CN209311582U - 一种小型多功能、高集成、可移动检测装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种小型多功能、高集成、可移动检测装置，属于微波毫米波检测技术领域。该检测装置包括：底座，可移动地设置；承重机架，罩设在底座上；转动测试台，可水平转动地设置在底座上方；隔振盖板，中心区域设置有镂空结构，隔振盖板不与转动测试台接触；第一隔振组件，以使得隔振盖板不与承重机架直接接触；屏蔽箱，罩在隔振盖板上；探针台，固定设置在隔振盖板上；OTA测试载物台，凸设在转动测试台上；显微镜组件，用于放大观察被测物。本实用新型解决了现有技术中微波毫米波检测设备体型大、系统配套集成度差、移动调试不便、隔振效果不佳等问题，提供了一台可满足片上天线测试、芯片测试和OTA测试的高集成化一体测试设备。

Description

一种小型多功能、高集成、可移动检测装置

技术领域

本实用新型涉及微波毫米波检测技术领域，特别涉及一种小型多功能、高集成、可移动检测装置。

背景技术

当今社会是信息技术社会，随处可见的各类智能化信息化设备，给人们的生活和工作带来了极大的便利，小到智能手机、车载雷达、智能家居，大到工厂智能化设备、航空航天通讯、军事装备用途，都离不开小微型天线。天线的大量应用，大大提高了设备的性能、同时又大大缩小了设备的体积，使设备能够实现小型化、微型化。由于设备小型化微型化使得天线和芯片的设计也变得小型化和微型化。天线尺寸越小就要求天线发射的电磁波频率越高、波长越短，才能保障其通信性能。在开发过程中需要对天线进行各种测试，才能保证其性能指标。

有些天线(如：片上天线)的尺寸非常小，一般都是以厘米和毫米为单位，而且基本都是轻薄短小型的，因此在设备建设和运行过程中难免会遇到以下问题：

1、目前测试过程中，通常是通过测试接收器检测天线辐射出来波段的物理性能来判断天线的质量，很容易因为外界的杂波而影响测试接收器接受的波段不纯净。研发领域缺乏一种多功能高集成的测试暗室系统，芯片测试、片上天线测试、OTA测试都需要建设不同的暗室测试环境，重复建设造成了巨大的资金浪费；

2、在整个测试过程中，由于天线需要与测试探针有效馈电，因此测试探针与天线的距离非常细微，不能用肉眼来调整其距离，而普通放大镜的放大倍数也不能满足测试要求；

3、由于测试探针与天线的距离非常细微，外界轻微震动都有可能导致探针与被测天线之间的接触受力发生改变，从而损坏探针，然而探针价格昂贵，探针的损坏无疑是增加了测试成本；同时也因为精度要求高，现有检测装置都是固定在一个地方，不能根据所需来把检测装置移动至特定区域进行试验；

4、由于天线的辐射性能需要测试不同方向角度的辐射性能，但是繁琐的手动调节不仅降低了测试效率，也满足不了转动的方位和角度范围尽量接近全向的要求。

实用新型内容

本实用新型的目的是提出一种小型多功能、高集成、可移动检测装置，解决了现有技术中天线检测设备体型大、不可移动、振动影响大的问题。

根据本实用新型的一个方面，提供一种小型多功能、高集成、可移动检测装置，包括：底座，可移动地设置；承重机架，可拆卸地罩设在底座上；转动测试台，可水平转动地设置在底座上方；隔振盖板，中心区域设置有用于环绕转动测试台的镂空结构，隔振盖板不与转动测试台接触；第一隔振组件，设置在承重机架与隔振盖板之间，以使得隔振盖板不与承重机架直接接触；屏蔽箱，罩在隔振盖板上；探针台，固定设置在隔振盖板上；OTA测试载物台，设置在底座上且凸设在转动测试台上，此处的“OTA”为“Over The Air”，即，在空气中测试性能，与传导测试相对应，属三维测试；显微镜组件，可设置在屏蔽箱内或外，用于放大观察被测物；显示器，设置在屏蔽箱上，用于显示显微镜组件传递的图像和/或显示检测数据；至少三个第一隔振组件，设置在承重机架上部的边角区域中；至少三个柱状孔设置在承重机架的底部；隔振盖板为圆形镂空面板且上表面设有吸波材料，设置在第一隔振组件的上表面上；OTA测试载物台为柱状结构，上端设有用于固定测试夹具工装的法兰接口。

