CN209577240U - 一种可调式平台匀胶托盘结构 - Google Patents
一种可调式平台匀胶托盘结构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN209577240U CN209577240U CN201821844149.8U CN201821844149U CN209577240U CN 209577240 U CN209577240 U CN 209577240U CN 201821844149 U CN201821844149 U CN 201821844149U CN 209577240 U CN209577240 U CN 209577240U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- suction nozzle
- spin coating
- storage glue
- glue groove
- support chip
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Landscapes
- Coating Apparatus (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种可调式平台匀胶托盘结构，所述匀胶真空吸片结构是由支撑片、吸头、调节机构、支撑片弹性连接件，所述支撑片和弹性连接件形成封闭的储胶槽，所述储胶槽呈圆形碗体结构，其中心设有圆柱形吸头，所述吸头的高度小于储胶槽的高度，吸头上设有连接机构通过调节机构与支撑片相连，所述调节机构沿吸头上下移动，带动支撑片和弹性连接件发生形变，进而使储胶槽的开口和及深度发生形变，所述调节机构为倒伞状结构。本实用新型结构简单，使用方便，提高真空吸片结构适应性，减少胶的吸入，解决因胶造成的吸力不足或堵塞的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及一种匀胶托盘结构，特别是一种可调式平台匀胶托盘结构。
背景技术
现有的光刻胶匀胶台采用真空吸片的方式吸住硅片，但现有的硅片承片台无法有效的阻挡光刻胶在甩动过程中渗入真空吸片口中，原因在于：现有的技术中，硅片与真空吸片口直接接触，匀胶机在高速旋转过程中，光刻胶受旋转离心力和表面张力的联合作用，被展开成一层薄膜，其中甩动过程中被甩出至硅片边缘的胶滴，由于硅片边缘与承片台吸片口的压力差和胶体的表面张力的作用，部分硅片边缘的胶滴会沿着硅片的背面被吸入真空吸片口中，从而堵塞真空吸片口，造成真空吸片口吸力不足，从而造成光刻胶薄膜的均匀性变差，同时会对匀胶台造成损伤。
在专利号为：ZL 201310686050.5匀胶机托盘的发明专利中，虽然通过承载台增大了接触面积，和限制吸头与承载台之间的距离，并没有完全解决真空吸片口因吸入光刻胶而导致的吸力不足或堵塞的问题，原因在于：由于旋转造成的向心力的大小会随着旋转速度和硅片质量以及硅片的大小变换，由于吸头的高度适中保持不变，容易造成飞溅的胶体被吸头吸入造成，吸头堵塞，增加维修成本，降低匀胶机的工作效率。
在专利号为：ZL 201610496119.1、ZL 201610495808.0、ZL 201610496119.1匀胶机托盘的发明专利中，通过端盖使匀胶机的旋涂匀胶性能的更加均匀，提高真空吸片口的使用寿命，减少硅片废料的产生，但是对于这种匀胶机托盘需要对不同尺寸硅片做其相对应尺寸的匀胶端盖和对应尺寸的真空吸片结构，对于加工不同尺寸的硅片需要频繁的更换真空吸片结构，造成匀胶机工作效率低，浪费人工，增加企业生产成本。
实用新型内容
本实用新型的目的为解决上述问题，提供一种可调式平台匀胶托盘结构，将储胶槽设为可以伸缩调节的结构，使储胶槽对不同大小的端盖或不同大小的硅片的适应性增强，储胶槽可以沿吸头上下移动，使吸头距离硅片或端盖的距离成可调结构，通过技术人员的调节使吸头处于最佳的工作位置，以减少堵塞和吸力小的问题。
本实用新型采用的技术方案为：
本实用新型公开了一种可调式平台匀胶托盘结构，所述匀胶托盘结构是由端盖、真空吸片结构组成，所述端盖套装在真空吸片结构上，所述匀胶真空吸片结构是由支撑片、吸头、调节机构、支撑片弹性连接件，所述支撑片和弹性连接件形成封闭的储胶槽，所述储胶槽呈圆形碗体结构，其中心设有圆柱形吸头，所述吸头的高度小于储胶槽的高度，吸头上设有连接机构通过调节机构与支撑片相连，所述调节机构沿吸头上下移动，带动支撑片和弹性连接件发生形变，进而使储胶槽的开口和及深度发生形变，所述调节机构为倒伞状结构。
进一步的，所述支撑片的形变力大于弹性连接件的形变力，所述弹性连接件的形变力大于储胶槽内的吸力。
进一步的，所述吸头外壁上设有外螺纹与调节机构相连。
进一步的，所述调节机构是由可沿吸头外螺纹上下转动的移动块，所述移动块上设有可沿移动块转动的转环，所述转环上铰接支撑杆，所述支撑杆的另一端与支撑片铰接。
进一步的，所述移动块的中心设有内螺纹并与吸头外壁的外螺纹咬合。
进一步的，所述转环为轴承，所述轴承的外圈与与支撑杆铰接。
进一步的，所述弹性连接件为弹性塑料或弹性橡胶。
进一步的，所述端盖与储胶槽相连位置设有凹槽，用于提高密封性。
进一步的，还可以将储胶槽的底部通过调节机构中的移动块和转环与吸头相连，所述储胶槽中的支撑片与转环连接，并在储胶槽的底部做密封处理，使储胶槽为封闭结构。
