CN209579043U - 一种碳化硅晶棒端面磨削装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及晶棒加工附属装置的技术领域，特别是涉及一种碳化硅晶棒端面磨削装置，可对多种尺寸的碳化硅晶棒进行加紧固定；可通过机械手段对碳化硅晶棒进行磨削操作，减轻工作人员的劳动强度；包括工作台、加紧机构和电机，夹紧机构还包括第一固定块，电机输出端设置有传动轴，传动轴输出端设置有砂轮；夹紧机构还包括气缸、第二固定块、第一前连接板、第一后连接板、第二前连接板、第二后连接板、前弹簧、后弹簧、前转动杆、后转动杆、前转盘和后转盘，气缸顶部输出端设置有伸缩杆，前转动杆和后转动杆与前转动孔和后转动孔内侧壁之间分别设置有第一前滚珠轴承和第一后滚珠轴承；还包括底座、齿条、齿轮和转轴。

Description

一种碳化硅晶棒端面磨削装置

技术领域

本实用新型涉及晶棒加工附属装置的技术领域，特别是涉及一种碳化硅晶棒端面磨削装置。

背景技术

众所周知，碳化硅晶棒端面磨削装置是一种用于碳化硅晶棒加工过程中对碳化硅晶棒的端面进行磨削的辅助装置，其在晶棒加工的领域中得到了广泛的使用；现有的碳化硅晶棒端面磨削装置包括工作台、加紧机构和电机，夹紧机构还包括第一固定块，第一固定块底端与工作台顶端左半区域连接，第一固定块左侧壁中央区域横向设置有固定孔，电机输出端设置有传动轴，传动轴输出端设置有砂轮；现有的碳化硅晶棒端面磨削装置使用时，工作人员把碳化硅晶棒从固定孔中穿过，一名工作人员手动固定住碳化硅晶棒的位置，打开电机，电机驱动传动轴转动，传动轴带动砂轮转动，另一名工作人员手持电机，通过砂轮对碳化硅晶棒的端面进行磨削；现有的碳化硅晶棒端面磨削装置使用中发现，只可对一种尺寸的碳化硅晶棒进行固定，导致其使用局限性较高；工作人员手持电机进行工作，使得工作人员的劳动强度较大，导致其使用便利性较差。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型提供一种可对多种尺寸的碳化硅晶棒进行加紧固定，降低使用局限性；可通过机械手段对碳化硅晶棒进行磨削操作，减轻工作人员的劳动强度，提高使用便利性的碳化硅晶棒端面磨削装置。

本实用新型的一种碳化硅晶棒端面磨削装置，包括工作台、加紧机构和电机，夹紧机构还包括第一固定块，电机输出端设置有传动轴，传动轴输出端设置有砂轮；夹紧机构还包括气缸、第二固定块、第一前连接板、第一后连接板、第二前连接板、第二后连接板、前弹簧、后弹簧、前转动杆、后转动杆、前转盘和后转盘，所述气缸底端与工作台顶端左半区域连接，气缸顶部输出端设置有伸缩杆，所述伸缩杆顶端与第一固定块底端中央区域连接，第一固定块顶端和第二固定块底端中央区域分别设置有第一通槽和第二通槽，所述第一通槽和第二通槽分别与第一固定块和第二固定块左端和右端连通，所述第一前连接板和第一后连接板分别安装在第一固定块前侧壁和后侧壁上半区域，第一前连接板和第一后连接板顶端中央区域分别纵向设置有前转动孔和后转动孔，所述第二前连接板和第二后连接板分别安装在第二固定块前侧壁和后侧壁下半区域，第二前连接板和第二后连接板顶端中央区域分别纵向设置有前螺纹孔和后螺纹孔，所述前弹簧和后弹簧一端分别与第一前连接板和第一后连接板顶端中央区域连接，前弹簧和后弹簧另一端分别与第二前连接板和第二后连接板底端中央区域连接，所述前转动杆和后转动杆外侧壁上半区域均设置有外螺纹，前转动杆和后转动杆顶端分别螺装穿过前螺纹孔和后螺纹孔并分别与前转盘和后转盘底端中央区域连接，前转动杆和后转动杆底端分别穿过前弹簧和后弹簧并分别插入至前转动孔和后转动孔内，前转动杆和后转动杆与前转动孔和后转动孔内侧壁之间分别设置有第一前滚珠轴承和第一后滚珠轴承；还包括底座、齿条、齿轮和转轴，工作台顶端右半区域后侧设置有滑动槽，所述底座底端伸入至滑动槽内，电机安装在底座顶端，所述齿条底端与工作台顶端右半区域前侧连接，底座前侧壁中央区域设置有转动槽，所述转轴前端与齿轮后侧壁中央区域连接，转轴后端插入至转动槽内，齿轮与齿条啮合。