进一步地，底座包括：底座支架；至少三个柱状凸起，设置在底座支架上表面且套设有第二隔振组件，柱状凸起和/或第二隔振组件插设至柱状孔中；至少三个万向轮，可拆卸地设置在底座支架下；至少三个固定地脚，设置在底座支架下。

进一步地，转动测试台包括：转动平台板，为中央圆形镂空结构，盖设在立式转动组件的底端的水平部分上，转动平台板与立式转动组件同步转动；其中，转动平台板的上表面设有吸波材料，OTA测试载物台凸设在转动平台板的中心位置处；立式转动组件，其底端固定设置在驱动机构上且其竖直部分穿过转动平台板的边缘区域，立式转动组件可围绕转动平台板的中心水平转动；驱动机构，设置在底座支架上，用于驱动立式转动组件转动或驱动所诉转动平台板转动。。

进一步地，立式转动组件包括：支撑立柱，底端设置在驱动机构的输出端或底部可拆卸地设置在转动平台板上；竖直转动件，可竖直转动地设置在支撑立柱的上端且沿竖直转动件的长度方向设有立式导轨；水平转动臂，与竖直转动件垂直设置，一端与立式导轨滑动连接；第一驱动组件，设置在支撑立柱的上端，驱动竖直转动件以支撑立柱上端为转动圆心且沿垂直于转动平台板的平面转动；第二驱动组件，设置在竖直转动件下端，驱动水平转动臂在立式导轨上往复运动；上探头，可转动设置在水平转动臂的自由端且可移动至不同的位置对准被测物。

进一步地，屏蔽箱包括：屏蔽箱本体，内壁设有吸波材料且设有一前门；至少两个通风机构，设置在屏蔽箱本体上；定位装置，可拆卸地设置在屏蔽箱本体内壁的顶部的中央，使被测物能被安放目标位置，定位装置为激光定位装置。

进一步地，探针台包括：支撑臂，设置在隔振盖板上；针座底板，设置在支撑臂的上端；载物台，设置在针座底板的前端；四轴微调装置，可水平移动和/或竖向移动地设置在针座底板上且可调整水平角度；发射模块，安装在四轴微调装置上。

进一步地，发射模块包括：扩频器；波导连接件，一端设置在扩频器的输出端；探针，设置在波导连接件的另一端且探针指向载物台。

进一步地，显微镜组件包括：至少两个横梁，相邻两个横梁的端部通过铰链连接；竖向支撑件，一侧设有导轨且设置在屏蔽箱一侧、设置在隔振盖板上或设置在探针台中；横梁滑块，与其中一个横梁的端部通过铰链连接且与竖向支撑件的导轨滑动连接；缓冲组件，一端固定在屏蔽箱，另一端固定在与横梁滑块滑动连接的横梁上，缓冲组件为气体弹簧缓冲件；显微镜夹持工装，设置在其中一个横梁的自由端。

进一步地，第一隔振组件为气体隔振件；承重机架的底部的边角区域设有至少三个固定地脚。

本实用新型的技术效果：

1.相较于现有技术来讲，本实用新型将多种检测设备集成到一个屏蔽箱内，实现了在一个检测装置中能够完成三种测试(片上天线测试、芯片测试和OTA测试)，实现了小型化、高集成的目的。

2.在装置底部设置万向轮,使得检测装置能够任意移动到任何位置进行检测。

3.通过设置第一层隔振和第二层隔振，使得阻隔了检测装置中各个驱动组件产生的振动和地面的振动，把传递至探针台的振动降低至最低值，确保了探针和被测物的稳定性，避免由于振动引起影响试验数据和使得探针损坏的现象。

