CN209550114U - 一种材料表面处理设备 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种材料表面处理设备，包括依次设置的进料装置、超声波清洗装置、真空干燥装置、真空等离子清洗装置、出料装置；所述超声波清洗装置包括用于容置碳氢清洗剂的超声波清洗槽，并设置有第一出口和进口，且所述第一出口和进口连接第一分离循环系统，所述第一分离循环系统用于对所述碳氢清洗剂进行蒸馏再生；所述第一分离循环系统包括依次连接的第一分离槽、碳氢清洗剂蒸发装置、碳氢清洗剂冷凝装置。利用超声波碳氢洗替代超声波水洗，对碳氢清洗剂进行循环利用，并将碳氢清洗、真空干燥以及真空等离子清洗这三个步骤按顺序结合在一起，实现了废气废水的零排放，绿色环保。

Description

一种材料表面处理设备

技术领域

本实用新型涉及机械工程表面处理领域，尤其涉及一种材料表面处理设备。

背景技术

材料表面工程是对材料表面进行处理，比如洗涤、涂覆、表面改性等，改变固态金属表面或非金属表面的化学成分、组织结构和应力状态等，以获得所需的表面特性的系统工程。对于芯片、铝合金制品、电镀制品等各领域，材料进行焊接、镀覆、喷涂前都需要进行清洗，比如对材料表面进行镀覆(有涂装、电镀，化学镀，电泳等)，现有技术中工艺通常如下：进料→除油→多次超声波水洗→多次干燥→镀覆→多次水洗→干燥→出料，在镀覆前、中、后的过程处理中都需要用到水，进而产生废水，这些废水对外排放会产生极大的污染，不能达到国家所要求的环境/环保标准。影响环境的主要因素是废水和废气的排放，为了达到国家排放达标准，很多企业都最后额外使用废水和废气处理设备来进行处理，从而增加成本。

实用新型内容

为解决上述问题，本实用新型提出一种材料表面处理设备，其能够在进行材料表面处理的过程中，实现废水废气的零排放。

本实用新型公开一种材料表面处理设备，包括依次设置的进料装置、超声波清洗装置、真空干燥装置、真空等离子清洗装置、出料装置，以及用于密封各装置的密封门和密封整体处理设备的外封门；所述超声波清洗装置包括用于容置碳氢清洗剂的超声波清洗槽，并设置有第一出口和进口，且所述第一出口和进口连接第一分离循环系统，所述第一分离循环系统用于对所述碳氢清洗剂进行循环再生；所述第一分离循环系统包括依次连接的第一分离槽、碳氢清洗剂蒸发装置、碳氢清洗剂冷凝装置；所述第一分离槽与所述第一出口连接，用于接收超声波清洗装置中的待再生碳氢清洗剂，所述碳氢清洗剂冷凝装置与所述进口连接，用于将再生的碳氢清洗剂循环至超声波清洗装置中；所述碳氢清洗剂在封闭系统中进行循环再生，防止泄漏。

优选地，所述超声波清洗槽包括按碳氢清洗剂流动方向逆流依次设置的粗洗槽、精洗槽、漂洗槽；所述粗洗槽与所述精洗槽之间设置第一溢流口，所述精洗槽与所述漂洗槽之间设置第二溢流口；所述第一出口设置在所述粗洗槽上，所述进口设置在所述漂洗槽上。

进一步优选，所述超声波清洗槽与所述第一分离槽以及所述碳氢清洗剂冷凝装置形成高度差；在对材料表面进行处理时，所述高度差形成所述第一分离循环系统的动力源，使粗洗槽中的待再生碳氢清洗剂在重力作用下流入到第一分离槽中，并使碳氢清洗剂冷凝装置中再生的碳氢清洗剂在重力作用下流入到漂洗槽中；所述第一溢流口的高度低于所述第二溢流口的高度，使碳氢清洗剂从漂洗槽流入精洗槽后再流入粗洗槽。

