有自其顶部向下延伸的主通道4.2，阀体4.1底部设置有用于检测所述主通道4.2内真空度的低真空规4.3；阀体4.1上部水平开设有用于连通过渡腔室和所述主通道4.2的进出气通道4.4；所述阀体4.1的左右两侧交错设置有第一真空电磁阀4.5和第二真空电磁阀4.6，与所述第二真空电磁阀4.6对应处的阀体4.1上水平设置有用于连通主通道4.2和第二真空电磁阀4.6的进气通道，与所述第一真空电磁阀4.5对应处的阀体4.1上水平开设有用于连通主通道4.2和第一真空电磁阀4.5的抽真空通道4.8，在所述抽真空通道4.8出气口处设置有快插接头4.9（即为阀体组件4的抽气出口），所述管路5插装在所述快插接头4.9上。

如图3和图7所示，所述主通道4.2为贯穿所述阀体4.1的通孔，在主通道4.2的顶部密封插装有密封块4.10，阀体4.1的底部通过螺栓密封设置有用于连接所述低真空规4.3的连接件4.11，低真空规4.3通过法兰4.12与所述连接件4.11相固连，低真空规4.3的探头向上穿过连接件4.11延伸至所述主通道4.2内。

为实现自动化控制，低真空规4.3的信号输出端与单片机的信号输入端电连接，单片机的控制输出端分别与所述前级泵3的控制输入端、分子泵2的控制输入端、第一真空电磁阀4.5的控制输入端和第二真空电磁阀4.6的控制输入端电连接。

本实用新型的具体工作过程简述如下：

首先，单片机控制前级泵3工作，第二真空电磁阀4.6断开使进气通道4.7处于断路状态，第一真空电磁阀4.5打开，使得真空室1内的空气由经进出气通道4.4和主通道4.2进入抽真空通道4.8，然后在前级泵3的作用下将抽真空通道4.8内的气体抽出，当真空室1的真空度达到预设值时，单片机控制分子泵2工作继续抽取真空室1的气体，使真空室1的真空度稳定在10^-7mbar。当需要更换样品或放置样品时，样品靶板上升与真空室1形成过渡腔室，单片机控制第一真空电磁阀4.5断开，使抽真空通道4.8处于断路状态，单片机控制第二真空电磁阀4.6闭合，使进气通道4.7处于通路状态，外界空气由进气通道4.7经主通道4.2和进出气通道4.4进入过渡腔室，低真空规4.3实时检测过渡腔室的真空度，当过渡腔室的真空度达到预设值时，单片机控制第二真空电磁阀4.6处于断路状态，操作人员打开舱门，在样品靶板上放置样品，样品放置结束后样品靶板下降使得过渡腔室与真空室1连为一体，单片机控制第一真空电磁阀4.5处于闭合状态，使得抽气通道处于通路状态，前级泵3将真空室1内的气体抽走，保证真空室1的高真空度保持在10^-7mbar。

在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语 “左”、“右”、“垂直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

Claims (3)

1.一种适于真空室的真空气路结构，包括连通设置在真空室（1）侧壁上的分子泵（2）和阀体组件，所述分子泵（2）的出气口与前级泵（3）的三通管第一管口相连通，所述阀体组件（4）的抽气出口通过管路（5）与所述三通管第二管口相连通，其特征在于：所述阀体组件（4）包括固连在所述真空室（1）侧壁上的阀体（4.1），所述阀体（4.1）上开设有自其顶部向下延伸的主通道（4.2），阀体（4.1）底部设置有用于检测所述主通道（4.2）内真空度的低真空规（4.3）；阀体（4.1）上部水平开设有用于连通过渡腔室和所述主通道（4.2）的进出气通道（4.4）；所述阀体（4.1）的左右两侧交错设置有第一真空电磁阀（4.5）和第二真空电磁阀（4.6），与所述第二真空电磁阀（4.6）对应处的阀体（4.1）上水平设置有用于连通主通道（4.2）和所述第二真空电磁阀（4.6）的进气通道（4.7），与所述第一真空电磁阀（4.5）对应处的阀体（4.1）上水平开设有用于连通主通道（4.2）和所述第一真空电磁阀（4.5）的抽真空通道（4.8），在所述抽真空通道（4.8）出气口处设置有快插接头（4.9），所述管路（5）插装在所述快插接头（4.9）上。

2.根据权利要求1所述的适于真空室的真空气路结构，其特征在于：所述主通道（4.2）为贯穿所述阀体（4.1）的通孔，在主通道（4.2）的顶部密封插装有密封块（4.10），阀体（4.1）的底部通过螺栓密封设置有用于连接所述低真空规（4.3）的连接件（4.11）。

3.根据权利要求2所述的适于真空室的真空气路结构，其特征在于：所述低真空规（4.3）通过法兰（4.12）与所述连接件（4.11）相固连，低真空规（4.3）的探头向上穿过连接件（4.11）延伸至所述主通道（4.2）内。