CN209342120U - 一种晶圆参数测量的晶圆扫描装置 - Google Patents
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Abstract
一种晶圆参数测量的晶圆扫描装置，解决了实际操作中为应对不同纵深及尺寸的需求，可能需要更换晶圆扫描装置或者更改装置的部分结构，从而影响到生产进度，增加了投入成本的问题，其包括工作台底座，所述工作台底座的一侧通过螺栓固定有定位板，定位板的一侧对称滑动安装有探头安装座，探头安装座上安装有探头，工作台底座的顶部中心处焊接固定有齿轮条，工作台底座的顶部对应两侧焊接固定有直线导轨。本实用新型结构新颖，构思巧妙，使用方便，在两个探头相对位置确定的情况下，延长探头的扫描纵深，同时也可以调节探头间距，使其可以根据晶圆的直径进行探头间距的快速调节，满足不同工况的需要，增强晶圆扫描装置的兼容性和适应性。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体晶圆检测技术领域，具体为一种晶圆参数测量的晶圆扫描装置。
背景技术
晶圆是指硅半导体集成电路制作所用的硅晶片，由于其形状为圆形，故称为晶圆，晶圆扫描装置是使用光纤传感器进行晶圆扫描的装置，按照其光纤扫描方式分类主要分为对射型和反射型两类。但是实际操作中为应对不同纵深及尺寸的需求，可能需要更换晶圆扫描装置或者更改装置的部分结构，从而影响到生产进度，增加了投入成本。因此，设计一种晶圆参数测量的晶圆扫描装置是很有必要的。
实用新型内容
针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本实用新型提供一种晶圆参数测量的晶圆扫描装置，有效的解决了实际操作中为应对不同纵深及尺寸的需求，可能需要更换晶圆扫描装置或者更改装置的部分结构，从而影响到生产进度，增加了投入成本的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：本实用新型包括工作台底座，所述工作台底座的一侧通过螺栓固定有定位板，定位板的一侧对称滑动安装有探头安装座，探头安装座上安装有探头，工作台底座的顶部中心处焊接固定有齿轮条，工作台底座的顶部对应两侧焊接固定有直线导轨，直线导轨上滑动连接有方形滑块，方形滑块的顶部一侧焊接固定有固定板，且两个固定板之间转动连接有转轴，固定板的一侧通过螺栓固定有减速器，且减速器的输出端与转轴的一端连接，减速器的输入端与伺服电机的输出端连接，转轴的中心处套接固定有第一齿轮，且第一齿轮与齿轮条啮合连接，转轴远离减速器的一端套接固定有电磁抱闸，固定板的顶部通过螺栓固定有负载工作台，且负载工作台的一侧通过导线与控制板连接，控制板电性连接探头、伺服电机和电磁抱闸。
优选的，所述探头安装座包括旋钮、齿轮槽、滑槽、L型滑块和第二齿轮，滑槽开设在定位板的一侧中心处，滑槽的底部内壁中心处开设有齿轮槽，齿轮槽内部啮合连接有第二齿轮，滑槽的内部滑动连接有L型滑块，L型滑块的顶部中心处通过螺栓固定有探头，旋钮穿过L型滑块的顶部一侧焊接固定在第二齿轮的中心处。
优选的，所述滑槽的一侧嵌入安装有刻度条。
优选的，所述负载工作台的顶部四个拐角处对称开设有螺栓孔。
优选的，所述探头的外侧罩有防护罩，且防护罩为一种钢化玻璃材料构件。
本实用新型结构新颖，构思巧妙，使用方便，在两个探头相对位置确定的情况下，延长探头的扫描纵深，同时也可以调节探头间距，使其可以根据晶圆的直径进行探头间距的快速调节，满足不同工况的需要，增强晶圆扫描装置的兼容性和适应性。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型，并不构成对本实用新型的限制。在附图中：
图1是本实用新型整体三维结构示意图；
图2是本实用新型伺服电机驱动结构示意图；
图3是本实用新型探头安装座平面结构示意图；
图4为本实用新型第二齿轮结构示意图；
图中标号：1、工作台底座；2、定位板；3、探头安装座；4、探头；5、齿轮条；6、直线导轨；7、伺服电机；8、减速器；9、电磁抱闸；10、负载工作台；11、固定板；12、第一齿轮；13、方形滑块；14、控制板；15、转轴；16、旋钮；17、齿轮槽；18、滑槽；19、刻度条；20、L型滑块；21、第二齿轮。
具体实施方式
下面结合附图1-4对本实用新型的具体实施方式做进一步详细说明。
