CN209656849U - 一种芯片自动检测设备 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种芯片自动检测设备,包括设备支架,所述设备支架下方设置有可多轴调节位置并用于承载芯片的芯片承载机构,设备支架上方设置有用于检测芯片的芯片检测组件,设备支架的中间位置开设有芯片检测通孔,所述芯片检测通孔周围均匀分布有多组芯片探针组件。该种芯片自动检测设备具有性能稳定可靠、位置调节精度高、操作方便、提升生产效率、自动化程度高等现有技术所不具备的优点。
Description
技术领域
本实用新型涉及芯片检测领域,特别是一种芯片自动检测设备。
背景技术
芯片在生产后需要经过各种检测步骤以判断其性能参数。
现有的芯片检测机构存在结构复杂、实施难度高、实施成本高、自动化程度低、检测精度低等缺陷,难以适应大规模自动化生产的需求。
有鉴于此,本实用新型的目的在于提供一种新的技术方案以解决现存的技术缺陷。
实用新型内容
为了克服现有技术的不足,本实用新型提供一种芯片自动检测设备,解决了现有技术存在的结构复杂、实施成本高、自动化程度低下、检测精度低等技术缺陷。
本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是:
一种芯片自动检测设备,包括设备支架,所述设备支架下方设置有可多轴调节位置并用于承载芯片的芯片承载机构,设备支架上方设置有用于检测芯片的芯片检测组件,设备支架的中间位置开设有芯片检测通孔,所述芯片检测通孔周围均匀分布有多组芯片探针组件。
作为上述技术方案的改进,所述芯片承载机构包括底座,所述底座上设置有X轴移动模组,所述X轴移动模组上设置有Y轴移动模组,所述Y轴移动模组上设置有安装台,所述安装台上设置有转动齿盘及转动驱动电机,所述转动齿盘上设置有支撑座及升降驱动电机,所述支撑座内部设置有竖直丝杆,所述竖直丝杆上设置有与其配套使用的丝杆螺母,所述升降驱动电机用于驱动所述竖直丝杆转动,所述支撑座侧部设置有升降导轨,所述升降导轨上设置有升降支撑板,所述升降支撑板内侧上部设置有丝杆螺母安装座,所述丝杆螺母安装在所述丝杆螺母安装座内部,所述升降支撑板及丝杆螺母安装座的上端面固定设置有芯片承载底板,所述芯片承载底板上设置有芯片负压吸板。
作为上述技术方案的进一步改进,所述转动驱动电机的输出端设置有第一主动同步轮,所述第一主动同步轮与转动齿盘之间绕设有第一同步带,所述转动驱动电机可通过第一主动同步轮及第一同步带带动转动齿盘转动,所述安装台上设置有配合所述第一同步带的同步带导向轮。
作为上述技术方案的进一步改进,所述转动齿盘通过齿盘安装轴及齿盘转动轴承安装在所述安装台上。
作为上述技术方案的进一步改进,所述竖直丝杆通过丝杆安装轴承安装在所述支撑座上;所述升降驱动电机的输出端设置有第二主动同步轮,所述竖直丝杆的下部设置有第二从动同步轮,所述第二主动同步轮与第二从动同步轮之间绕设有第二同步带。
作为上述技术方案的进一步改进,所述X轴移动模组包括安装在底座上的X轴导轨、X轴丝杆螺母副及X轴驱动电机,所述X轴导轨上设置有X轴移动板,所述Y轴移动模组安装在所述X轴移动板上,所述X轴丝杆螺母副的螺母连接到X轴移动板上,所述X轴驱动电机的输出端连接到X轴丝杆螺母副的丝杆一端并可驱动X轴移动板在X 轴导轨上移动。
作为上述技术方案的进一步改进,所述Y轴移动模组包括安装在 X轴移动板上的Y轴导轨、Y轴丝杆螺母副及Y轴驱动电机,所述Y 轴导轨上设置有Y轴移动板,所述安装台固定安装在所述Y轴移动板上,所述Y轴丝杆螺母副的螺母连接到Y轴移动板上,所述Y轴驱动电机的输出端连接到Y轴丝杆螺母副的丝杆一端并可驱动Y轴移动板在Y轴导轨上移动。
作为上述技术方案的进一步改进,所述芯片检测组件包括检测组件安装板及设置在检测组件安装板上的检测组件导轨,所述检测组件导轨上设置有滑动安装板,所述滑动安装板上安装有检测镜头。
作为上述技术方案的进一步改进,所述芯片探针组件包括安装在设备支架上的探针安装底板,所述探针安装底板上设置有探针X轴直线轴承,所述探针X轴直线轴承上设置有探针Y轴直线轴承,所述Y 轴直线轴承上设置有探针中间安装板,所述探针中间安装板侧部设置有探针Z轴直线轴承,所述探针Z轴直线轴承侧部设置有探针安装板,所述探针安装板上设置有芯片探针。