进一步优选，所述各清洗槽的底部还设置有排放口，所述排放口与第三分离槽连接，所述第三分离槽再与所述碳氢清洗剂蒸发装置连接形成第二分离循环系统；在需要对各清洗槽内的污物进行处理时，可打开所述排放口，使待再生碳氢清洗剂连同所述污物通过排放口依次经过第三分离槽的分离、碳氢清洗剂蒸发装置的蒸发以及碳氢清洗剂冷凝装置的冷凝进行再生后循环至超声波清洗槽内。

更进一步优选，所述第一分离槽或所述第三分离槽中设置有过滤网和排渣口，所述过滤网用于将不溶于碳氢清洗剂的污物进行过滤分离并从排渣口排出。

优选地，还包括制冷循环系统，所述制冷循环系统包括压缩机及与压缩机连接的冷媒冷凝器和冷媒蒸发器；所述碳氢清洗剂冷凝装置与制冷循环系统冷媒蒸发器连接，以将制冷循环系统冷媒蒸发器蒸发时所形成的冷气送入碳氢清洗剂冷凝装置协助碳氢清洗剂的冷凝；所述碳氢清洗剂蒸发装置与制冷循环系统冷媒冷凝器连接，以将制冷循环系统冷媒冷凝器冷凝时所排出的热气送入碳氢清洗剂蒸发装置协助碳氢清洗剂的蒸发；从而所述压缩机产生的热量被所述碳氢清洗剂蒸发装置回收利用。

进一步优选，所述超声波清洗槽的槽体采用夹套方式，所述夹套内放置水，且利用所述压缩机产生的热量来为夹套进行加热。

优选地，所述超声波清洗装置和所述真空干燥装置与所述碳氢清洗剂冷凝装置连通，所述超声波清洗槽中蒸发的碳氢清洗剂以及真空干燥装置中排出的碳氢清洗剂通过所述碳氢清洗剂冷凝装置进行冷凝回收。

进一步优选，所述进口与所述碳氢清洗剂冷凝装置之间还设置有第二分离槽，用于分离冷凝的水和碳氢清洗剂。

优选地，所述碳氢清洗剂的闪点在200℃以上、沸点在65-80℃之间、粘度在1000mPa·s以下。

优选地，所述真空等离子清洗装置包括：密封等离子腔体、分布于密封等离子腔体内的等离子体极板；等离子清洗时，密封等离子腔体内的真空度为30Pa 以下。

进一步优选，等离子清洗时，向密封等离子腔体内通入气体以持续产生等离子，所述气体的流量为200-400ml/100L·min，所述气体包括氩气、氧气、氮气、氢气、四氟化碳中的至少一种。

优选地，所述进料装置和出料装置为船闸式进料装置和船闸式出料装置，确保进料和出料时整个设备为一个封闭系统，系统内挥发的碳氢清洗剂不泄漏。

本实用新型的有益效果：本实用新型将碳氢清洗、真空干燥以及真空等离子清洗这三个步骤按顺序结合在一起对材料表面进行处理，可以最大程度地降低成本，同时，将碳氢清洗剂在封闭系统中进行循环利用，真正地从工艺本身的源头上解决废水以及废气的零排放问题，整个工艺绿色环保。

附图说明

图1为本实用新型实施例中材料表面处理设备的立体示意图。

图2为本实用新型实施例中材料表面处理设备的正面示意图。

图3为本实用新型实施例中材料表面处理设备的俯视示意图。

图4为本实用新型实施例中碳氢清洗剂的循环示意图。

图5为本实用新型实施例中热量循环示意图。

具体实施方式

下面结合具体实施方式并对照附图对本实用新型作进一步详细说明，应该强调的是，下述说明仅仅是示例性的，而不是为了限制本实用新型的范围及其应用。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。

在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。

如图1-3所示，本实施例提供一种材料表面处理设备10，包括一条流水线上依次设置的进料装置100、超声波清洗装置200、真空干燥装置300、真空等离子清洗装置400和出料装置500。整个处理设备的外围被外封门封闭，各个装置本身也进行了独立的密封(图中未示出)；以保证设备的运行安全、保温效果以及防止溶剂的挥发等。