附图说明

图1是本实用新型小型多功能、高集成、可移动检测装置的屏蔽箱的正视图；

图2是本实用新型小型多功能、高集成、可移动检测装置的转动测试台的正视图；

图3是本实用新型小型多功能、高集成、可移动检测装置的承重机架和底座的正视图；

图4是本实用新型小型多功能、高集成、可移动检测装置的承重机架的结构示意图；

图5是本实用新型小型多功能、高集成、可移动检测装置的结构示意图；

图6是本实用新型小型多功能、高集成、可移动检测装置的屏蔽箱的结构示意图；

图7是本实用新型小型多功能、高集成、可移动检测装置的探针台的结构示意图。

附图标记说明：

1-底座；2-承重机架；3-第一隔振组件；4-隔振盖板；5-转动测试台； 6-屏蔽箱；7-探针台；8-显微镜组件；9-吸波材料；11-底座支架；12-柱状凸起；13-第二隔振组件；14-万向轮；15-固定地脚；21-柱状孔；22- 固定地脚；51-驱动机构；52-立式转动组件；521-支撑立柱；522-竖直转动件；523-水平转动臂；524-第一驱动组件；525-第二驱动组件；526-上探头；527-立式导轨；53-转动平台板；54-OTA测试载物台；61-屏蔽箱本体；62-通风机构；64-显示器；65-前门；71-支撑臂；72-针座底板；73- 载物台；74-四轴微调装置；75-发射模块；751-扩频器；752-波导连接件； 753-探针；81-横梁；82-横梁滑块；83-竖向支撑件；84-缓冲组件；85- 显微镜夹持工装。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明了，下面结合具体实施方式并参照附图，对本实用新型进一步详细说明。应该理解，这些描述只是示例性的，而并非要限制本实用新型的范围。此外，在以下说明中，省略了对公知结构和技术的描述，以避免不必要地混淆本实用新型的概念。

在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型保护范围的限制。

为了解决现有技术中天线检测设备体型大、不可移动、振动影响大的问题，本申请提出一种小型多功能、高集成、可移动检测装置。

实施例一

如图5所示，在本实用新型中提供一种小型多功能、高集成、可移动检测装置，包括：底座1，设有万向轮14使得本检测装置整体可移动；承重机架2，通过配合底座1设置，使得承重机架2罩设在底座1上，保持水平方向与底座1相对静止；转动测试台5，整体可水平转动，转动测试台5的底部安装在底座1上；隔振盖板4，中心区域设置有用于环绕转动测试台5的圆形镂空结构，隔振盖板4不与转动测试台5接触；第一隔振组件3，设置在承重机架2与隔振盖板4之间，以使得隔振盖板4不与承重机架2接触，用于减少或避免将承重机架2的振动传递至隔振盖板4上；屏蔽箱6，罩在隔振盖板4上，可减少或隔绝屏蔽箱6外杂波，减少或避免杂波对测试数据影响；探针台7，固定设置在隔振盖板4上，用于复杂、高速器件的精密电气测量；显微镜组件8，可竖向滑动地设置在屏蔽箱6 外且可转动至屏蔽箱6中，用于放大观察被测物；OTA测试载物台，设置在底座上且凸设在转动测试台上；显示器64设置在屏蔽箱6上，用于显示显微镜组件8传递的图像和/或显示检测数据。

至少三个第一隔振组件3，设置在承重机架2上部的边角区域中且第一隔振组件3的上表面的高度高于承重机架2的上表面高度，旨在形成稳定的平面来放置隔振盖板4。如图5所示，在本实用新型的实施例中，在承重机架2上部的边角区域中设置了4个第一隔振组件3，这里的第一隔振组件3为隔振气囊。根据隔振盖板4的具体结构和实际工作需要，可以增加或减少第一隔振组件3的数量实施本实用新型，和/或不同方面对本实施例进行改进。