实施例一，由图1和图2给出，本实用新型包括工作台底座1，工作台底座1的一侧通过螺栓固定有定位板2，定位板2的一侧对称滑动安装有探头安装座3，探头安装座3上安装有探头4，工作台底座1的顶部中心处焊接固定有齿轮条5，工作台底座1的顶部对应两侧焊接固定有直线导轨6，直线导轨6上滑动连接有方形滑块13，方形滑块13的顶部一侧焊接固定有固定板11，且两个固定板11之间转动连接有转轴15，固定板11的一侧通过螺栓固定有减速器8，且减速器8的输出端与转轴15的一端连接，减速器8的输入端与伺服电机7的输出端连接，转轴15的中心处套接固定有第一齿轮12，且第一齿轮12与齿轮条5啮合连接，转轴15远离减速器8的一端套接固定有电磁抱闸9，固定板11的顶部通过螺栓固定有负载工作台10，且负载工作台10的一侧通过导线与控制板14连接，便于实现智能控制，有效的提升使用的方便性，控制板14电性连接探头4、伺服电机7和电磁抱闸9，通过操控控制板14使伺服电机7工作，带动减速器8工作，从而带动转轴15旋转，进而带动第一齿轮12旋转，使第一齿轮12在齿轮条5上运动，继而带动工作台底座1运动，最终带动探头4运动，在两个探头4相对位置确定的情况下，延长探头4的扫描纵深，满足不同工况的需要，增强晶圆扫描装置的兼容性和适应性，同时，探头4可以伸缩的特性也可以减小晶圆扫描装置的占地面积，节省空间，通过设置的电磁抱闸9，可以有效的保证探头4扫描时，在外界影响下转轴15的稳定性，防止转轴15自转，造成测量精确度不高，有效的提升使用的方便性。
实施例二，在实施例一的基础上，由图1、图3和图4给出，探头安装座3包括旋钮16、齿轮槽17、滑槽18、L型滑块20和第二齿轮21，滑槽18开设在定位板2的一侧中心处，滑槽18的底部内壁中心处开设有齿轮槽17，齿轮槽17内部啮合连接有第二齿轮21，滑槽18的内部滑动连接有L型滑块20，L型滑块20的顶部中心处通过螺栓固定有探头4，旋钮16穿过L型滑块20的顶部一侧焊接固定在第二齿轮21的中心处，通过旋转旋钮16，从而使第二齿轮21在齿轮槽17的内部运动，继而带动L型滑块20在滑槽18的内部运动，同时与刻度条19相配合，便于精确的调节探头4的位置，使其可以根据晶圆的直径进行探头4间距的快速调节，增强晶圆扫描装置的兼容性和适应性，有效的提升了使用的方便性。
实施例三，在实施例二的基础上，由图3给出，滑槽18的一侧嵌入安装有刻度条19，提升调节的精度。
实施例四，在实施例一的基础上，由图1给出，负载工作台10的顶部四个拐角处对称开设有螺栓孔，便于固定。
实施例五，在实施例一的基础上，探头4的外侧罩有防护罩，且防护罩为一种钢化玻璃材料构件，防止探头4损坏。
本实用新型使用时，通过操控控制板14使伺服电机7工作，带动减速器8工作，从而带动转轴15旋转，进而带动第一齿轮12旋转，使第一齿轮12在齿轮条5上运动，继而带动工作台底座1运动，最终带动探头4运动，在两个探头4相对位置确定的情况下，延长探头4的扫描纵深，满足不同工况的需要，增强晶圆扫描装置的兼容性和适应性，同时，探头4可以伸缩的特性也可以减小晶圆扫描装置的占地面积，节省空间，通过设置的电磁抱闸9，可以有效的保证探头4扫描时，在外界影响下转轴15的稳定性，防止转轴15自转，造成测量精确度不高，有效的提升使用的方便性，通过旋转旋钮16，从而使第二齿轮21在齿轮槽17的内部运动，继而带动L型滑块20在滑槽18的内部运动，同时与刻度条19相配合，便于精确的调节探头4的位置，使其可以根据晶圆的直径进行探头4间距的快速调节，增强晶圆扫描装置的兼容性和适应性，有效的提升了使用的方便性。
本实用新型结构新颖，构思巧妙，使用方便，在两个探头相对位置确定的情况下，延长探头的扫描纵深，同时也可以调节探头间距，使其可以根据晶圆的直径进行探头间距的快速调节，满足不同工况的需要，增强晶圆扫描装置的兼容性和适应性。