在进料装置100、超声波清洗装置200、真空干燥装置300、真空等离子清洗装置400和出料装置500的上方，安装有栏杆11和自动机械手12，该自动机械手12 与电控系统13连接，可以上下移动，以及沿着栏杆11在各装置之间左右横移。

进料装置100包括入料输送机101和料框102，进料装置100与超声波清洗装置 200之间设置有移动密封门。外部机械臂将材料放入到料框102中，料框102由入料输送机101送至机械手12的下方，再由机械手12抓取料框102，同时开启移动密封门，将料框102送入至超声波清洗装置中。出料装置500也包括出料输送机，出料装置与真空等离子清洗装置400之间设置移动密封门。机械手抓取真空等离子清洗装置400中已清洗好的材料，同时开启移动密封门，将料框放入出料输送机上，然后由出料输送机送出该设备。所述进料装置100和出料装置500为船闸式进料装置和船闸式出料装置，确保进料和出料时整个设备为一个封闭系统，系统内挥发的碳氢清洗剂不泄漏。

超声波清洗装置200包括3个内容置有清洗剂的超声波清洗槽，分别为粗洗槽201，精洗槽202和漂洗槽203，分别用于材料的粗洗(清洗材料表面切削油、金属颗粒、粉尘等)、精洗(进一步清洗材料表面较少的切削油)和漂洗(再进一步清洗材料表面微量的切削油)。清洗剂的选用需具备如下特点：①在冷热和蒸汽状态下均能脱脂，②液相密度高、表面张力低，③不易燃、不分解、不易变质、不腐蚀金属，④稳定、无毒、无刺激性气味，⑤液相密度高，表面张力低，⑥粘度低、比热容及汽化热低，蒸汽重于空气，⑦容易与油污分离，且不对空气产生污染。具体的，选用碳氢清洗剂，碳氢清洗剂具有良好的环保特性和清洗能力，特别是对金属等加工油的清洗力强，对于表面张力小、细缝、细孔部的清洗效果也好。碳氢清洗剂优选闪电在200℃以上、沸点在65-80℃之间、粘度在1000mPa·s 以下，并优选三氯乙烯、正癸烷、溴丙烷中的一种。

各超声波清洗槽采用316不锈钢板精密焊接而成，在超声波清洗槽的内侧面安装震板，震板内安装多个振头；单个槽体内共计200个振头，每槽配一套发生器，超声波频率为28KHz。超声波使碳氢清洗剂快速振动撕裂形成众多的真空气泡，气泡在闭合的瞬间将产生巨大的冲击力，气泡如此反复形成、闭合，使油污迅速溶解、剥离。

如图4所示，超声波清洗装置200与第一分离循环系统连接(图中实线)，用于碳氢清洗剂的再生循环利用。具体地，第一分离循环系统包括依次连接的第一分离槽、碳氢清洗剂蒸发装置、碳氢清洗剂冷凝装置和第二分离槽。粗洗槽201 设置第一出口，与第一分离槽连接；漂洗槽203设置进口，与第二分离槽连接。粗洗槽201与精洗槽202之间设置第一溢流口，精洗槽202与漂洗槽203之间设置第二溢流口，第一溢流口的高度低于第二溢流口的高度。同时，超声波清洗装置的高度低于第二分离槽，并高于所述第一分离槽(即：粗洗槽的高度高于第一分离槽，漂洗槽的高度低于第二分离槽)，以形成高度差。

