CN209312731U - 一种晶圆清洗干燥装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种晶圆清洗干燥装置，包括底座，所述底座顶部固定连接有支架，所述支架内壁一侧上端固定连接有移位电机，所述移位电机一侧通过输出轴转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆外表面通过螺纹连接有螺纹轴套，所述螺纹轴套底部固定连接有气缸，所述气缸底部通过输出轴固定连接有F形固定架，所述F形固定架下端固定连接有固定装置，所述固定装置内表面转动连接有晶圆，本实用新型涉及半导体技术领域。该晶圆清洗干燥装置，达到了连续进行清洗干燥、清洗效果好、提高工作效率的目的，整个过程连续进行，不存在中断的时间，节省清洗和干燥的时间，提高了工作效率，将污物摩擦去除，使得清洗的效果更好，提高了清洗效率。

Description

一种晶圆清洗干燥装置

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种晶圆清洗干燥装置。

背景技术

在半导体制造过程中，需要对切割成圆片的晶圆进行清洗干燥，一般是将晶圆清洗完成后，再放入干燥室进行干燥，分成两个步骤，造成两个步骤的中断，降低了工作效率。

实用新型内容

(一)解决的技术问题

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆清洗干燥装置,提供了一种连续进行清洗干燥、清洗效果好、提高工作效率的晶圆清洗干燥装置。

(二)技术方案

为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：一种晶圆清洗干燥装置，包括底座，所述底座顶部固定连接有支架，所述支架内壁一侧上端固定连接有移位电机，所述移位电机一侧通过输出轴转动连接有螺纹杆，所述螺纹杆外表面通过螺纹连接有螺纹轴套，所述螺纹轴套底部固定连接有气缸，所述气缸底部通过输出轴固定连接有F形固定架，所述F形固定架下端固定连接有固定装置，所述固定装置内表面转动连接有晶圆，所述底座顶部固定连接有清洗室和干燥室，所述清洗室内壁两侧设置有清洗喷头，所述清洗喷头输入口固定连通有输液管，所述干燥室内壁一侧下端固定连接有干燥腔，所述干燥腔内壁顶部固定连接有加热管道，所述加热管道内壁固定连接有电加热管，所述加热管道一端通过进风管固定连通有风机。

优选的，所述风机进风口固定连通有空气滤芯，所述风机和空气滤芯均位于干燥室的外部，所述加热管道远离风机的一端固定连通有出风管。

优选的，所述干燥室外壁一侧下端固定连通有导污槽，所述导污槽远离干燥室的一端与清洗室固定连通，所述清洗室外壁一侧下端固定连通有排污管，所述清洗室和干燥室顶部均与支架内壁顶部固定连接。

优选的，所述F形固定架内壁顶部固定连接有固定座，所述固定座内壁两侧转动连接有辅助转轮，所述辅助转轮内表面与晶圆外表面滚动连接。

优选的，所述固定装置包括半圆框，所述半圆框底部开设有活动口，所述半圆框内壁两侧固定连接有清洗棉，所述清洗棉表面与晶圆外表面活动连接，所述半圆框下侧设置有外壳，所述外壳内壁一侧固定连接有转动电机，所述转动电机一侧通过输出轴转动连接有第一齿轮，所述外壳内壁一侧转动连接有转轴，所述转轴外表面固定连接有第二齿轮，所述第二齿轮与第一齿轮相啮合，所述转轴一端贯穿外壳且延伸至外壳外部，所述转轴位于外壳外部的一端表面固定连接有活动转轮，所述活动转轮上部分通过活动口延伸至半圆框内部，所述活动转轮内表面与晶圆外表面滚动连接。

优选的，所述清洗室和干燥室内壁顶部均固定连接有导向槽，所述螺纹轴套顶部通过滑块与导向槽内表面滑动连接，所述螺纹杆远离移位电机的一端穿过清洗室和干燥室且与支架内表面转动连接。

(三)有益效果

本实用新型提供了一种晶圆清洗干燥装置。具备以下有益效果：

(1)、该晶圆清洗干燥装置，通过底座顶部固定连接有支架，支架内壁一侧上端固定连接有移位电机，移位电机一侧通过输出轴转动连接有螺纹杆，螺纹杆外表面通过螺纹连接有螺纹轴套，螺纹轴套底部固定连接有气缸，气缸底部通过输出轴固定连接有F形固定架，F形固定架下端固定连接有固定装置，固定装置内表面转动连接有晶圆，底座顶部固定连接有清洗室和干燥室，清洗室内壁两侧设置有清洗喷头，清洗喷头输入口固定连通有输液管，干燥室内壁一侧下端固定连接有干燥腔，干燥腔内壁顶部固定连接有加热管道，加热管道内壁固定连接有电加热管，加热管道一端通过进风管固定连通有风机，达到了连续进行清洗干燥、提高工作效率的目的，当晶圆处于清洗室内时，气缸向下伸出，使晶圆处于喷洗的范围内，清洗喷头向晶圆喷出清洗液进行清洗，清洗完毕后，气缸向上收回，移位电机通电转动，移位电机带动螺纹杆转动，螺纹杆带动气缸和晶圆向干燥室移动，当晶圆位于干燥室时，气缸向下伸出，使晶圆处于干燥的范围内，风机和电加热管通电运转，向晶圆吹出干净的热风，对晶圆进行干燥，整个过程连续进行，不存在中断的时间，节省清洗和干燥的时间，提高了工作效率。

