CN209554226U - 一种芯片检测设备的芯片自动调位机构 - Google Patents

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彭义青
冼平东
吴述林
容金波
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Shenzhen Tektronix Photoelectric Technology Co Ltd
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Abstract

本实用新型公开了一种芯片检测设备的芯片自动调位机构,包括底座、X轴移动模组、Y轴移动模组、安装台、转动齿盘、转动驱动电机、支撑座及升降驱动电机,支撑座内部设置有竖直丝杆,竖直丝杆上设置有丝杆螺母,支撑座侧部设置有升降导轨,所述升降导轨上设置有升降支撑板,所述升降支撑板内侧上部设置有丝杆螺母安装座,所述丝杆螺母安装在所述丝杆螺母安装座内部,所述升降支撑板及丝杆螺母安装座的上端面固定设置有芯片承载底板,所述芯片承载底板上设置有芯片负压吸板。该种芯片检测设备的芯片自动调位机构具有结构简单、实施方便、位置调节精度高、提升检测精度等现有技术所不具备的优点。

Description

一种芯片检测设备的芯片自动调位机构
技术领域
本实用新型涉及芯片检测领域,特别是一种芯片检测设备的芯片自动调位机构。
背景技术
芯片在生产后需要经过各种检测步骤以判断其性能参数。在检测芯片时,芯片的位置调整是一个重要的步骤,其直接影响到检测结构的精确性。
现有的芯片检测设备中,芯片的位置调节机构普遍存在的结构复杂、位置调节麻烦、实施不方便、实施难度大等缺陷,严重影响整个芯片生产领域的生产效率。
有鉴于此,本实用新型的目的在于提供一种新的技术方案以解决现存的技术缺陷。
实用新型内容
为了克服现有技术的不足,本实用新型提供一种芯片检测设备的芯片自动调位机构,解决了现有技术存在的结构复杂、自动化程度低、调节不够方便快捷、调节速度慢等技术缺陷。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
一种芯片检测设备的芯片自动调位机构,包括底座,所述底座上设置有X轴移动模组,所述X轴移动模组上设置有Y轴移动模组,所述Y轴移动模组上设置有安装台,所述安装台上设置有转动齿盘及转动驱动电机,所述转动齿盘上设置有支撑座及升降驱动电机,所述支撑座内部设置有竖直丝杆,所述竖直丝杆上设置有与其配套使用的丝杆螺母,所述升降驱动电机用于驱动所述竖直丝杆转动,所述支撑座侧部设置有升降导轨,所述升降导轨上设置有升降支撑板,所述升降支撑板内侧上部设置有丝杆螺母安装座,所述丝杆螺母安装在所述丝杆螺母安装座内部,所述升降支撑板及丝杆螺母安装座的上端面固定设置有芯片承载底板,所述芯片承载底板上设置有芯片负压吸板。
作为上述技术方案的改进,所述转动驱动电机的输出端设置有第一主动同步轮,所述第一主动同步轮与转动齿盘之间绕设有第一同步带,所述转动驱动电机可通过第一主动同步轮及第一同步带带动转动齿盘转动,所述安装台上设置有配合所述第一同步带的同步带导向轮。
作为上述技术方案的进一步改进,所述转动齿盘通过齿盘安装轴及齿盘转动轴承安装在所述安装台上。
作为上述技术方案的进一步改进,所述竖直丝杆通过丝杆安装轴承安装在所述支撑座上;所述升降驱动电机的输出端设置有第二主动同步轮,所述竖直丝杆的下部设置有第二从动同步轮,所述第二主动同步轮与第二从动同步轮之间绕设有第二同步带。
作为上述技术方案的进一步改进,所述X轴移动模组包括安装在底座上的X轴导轨、X轴丝杆螺母副及X轴驱动电机,所述X轴导轨上设置有X轴移动板,所述Y轴移动模组安装在所述X轴移动板上,所述X轴丝杆螺母副的螺母连接到X轴移动板上,所述X轴驱动电机的输出端连接到X轴丝杆螺母副的丝杆一端并可驱动X轴移动板在X轴导轨上移动。
作为上述技术方案的进一步改进,所述Y轴移动模组包括安装在X轴移动板上的Y轴导轨、Y轴丝杆螺母副及Y轴驱动电机,所述Y轴导轨上设置有Y轴移动板,所述安装台固定安装在所述Y轴移动板上,所述Y轴丝杆螺母副的螺母连接到Y轴移动板上,所述Y轴驱动电机的输出端连接到Y轴丝杆螺母副的丝杆一端并可驱动Y轴移动板在Y轴导轨上移动。