碳氢清洗剂的循环如图4所示，在高度差的作用下，粗洗槽201中待再生的碳氢清洗剂流入到第一分离槽中，第一分离槽中内部设置不锈钢过滤网，过滤精度为20μm左右，其将不溶于碳氢清洗剂的污物与清洗剂进行分离(固液分离)，不溶污物可以从第一分离槽的排渣口定期取出，待再生的碳氢清洗剂(已过滤不溶污物，但还含有溶于清洗剂的切削油等)流入到碳氢清洗剂蒸发装置中，在碳氢清洗剂蒸发装置中对待再生的碳氢清洗剂进行分馏提纯，提纯后的碳氢清洗剂 (即为再生碳氢清洗剂)进入到碳氢清洗剂冷凝装置中进行冷凝；碳氢清洗剂蒸发装置中还设置有排放口，用于对切削油等进行排放回收。由于冷凝过程中有可能将空气中的水分也冷凝成了水，故经第二分离槽将再生碳氢清洗剂和水进行分离后(液液分离)，在高度差的作用下流入漂洗槽中，然后从漂洗槽中溢流至精洗槽，再溢流至粗洗槽中，完成整个碳氢清洗剂的再生循环。再生后的碳氢清洗剂每小时溢流量为单槽容积的1.5-2倍。

碳氢清洗剂蒸发装置与制冷循环系统冷媒蒸发器204连接，制冷循环系统冷媒蒸发器204对碳氢清洗剂蒸发装置进行加热；碳氢清洗剂冷凝装置与制冷循环系统冷媒蒸发器205连接，制冷循环系统冷媒蒸发器205对碳氢清洗剂冷凝装置进行降温，制冷循环系统冷媒蒸发器和制冷循环系统冷媒冷凝器与压缩机连接组成制冷循环系统，其冷媒的循环如图5所示，压缩机的排气口连接至制冷循环系统冷媒冷凝器的一端，制冷循环系统冷媒冷凝器的另一端连接至制冷循环系统冷媒蒸发器，制冷循环系统冷媒蒸发器的另一端连接至压缩机的吸气口。压缩机产生的热量通过管道连接至碳氢清洗剂蒸发装置，被碳氢清洗剂蒸发装置回收利用。

由于本实施例中选用的碳氢清洗剂的沸点较低(65-80℃)，故其碳氢清洗剂蒸发装置不需要减压蒸馏，而是采用常压蒸馏分离即可，碳氢清洗剂蒸发装置的加热方式为夹套加热，用于容置待蒸馏碳氢清洗剂的内层外再套设一层外层，内外层之间放置水，压缩机产生的热量通过管道连接至碳氢清洗剂蒸发装置的夹套并为夹套内的水进行加热，进而进行碳氢清洗剂的蒸馏再生。通过利用压缩机产生的热量来给碳氢清洗剂蒸发装置进行加热，可以达到节能的目的。

粗洗槽、精洗槽、漂洗槽的槽体同样可以采用夹套的方式，用于容置碳氢清洗剂的内层槽体外再套设一层外层槽体，内层槽体和外层槽体之间放置纯水，利用压缩机产生的热量来为夹套进行加热，如此可有效防止碳氢清洗剂因受热不匀而结块。同样，利用压缩机产生的热量来给超声波清洗槽加热，进一步节省能耗及成本。

超声波清洗槽中不免会有部分的碳氢清洗剂的挥发，同时，真空干燥装置中也会蒸发出碳氢清洗剂。但由于每一个装置都有自身的密封门，而且整体设备外也设置密封门，采用双重密封的方式，可以有效防止碳氢清洗剂向外排放。另外，超声波清洗装置中的各清洗槽以及真空干燥装置与碳氢清洗剂冷凝装置连接，碳氢清洗剂冷凝装置将清洗槽挥发的清洗剂和真空干燥装置中蒸发的清洗剂同碳氢清洗剂蒸发装置分馏的再生清洗剂一起进行冷凝，从而使得碳氢清洗剂进一步循环利用，实现了废气的零排放，同时，节省能耗以及成本。