如图4所示，在本实用新型的实施例中，在承重机架2的底部的边角区域设置了4个柱状孔21。

如图5所示，在本实用新型的实施例中，隔振盖板4为圆形镂空面板且上表面设有吸波材料9，设置在第一隔振组件3的上表面上。

在本实用新型的实施例中，底座1包括：底座支架11；至少三个柱状凸起12设置在底座支架11上表面，即形成与承重机架2底部的柱状孔21 对应的柱状凸起12，旨在通过把柱状凸起12插设在柱状孔21中达到固定承重机架2，以免与底座1发生不必要的水平相对位移。如图3、图4所示，在本实用新型的实施例中，在承重机架2底部的边角区域中设置了4 个柱状孔21，底座支架11上在对应的位置也设置了4个柱状凸起12。根据设备的具体结构和实际工作需要，可以增加或减少柱状孔21和柱状凸起12的数量实施本实用新型，和/或不同方面对本实施例进行改进。

进一步地，在柱状凸起12外壁套设有用柔性材料做的第二隔振组件 13，这里的第二隔振组件13可以是橡胶垫圈，垫圈高度在5mm-10mm，用于把底座1和承重机架2分开。

由于测试探针与天线的距离非常细微，第一隔振组件3和第二隔振组件13配合使用，减少外界的震动，从而减少或避免导致探针与被测天线之间的接触受力发生改变，进而避免了损坏探针，节约了测试成本。

在本实施例中，底座支架11下设置4个万向轮14，旨在于形成稳定的运动支撑机构避免设备在使用万向轮14移动过程中发生倾倒侧翻，根据所需来把检测装置移动至特定区域进行试验。底座支架11下设置4个固定地脚15，可通过旋转来调节高度，用于支撑设备和承载底座1上部荷载并且在固定地脚15与地面接触时可增加底座1的稳定性。如图3、图4、图5所示，根据设备的具体结构和实际工作需要，可以增加或减少底座1 下的万向轮14和固定地脚15的数量实施本实用新型，和/或不同方面对本实施例进行改进。

如图2、图5所示，在本实用新型的实施例中，转动测试台5包括：驱动机构51，设置在底座1上，驱动转动平台板53做平面运动，驱动机构51的上部为环形结构，用于在环形结构的环形部分与转动平台板53连接和在环形结构的中空部分与OTA测试载物台54连接；转动平台板53，为圆形结构，可水平转动地设置在驱动机构51上且与隔振盖板4中央镂空的圆形结构相适应；立式转动组件52，竖直地设置在转动平台板53上；其中，转动平台板53的上表面设有吸波材料9，驱动机构51为电机组件和驱动支座组件。电机组件为环形结构，转动平台板53设置在环形结构上。

进一步地，OTA测试载物台54，呈柱状结构，凸出于转动平台板53 的圆心上，与转动测试台5共用一个安装底座，OTA测试载物台54底端穿过驱动机构51的环形电机组件固定设置在驱动机构51的驱动支座组件上，驱动机构51的驱动支座组件设置在底座1的中心区域，向上穿过转动平台板53的中空区域，并凸出于转动平台板53上，OTA测试载物台54上端设计有通用工装法兰接口，便于固定各种测试夹具工装，该OTA测试载物台54的横切面中心点与转动测试台的水平旋转中心重叠。

进一步地，立式转动组件52包括：支撑立柱521的底部可以设置在转动平台板53上，或支撑立柱521呈L型结构且底部水平端设置在驱动机构51的输出端上，旨在于在转动平台板53以上的支撑立柱521的结构呈竖直状态，支撑立柱521随转动平台板53一起转动且两者不产生相对位移。

进一步地，立式转动组件52还包括：竖直转动件522，可竖直转动地设置在支撑立柱521的上端，沿竖直转动件522的长度方向设有立式导轨 527；水平转动臂523，与竖直转动件522垂直设置，一端与立式导轨527 滑动连接；第一驱动组件524，设置在支撑立柱521的上端，驱动竖直转动件522沿垂直于转动平台板53的平面转动；第二驱动组件525，设置在竖直转动件522下端，驱动水平转动臂523在立式导轨527上往复移动，以满足测试时所需的调节俯仰运动的旋转半径；上探头526，可转动设置在水平转动臂523的自由端。天线的辐射性能需要测试不同方向角度的辐射性能，可通过各个驱动组件控制上探头526移动，使得上探头526可以在不同的角度上对准载物台73进行检测，避免了繁琐的手动调节不仅降低了测试效率，也满足了转动的方位和角度范围尽量接近全向的要求。

