CN209456553U - 真空离子镀膜设备视窗压紧机构 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于一种真空离子镀膜设备视窗压紧机构，包括内六角螺钉，视窗前压法兰，视窗防压垫，胶圈，视窗玻璃，弹簧圈，视窗后法兰，螺帽；其特征在于视窗后法兰（7）焊接到视窗管（8）上，视窗后法兰（7）上有胶圈槽，槽内安装胶圈（4），胶圈（4）起到密封作用；在胶圈（4）上方放视窗玻璃（5），在视窗玻璃（5）上方放视窗防压垫（3），在视窗防压垫（3）上面安装视窗前压法兰（2）；安装完成后，用6个内六角螺钉（1）配合弹簧圈（6）穿过视窗前压法兰（2）固定到视窗后法兰（7）上锁紧；使视窗每个位置均匀受力。该实用新型结构简单，拆装方便快捷，有利于节省安装时间和延长视窗使用寿命。

Description

真空离子镀膜设备视窗压紧机构

技术领域

本实用新型属于真空离子镀膜设备领域，特别涉及一种真空离子镀膜设备视窗压紧机构。

背景技术

在利用真空离子镀膜设备进行镀膜时，传统的可视视窗在安装过程中由4个螺丝固定，由于在上螺丝时容易用力不均，而使4个定位点的载荷力量不同；在镀膜时炉内温度高，视窗所受的载荷不同会导致视窗破碎，需重新安装，影响生产效率。

发明内容

本发明的目的在于克服视窗载荷分布不均所存在的不足，提供一种能使视窗载荷分布均匀，拆装方便快捷，提高效率并延长视窗使用寿命的真空视窗压紧机构。

本实用新型解决技术问题所采用的技术方案是：一种新型的真空离子镀膜设备视窗压紧机构，包括内六角螺钉，视窗前压法兰，视窗防压垫，胶圈，视窗玻璃，弹簧圈，视窗后法兰及视窗管，其特征在于视窗后法兰和视窗前法兰上有均匀分布的6个螺丝孔，每个螺纹孔用螺钉配合弹簧垫穿过视窗前压法兰把到视窗后法兰上锁紧, 使视窗每个位置都均匀受力。

本实用新型的有益效果是：该实用新型采用新的压紧机构形式，设计合理，布局巧妙，在镀膜时合理的解决视窗每个位置载荷不同的问题，有利于节省安装时间提高生产效率。

附图说明

以下结合附图，以实施列具体说明。

图1是真空离子镀膜设备视窗压紧机构主体图；

图2是图1的主视图。

图中1-内六角螺钉；2-视窗前压法兰；3-视窗防压垫；4-胶圈；5-视窗玻璃；6-弹簧圈；7-视窗后法兰；8-视窗管。

具体实施方式

实施例，参照附图，一种真空离子镀膜设备视窗压紧机构，包括内六角螺钉，视窗前压法兰，视窗防压垫，胶圈，视窗玻璃，弹簧圈，视窗后法兰，视窗管；其特征在于视窗后法兰7焊接到视窗管8上，视窗后法兰7上有胶圈槽，槽内按上胶圈4，胶圈4起到密封作用，在胶圈4上方放视窗玻璃5，在视窗玻璃5上方放视窗防压垫3，在视窗防压垫3上面安装视窗前压法兰2，安装完成后，用6个内六角螺钉1配合弹簧圈6穿过视窗前压法兰3固定到视窗后法兰7上锁紧。

视窗后法兰7和视窗前压法兰2上有均匀分布的6个螺丝孔，每个螺纹孔用内六角螺钉配合弹簧圈6穿过视窗前压法兰2固定到视窗后法兰上7锁紧,使视窗每个位置都均匀受力。

该实用新型的使用方法是：首先将视窗玻璃前后两端按有胶圈4和视窗防压垫3，防止视窗玻璃5破裂，视窗后法兰7和视窗前压法兰上有均匀分布的6个螺丝孔，每个螺纹孔用内六角螺钉配合弹簧圈6穿过视窗前压法兰2固定到视窗后法兰7上锁紧，使视窗每个位置均匀受力。

Claims (2)

1.一种真空离子镀膜设备视窗压紧机构，包括内六角螺钉，视窗前压法兰，视窗防压垫，胶圈，视窗玻璃，弹簧圈，视窗后法兰，视窗管；其特征在于视窗后法兰（7）焊接到视窗管（8）上，视窗后法兰（7）上有胶圈槽，槽内按上胶圈（4），胶圈（4）起到密封作用，在胶圈（4）上方放视窗玻璃（5），在视窗玻璃（5）上方放视窗防压垫（3），在视窗防压垫（3）上面安装视窗前压法兰（2），安装完成后，用6个内六角螺钉（1）配合弹簧圈（6）穿过视窗前压法兰（2）固定到视窗后法兰（7）上锁紧。

2.根据权利要求1所述的真空离子镀膜设备视窗压紧机构；其特征在于视窗后法兰（7）和视窗前压法兰（2）上有均匀分布的6个螺丝孔，每个螺纹孔用内六角螺钉（1）配合弹簧圈（6）穿过视窗前压法兰（2）固定到视窗后法兰（7）上锁紧,使视窗每个位置均匀受力。