CN209622063U - 一种用于真空镀膜的气动转板阀 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种用于真空镀膜的气动转板阀，包括阀板、转动轴体、两套气动驱动装置、牵引装置、电磁换向阀和光电探测器，阀板设置在真空箱体的通道口处，设置于阀板内侧的闭合部能够完全覆盖住真空箱体的通道口，阀板外侧与转动轴体之间通过牵引装置固定连接，转动轴体设置在阀板的一侧，两套气动驱动装置分别安装于真空箱体的侧壁上下两端，两套气动驱动装置与转动轴体的上下端可转动连接，电磁换向阀通过输气管道连接每套气动驱动装置的气源，光电探测器设置在真空箱体壁上，光电探测器的感应探头对准真空箱体内感应临近阀板的工件车，光电探测器与电磁换向阀电连接。本转板阀的结构简单，可自动开关且密封性能佳。

Description

一种用于真空镀膜的气动转板阀

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜工艺设备技术领域，尤其涉及一种用于真空镀膜的真空环境下的气动转板阀。

背景技术

在真空镀膜工艺中，一般在真空镀膜生产线中存在连续的真空镀膜设备，由于相邻的两个设备腔体的功能有所不同，其所需要的真空度亦有所差异，因此腔体之间需要架设闸门阀，用于将腔体隔开，避免各腔体在作业时产生相互干扰的情形。目前真空镀膜设备各真空箱体之间使用的阀门为转板阀，即利用转动轴体带动阀板转动，然而，在转板阀结构设计上确有其不周之处，往往存在转板阀开关故障，或密封不良，严重影响生产的顺利进行。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种结构简单、可自动开关且密封性能佳的用于真空镀膜的气动转板阀。

为了实现上述目的，本实用新型采用的技术方案为，一种用于真空镀膜的气动转板阀，包括阀板、转动轴体、两套气动驱动装置、牵引装置、电磁换向阀和光电探测器，阀板设置在真空箱体的通道口处，设置于阀板内侧的闭合部能够完全覆盖住真空箱体的通道口，阀板外侧与转动轴体之间通过牵引装置固定连接，转动轴体设置在阀板的一侧，与真空箱体位于同一侧，两套气动驱动装置分别安装于真空箱体的侧壁上下两端，两套气动驱动装置与转动轴体的上下端可转动连接，电磁换向阀通过输气管道连接每套气动驱动装置的气源，光电探测器设置在真空箱体壁上，光电探测器的感应探头对准真空箱体内部来感应临近阀板的工件车，光电探测器与电磁换向阀电连接。

作为本实用新型的一种改进， 每套气动驱动装置包括驱动气缸、齿轮杆、带轴承齿轮、高压气源，齿轮杆的一端连接驱动气缸的活塞，另一端端部设有齿条，齿轮杆通过齿条与带轴承齿轮相啮合连接，带轴承齿轮中设有凹槽，转动轴体卡设于凹槽中，电磁换向阀通过输气管道分别连接高压气源和驱动气缸的气口。

作为本实用新型的一种改进，所述光电探测器包括光电感应器和微控制器，光电感应器连接微控制器的输入端，微控制器的输出端连接电磁换向阀，光电感应器对准真空箱体的通道口。

作为本实用新型的一种改进，所述电磁换向阀采用两位五通阀，所述输气管道包括一根进气管和四根出气管，进气管与出气管分别连接至电磁换向阀的进气口和两个出气口，进气管连接高压气源，电磁换向阀的另外两个出气口通过两根出气管连接驱动气缸的气口。

作为本实用新型的一种改进，所述阀板内侧的闭合部中设有能够覆盖真空箱体通道口周围的密封圈。

作为本实用新型的一种改进， 所述阀板内侧的闭合部设有一圈凹槽，密封圈内镶嵌于凹槽中。

作为本实用新型的一种改进，所述光电感应器采用型号为欧姆龙E3FA-TN11的光电传感器。

作为本实用新型的一种改进，所述牵引装置采用4-6根钢构连接杆，所有钢构连接杆均沿竖直方向均匀分布，钢构连接杆的一端焊接在阀板的外侧，另一端焊接在转动轴体上。

作为本实用新型的一种改进，所述齿条的数量为一对，并排设置于齿轮杆的端部，在齿轮杆的一侧设有与转动轴体相平行的竖杆，其中一个齿条位于转动轴体侧，与转动轴体上的带轴承齿轮相啮合，另一个齿条位于竖杆侧，在竖杆上固定套接有齿轮，齿轮能够与位于竖杆侧的齿条相啮合转动。