如图1、图5、图6所示，在本实用新型的实施例中，屏蔽箱6包括：屏蔽箱本体61，内壁设有吸波材料9且设有一前门65，利用吸波材料9 排除外界电磁干扰，制造一个纯净的电磁环境。

如图1、图5、图6所示，在本实用新型的实施例中，屏蔽箱6还包括两个通风机构62，设置在屏蔽箱6体上；通风机构62为小型换气扇，用于实现置换屏蔽箱6内部空气。

在本实用新型的实施例中，屏蔽箱6还包括定位装置(未标注)，设置在屏蔽箱6体内壁的顶部，用于定位显微镜，使得显微镜的物镜对准载物台73上的被测物。

在本实用新型的实施例中，屏蔽箱6还包括显示器64，设置在屏蔽箱6体外部，用于监测内部情况和呈现检测数据。减少了芯片测试、片上天线测试、OTA测试都需要建设不同的暗室测试环境，避免了重复建设造成巨大的资金浪费。

如图5、图7所示，在本实用新型的实施例中，探针台7包括：支撑臂71，固定设置在隔振盖板4上且向转动平台板53的圆心倾斜，确保发射模块75的探针753端部在转动平台板53的圆心的竖直轴线上；针座底板72，设置在支撑臂71的上端；载物台73，设置在针座底板72的前端，可以承载被测物至探针753下方；四轴微调装置74，设置在针座底板72 上且可调整发射模块75的水平倾斜角度、水平横向位置、水平纵向位置和竖向位置；发射模块75，安装在四轴微调装置74上。

如图5、图7所示，在本实用新型的实施例中发射模块75包括：扩频器751；波导连接件752，一端设置在扩频器751的输出端；探针753，设置在波导连接件752的另一端且探针753可指向载物台73的被测物。

在本实用新型的实施例中，显微镜组件8包括：三个横梁81，相邻两个横梁81的端部通过铰链连接。如图1、图5所示，根据实际工作需要，可以增加或减少横梁81的数量实施本实用新型，和/或不同方面对本实施例进行改进。

如图1、图5所示，在本实用新型中，显微镜组件8还包括竖向支撑件83，设置在屏蔽箱6一侧；横梁滑块82，与其中一个横梁81的端部通过铰链连接且与竖向支撑件83滑动连接，可在竖向支撑件83上往复滑动；缓冲组件84，一端固定在屏蔽箱6，另一端固定在与竖向支撑件83滑动连接的横梁81上；显微镜夹持工装85，设置在其中一个横梁81的自由端；缓冲组件84为氮气弹簧，可以实现弹压力恒定和延时动作，确保横梁滑块82可以停留在竖向支撑件83上。在本实用新型中，显微镜组件8包括了三个横梁81，形成水平折叠臂，可根据所需调整不同的折叠长度，以使显微镜夹持工装85可以对准被测物。在整个测试过程中，由于天线需要与测试探针有效馈电，因此测试探针与天线的距离非常细微，通过显微镜来调整其距离，很好地满足了测试的要求。

这样，上述设置实现了将检测设备集合至一个箱体中，在可移动整体设备的同时，可以减少或隔绝影响检测设备的振动。

实施例二

实施例二的检测装置与实施例一的区别在于：显微镜组件8设置的位置不同、第二隔振组件13的形状不同和增加了对承重机架2的支撑结构。

显微镜组件8设置在屏蔽箱6内，安装在隔振盖板4上，旨在减少显微镜组件8受屏蔽箱6外部因素的影响。

如图3、图4所示，在本实施例中，在柱状凸起12外壁套设有用柔性材料做的第二隔振组件13，柱状凸起12和第二隔振组件13一起插设至柱状孔21中，即，利用柔性的第二隔振组件13把底座1的柱状凸起12和承重机架2底部的柱状孔21隔离开，并且第二隔振组件13的外壁与柱状孔21内壁相适应。该第二隔振组件13把底座1因驱动机构51产生振动而形成的位移转化成柔性材料的弹性形变，进而减少或隔绝了底座1传递给承重机架2的振动。