在设备的运行过程，对工件进行表面处理时，其碳氢清洗剂循环和制冷循环也都是时刻运行的。在设备使用较长时间后，为了对碳氢清洗剂进一步净化，则可以分别在粗洗槽201、精洗槽202和漂洗槽203的底部设置有排放口，该排放口可以手动控制开关，排放口与第三分离槽连接，同时第三分离槽与碳氢清洗剂蒸发装置连接构成第二分离循环系统。同样地，超声波清洗槽与第三分离形成高度差。槽如图4中的虚线所示，在未对材料表面进行处理时，打开粗洗槽、精洗槽和漂洗槽的排放口，一次性将各超声波清洗槽中的清洗剂流入到第三分离槽中进行固液分离、然后再依次经过碳氢清洗剂蒸发装置的分馏提纯以及碳氢清洗剂冷凝装置的冷凝，最后在高度差的作用下回流到漂洗槽中完成全部碳氢清洗剂的净化以及循环再利用。第三分离槽设置不锈钢过滤网，过滤精度20μm，将不溶于碳氢清洗剂的污物与清洗剂进行分离；固体废渣从第三分离槽的排渣口排出。通过第二分离循环系统，可以实现碳氢清洗剂的净化与清洁。

真空干燥装置300对清洗后的材料进行干燥，可以包括一个或多个箱体，分步多次进行干燥，如图所示，其包含两个真空干燥装置，分别为301和302，其干燥条件为1.0×10⁴Pa–1.01×10⁵Pa。

真空等离子清洗装置400用于对干燥后的材料进行清洗。材料虽然经超声波清洗装置清除了油污以及其他的杂质等，但其表面也会残留碳氢清洗剂或少许的残留油污。真空等离子清洗装置400可以产生等离子体，进而对材料表面的清洗剂以及碳氢清洗过程中未除去的残留油污等进行清洗。

真空等离子清洗装置包括密封等离子腔体以及分布于密封等离子腔体内的等离子体极板。等离子体基板在等离子腔体内侧呈对称分布，其可以设置对称的 2块，也可以在内侧四周设置对称的4块。待材料进入到密封等离子腔体内，关闭密封门，然后抽真空，待真空度为30Pa以下，然后向密封等离子腔体内通入气体以持续产生等离子。通入的气体包括氩气、氧气、氮气、氢气、四氟化碳等，根据不同的材料选用不同的气体，比如：线路板选用氩气、氧气、四氟化碳中的一种，金属选用氩气、氧气、氢气中一种。对于容积为100L的密封等离子腔体，气体通入清洗槽的流量为200-400ml/min。等离子体清洗过程中，通入气体的持续时间为3-5min左右。本实施中等离子清洗的压强为1-100Pa，优选为30Pa或80Pa。

等离子体对材料表面进行清洗的原理为：在真空腔体里，通过射频电源在一定的压力情况下起辉产生高能量的等离子体，继而通过等离子体轰击材料表面，产生微观上的剥离效果，以达到清洗目的。调整等离子轰击时间就可以调整剥离深度，等离子的作用效果为纳米级，所以不会损坏清洗对象。

等离子清洗还具有如下的优点：1.干式方法处理，无污染、无废水、无溶剂，绿色环保；2.仅需要少量气体就可以形成等离子体，成本低，功耗低、而且清洗时间短，效率高；3.等离子体的方向性不强，可以深入到物体的微细孔眼和凹陷的内部，因此不需要过多考虑材料的形状；另外，对于不同材质，无论是金属、半导体、氧化物还是高分子材料，都可以进行清洗；4.在完成清洗去污的同时，还可以改善材料本身的表面性能，如提高表面的润湿性能、改善膜的黏着力，改善焊接的牢固度等。

依次经如上的超声波碳氢洗、真空干燥和真空等离子清洗，材料表面清洗效果好，对于金属材料，清洗完后表面张力可达60dyn以上；对于塑料，清洗完后表面张力可达40dyn以上；对于玻璃，清洗完后表面张力可达60dyn以上。

对硅板材料进行清洗前和清洗后，水滴角实验数据如下：清洗前，其水滴角的左接触角为99°，右接触角为101.54°；清洗完成后，其水滴角的左接触角为 12.5°，右接触角为11.95°。从该实验数据可知，其清洗效果好。