本实用新型所揭示的一种可调式平台匀胶托盘结构，具有如下有益效果：通过支撑片、吸头、调节机构、支撑片弹性连接件组成的匀胶真空吸片结构，并且支撑片和弹性连接件组成储胶槽，使储胶槽的开口大小可以调节，提高适应性，通过储胶槽底部的移动块可以调节吸头距离硅片或端盖的距离，提高适应性，减少胶的吸入，解决因胶造成的吸力不足或堵塞的问题，减少匀胶真空吸片结构的更换，减少维修成本，提高更换效率。
附图说明
图1为本实用新型的剖视结构示意图；
图2为本实用新型的真空吸片结构俯视图。
1、端盖 2、真空吸片结构 21、支撑片 22、吸头 23、调节机构
231、移动块 232、转环 233、支撑杆 24、支撑片弹性连接件 25、储胶槽。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本实用新型做进一步详细说明。
如图1～2所示，一种可调式平台匀胶托盘结构，所述匀胶托盘结构是由端盖1、真空吸片结构2组成，所述端盖1套装在真空吸片结构2上，所述匀胶真空吸片结构2是由支撑片21、吸头22、调节机构23、支撑片21弹性连接件24，所述支撑片21和弹性连接件24形成封闭的储胶槽25，所述储胶槽25呈圆形碗体结构，其中心设有圆柱形吸头22，所述吸头22的高度小于储胶槽25的高度，吸头22上设有连接机构通过调节机构23与支撑片21相连，所述调节机构23沿吸头22上下移动，带动支撑片21和弹性连接件24发生形变，进而使储胶槽25的开口和及深度发生形变，所述调节机构23为倒伞状结构。
作为本实施例的进一步优化，如下：
本实例中，所述支撑片21的形变力大于弹性连接件24的形变力，所述弹性连接件24的形变力大于储胶槽25内的吸力。
本实例中，所述吸头22外壁上设有外螺纹与调节机构23相连。
本实例中，所述调节机构23是由可沿吸头22外螺纹上下转动的移动块231，所述移动块231上设有可沿移动块231转动的转环232，所述转环232上铰接支撑杆233，所述支撑杆233的另一端与支撑片21铰接。
本实例中，所述移动块231的中心设有内螺纹并与吸头22外壁的外螺纹咬合。
本实例中，所述转环232为轴承，所述轴承的外圈与与支撑杆233铰接。
本实例中，所述弹性连接件24为弹性塑料或弹性橡胶，并由于支撑片21连接。
本实例中，所述端盖1与储胶槽25相连位置设有凹槽，用于提高密封性。
本实例中，还可以将储胶槽25的底部通过调节机构23中的移动块231和转环232与吸头22相连，所述储胶槽25中的支撑片21与转环232连接，并在储胶槽25的底部做密封处理，使储胶槽25为封闭结构，及支撑片21与转环232连接固定，也可以采用铰接的方式固定，转环232套装在移动块231上，通过转动移动块231使吸头22位置相对于储胶槽25发生移动。
当真空吸片结构2需要对较大尺寸的硅片或较大尺寸的端盖1进行更换时，先调节吸头22的高度，即需要调节储胶槽25底部的移动块231，使吸头22处于相对合理的位置，即吸头22位于储胶槽25中，调节储胶槽25内部的移动块231，使储胶槽25中的支撑片21发生形变，带动弹性连接件24使发生伸缩，通过其支撑杆233将储胶槽25的开口增大，将端盖1或硅片放置在储胶槽25的上方在调节上下两个移动块231使吸口距离的到达设定的距离，储胶槽25的开口也调节到设定的大小，既可实现固定。
综上所述，通过支撑片、吸头、调节机构、支撑片弹性连接件组成的匀胶真空吸片结构，并且支撑片和弹性连接件组成储胶槽，使储胶槽的开口大小可以调节，提高适应性，通过储胶槽底部的移动块可以调节吸头距离硅片或端盖的距离，提高适应性，减少胶的吸入，解决因胶造成的吸力不足或堵塞的问题，减少匀胶真空吸片结构的更换，减少维修成本，提高更换效率。
以上所述是本实用新型的优选实施方式，不能以此来限定本实用新型之权利范围。应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，对本实用新型的技术方案进行修改或者等同替换，都不脱离本实用新型的保护范围。
Claims (9)
1.一种可调式平台匀胶托盘结构，所述匀胶托盘结构是由端盖、真空吸片结构组成，所述端盖套装在真空吸片结构上，其特征在于：所述匀胶真空吸片结构是由支撑片、吸头、调节机构、支撑片弹性连接件，所述支撑片和弹性连接件形成封闭的储胶槽，所述储胶槽呈圆形碗体结构，其中心设有圆柱形吸头，所述吸头的高度小于储胶槽的高度，吸头上设有连接机构通过调节机构与支撑片相连，所述调节机构沿吸头上下移动，带动支撑片和弹性连接件发生形变，进而使储胶槽的开口和及深度发生形变，所述调节机构为倒伞状结构。
2.根据权利要求1所述的一种可调式平台匀胶托盘结构，其特征在于：所述支撑片的形变力大于弹性连接件的形变力，所述弹性连接件的形变力大于储胶槽内的吸力。
3.根据权利要求1所述的一种可调式平台匀胶托盘结构，其特征在于：所述吸头外壁上设有外螺纹与调节机构相连。
4.根据权利要求1所述的一种可调式平台匀胶托盘结构，其特征在于：所述调节机构是由可沿吸头外螺纹上下转动的移动块，所述移动块上设有可沿移动块转动的转环，所述转环上铰接支撑杆，所述支撑杆的另一端与支撑片铰接。
5.根据权利要求4所述的一种可调式平台匀胶托盘结构，其特征在于：所述移动块的中心设有内螺纹并与吸头外壁的外螺纹咬合。
6.根据权利要求4所述的一种可调式平台匀胶托盘结构，其特征在于：所述转环为轴承，所述轴承的外圈与支撑杆铰接。
7.根据权利要求1所述的一种可调式平台匀胶托盘结构，其特征在于：所述弹性连接件为弹性塑料或弹性橡胶。