如图3、图4所示，承重机架2的底部的边角区域设有至少三个固定地脚22，旨在形成稳定的支撑结构以使支撑承重机架2。在本实施例中，承重机架2的底部的边角区域设有四个固定地脚22。可以通过转动螺杆调节固定地脚22的位置，使得固定地脚22支撑在地面上，从而使得承重机架2架空在底座1上，与底座1没有直接接触。在整个检测装置需要移动时，底座1的固定地脚15和承重机架2的固定地脚22同时收起，此时整个检测装置通过底座1的万向轮14与地面接触，由底座1承载起包括承重机架2在内的整个检测设备并实现整机移动；在需要进行试验检测时，底座1的固定地脚15和承重机架2的固定地脚22同时放下，承重机架2 的固定地脚22的高度略高于底座1的固定地脚15的高度，此时底座1的万向轮14不与地面接触，由底座1的固定地脚15承载底座1和转动测试台5的重量，承重机架2的固定地脚22承载承重机架2、屏蔽箱6、探针台7和显微镜组件8等部件的重量，底座1和承重机架2共同支撑起整个检测装置。由可根据检测装置的具体结构和实际工作需要，可以以不同的方式实施本实用新型，和/或不同方面对本实用新型进行改进。

这样，上述设置避免了底座1的柱状凸起12与承重机架2底部的柱状孔21直接接触，从而避免了把底座1中驱动机构51的振动传递给承重机架2，进而减少了探针台7产生不必要的振动。

实施例三

实施例三的检测装置与实施例一的区别在于：显微镜组件8设置的位置不同，支撑立柱521的形状不同。

显微镜组件8设置在屏蔽箱6内，安装在探针台7上，旨在减少显微镜组件8受到屏蔽箱6外部的影响且确保转动测试台5有足够的空间来移动，避免影响测试结果。

支撑立柱521的结构为L型，支撑立柱521下部的水平结构的端部设有环状结构并可与驱动机构51的电机组件的环形结构相适应，使得支撑立柱521可以安置在驱动机构51的电机组件上；转动平台板53则固定在支撑立柱521下部的水平结构上，使得支撑立柱521和转动平台板53可以同步转动。通过支撑立柱521与驱动机构51固定设置，使得动力直接传递至支撑立柱521，同时可以避免支撑立柱521只设置在转动平台板53 上时，由于立式转动组件52自身的重量使得转动平台板53发生不必要的变形，进而使得上探头526不能精确对准被测物而影响测试结果。

由可根据检测装置的具体结构和实际工作需要，可以以不同的方式实施本实用新型，和/或不同方面对本实用新型进行改进。

应当理解的是，本实用新型的上述具体实施方式仅仅用于示例性说明或解释本实用新型的原理，而不构成对本实用新型的限制。因此，在不偏离本实用新型的精神和范围的情况下所做的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。此外，本实用新型所附权利要求旨在涵盖落入所附权利要求范围和边界、或者这种范围和边界的等同形式内的全部变化和修改例。

Claims (10)

1.一种小型多功能、高集成、可移动检测装置，其特征在于，包括：

底座，可移动地设置；

承重机架，可拆卸地罩设在所述底座上；

转动测试台，可水平转动地设置在所述底座上方；

隔振盖板，中心区域设置有用于环绕所述转动测试台的镂空结构，所述隔振盖板不与所述转动测试台接触；

第一隔振组件，设置在所述承重机架与隔振盖板之间，以使得所述隔振盖板不与所述承重机架直接接触；

屏蔽箱，罩在所述隔振盖板上；

探针台，固定设置在所述隔振盖板上；

OTA测试载物台，设置在所述底座上且凸设在转动测试台上；

显微镜组件，可设置在所述屏蔽箱内或外，用于放大观察被测物；

显示器，设置在所述屏蔽箱上，用于显示所述显微镜组件传递的图像和/或显示检测数据。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，还包括：