以清洗的材料为塑料为例，本实施例中采用超声波碳氢洗+等离子清洗的方式，与传统单独使用超声波水洗或超声波碳氢洗相比，其水痕测试、达因值、水滴角以及总体的耗能如下：

通过如上的数据可知：通过超声波碳氢洗+等离子清洗的方式，其清洗效果好，且耗能低。

如上设备中的各装置处在一条流水线上，为了批量化作业，每一个装置/槽体的上方都可以设置一个自动机械手12，作业时，各装置或槽体上方的自动机械手对不同的工件同步工作，提高效率。

对于进料，外部机械臂将材料放入到料框102中，料框102由入料输送机101 送至机械手12的下方后，自动机械手12向下运动抓取料框102后再向上运动，同时开启移动密封门，自动机械手向右移动一格，停靠在粗洗槽201的上方，然后向下运动将料框102送入至粗洗槽201中。最后自动机械手回位。

同样地，对于其他的装置/槽体上方的自动机械手工作过程如上，都是先开启每一个装置的密封门，然后将上一个步骤中已完成处理的工件，通过自动机械手抓取料框，再送入至下一个装置或槽体中，最后关闭各自的密封门。

如上的材料表面处理设备处理每一个工件的具体流程依次为：进料→粗洗→精洗→漂洗→2次干燥→真空等离子处理→出料。

相对于背景技术中的清洗工艺，本实施例的材料表面处理工艺具有的有益效果如下：

1.本申请将超声波碳氢洗、真空干燥以及真空等离子清洗这三个步骤按顺序结合在一起，相较于以往的超声波水洗或超声波碳氢洗，其清洗效果好，且清洗时间短、效率高，同时，还可以改善材料本身的表面性能，有利于材料后续的处理。

2.设备中各装置以及整体设备外都设置了密封门，清洗过程中对碳氢清洗剂进行循环利用，同时，清洗槽中挥发的碳氢清洗剂以及第一真空箱蒸发的碳氢清洗剂都进入到碳氢清洗剂冷凝装置中进行循环，完全避免了废水及废气的排放，真正地从工艺源头上解决废水及废气排放的问题，整个工艺过程绿色环保无污染。另外，节省了资源，降低了成本。

3.将碳氢清洗蒸发装置和碳氢清洗冷凝装置与制冷循环系统连接，同时，压缩机产生的热量用于碳氢清洗蒸发装置、超声波清洗槽的加热等，实现热量的回收利用，最大化地节能减耗。

以上内容是结合具体/优选的实施方式对本实用新型所作的进一步详细说明，不能认定本实用新型的具体实施只局限于这些说明。对于本实用新型所属技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，其还可以对这些已描述的实施方式做出若干替代或变型，而这些替代或变型方式都应当视为属于本实用新型的保护范围。

Claims (13)

1.一种材料表面处理设备，其特征在于，包括依次设置的进料装置、超声波清洗装置、真空干燥装置、真空等离子清洗装置、出料装置，以及用于密封各装置的密封门和密封整体处理设备的外封门；

所述超声波清洗装置包括用于容置碳氢清洗剂的超声波清洗槽，并设置有第一出口和进口，且所述第一出口和进口连接第一分离循环系统，所述第一分离循环系统用于对所述碳氢清洗剂进行循环再生；所述第一分离循环系统包括依次连接的第一分离槽、碳氢清洗剂蒸发装置、碳氢清洗剂冷凝装置；所述第一分离槽与所述第一出口连接，用于接收超声波清洗装置中待再生碳氢清洗剂，所述碳氢清洗剂冷凝装置与所述进口连接，用于将再生的碳氢清洗剂循环至超声波清洗装置中，所述碳氢清洗剂在封闭系统中进行循环再生，防止泄漏。

2.如权利要求1所述的材料表面处理设备，其特征在于，所述超声波清洗槽包括按碳氢清洗剂流动方向逆流依次设置的粗洗槽、精洗槽、漂洗槽；所述粗洗槽与所述精洗槽之间设置第一溢流口，所述精洗槽与所述漂洗槽之间设置第二溢流口；所述第一出口设置在所述粗洗槽上，所述进口设置在所述漂洗槽上。