相对于现有技术，本实用新型的整体结构设计巧妙，结构合理稳定，体积紧凑，通过电磁换向阀及光电探测器及气动驱动装置的结合使用实现了阀板的自动开关操作，由于电磁换向阀的使用，使得阀板的开关操作更加精确，有效保障了真空箱体的真空环境，同时由于在阀板与真空箱体通道口的闭合部设置的密封圈使得转板阀对真空箱体的密封性更加良好，长期使用后也方便更换。另外，通过气动驱动装置中的驱动气缸、齿轮杆、带轴承齿轮的结构设计实现了阀板在牵引装置的牵引作用下运动，也便于维护和保养。

附图说明

图1为本实用新型的气动转板阀结构示意图。

图2为本实用新型在省略气动驱动装置情况下的气动转板阀的顶部结构示意图。

图3为本实用新型的气动驱动装置结构示意图。

图4为本实用新型的齿轮杆与带轴承齿轮的传动结构示意图。

图中：1-真空箱体，2-阀板，3-转动轴体，4-气动驱动装置，5-牵引装置，6-电磁换向阀，7-驱动气缸，8-齿轮杆，9-带轴承齿轮，10-齿条，11-密封圈，12-齿轮。

具体实施方式

为了加深对本实用新型的理解和认识，下面结合附图对本实用新型作进一步描述和介绍。

如图1-3所示，一种用于真空镀膜的气动转板阀，包括阀板2、转动轴体3、两套气动驱动装置4、牵引装置5、电磁换向阀6和光电探测器，阀板2设置在真空箱体1的通道口处，设置于阀板2内侧的闭合部能够完全覆盖住真空箱体1的通道口，阀板2外侧与转动轴体3之间通过牵引装置5固定连接，转动轴体3设置在阀板2的一侧，与真空箱体1位于同一侧，两套气动驱动装置4分别安装于真空箱体1的侧壁上下两端，两套气动驱动装置4与转动轴体3的上下端可转动连接，电磁换向阀6通过输气管道连接每套气动驱动装置4的气源，用于调节气动驱动装置4内部的高压气压差，光电探测器设置在真空箱体1壁上，光电探测器的感应探头对准真空箱体1内部来感应临近阀板2的工件车，光电探测器与电磁换向阀6电连接，通过感应探头对工件车进行感应探测，然后发送信号给电磁换向阀6调节气动驱动装置4内部的气压差来控制转动轴体3的转动来带动阀板2的开与关。

其中，采用两套气动驱动装置4作为动力源来驱动转动轴体3，可有效确保转动轴体3通过牵引装置5精准平稳地带动阀板2进行开关操作。每套气动驱动装置4包括驱动气缸7、齿轮杆8、带轴承齿轮9、高压气源，齿轮杆8的一端连接驱动气缸7的活塞，另一端端部设有齿条10，齿轮杆8通过齿条10与带轴承齿轮9相啮合连接，带轴承齿轮9中设有凹槽，转动轴体3卡设于凹槽中，转动轴体3可随带轴承齿轮9一块转动，电磁换向阀6通过输气管道分别连接高压气源和驱动气缸7的气口。光电感应探头接收到信号后发送电信号给电磁换向阀6，电磁换向阀6接收到信号后改变电磁转向阀内阀芯的位置，实现电磁换向阀6的开关切换，从而改变气源通道内高压气体的走向，改变驱动气缸7内活塞前后压力差，使活塞运动，进而带动齿轮杆8直线往复运动。

优选的，所述光电探测器包括光电感应器和微控制器，光电感应器连接微控制器的输入端，微控制器的输出端连接电磁换向阀6，通过微控制器对光电感应器的感应信号进行处理后转换成电磁换向阀6能够接受的电信号，光电感应器对准真空箱体1的通道口，对真空箱体1内部的工件车进行感应监测。其中，所述光电感应器采用型号为欧姆龙E3FA-TN11的光电传感器。

进一步优选的，所述电磁换向阀6采用两位五通阀，所述输气管道包括一根进气管和四根出气管，进气管与出气管分别连接至电磁换向阀6的进气口和两个出气口，进气管连接高压气源，电磁换向阀6的另外两个出气口通过两根出气管连接驱动气缸7的气口。

更进一步优选的，所述阀板2内侧的闭合部中设有能够覆盖真空箱体1通道口周围的密封圈11。为了便于长期使用后更换密封效果差的旧密封圈11，在阀板2内侧的闭合部设有一圈凹槽，密封圈11内镶嵌于凹槽中。通过增设密封圈11，能够进一步提高阀板2与真空箱体1通道口之间的密封性能。

更进一步优选的，所述牵引装置5采用4-6根钢构连接杆，牵引性能佳及结构稳定性好，所有钢构连接杆均沿竖直方向均匀分布，钢构连接杆的一端焊接在阀板2的外侧，另一端焊接在转动轴体3上。