至少三个所述第一隔振组件，设置在所述承重机架上部的边角区域中；

至少三个柱状孔设置在所述承重机架的底部；

所述隔振盖板为圆形镂空面板且上表面设有吸波材料，设置在所述第一隔振组件的上表面上；

所述OTA测试载物台为柱状结构，上端设有用于固定测试夹具工装的法兰接口。

3.根据权利要求2所述的装置，其特征在于，所述底座包括：

底座支架；

至少三个柱状凸起，设置在所述底座支架上表面且套设有第二隔振组件，所述柱状凸起和/或所述第二隔振组件插设至所述柱状孔中；

至少三个万向轮，可拆卸地设置在所述底座支架下；

至少三个固定地脚，设置在所述底座支架下。

4.根据权利要求3所述的装置，其特征在于，所述转动测试台包括：转动平台板、立式转动组件和驱动机构；

所述转动平台板，为中央圆形镂空结构，盖设在所述立式转动组件的底端的水平部分上，所述转动平台板与所述立式转动组件同步转动；其中，所述转动平台板的上表面设有吸波材料，所述OTA测试载物台凸设在所述转动平台板的中心位置处；

所述立式转动组件，其底端固定设置在所述驱动机构上且其竖直部分穿过所述转动平台板的边缘区域，所述立式转动组件可围绕所述转动平台板的中心水平转动；

驱动机构，设置在所述底座支架上，用于驱动所述立式转动组件转动。

5.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述立式转动组件包括：

支撑立柱，底端设置在所述驱动机构的输出端或底部可拆卸地设置在所述转动平台板上；

竖直转动件，可竖直转动地设置在所述支撑立柱的上端且沿所述竖直转动件的长度方向设有立式导轨；

水平转动臂，与所述竖直转动件垂直设置，一端与所述立式导轨滑动连接；

第一驱动组件，设置在所述支撑立柱的上端，驱动所述竖直转动件以所述支撑立柱上端为转动圆心且沿垂直于所述转动平台板的平面转动；

第二驱动组件，设置在所述竖直转动件下端，驱动所述水平转动臂在所述立式导轨上往复运动；

上探头，可转动设置在所述水平转动臂的自由端且可移动至不同的位置对准所述被测物。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述屏蔽箱包括：

屏蔽箱本体，内壁设有吸波材料且设有一前门；

至少两个通风机构，设置在所述屏蔽箱本体上；

定位装置，可拆卸地设置在所述屏蔽箱本体内壁的顶部的中央，使所述被测物能被安放目标位置，所述定位装置为激光定位装置。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述探针台包括：

支撑臂，设置在所述隔振盖板上；

针座底板，设置在所述支撑臂的上端；

载物台，设置在所述针座底板的前端；

四轴微调装置，可水平移动和/或竖向移动地设置在所述针座底板上且可调整水平角度；

发射模块，安装在所述四轴微调装置上。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述发射模块包括：

扩频器；

波导连接件，一端设置在所述扩频器的输出端；

探针，设置在所述波导连接件的另一端且所述探针指向所述载物台。

9.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述显微镜组件包括：

至少两个横梁，相邻两个所述横梁的端部通过铰链连接；

竖向支撑件，一侧设有导轨且设置在所述屏蔽箱一侧、设置在所述隔振盖板上或设置在所述探针台中；

横梁滑块，与其中一个所述横梁的端部通过铰链连接且与所述竖向支撑件的所述导轨滑动连接；

缓冲组件，一端固定在所述屏蔽箱，另一端固定在与所述横梁滑块滑动连接的所述横梁上，所述缓冲组件为气体弹簧缓冲件；

显微镜夹持工装，设置在其中一个所述横梁的自由端。

10.根据权利要求4所述的装置，其特征在于，所述第一隔振组件为气体隔振件；

所述承重机架的底部的边角区域设有至少三个固定地脚。