CN209451526U - 一种冷阱过滤装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开一种冷阱过滤装置，包括冷却模组、第一过滤模组、第一滤瓶、进气管；所述进气管安装在第一滤瓶上且靠近冷却模组布置，用于通入待过滤处理的气体；所述冷却模组包括若干冷却盘、冷却管；所述若干冷却盘、冷却管内置于第一滤瓶，且冷却管的进口及出口均延伸至外部；所述第一过滤模组内置于第一滤瓶，用于过滤冷却模组冷却后的气体并排出第一滤瓶。本实用新型设备高温尾气中的绝大部分颗粒物会被过滤，延长管道和泵的维护周期，延长泵的使用寿命，降低劳动强度，提高生产效率。

Description

一种冷阱过滤装置

技术领域

本实用新型涉及半导体及太阳能电池制造技术领域，尤其涉及一种冷阱过滤装置。

背景技术

扩散炉、LPCVD、PECVD等太阳能电池和半导体制造设备的高温尾气含有需要过滤的微粒或冷凝后形成的液体，这些设备大部分存在尾排管道堵塞的问题，以致需要经常拆开管道维护。

现有这些设备的尾气排出口一般直接连接抽气泵或安装滤网再连接抽气泵，以对高温尾气进行处理。但为了保护泵和工艺的正常运行，大部分会在泵前增加滤网，减少颗粒杂质进入泵，保护了泵，延缓了堵塞，延长了维护周期。但由于泵的抽气需求，对滤网的网孔密度有一定要求：滤网的网孔密，影响泵对设备的抽真空；网孔稀，过滤杂质较少，很多颗粒会进入泵中，长期如此会损伤泵或者增加泵的维护频率，降低生产效率。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种冷阱过滤装置，设备高温尾气中的绝大部分颗粒物会被过滤，延长管道和泵的维护周期，延长泵的使用寿命，降低劳动强度，提高生产效率。

为实现上述目的，采用以下技术方案：

一种冷阱过滤装置，包括冷却模组、第一过滤模组、第一滤瓶、进气管；所述进气管安装在第一滤瓶上且靠近冷却模组布置，用于通入待过滤处理的气体；所述冷却模组包括若干冷却盘、冷却管；所述若干冷却盘、冷却管内置于第一滤瓶，且冷却管的进口及出口均延伸至外部；所述第一过滤模组内置于第一滤瓶，用于过滤冷却模组冷却后的气体并排出第一滤瓶。

较佳地，所述冷阱过滤装置还包括第二滤瓶、第二过滤模组、连接管；所述连接管用于将第一过滤模组过滤后的气体导入第二滤瓶；所述第二过滤模组内置于第二滤瓶，用于过滤连接管导入的气体并排出第二滤瓶。

较佳地，所述第一过滤模组包括第一滤芯、第一滤芯排气管；所述第一滤芯排气管一端设有若干第一排气孔，且该端插入第一滤芯布置；所述第一滤芯排气管的另一端依次穿过若干冷却盘布置，且连接管与该端连接。

较佳地，所述冷却模组设于第一滤芯的上方，进气管安装于第一滤瓶的顶部。

较佳地，所述第二过滤模组包括第二滤芯、第二滤芯排气管；所述第二滤芯排气管一端设有若干第二排气孔，且该端插入第二滤芯布置。

较佳地，所述冷阱过滤装置还包括出气管；所述出气管一端与第二滤芯排气管连接，另一端延伸至第二滤瓶外部。

较佳地，所述冷却管多次迂回穿过若干冷却盘布置。

较佳地，所述第一滤芯、第二滤芯的孔径为5～20μm；所述第二滤芯的孔径小于第一滤芯的孔径。

较佳地，所述冷却盘设置为三个，在第一滤瓶的上部平行布置。

较佳地，所述冷却盘采用导热材质。

采用上述方案，本实用新型的有益效果是：

将微粒聚集过滤在过滤装置中，降低过滤装置和泵的维护频率，延长泵的使用寿命，降低劳动强度，减少维护时间，提高生产效率：

1)利用冷却模组将尾气降温后，冷凝的杂质大部分被吸附在滤瓶及冷却盘中，同时避免高温分解的气体流到后面的泵中；

2)冷却模组中的冷却管迂回穿过冷却盘及设计若干冷却盘，有效增加冷却面积；

3)设置第二过滤模组作为第二重过滤，避免经过第一过滤模组的尾气仍残留较多颗粒。

附图说明

图1为本实用新型的结构示意图；

图2为本实用新型的第一过滤模组的结构示意图；

图3为本实用新型的第二过滤模组的结构示意图；

其中，附图标识说明：

1—冷却模组， 2—第一过滤模组，

3—第一滤瓶， 4—进气管，

5—第二滤瓶， 6—第二过滤模组，

7—连接管， 8—出气管，

11—冷却盘， 12—冷却管，

21—第一滤芯， 22—第一滤芯排气管，

61—第二滤芯， 62—第二滤芯排气管，

221—第一排气孔， 621—第二排气孔，

121—进口， 122—出口。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例，对本实用新型进行详细说明。

参照图1至3所示，本实用新型提供一种冷阱过滤装置，包括冷却模组1、第一过滤模组2、第一滤瓶3、进气管4；所述进气管4安装在第一滤瓶3上且靠近冷却模组1布置，用于通入待过滤处理的气体；所述冷却模组1包括若干冷却盘11、冷却管12；所述若干冷却盘11、冷却管12内置于第一滤瓶3，且冷却管12的进口121及出口122均延伸至外部；所述第一过滤模组2内置于第一滤瓶3，用于过滤冷却模组1冷却后的气体并排出第一滤瓶3。