(2)、该晶圆清洗干燥装置，通过固定装置包括半圆框，半圆框底部开设有活动口，半圆框内壁两侧固定连接有清洗棉，清洗棉表面与晶圆外表面活动连接，半圆框下侧设置有外壳，外壳内壁一侧固定连接有转动电机，转动电机一侧通过输出轴转动连接有第一齿轮，外壳内壁一侧转动连接有转轴，转轴外表面固定连接有第二齿轮，第二齿轮与第一齿轮相啮合，转轴一端贯穿外壳且延伸至外壳外部，转轴位于外壳外部的一端表面固定连接有活动转轮，活动转轮上部分通过活动口延伸至半圆框内部，活动转轮内表面与晶圆外表面滚动连接，达到了清洗效果好的目的，当晶圆放进半圆框内清洗时，转动电机通电转动，转动电机带动活动转轮转动，活动转轮带动晶圆转动，晶圆转动过程中外表面与清洗棉进行摩擦，将污物摩擦去除，使得清洗的效果更好，提高了清洗效率。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型图1中A处局部放大图；

图3为本实用新型固定装置结构示意图。

图中：1底座、2支架、3移位电机、4螺纹杆、5螺纹轴套、6气缸、7F形固定架、8固定装置、81半圆框、82活动口、83清洗棉、84外壳、85转动电机、86第一齿轮、87转轴、88第二齿轮、89活动转轮、9晶圆、10清洗室、11清洗喷头、12干燥室、13干燥腔、14加热管道、15电加热管、16风机、17空气滤芯、18导污槽、19排污管、20固定座、21辅助转轮、22导向槽。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

请参阅图1-3，本实用新型提供一种技术方案：一种晶圆清洗干燥装置，包括底座1，底座1顶部固定连接有支架2，支架2内壁一侧上端固定连接有移位电机3，移位电机3一侧通过输出轴转动连接有螺纹杆4，螺纹杆4外表面通过螺纹连接有螺纹轴套5，螺纹轴套5底部固定连接有气缸6，气缸6底部通过输出轴固定连接有F形固定架7，F形固定架7下端固定连接有固定装置8，固定装置8内表面转动连接有晶圆9，底座1顶部固定连接有清洗室10和干燥室12，清洗室10内壁两侧设置有清洗喷头11，清洗喷头11输入口固定连通有输液管，干燥室12内壁一侧下端固定连接有干燥腔13，干燥腔13内壁顶部固定连接有加热管道14，加热管道14内壁固定连接有电加热管15，加热管道14一端通过进风管固定连通有风机16,达到了连续进行清洗干燥、提高工作效率的目的。

风机16进风口固定连通有空气滤芯17，风机16和空气滤芯17均位于干燥室12的外部，加热管道14远离风机16的一端固定连通有出风管，使干燥室12输入干净的热风。

干燥室12外壁一侧下端固定连通有导污槽18，导污槽18远离干燥室12的一端与清洗室10固定连通，清洗室10外壁一侧下端固定连通有排污管19，清洗室10和干燥室12顶部均与支架2内壁顶部固定连接，将多余的清洗液进行排出。

F形固定架7内壁顶部固定连接有固定座20，固定座20内壁两侧转动连接有辅助转轮21，辅助转轮21内表面与晶圆9外表面滚动连接，提高装置的稳定性。

固定装置8包括半圆框81，半圆框81底部开设有活动口82，半圆框81内壁两侧固定连接有清洗棉83，清洗棉83表面与晶圆9外表面活动连接，半圆框81下侧设置有外壳84，外壳84内壁一侧固定连接有转动电机85，转动电机85一侧通过输出轴转动连接有第一齿轮86，外壳84内壁一侧转动连接有转轴87，转轴87外表面固定连接有第二齿轮88，第二齿轮88与第一齿轮86相啮合，转轴87一端贯穿外壳84且延伸至外壳84外部，转轴87位于外壳84外部的一端表面固定连接有活动转轮89，活动转轮89上部分通过活动口82延伸至半圆框81内部，活动转轮89内表面与晶圆9外表面滚动连接，当晶圆9放进半圆框81内清洗时，转动电机85通电转动，转动电机85带动活动转轮89转动，活动转轮89带动晶圆9转动，晶圆9转动过程中外表面与清洗棉83进行摩擦，去除污物。

清洗室10和干燥室12内壁顶部均固定连接有导向槽22，螺纹轴套5顶部通过滑块与导向槽22内表面滑动连接，螺纹杆4远离移位电机3的一端穿过清洗室10和干燥室12且与支架2内表面转动连接，提高装置的稳定性。