本实用新型的一种碳化硅晶棒端面磨削装置，还包括左支撑板、右支撑板和限位杆，所述左支撑板和右支撑板底端分别与工作台顶端左半区域和右半区域连接，底座左侧壁下半区域横向设置有滑动孔，所述限位杆左端与左支撑板右侧壁中央区域连接，限位杆右端穿过滑动孔并与右支撑板左侧壁中央区域连接。

本实用新型的一种碳化硅晶棒端面磨削装置，还包括前把手和后把手，所述前把手和后把手底端分别与前转盘和后转盘顶端左半区域连接。

本实用新型的一种碳化硅晶棒端面磨削装置，第一通槽内底侧壁和第二通槽内顶侧壁分别设置有第一防滑垫和第二防滑垫。

本实用新型的一种碳化硅晶棒端面磨削装置，还包括摇把，所述摇把后端与齿轮前侧壁上半区域连接。

本实用新型的一种碳化硅晶棒端面磨削装置，转动槽内设置有第二滚珠轴承，转轴后端插入至第二滚珠轴承内并与第二滚珠轴承键连接。

本实用新型的一种碳化硅晶棒端面磨削装置，还包括四组支腿和四组滚轮，所述四组支腿顶端分别与工作台底端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧连接，所述四组滚轮分别安装在四组支腿底端。

本实用新型的一种碳化硅晶棒端面磨削装置，还包括推动杆，所述推动杆底端与工作台右侧壁中央区域连接。

与现有技术相比本实用新型的有益效果为：前弹簧和后弹簧的弹力适中，同时转动前转盘和后转盘，前转盘和后转盘分别带动前转动杆和后转动杆旋转，由于前转动杆和后转动杆外侧壁上半区域均设置有外螺纹，且前转动杆和后转动杆与前转动孔和后转动孔内侧壁之间分别设置有第一前滚珠轴承和第一后滚珠轴承，使得前转动杆和后转动杆可分别在前转动孔和后转动孔内转动，前转动杆和后转动杆转动的同时使得第二前连接板和第二后连接板上下运动，由于第二前连接板和第二后连接板分别安装在第二固定块前端和后端，使得第二固定块随着前转动杆和后转动杆的转动而向上或向下运动，进而可以对不同尺寸的碳化硅晶片进行加紧固定，通过气缸控制伸缩杆进行升降，可对夹紧之后的碳化硅晶棒的高度进行调节，降低使用局限性；底座前侧壁、后侧壁和底侧壁分别与滑动槽内前侧壁、内后侧壁和内底侧壁光滑接触，使得底座可在滑动槽内左右平顺的滑动，由于转轴后端插入至转动槽内，且转轴可在转动槽内转动，齿轮与齿条啮合，转动齿轮，齿轮可在齿条上左右运动，进而带动底座在滑动槽内左右运动，由于电机安装在底座顶端，使得电机和砂轮随底座一同左右运动，实现了通过机械手段对碳化硅晶片进行磨削，减轻工作人员的劳动强度，提高使用便利性。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是夹紧机构的结构示意左视图；

图3是工作台、底座、齿轮、齿条、转轴、第二滚珠轴承和摇把的连接示意右视图；

附图中标记：1、工作台；2、电机；3、第一固定块；4、传动轴；5、砂轮；6、气缸；7、第二固定块；8、第一前连接板；9、第一后连接板；10、第二前连接板；11、第二后连接板；12、前弹簧；13、后弹簧；14、前转动杆；15、后转动杆；16、前转盘；17、后转盘；18、伸缩杆；19、第一前滚珠轴承；20、第一后滚珠轴承；21、底座；22、齿条；23、齿轮；24、转轴；25、左支撑板；26、右支撑板；27、限位杆；28、前把手；29、后把手；30、第一防滑垫；31、第二防滑垫；32、摇把；33、第二滚珠轴承；34、支腿；35、滚轮；36、推动杆。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