3.如权利要求2所述的材料表面处理设备，其特征在于，所述超声波清洗槽与所述第一分离槽以及所述碳氢清洗剂冷凝装置形成高度差；在对材料表面进行处理时，所述高度差形成所述第一分离循环系统的动力源，使粗洗槽中的待再生碳氢清洗剂在重力作用下流入到第一分离槽中，并使碳氢清洗剂冷凝装置中再生的碳氢清洗剂在重力作用下流入到漂洗槽中；所述第一溢流口的高度低于所述第二溢流口的高度，使碳氢清洗剂从漂洗槽流入精洗槽后再流入粗洗槽。

4.如权利要求2所述的材料表面处理设备，其特征在于，所述各清洗槽的底部还设置有排放口，所述排放口与第三分离槽连接，所述第三分离槽再与所述碳氢清洗剂蒸发装置连接形成第二分离循环系统；在需要对各清洗槽内的污物进行处理时，可打开所述排放口，使待再生碳氢清洗剂连同所述污物通过排放口依次经过第三分离槽的分离、碳氢清洗剂蒸发装置的蒸发以及碳氢清洗剂冷凝装置的冷凝进行再生后循环至超声波清洗槽内。

5.如权利要求4所述的材料表面处理设备，其特征在于，所述第一分离槽或所述第三分离槽中设置有过滤网和排渣口，所述过滤网用于将不溶于碳氢清洗剂的污物进行过滤分离并从排渣口排出。

6.如权利要求1所述的材料表面处理设备，其特征在于，还包括制冷循环系统，所述制冷循环系统包括压缩机及与压缩机连接的冷媒冷凝器和冷媒蒸发器；所述碳氢清洗剂冷凝装置与制冷循环系统冷媒蒸发器连接，以将制冷循环系统冷媒蒸发器蒸发时所形成的冷气送入碳氢清洗剂冷凝装置协助碳氢清洗剂的冷凝；所述碳氢清洗剂蒸发装置与制冷循环系统冷媒冷凝器连接，以将制冷循环系统冷媒冷凝器冷凝时所排出的热气送入碳氢清洗剂蒸发装置协助碳氢清洗剂的蒸发；从而所述压缩机产生的热量被所述碳氢清洗剂蒸发装置回收利用。

7.如权利要求6所述的材料表面处理设备，其特征在于，所述超声波清洗槽的槽体采用夹套方式，所述夹套内放置水，且利用所述压缩机产生的热量来为夹套进行加热。

8.如权利要求1所述的材料表面处理设备，其特征在于，所述超声波清洗装置和所述真空干燥装置与所述碳氢清洗剂冷凝装置连通，所述超声波清洗槽中蒸发的碳氢清洗剂以及真空干燥装置中排出的碳氢清洗剂通过所述碳氢清洗剂冷凝装置进行冷凝回收。

9.如权利要求8所述的材料表面处理设备，其特征在于，所述进口与所述碳氢清洗剂冷凝装置之间还设置有第二分离槽，用于分离冷凝的水和碳氢清洗剂。

10.如权利要求1所述的材料表面处理设备，其特征在于，所述碳氢清洗剂的闪点在200℃以上、沸点在65-80℃之间、粘度在1000mPa·s以下。

11.如权利要求1所述的材料表面处理设备，其特征在于，所述真空等离子清洗装置包括：密封等离子腔体、分布于密封等离子腔体内的等离子体极板；等离子清洗时，密封等离子腔体内的真空度为30Pa以下。

12.如权利要求11所述的材料表面处理设备，其特征在于，等离子清洗时，向密封等离子腔体内通入气体以持续产生等离子，所述气体的流量为200-400ml/100L·min，所述气体包括氩气、氧气、氮气、氢气、四氟化碳中的至少一种。

13.如权利要求1所述的材料表面处理设备，其特征在于，所述进料装置和出料装置为船闸式进料装置和船闸式出料装置，确保进料和出料时整个设备为一个封闭系统，系统内挥发的碳氢清洗剂不泄漏。