使用时，将晶圆9放进半圆框81内，当晶圆9处于清洗室10内时，气缸6向下伸出，使晶圆9处于喷洗的范围内，清洗喷头11向晶圆9喷出清洗液进行清洗，清洗晶圆9的两侧，当晶圆9清洗时，转动电机85通电转动，转动电机85带动活动转轮89转动，活动转轮89带动晶圆9转动，晶圆9转动过程中外表面与清洗棉83进行摩擦，将污物摩擦去除，清洗完毕后，气缸6向上收回，移位电机3通电转动，移位电机3带动螺纹杆4转动，螺纹杆4带动气缸6和晶圆9向干燥室12移动，当晶圆9位于干燥室12时，气缸6向下伸出，使晶圆9处于干燥的范围内，风机16和电加热管15通电运转，向晶圆9吹出干净的热风，对晶圆9进行干燥，其中半圆框81的一侧开设有放置口，辅助转轮21位于晶圆9的斜上方，便于直接从放置口放入晶圆9。

需要说明的是，在本文中，诸如第一和第二等之类的关系术语仅仅用来将一个实体或者操作与另一个实体或操作区分开来，而不一定要求或者暗示这些实体或操作之间存在任何这种实际的关系或者顺序。而且，术语“包括”、“包含”或者其任何其他变体意在涵盖非排他性的包含，从而使得包括一系列要素的过程、方法、物品或者设备不仅包括那些要素，而且还包括没有明确列出的其他要素，或者是还包括为这种过程、方法、物品或者设备所固有的要素。在没有更多限制的情况下。由语句“包括一个......限定的要素，并不排除在包括所述要素的过程、方法、物品或者设备中还存在另外的相同要素”。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种晶圆清洗干燥装置，包括底座(1)，其特征在于：所述底座(1)顶部固定连接有支架(2)，所述支架(2)内壁一侧上端固定连接有移位电机(3)，所述移位电机(3)一侧通过输出轴转动连接有螺纹杆(4)，所述螺纹杆(4)外表面通过螺纹连接有螺纹轴套(5)，所述螺纹轴套(5)底部固定连接有气缸(6)，所述气缸(6)底部通过输出轴固定连接有F形固定架(7)，所述F形固定架(7)下端固定连接有固定装置(8)，所述固定装置(8)内表面转动连接有晶圆(9)，所述底座(1)顶部固定连接有清洗室(10)和干燥室(12)，所述清洗室(10)内壁两侧设置有清洗喷头(11)，所述清洗喷头(11)输入口固定连通有输液管，所述干燥室(12)内壁一侧下端固定连接有干燥腔(13)，所述干燥腔(13)内壁顶部固定连接有加热管道(14)，所述加热管道(14)内壁固定连接有电加热管(15)，所述加热管道(14)一端通过进风管固定连通有风机(16)。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗干燥装置，其特征在于：所述风机(16)进风口固定连通有空气滤芯(17)，所述风机(16)和空气滤芯(17)均位于干燥室(12)的外部，所述加热管道(14)远离风机(16)的一端固定连通有出风管。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗干燥装置，其特征在于：所述干燥室(12)外壁一侧下端固定连通有导污槽(18)，所述导污槽(18)远离干燥室(12)的一端与清洗室(10)固定连通，所述清洗室(10)外壁一侧下端固定连通有排污管(19)，所述清洗室(10)和干燥室(12)顶部均与支架(2)内壁顶部固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗干燥装置，其特征在于：所述F形固定架(7)内壁顶部固定连接有固定座(20)，所述固定座(20)内壁两侧转动连接有辅助转轮(21)，所述辅助转轮(21)内表面与晶圆(9)外表面滚动连接。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗干燥装置，其特征在于：所述固定装置(8)包括半圆框(81)，所述半圆框(81)底部开设有活动口(82)，所述半圆框(81)内壁两侧固定连接有清洗棉(83)，所述清洗棉(83)表面与晶圆(9)外表面活动连接，所述半圆框(81)下侧设置有外壳(84)，所述外壳(84)内壁一侧固定连接有转动电机(85)，所述转动电机(85)一侧通过输出轴转动连接有第一齿轮(86)，所述外壳(84)内壁一侧转动连接有转轴(87)，所述转轴(87)外表面固定连接有第二齿轮(88)，所述第二齿轮(88)与第一齿轮(86)相啮合，所述转轴(87)一端贯穿外壳(84)且延伸至外壳(84)外部，所述转轴(87)位于外壳(84)外部的一端表面固定连接有活动转轮(89)，所述活动转轮(89)上部分通过活动口(82)延伸至半圆框(81)内部，所述活动转轮(89)内表面与晶圆(9)外表面滚动连接。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆清洗干燥装置，其特征在于：所述清洗室(10)和干燥室(12)内壁顶部均固定连接有导向槽(22)，所述螺纹轴套(5)顶部通过滑块与导向槽(22)内表面滑动连接，所述螺纹杆(4)远离移位电机(3)的一端穿过清洗室(10)和干燥室(12)且与支架(2)内表面转动连接。