如图1至图3所示，本实用新型的一种碳化硅晶棒端面磨削装置，包括工作台1、加紧机构和电机2，夹紧机构还包括第一固定块3，电机2输出端设置有传动轴4，传动轴4输出端设置有砂轮5；夹紧机构还包括气缸6、第二固定块7、第一前连接板8、第一后连接板9、第二前连接板10、第二后连接板11、前弹簧12、后弹簧13、前转动杆14、后转动杆15、前转盘16和后转盘17，气缸6底端与工作台1顶端左半区域连接，气缸6顶部输出端设置有伸缩杆18，伸缩杆18顶端与第一固定块3底端中央区域连接，第一固定块3顶端和第二固定块7底端中央区域分别设置有第一通槽和第二通槽，第一通槽和第二通槽分别与第一固定块3和第二固定块7左端和右端连通，第一前连接板8和第一后连接板9分别安装在第一固定块3前侧壁和后侧壁上半区域，第一前连接板8和第一后连接板9顶端中央区域分别纵向设置有前转动孔和后转动孔，第二前连接板10和第二后连接板11分别安装在第二固定块7前侧壁和后侧壁下半区域，第二前连接板10和第二后连接板11顶端中央区域分别纵向设置有前螺纹孔和后螺纹孔，前弹簧12和后弹簧13一端分别与第一前连接板8和第一后连接板9顶端中央区域连接，前弹簧12和后弹簧13另一端分别与第二前连接板10和第二后连接板11底端中央区域连接，前转动杆14和后转动杆15外侧壁上半区域均设置有外螺纹，前转动杆14和后转动杆15顶端分别螺装穿过前螺纹孔和后螺纹孔并分别与前转盘16和后转盘17底端中央区域连接，前转动杆14和后转动杆15底端分别穿过前弹簧12和后弹簧13并分别插入至前转动孔和后转动孔内，前转动杆14和后转动杆15与前转动孔和后转动孔内侧壁之间分别设置有第一前滚珠轴承19和第一后滚珠轴承20；还包括底座21、齿条22、齿轮23和转轴24，工作台1顶端右半区域后侧设置有滑动槽，底座21底端伸入至滑动槽内，电机2安装在底座21顶端，齿条22底端与工作台1顶端右半区域前侧连接，底座21前侧壁中央区域设置有转动槽，转轴24前端与齿轮23后侧壁中央区域连接，转轴24后端插入至转动槽内，齿轮23与齿条22啮合；前弹簧和后弹簧的弹力适中，同时转动前转盘和后转盘，前转盘和后转盘分别带动前转动杆和后转动杆旋转，由于前转动杆和后转动杆外侧壁上半区域均设置有外螺纹，且前转动杆和后转动杆与前转动孔和后转动孔内侧壁之间分别设置有第一前滚珠轴承和第一后滚珠轴承，使得前转动杆和后转动杆可分别在前转动孔和后转动孔内转动，前转动杆和后转动杆转动的同时使得第二前连接板和第二后连接板上下运动，由于第二前连接板和第二后连接板分别安装在第二固定块前端和后端，使得第二固定块随着前转动杆和后转动杆的转动而向上或向下运动，进而可以对不同尺寸的碳化硅晶片进行加紧固定，通过气缸控制伸缩杆进行升降，可对夹紧之后的碳化硅晶棒的高度进行调节，降低使用局限性；底座前侧壁、后侧壁和底侧壁分别与滑动槽内前侧壁、内后侧壁和内底侧壁光滑接触，使得底座可在滑动槽内左右平顺的滑动，由于转轴后端插入至转动槽内，且转轴可在转动槽内转动，齿轮与齿条啮合，转动齿轮，齿轮可在齿条上左右运动，进而带动底座在滑动槽内左右运动，由于电机安装在底座顶端，使得电机和砂轮随底座一同左右运动，实现了通过机械手段对碳化硅晶片进行磨削，减轻工作人员的劳动强度，提高使用便利性。

本实用新型的一种碳化硅晶棒端面磨削装置，还包括左支撑板25、右支撑板26和限位杆27，左支撑板25和右支撑板26底端分别与工作台1顶端左半区域和右半区域连接，底座21左侧壁下半区域横向设置有滑动孔，限位杆27左端与左支撑板25右侧壁中央区域连接，限位杆27右端穿过滑动孔并与右支撑板26左侧壁中央区域连接；底座可在限位杆上向左或向右滑动，限位杆对底座起到限位的作用，防止底座从滑动槽内滑出，提高使用安全性。

本实用新型的一种碳化硅晶棒端面磨削装置，还包括前把手28和后把手29，前把手28和后把手29底端分别与前转盘16和后转盘17顶端左半区域连接；分别通过前把手和后把手转动前转盘和后转盘，可以使操作更加省力，提高使用便捷性。

本实用新型的一种碳化硅晶棒端面磨削装置，第一通槽内底侧壁和第二通槽内顶侧壁分别设置有第一防滑垫30和第二防滑垫31；第一防滑垫和第二防滑垫可增强对碳化硅晶棒的加紧效果，提高使用稳定性。