其中，所述冷阱过滤装置还包括第二滤瓶5、第二过滤模组6、连接管7；所述连接管7用于将第一过滤模组2过滤后的气体导入第二滤瓶5；所述第二过滤模组6内置于第二滤瓶5，用于过滤连接管7导入的气体并排出第二滤瓶5。

所述第一过滤模组2包括第一滤芯21、第一滤芯排气管22；所述第一滤芯排气管22一端设有若干第一排气孔221，且该端插入第一滤芯21布置；所述第一滤芯排气管22的另一端依次穿过若干冷却盘11布置，且连接管7与该端连接。所述冷却模组1设于第一滤芯21的上方，进气管4安装于第一滤瓶3的顶部。

所述第二过滤模组6包括第二滤芯61、第二滤芯排气管62；所述第二滤芯排气管62一端设有若干第二排气孔621，且该端插入第二滤芯61布置。所述冷阱过滤装置还包括出气管8；所述出气管8一端与第二滤芯排气管62连接，另一端延伸至第二滤瓶5外部。

所述冷却管12多次迂回穿过若干冷却盘11布置。所述第一滤芯21、第二滤芯61的孔径为5～20μm；所述第二滤芯61的孔径小于第一滤芯21的孔径。所述冷却盘11设置为三个，在第一滤瓶3的上部平行布置。所述冷却盘11采用导热材质。

本实用新型工作原理：

本实用新型中设置第二滤芯61、第二滤芯排气管62作为第二重过滤保障，避免经过第一过滤模组2的尾气仍残留较多颗粒。第一滤芯21、第二滤芯61的孔径为5～20μm；第二滤芯61的孔径小于第一滤芯21的孔径，以使第二滤芯61进一步对气体进行过滤。

冷却模组1中的冷却管12迂回设计，有效增加在第一滤瓶3中的冷却长度，即冷却面积，冷却管12中通入冷却液进行冷却；同时增加若干冷却盘11，进一步增加冷却面积，以实现对高温气体的冷却。冷却管12及第一滤芯21排气管过冷却盘11布置，整体结构紧凑。

本实用新型工作流程如下：

1)进气管4外接设备排气口，将设备的尾气接入第一滤瓶3；

2)高温尾气接触冷却管12和冷却盘11，气体降温，气体携带的颗粒和可能由高温气体分解下的颗粒吸附在冷却盘11和第一滤瓶3壁上；

3)第一滤瓶3中冷却后的气体经过第一滤芯21(过滤颗粒物质)过滤，进入第一排气孔221，依次经第一滤芯排气管22、连接管7进入第二滤瓶5；

4)第二滤芯61对气体进行再次过滤，过滤后的气体进入第二排气孔621，依次经第二滤芯排气管62、出气管8流向泵体。

以上仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用于限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种冷阱过滤装置，其特征在于，包括冷却模组、第一过滤模组、第一滤瓶、进气管；所述进气管安装在第一滤瓶上且靠近冷却模组布置，用于通入待过滤处理的气体；所述冷却模组包括若干冷却盘、冷却管；所述若干冷却盘、冷却管内置于第一滤瓶，且冷却管的进口及出口均延伸至外部；所述第一过滤模组内置于第一滤瓶，用于过滤冷却模组冷却后的气体并排出第一滤瓶。

2.根据权利要求1所述的冷阱过滤装置，其特征在于，所述冷阱过滤装置还包括第二滤瓶、第二过滤模组、连接管；所述连接管用于将第一过滤模组过滤后的气体导入第二滤瓶；所述第二过滤模组内置于第二滤瓶，用于过滤连接管导入的气体并排出第二滤瓶。

3.根据权利要求2所述的冷阱过滤装置，其特征在于，所述第一过滤模组包括第一滤芯、第一滤芯排气管；所述第一滤芯排气管一端设有若干第一排气孔，且该端插入第一滤芯布置；所述第一滤芯排气管的另一端依次穿过若干冷却盘布置，且连接管与该端连接。

4.根据权利要求3所述的冷阱过滤装置，其特征在于，所述冷却模组设于第一滤芯的上方，进气管安装于第一滤瓶的顶部。

5.根据权利要求3所述的冷阱过滤装置，其特征在于，所述第二过滤模组包括第二滤芯、第二滤芯排气管；所述第二滤芯排气管一端设有若干第二排气孔，且该端插入第二滤芯布置。

6.根据权利要求5所述的冷阱过滤装置，其特征在于，所述冷阱过滤装置还包括出气管；所述出气管一端与第二滤芯排气管连接，另一端延伸至第二滤瓶外部。

7.根据权利要求1所述的冷阱过滤装置，其特征在于，所述冷却管多次迂回穿过若干冷却盘布置。

8.根据权利要求5所述的冷阱过滤装置，其特征在于，所述第一滤芯、第二滤芯的孔径为5～20μm；所述第二滤芯的孔径小于第一滤芯的孔径。

9.根据权利要求7所述的冷阱过滤装置，其特征在于，所述冷却盘设置为三个，在第一滤瓶的上部平行布置。

10.根据权利要求1所述的冷阱过滤装置，其特征在于，所述冷却盘采用导热材质。