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种晶圆参数测量的晶圆扫描装置，包括工作台底座(1)，其特征在于，所述工作台底座(1)的一侧通过螺栓固定有定位板(2)，定位板(2)的一侧对称滑动安装有探头安装座(3)，探头安装座(3)上安装有探头(4)，工作台底座(1)的顶部中心处焊接固定有齿轮条(5)，工作台底座(1)的顶部对应两侧焊接固定有直线导轨(6)，直线导轨(6)上滑动连接有方形滑块(13)，方形滑块(13)的顶部一侧焊接固定有固定板(11)，且两个固定板(11)之间转动连接有转轴(15)，固定板(11)的一侧通过螺栓固定有减速器(8)，且减速器(8)的输出端与转轴(15)的一端连接，减速器(8)的输入端与伺服电机(7)的输出端连接，转轴(15)的中心处套接固定有第一齿轮(12)，且第一齿轮(12)与齿轮条(5)啮合连接，转轴(15)远离减速器(8)的一端套接固定有电磁抱闸(9)，固定板(11)的顶部通过螺栓固定有负载工作台(10)，且负载工作台(10)的一侧通过导线与控制板(14)连接，控制板(14)电性连接探头(4)、伺服电机(7)和电磁抱闸(9)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆参数测量的晶圆扫描装置，其特征在于，所述探头安装座(3)包括旋钮(16)、齿轮槽(17)、滑槽(18)、L型滑块(20)和第二齿轮(21)，滑槽(18)开设在定位板(2)的一侧中心处，滑槽(18)的底部内壁中心处开设有齿轮槽(17)，齿轮槽(17)内部啮合连接有第二齿轮(21)，滑槽(18)的内部滑动连接有L型滑块(20)，L型滑块(20)的顶部中心处通过螺栓固定有探头(4)，旋钮(16)穿过L型滑块(20)的顶部一侧焊接固定在第二齿轮(21)的中心处。
3.根据权利要求2所述的一种晶圆参数测量的晶圆扫描装置，其特征在于，所述滑槽(18)的一侧嵌入安装有刻度条(19)。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆参数测量的晶圆扫描装置，其特征在于，所述负载工作台(10)的顶部四个拐角处对称开设有螺栓孔。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆参数测量的晶圆扫描装置，其特征在于，所述探头(4)的外侧罩有防护罩，且防护罩为一种钢化玻璃材料构件。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201920298431.9U CN209342120U (zh) | 2019-03-08 | 2019-03-08 | 一种晶圆参数测量的晶圆扫描装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201920298431.9U CN209342120U (zh) | 2019-03-08 | 2019-03-08 | 一种晶圆参数测量的晶圆扫描装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN209342120U true CN209342120U (zh) | 2019-09-03 |
Family
ID=67762884
Family Applications (1)
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| CN201920298431.9U Active CN209342120U (zh) | 2019-03-08 | 2019-03-08 | 一种晶圆参数测量的晶圆扫描装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN209342120U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN116313945A (zh) * | 2023-05-24 | 2023-06-23 | 北京锐洁机器人科技有限公司 | 一种多尺寸兼容晶圆扫描装置及晶圆扫描方法 |
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2019
- 2019-03-08 CN CN201920298431.9U patent/CN209342120U/zh active Active
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| CN116313945A (zh) * | 2023-05-24 | 2023-06-23 | 北京锐洁机器人科技有限公司 | 一种多尺寸兼容晶圆扫描装置及晶圆扫描方法 |
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