本实用新型的一种碳化硅晶棒端面磨削装置，还包括摇把32，摇把32后端与齿轮23前侧壁上半区域连接；通过摇把转动齿轮，可以使得对齿轮的转动更加便捷，提高使用便利性。

本实用新型的一种碳化硅晶棒端面磨削装置，转动槽内设置有第二滚珠轴承33，转轴24后端插入至第二滚珠轴承33内并与第二滚珠轴承33键连接；第二滚珠轴承可以减小转轴在转动槽内转动时所产生的摩擦阻力，提高使用平顺性。

本实用新型的一种碳化硅晶棒端面磨削装置，还包括四组支腿34和四组滚轮35，四组支腿34顶端分别与工作台1底端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧连接，四组滚轮35分别安装在四组支腿34底端；四组支腿可对工作台起到支撑的作用，且四组滚轮可便于对装置进行移动，提高使用灵活性。

本实用新型的一种碳化硅晶棒端面磨削装置，还包括推动杆36，推动杆36底端与工作台1右侧壁中央区域连接；通过推动杆可使得工作人员对装置进行移动时更加省力，提高使用便捷性。

本实用新型的一种碳化硅晶棒端面磨削装置，其在工作时，前弹簧和后弹簧的弹力适中，同时转动前转盘和后转盘，前转盘和后转盘分别带动前转动杆和后转动杆旋转，由于前转动杆和后转动杆外侧壁上半区域均设置有外螺纹，且前转动杆和后转动杆与前转动孔和后转动孔内侧壁之间分别设置有第一前滚珠轴承和第一后滚珠轴承，使得前转动杆和后转动杆可分别在前转动孔和后转动孔内转动，前转动杆和后转动杆转动的同时使得第二前连接板和第二后连接板上下运动，由于第二前连接板和第二后连接板分别安装在第二固定块前端和后端，使得第二固定块随着前转动杆和后转动杆的转动而向上或向下运动，进而可以对不同尺寸的碳化硅晶片进行加紧固定，通过气缸控制伸缩杆进行升降，可对夹紧之后的碳化硅晶棒的高度进行调节，降低使用局限性；底座前侧壁、后侧壁和底侧壁分别与滑动槽内前侧壁、内后侧壁和内底侧壁光滑接触，使得底座可在滑动槽内左右平顺的滑动，由于转轴后端插入至转动槽内，且转轴可在转动槽内转动，齿轮与齿条啮合，转动齿轮，齿轮可在齿条上左右运动，进而带动底座在滑动槽内左右运动，由于电机安装在底座顶端，使得电机和砂轮随底座一同左右运动，实现了通过机械手段对碳化硅晶片进行磨削，减轻工作人员的劳动强度，提高使用便利性；底座可在限位杆上向左或向右滑动，限位杆对底座起到限位的作用，防止底座从滑动槽内滑出，提高使用安全性；分别通过前把手和后把手转动前转盘和后转盘，可以使操作更加省力，提高使用便捷性；第一防滑垫和第二防滑垫可增强对碳化硅晶棒的加紧效果，提高使用稳定性；通过摇把转动齿轮，可以使得对齿轮的转动更加便捷，提高使用便利性；第二滚珠轴承可以减小转轴在转动槽内转动时所产生的摩擦阻力，提高使用平顺性；四组支腿可对工作台起到支撑的作用，且四组滚轮可便于对装置进行移动，提高使用灵活性；通过推动杆可使得工作人员对装置进行移动时更加省力，提高使用便捷性。

本实用新型的一种碳化硅晶棒端面磨削装置所使用的电机和气缸都是从市面上采购的，只需按照说明书进行安装使用即可。

本实用新型的一种碳化硅晶棒端面磨削装置，以上所述所有部件的安装方式、连接方式或设置方式均为常见机械方式，并且其所有部件的具体结构、型号和系数指标均为其自带技术，只要能够达成其有益效果的均可进行实施，故不在多加赘述。

本实用新型的一种碳化硅晶棒端面磨削装置，在未作相反说明的情况下，“上下左右、前后内外以及垂直水平”等包含在术语中的方位词仅代表该术语在常规使用状态下的方位，或为本领域技术人员理解的俗称，而不应视为对该术语的限制，与此同时，“第一”、“第二”和“第三”等数列名词不代表具体的数量及顺序，仅仅是用于名称的区分，而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和变型，这些改进和变型也应视为本实用新型的保护范围。

Claims (8)