作为上述技术方案的进一步改进,所述探针X轴直线轴承、探针 Y轴直线轴承及探针Z轴直线轴承上分别设置有探针X轴调节按钮、探针Y轴调节按钮及探针Z轴调节按钮。
本实用新型的有益效果是:本实用新型提供了一种芯片自动检测设备,该种芯片自动检测设备具有结构简单、操作方便、实施难度低等优点,在实际实施时可提升检测精度,有利于大规模推广应用,也可便于提升生产效率,提升企业的经济效益。
总之,该种芯片自动检测设备解决了现有技术存在的结构复杂、实施成本高、自动化程度低下、检测精度低等技术缺陷。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。
图1是本实用新型的装配示意图;
图2是本实用新型另一角度的装配示意图;
图3是本实用新型中芯片承载机构的装配示意图;
图4是本实用新型中芯片承载机构另一角度的装配示意图;
图5是本实用新型中芯片承载机构第三角度的装配示意图;
图6是图5中A-A方向的剖视图;
图7是图5中B-B方向的剖视图;
图8是本实用新型中芯片检测组件及芯片探针组件的装配示意图;
图9是本实用新型中芯片探针组件的装配示意图。
具体实施方式
以下将结合实施例和附图对本实用新型的构思、具体结构及产生的技术效果进行清楚、完整地描述,以充分地理解本实用新型的目的、特征和效果。显然,所描述的实施例只是本实用新型的一部分实施例,而不是全部实施例,基于本实用新型的实施例,本领域的技术人员在不付出创造性劳动的前提下所获得的其他实施例,均属于本实用新型保护的范围。另外,专利中涉及到的所有联接/连接关系,并非单指构件直接相接,而是指可根据具体实施情况,通过添加或减少联接辅件,来组成更优的联接结构。本实用新型创造中的各个技术特征,在不互相矛盾冲突的前提下可以交互组合,参照图1-9。
一种芯片自动检测设备,包括设备支架1,所述设备支架1下方设置有可多轴调节位置并用于承载芯片的芯片承载机构2,设备支架 1上方设置有用于检测芯片的芯片检测组件3,设备支架1的中间位置开设有芯片检测通孔,所述芯片检测通孔周围均匀分布有多组芯片探针组件4。
优选地,所述芯片承载机构2包括底座21,所述底座21上设置有X轴移动模组22,所述X轴移动模组22上设置有Y轴移动模组23,所述Y轴移动模组23上设置有安装台24,所述安装台24上设置有转动齿盘25及转动驱动电机251,所述转动齿盘25上设置有支撑座 252及升降驱动电机253,所述支撑座252内部设置有竖直丝杆254,所述竖直丝杆254上设置有与其配套使用的丝杆螺母255,所述升降驱动电机253用于驱动所述竖直丝杆254转动,所述支撑座252侧部设置有升降导轨256,所述升降导轨256上设置有升降支撑板257,所述升降支撑板257内侧上部设置有丝杆螺母安装座258,所述丝杆螺母255安装在所述丝杆螺母安装座258内部,所述升降支撑板257 及丝杆螺母安装座258的上端面固定设置有芯片承载底板26,所述芯片承载底板26上设置有芯片负压吸板261。
优选地,所述转动驱动电机251的输出端设置有第一主动同步轮 271,所述第一主动同步轮271与转动齿盘25之间绕设有第一同步带 272,所述转动驱动电机251可通过第一主动同步轮271及第一同步带272带动转动齿盘25转动,所述安装台24上设置有配合所述第一同步带272的同步带导向轮273。
优选地,所述转动齿盘25通过齿盘安装轴241及齿盘转动轴承 242安装在所述安装台24上。
优选地,所述竖直丝杆254通过丝杆安装轴承259安装在所述支撑座252上;所述升降驱动电机253的输出端设置有第二主动同步轮 281,所述竖直丝杆254的下部设置有第二从动同步轮282,所述第二主动同步轮281与第二从动同步轮282之间绕设有第二同步带283。
优选地,所述X轴移动模组22包括安装在底座21上的X轴导轨 221、X轴丝杆螺母副222及X轴驱动电机223,所述X轴导轨221上设置有X轴移动板224,所述Y轴移动模组23安装在所述X轴移动板224上,所述X轴丝杆螺母副222的螺母连接到X轴移动板224上,所述X轴驱动电机223的输出端连接到X轴丝杆螺母副222的丝杆一端并可驱动X轴移动板224在X轴导轨221上移动。