本实用新型的有益效果是:本实用新型提供了一种芯片检测设备的芯片自动调位机构,该种芯片检测设备的芯片自动调位机构可实现X轴方向、Y轴方向及竖直方向的位置调节,可将芯片位置准确地调整到预设位置,有利于提高检测速度及提升检测精度,进一步可提升生产效率,方便实现自动化生产。
总之,该种芯片检测设备的芯片自动调位机构解决了现有技术存在的结构复杂、自动化程度低、调节不够方便快捷、调节速度慢等技术缺陷。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的装配示意图;
图2是本实用新型另一角度的装配示意图;
图3是本实用新型第三角度的装配示意图;
图4是图3中A-A方向的剖视图;
图5是图3中B-B方向的剖视图。
具体实施方式
以下将结合实施例和附图对本实用新型的构思、具体结构及产生的技术效果进行清楚、完整地描述,以充分地理解本实用新型的目的、特征和效果。显然,所描述的实施例只是本实用新型的一部分实施例,而不是全部实施例,基于本实用新型的实施例,本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例,均属于本实用新型保护的范围。另外,专利中涉及到的所有联接/连接关系,并非单指构件直接相接,而是指可根据具体实施情况,通过添加或减少联接辅件,来组成更优的联接结构。本实用新型创造中的各个技术特征,在不互相矛盾冲突的前提下可以交互组合,参照图1-5。
一种芯片检测设备的芯片自动调位机构,包括底座1,所述底座1上设置有X轴移动模组2,所述X轴移动模组2上设置有Y轴移动模组3,所述Y轴移动模组3上设置有安装台4,所述安装台4上设置有转动齿盘5及转动驱动电机51,所述转动齿盘5上设置有支撑座52及升降驱动电机53,所述支撑座52内部设置有竖直丝杆54,所述竖直丝杆54上设置有与其配套使用的丝杆螺母55,所述升降驱动电机53用于驱动所述竖直丝杆54转动,所述支撑座52侧部设置有升降导轨56,所述升降导轨56上设置有升降支撑板57,所述升降支撑板57内侧上部设置有丝杆螺母安装座58,所述丝杆螺母55安装在所述丝杆螺母安装座58内部,所述升降支撑板57及丝杆螺母安装座58的上端面固定设置有芯片承载底板6,所述芯片承载底板6上设置有芯片负压吸板61。
在具体实施本实用新型时,通过X轴移动模组2及Y轴移动模组3实现X轴方向及Y轴方向的移动,通过转动驱动电机51实现水平角度的调节,通过升降驱动电机53实现竖直方向的高度调节。通过上述四个方面的调节可以实现多维调节,从而可以精准调节芯片检测位置,提高检测精度。
优选地,所述转动驱动电机51的输出端设置有第一主动同步轮71,所述第一主动同步轮71与转动齿盘5之间绕设有第一同步带72,所述转动驱动电机51可通过第一主动同步轮71及第一同步带72带动转动齿盘5转动,所述安装台4上设置有配合所述第一同步带72的同步带导向轮73。
优选地,所述转动齿盘5通过齿盘安装轴41及齿盘转动轴承42安装在所述安装台4上。
优选地,所述竖直丝杆54通过丝杆安装轴承59安装在所述支撑座52上;所述升降驱动电机53的输出端设置有第二主动同步轮81,所述竖直丝杆54的下部设置有第二从动同步轮82,所述第二主动同步轮81与第二从动同步轮82之间绕设有第二同步带83。
优选地,所述X轴移动模组2包括安装在底座1上的X轴导轨21、X轴丝杆螺母副22及X轴驱动电机23,所述X轴导轨21上设置有X轴移动板24,所述Y轴移动模组3安装在所述X轴移动板24上,所述X轴丝杆螺母副22的螺母连接到X轴移动板24上,所述X轴驱动电机23的输出端连接到X轴丝杆螺母副22的丝杆一端并可驱动X轴移动板24在X轴导轨21上移动。
优选地,所述Y轴移动模组3包括安装在X轴移动板24上的Y轴导轨31、Y轴丝杆螺母副32及Y轴驱动电机33,所述Y轴导轨31上设置有Y轴移动板34,所述安装台4固定安装在所述Y轴移动板34上,所述Y轴丝杆螺母副32的螺母连接到Y轴移动板34上,所述Y轴驱动电机33的输出端连接到Y轴丝杆螺母副32的丝杆一端并可驱动Y轴移动板34在Y轴导轨31上移动。
以上是对本实用新型的较佳实施进行了具体说明,但本实用新型创造并不限于所述实施例,熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型精神的前提下还可做出种种的等同变形或替换,这些等同的变形或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。