1.一种碳化硅晶棒端面磨削装置，包括工作台(1)、加紧机构和电机(2)，夹紧机构还包括第一固定块(3)，电机(2)输出端设置有传动轴(4)，传动轴(4)输出端设置有砂轮(5)；其特征在于，夹紧机构还包括气缸(6)、第二固定块(7)、第一前连接板(8)、第一后连接板(9)、第二前连接板(10)、第二后连接板(11)、前弹簧(12)、后弹簧(13)、前转动杆(14)、后转动杆(15)、前转盘(16)和后转盘(17)，所述气缸(6)底端与工作台(1)顶端左半区域连接，气缸(6)顶部输出端设置有伸缩杆(18)，所述伸缩杆(18)顶端与第一固定块(3)底端中央区域连接，第一固定块(3)顶端和第二固定块(7)底端中央区域分别设置有第一通槽和第二通槽，所述第一通槽和第二通槽分别与第一固定块(3)和第二固定块(7)左端和右端连通，所述第一前连接板(8)和第一后连接板(9)分别安装在第一固定块(3)前侧壁和后侧壁上半区域，第一前连接板(8)和第一后连接板(9)顶端中央区域分别纵向设置有前转动孔和后转动孔，所述第二前连接板(10)和第二后连接板(11)分别安装在第二固定块(7)前侧壁和后侧壁下半区域，第二前连接板(10)和第二后连接板(11)顶端中央区域分别纵向设置有前螺纹孔和后螺纹孔，所述前弹簧(12)和后弹簧(13)一端分别与第一前连接板(8)和第一后连接板(9)顶端中央区域连接，前弹簧(12)和后弹簧(13)另一端分别与第二前连接板(10)和第二后连接板(11)底端中央区域连接，所述前转动杆(14)和后转动杆(15)外侧壁上半区域均设置有外螺纹，前转动杆(14)和后转动杆(15)顶端分别螺装穿过前螺纹孔和后螺纹孔并分别与前转盘(16)和后转盘(17)底端中央区域连接，前转动杆(14)和后转动杆(15)底端分别穿过前弹簧(12)和后弹簧(13)并分别插入至前转动孔和后转动孔内，前转动杆(14)和后转动杆(15)与前转动孔和后转动孔内侧壁之间分别设置有第一前滚珠轴承(19)和第一后滚珠轴承(20)；还包括底座(21)、齿条(22)、齿轮(23)和转轴(24)，工作台(1)顶端右半区域后侧设置有滑动槽，所述底座(21)底端伸入至滑动槽内，电机(2)安装在底座(21)顶端，所述齿条(22)底端与工作台(1)顶端右半区域前侧连接，底座(21)前侧壁中央区域设置有转动槽，所述转轴(24)前端与齿轮(23)后侧壁中央区域连接，转轴(24)后端插入至转动槽内，齿轮(23)与齿条(22)啮合。

2.如权利要求1所述的一种碳化硅晶棒端面磨削装置，其特征在于，还包括左支撑板(25)、右支撑板(26)和限位杆(27)，所述左支撑板(25)和右支撑板(26)底端分别与工作台(1)顶端左半区域和右半区域连接，底座(21)左侧壁下半区域横向设置有滑动孔，所述限位杆(27)左端与左支撑板(25)右侧壁中央区域连接，限位杆(27)右端穿过滑动孔并与右支撑板(26)左侧壁中央区域连接。

3.如权利要求2所述的一种碳化硅晶棒端面磨削装置，其特征在于，还包括前把手(28)和后把手(29)，所述前把手(28)和后把手(29)底端分别与前转盘(16)和后转盘(17)顶端左半区域连接。

4.如权利要求3所述的一种碳化硅晶棒端面磨削装置，其特征在于，第一通槽内底侧壁和第二通槽内顶侧壁分别设置有第一防滑垫(30)和第二防滑垫(31)。

5.如权利要求4所述的一种碳化硅晶棒端面磨削装置，其特征在于，还包括摇把(32)，所述摇把(32)后端与齿轮(23)前侧壁上半区域连接。

6.如权利要求5所述的一种碳化硅晶棒端面磨削装置，其特征在于，转动槽内设置有第二滚珠轴承(33)，转轴(24)后端插入至第二滚珠轴承(33)内并与第二滚珠轴承(33)键连接。

7.如权利要求6所述的一种碳化硅晶棒端面磨削装置，其特征在于，还包括四组支腿(34)和四组滚轮(35)，所述四组支腿(34)顶端分别与工作台(1)底端左前侧、右前侧、左后侧和右后侧连接，所述四组滚轮(35)分别安装在四组支腿(34)底端。

8.如权利要求7所述的一种碳化硅晶棒端面磨削装置，其特征在于，还包括推动杆(36)，所述推动杆(36)底端与工作台(1)右侧壁中央区域连接。