优选地,所述Y轴移动模组23包括安装在X轴移动板224上的 Y轴导轨231、Y轴丝杆螺母副232及Y轴驱动电机233,所述Y轴导轨231上设置有Y轴移动板234,所述安装台24固定安装在所述Y 轴移动板234上,所述Y轴丝杆螺母副232的螺母连接到Y轴移动板 234上,所述Y轴驱动电机233的输出端连接到Y轴丝杆螺母副232 的丝杆一端并可驱动Y轴移动板234在Y轴导轨231上移动。
优选地,所述芯片检测组件3包括检测组件安装板31及设置在检测组件安装板31上的检测组件导轨32,所述检测组件导轨32上设置有滑动安装板33,所述滑动安装板33上安装有检测镜头34。
优选地,所述芯片探针组件4包括安装在设备支架1上的探针安装底板41,所述探针安装底板41上设置有探针X轴直线轴承42,所述探针X轴直线轴承42上设置有探针Y轴直线轴承43,所述Y轴直线轴承43上设置有探针中间安装板44,所述探针中间安装板44侧部设置有探针Z轴直线轴承45,所述探针Z轴直线轴承45侧部设置有探针安装板46,所述探针安装板46上设置有芯片探针47。
优选地,所述探针X轴直线轴承42、探针Y轴直线轴承43及探针Z轴直线轴承45上分别设置有探针X轴调节按钮48、探针Y轴调节按钮49及探针Z轴调节按钮50。
在具体实施本实用新型时,将芯片放置在芯片负压吸板261后,通过X轴移动模组22及Y轴移动模组23实现X轴方向及Y轴方向的移动,通过转动驱动电机251实现水平角度的调节,通过升降驱动电机253实现竖直方向的高度调节。通过上述四个方面的调节可以实现多维调节,从而可以精准调节芯片检测位置,提高检测精度。
所述芯片探针组件4上的芯片探针47将芯片导通,芯片导通场产生的光线被芯片检测组件3中的检测镜头34检测,检测的数据经过分析后得到检测数据。
以上是对本实用新型的较佳实施进行了具体说明,但本实用新型创造并不限于所述实施例,熟悉本领域的技术人员在不违背本实用新型精神的前提下还可做出种种的等同变形或替换,这些等同的变形或替换均包含在本申请权利要求所限定的范围内。
Claims (10)
1.一种芯片自动检测设备,其特征在于:包括设备支架(1),所述设备支架(1)下方设置有可多轴调节位置并用于承载芯片的芯片承载机构(2),设备支架(1)上方设置有用于检测芯片的芯片检测组件(3),设备支架(1)的中间位置开设有芯片检测通孔,所述芯片检测通孔周围均匀分布有多组芯片探针组件(4)。
2.根据权利要求1所述的一种芯片自动检测设备,其特征在于:所述芯片承载机构(2)包括底座(21),所述底座(21)上设置有X轴移动模组(22),所述X轴移动模组(22)上设置有Y轴移动模组(23),所述Y轴移动模组(23)上设置有安装台(24),所述安装台(24)上设置有转动齿盘(25)及转动驱动电机(251),所述转动齿盘(25)上设置有支撑座(252)及升降驱动电机(253),所述支撑座(252)内部设置有竖直丝杆(254),所述竖直丝杆(254)上设置有与其配套使用的丝杆螺母(255),所述升降驱动电机(253)用于驱动所述竖直丝杆(254)转动,所述支撑座(252)侧部设置有升降导轨(256),所述升降导轨(256)上设置有升降支撑板(257),所述升降支撑板(257)内侧上部设置有丝杆螺母安装座(258),所述丝杆螺母(255)安装在所述丝杆螺母安装座(258)内部,所述升降支撑板(257)及丝杆螺母安装座(258)的上端面固定设置有芯片承载底板(26),所述芯片承载底板(26)上设置有芯片负压吸板(261)。
3.根据权利要求2所述的一种芯片自动检测设备,其特征在于:所述转动驱动电机(251)的输出端设置有第一主动同步轮(271),所述第一主动同步轮(271)与转动齿盘(25)之间绕设有第一同步带(272),所述转动驱动电机(251)可通过第一主动同步轮(271)及第一同步带(272)带动转动齿盘(25)转动,所述安装台(24)上设置有配合所述第一同步带(272)的同步带导向轮(273)。
4.根据权利要求2所述的一种芯片自动检测设备,其特征在于:所述转动齿盘(25)通过齿盘安装轴(241)及齿盘转动轴承(242)安装在所述安装台(24)上。
5.根据权利要求2所述的一种芯片自动检测设备,其特征在于:所述竖直丝杆(254)通过丝杆安装轴承(259)安装在所述支撑座(252)上;所述升降驱动电机(253)的输出端设置有第二主动同步轮(281),所述竖直丝杆(254)的下部设置有第二从动同步轮(282),所述第二主动同步轮(281)与第二从动同步轮(282)之间绕设有第二同步带(283)。