Claims (6)

1.一种芯片检测设备的芯片自动调位机构,其特征在于:包括底座(1),所述底座(1)上设置有X轴移动模组(2),所述X轴移动模组(2)上设置有Y轴移动模组(3),所述Y轴移动模组(3)上设置有安装台(4),所述安装台(4)上设置有转动齿盘(5)及转动驱动电机(51),所述转动齿盘(5)上设置有支撑座(52)及升降驱动电机(53),所述支撑座(52)内部设置有竖直丝杆(54),所述竖直丝杆(54)上设置有与其配套使用的丝杆螺母(55),所述升降驱动电机(53)用于驱动所述竖直丝杆(54)转动,所述支撑座(52)侧部设置有升降导轨(56),所述升降导轨(56)上设置有升降支撑板(57),所述升降支撑板(57)内侧上部设置有丝杆螺母安装座(58),所述丝杆螺母(55)安装在所述丝杆螺母安装座(58)内部,所述升降支撑板(57)及丝杆螺母安装座(58)的上端面固定设置有芯片承载底板(6),所述芯片承载底板(6)上设置有芯片负压吸板(61)。
2.根据权利要求1所述的一种芯片检测设备的芯片自动调位机构,其特征在于:所述转动驱动电机(51)的输出端设置有第一主动同步轮(71),所述第一主动同步轮(71)与转动齿盘(5)之间绕设有第一同步带(72),所述转动驱动电机(51)可通过第一主动同步轮(71)及第一同步带(72)带动转动齿盘(5)转动,所述安装台(4)上设置有配合所述第一同步带(72)的同步带导向轮(73)。
3.根据权利要求1所述的一种芯片检测设备的芯片自动调位机构,其特征在于:所述转动齿盘(5)通过齿盘安装轴(41)及齿盘转动轴承(42)安装在所述安装台(4)上。
4.根据权利要求1所述的一种芯片检测设备的芯片自动调位机构,其特征在于:所述竖直丝杆(54)通过丝杆安装轴承(59)安装在所述支撑座(52)上;所述升降驱动电机(53)的输出端设置有第二主动同步轮(81),所述竖直丝杆(54)的下部设置有第二从动同步轮(82),所述第二主动同步轮(81)与第二从动同步轮(82)之间绕设有第二同步带(83)。
5.根据权利要求1所述的一种芯片检测设备的芯片自动调位机构,其特征在于:所述X轴移动模组(2)包括安装在底座(1)上的X轴导轨(21)、X轴丝杆螺母副(22)及X轴驱动电机(23),所述X轴导轨(21)上设置有X轴移动板(24),所述Y轴移动模组(3)安装在所述X轴移动板(24)上,所述X轴丝杆螺母副(22)的螺母连接到X轴移动板(24)上,所述X轴驱动电机(23)的输出端连接到X轴丝杆螺母副(22)的丝杆一端并可驱动X轴移动板(24)在X轴导轨(21)上移动。
6.根据权利要求5所述的一种芯片检测设备的芯片自动调位机构,其特征在于:所述Y轴移动模组(3)包括安装在X轴移动板(24)上的Y轴导轨(31)、Y轴丝杆螺母副(32)及Y轴驱动电机(33),所述Y轴导轨(31)上设置有Y轴移动板(34),所述安装台(4)固定安装在所述Y轴移动板(34)上,所述Y轴丝杆螺母副(32)的螺母连接到Y轴移动板(34)上,所述Y轴驱动电机(33)的输出端连接到Y轴丝杆螺母副(32)的丝杆一端并可驱动Y轴移动板(34)在Y轴导轨(31)上移动。
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