更进一步优选的，如图4所示，为了确保齿轮杆8对转动轴体3具备较强的驱动力，将齿条10的数量设为一对，并排设置于齿轮杆8的端部，另外，在齿轮杆8的一侧设有与转动轴体3相平行的竖杆，竖杆和转动轴体3分别位于齿轮杆8的两侧，其中的一个齿条10位于转动轴体3侧，与转动轴体3上的带轴承齿轮9相啮合传动，另一个齿条10位于竖杆侧，并在竖杆上固定套接有齿轮12，齿轮12能够与位于竖杆侧的齿条10相啮合传动。

本实用新型所提出的气动转板阀的结构简单，稳定可靠，可实现真空箱体1通道口处的阀板2自动开与关，大大降低了阀板2在使用过程中的开关故障，提高了真空镀膜设备的自动化程度，也大大提高了真空镀膜设备的生产效率。另外，通过光电探测器和电磁换向阀6、驱动气缸7及齿轮杆8和带轴承齿轮9的结构设计，能够确保阀板2的开与关动作更加精确可控，并也便于维护和保养此外，通过在阀板2内侧的闭合部内镶嵌设置密封圈11，可有效保证阀板2的密封效果，也便于更换。

本实用新型方案所公开的技术手段不仅限于上述实施方式所公开的技术手段，还包括由以上技术特征任意组合所组成的技术方案。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也视为本实用新型的保护范围。

Claims (9)

1.一种用于真空镀膜的气动转板阀，其特征在于：包括阀板、转动轴体、两套气动驱动装置、牵引装置、电磁换向阀和光电探测器，阀板设置在真空箱体的通道口处，设置于阀板内侧的闭合部能够完全覆盖住真空箱体的通道口，阀板外侧与转动轴体之间通过牵引装置固定连接，转动轴体设置在阀板的一侧，两套气动驱动装置分别安装于真空箱体的侧壁上下两端，两套气动驱动装置与转动轴体的上下端可转动连接，电磁换向阀通过输气管道连接每套气动驱动装置的气源，光电探测器设置在真空箱体壁上，光电探测器的感应探头对准真空箱体内部来感应临近阀板的工件车，光电探测器与电磁换向阀电连接。

2.如权利要求1所述的一种用于真空镀膜的气动转板阀，其特征在于，每套气动驱动装置包括驱动气缸、齿轮杆、带轴承齿轮、高压气源，齿轮杆的一端连接驱动气缸的活塞，另一端端部设有齿条，齿轮杆通过齿条与带轴承齿轮相啮合连接，带轴承齿轮中设有凹槽，转动轴体卡设于凹槽中，电磁换向阀通过输气管道分别连接高压气源和驱动气缸的气口。

3.如权利要求2所述的一种用于真空镀膜的气动转板阀，其特征在于，所述光电探测器包括光电感应器和微控制器，光电感应器连接微控制器的输入端，微控制器的输出端连接电磁换向阀，光电感应器对准真空箱体的通道口。

4.如权利要求3所述的一种用于真空镀膜的气动转板阀，其特征在于，所述光电感应器采用型号为欧姆龙E3FA-TN11的光电传感器。

5.如权利要求2所述的一种用于真空镀膜的气动转板阀，其特征在于，所述电磁换向阀采用两位五通阀，所述输气管道包括一根进气管和四根出气管，进气管与出气管分别连接至电磁换向阀的进气口和两个出气口，进气管连接高压气源，电磁换向阀的另外两个出气口通过两根出气管连接驱动气缸的气口。

6.如权利要求1-5任一项所述的一种用于真空镀膜的气动转板阀，其特征在于，所述阀板上位于真空箱体的通道口的闭合部设有密封圈。

7.如权利要求6所述的一种用于真空镀膜的气动转板阀，其特征在于，所述阀板内侧的闭合部设有一圈凹槽，密封圈内镶嵌于凹槽中。

8.如权利要求7所述的一种用于真空镀膜的气动转板阀，其特征在于，所述牵引装置采用4-6根钢构连接杆，所有钢构连接杆均沿竖直方向均匀分布，钢构连接杆的一端焊接在阀板的外侧，另一端焊接在转动轴体上。

9.如权利要求2所述的一种用于真空镀膜的气动转板阀，其特征在于，所述齿条的数量为一对，并排设置于齿轮杆的端部，在齿轮杆的一侧设有与转动轴体相平行的竖杆，其中一个齿条位于转动轴体侧，与转动轴体上的带轴承齿轮相啮合，另一个齿条位于竖杆侧，在竖杆上固定套接有齿轮，齿轮能够与位于竖杆侧的齿条相啮合转动。