8.根据权利要求1所述的一种可调式平台匀胶托盘结构，其特征在于：所述端盖与储胶槽相连位置设有凹槽，用于提高密封性。
9.根据权利要求1所述的一种可调式平台匀胶托盘结构，其特征在于：还可以将储胶槽的底部通过调节机构中的移动块和转环与吸头相连，所述储胶槽中的支撑片与转环连接，并在储胶槽的底部做密封处理，使储胶槽为封闭结构。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201821844149.8U CN209577240U (zh) | 2018-11-09 | 2018-11-09 | 一种可调式平台匀胶托盘结构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201821844149.8U CN209577240U (zh) | 2018-11-09 | 2018-11-09 | 一种可调式平台匀胶托盘结构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN209577240U true CN209577240U (zh) | 2019-11-05 |
Family
ID=68376465
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201821844149.8U Expired - Fee Related CN209577240U (zh) | 2018-11-09 | 2018-11-09 | 一种可调式平台匀胶托盘结构 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN209577240U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112170087A (zh) * | 2020-09-17 | 2021-01-05 | 江西吉事达厨房用品有限公司 | 一种铝合金锅生产用脱模剂喷涂设备 |
-
2018
- 2018-11-09 CN CN201821844149.8U patent/CN209577240U/zh not_active Expired - Fee Related
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112170087A (zh) * | 2020-09-17 | 2021-01-05 | 江西吉事达厨房用品有限公司 | 一种铝合金锅生产用脱模剂喷涂设备 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN106579478B (zh) | 一种马铃薯全自动环形削皮装置 | |
| CN209577240U (zh) | 一种可调式平台匀胶托盘结构 | |
| CN209160815U (zh) | 一种手机自动翻转旋转设备 | |
| CN108762002A (zh) | 一种晶圆片光刻方法 | |
| CN205096062U (zh) | 一种匀胶卡盘 | |
| CN104986383B (zh) | 一种数片分垛传输设备 | |
| CN108649004A (zh) | 一种光刻机用晶圆片涂胶系统 | |
| CN208708311U (zh) | 食用菌种植设备中的送土装置 | |
| CN109037420A (zh) | 一种倒装芯片固晶装置及方法 | |
| CN216335182U (zh) | 一种蓝宝石晶片微观装置用移取结构 | |
| CN209183511U (zh) | 一种硅片刷片机 | |
| CN108766867A (zh) | 一种半导体芯片生产工艺 | |
| CN209270438U (zh) | 一种电动吸奶器 | |
| CN108766868A (zh) | 一种半导体硅晶圆匀胶系统 | |
| CN206743818U (zh) | 一种吸咀式分种装置 | |
| CN110126155A (zh) | 一种摩擦式塑料瓶盖理边器 | |
| CN205904798U (zh) | 一种吸盘磨边机 | |
| CN219497745U (zh) | 一种固晶臂装置 | |
| CN209397433U (zh) | 一种造纸机无绳自动牵引装置 | |
| CN109744068A (zh) | 一种用于双孢菇培养料的可移动式上料装置 | |
| CN221125903U (zh) | 一种用于晶圆的扩膜机构 | |
| CN220449077U (zh) | 一种改进型吸料机械 | |
| CN208455355U (zh) | 一种流浆箱用的气垫压力调节装置 | |
| CN209425167U (zh) | 一种高精度透镜加工用的支撑台装置 | |
| CN220333057U (zh) | 一种用于湿巾粘盖机的高效率粘盖装置 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee | ||
| CF01 | Termination of patent right due to non-payment of annual fee |
Granted publication date: 20191105 Termination date: 20201109 |