6.根据权利要求2所述的一种芯片自动检测设备,其特征在于:所述X轴移动模组(22)包括安装在底座(21)上的X轴导轨(221)、X轴丝杆螺母副(222)及X轴驱动电机(223),所述X轴导轨(221)上设置有X轴移动板(224),所述Y轴移动模组(23)安装在所述X轴移动板(224)上,所述X轴丝杆螺母副(222)的螺母连接到X轴移动板(224)上,所述X轴驱动电机(223)的输出端连接到X轴丝杆螺母副(222)的丝杆一端并可驱动X轴移动板(224)在X轴导轨(221)上移动。
7.根据权利要求6所述的一种芯片自动检测设备,其特征在于:所述Y轴移动模组(23)包括安装在X轴移动板(224)上的Y轴导轨(231)、Y轴丝杆螺母副(232)及Y轴驱动电机(233),所述Y轴导轨(231)上设置有Y轴移动板(234),所述安装台(24)固定安装在所述Y轴移动板(234)上,所述Y轴丝杆螺母副(232)的螺母连接到Y轴移动板(234)上,所述Y轴驱动电机(233)的输出端连接到Y轴丝杆螺母副(232)的丝杆一端并可驱动Y轴移动板(234)在Y轴导轨(231)上移动。
8.根据权利要求1所述的一种芯片自动检测设备,其特征在于:所述芯片检测组件(3)包括检测组件安装板(31)及设置在检测组件安装板(31)上的检测组件导轨(32),所述检测组件导轨(32)上设置有滑动安装板(33),所述滑动安装板(33)上安装有检测镜头(34)。
9.根据权利要求1所述的一种芯片自动检测设备,其特征在于:所述芯片探针组件(4)包括安装在设备支架(1)上的探针安装底板(41),所述探针安装底板(41)上设置有探针X轴直线轴承(42),所述探针X轴直线轴承(42)上设置有探针Y轴直线轴承(43),所述Y轴直线轴承(43)上设置有探针中间安装板(44),所述探针中间安装板(44)侧部设置有探针Z轴直线轴承(45),所述探针Z轴直线轴承(45)侧部设置有探针安装板(46),所述探针安装板(46)上设置有芯片探针(47)。
10.根据权利要求9所述的一种芯片自动检测设备,其特征在于:所述探针X轴直线轴承(42)、探针Y轴直线轴承(43)及探针Z轴直线轴承(45)上分别设置有探针X轴调节按钮(48)、探针Y轴调节按钮(49)及探针Z轴调节按钮(50)。
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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CN201920141110.8U CN209656849U (zh) | 2019-01-25 | 2019-01-25 | 一种芯片自动检测设备 |
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CN201920141110.8U CN209656849U (zh) | 2019-01-25 | 2019-01-25 | 一种芯片自动检测设备 |
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CN201920141110.8U Active CN209656849U (zh) | 2019-01-25 | 2019-01-25 | 一种芯片自动检测设备 |
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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CN114859213A (zh) * | 2022-07-05 | 2022-08-05 | 深圳市标谱半导体科技有限公司 | 测试针调节组件及芯片测试设备 |
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2019
- 2019-01-25 CN CN201920141110.8U patent/CN209656849U/zh active Active
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