CN209296871U - 半导体芯片检测装置 - Google Patents

半导体芯片检测装置 Download PDF

Info

Publication number
CN209296871U
CN209296871U CN201821337195.9U CN201821337195U CN209296871U CN 209296871 U CN209296871 U CN 209296871U CN 201821337195 U CN201821337195 U CN 201821337195U CN 209296871 U CN209296871 U CN 209296871U
Authority
CN
China
Prior art keywords
detection device
probe
semiconductor chip
fixed plate
support board
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201821337195.9U
Other languages
English (en)
Inventor
钟党新
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shenzhen Huipu Industrial Equipment Co Ltd
Original Assignee
Shenzhen Huipu Industrial Equipment Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shenzhen Huipu Industrial Equipment Co Ltd filed Critical Shenzhen Huipu Industrial Equipment Co Ltd
Priority to CN201821337195.9U priority Critical patent/CN209296871U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN209296871U publication Critical patent/CN209296871U/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Abstract

本实用新型涉及电子产品检测技术领域,特别涉及半导体芯片检测装置,包括外壳和检测装置,检测装置设于外壳内,所述的检测装置包括底座和升降柱,所述升降柱设于底座中心处,所述升降柱上设有移动座、探针固定板和探针,所述移动座和探针固定板可拆卸安装于升降柱顶端,所述探针设于探针固定板底部,所述底座表面设有环形凹槽,凹槽内卡设有载物板,载物板呈圆环形,所述载物板底部连接有若干弹簧,弹簧与底座固定连接;本实用新型的检测装置结构简单,使用方便,检测时能有效降低芯片的损坏率,提高检测的效率,降低检测成本。

Description

半导体芯片检测装置
技术领域
本实用新型涉及电子产品检测技术领域,特别涉及半导体芯片检测装置。
背景技术
电子芯片是一种微型电子器件或部件,采用一定的工艺,把一个电路中所需的晶体管、电阻、电容和电感等元件及布线互连一起,制作在一小块或几小块半导体晶片或介质基片上,然后封装在一个管壳内,成为具有所需电路功能的微型结构。
半导体芯片检测装置主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保器件质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。现有技术中的半导体芯片检测装置,在检测过程中,芯片被放置在置物板上,探针与芯片接触,施加一定的作用力,由于芯片体积小,受力小,容易造成芯片损坏,使产品良率下降,且检测成本高;现有的芯片检测装置大多为方形结构,检测的芯片有限,检测效果低,不能满足市场需求。
实用新型内容
为了克服上述问题,本实用新型提出了一种检测成本低、结构新颖、设计合理、产品良率高等特点的半导体芯片检测装置。
本实用新型解决上述技术问题提供的一种技术方案是:提供了半导体芯片检测装置,包括外壳和检测装置,检测装置设于外壳内,其中,所述的检测装置包括底座和升降柱,所述升降柱设于底座中心处,所述升降柱上设有移动座、探针固定板和探针,所述移动座和探针固定板可拆卸安装于升降柱顶端,所述探针设于探针固定板底部,所述底座表面设有环形凹槽,凹槽内卡设有载物板,载物板呈圆环形,所述载物板底部连接有若干弹簧,弹簧与底座固定连接。
优选地,所述底座表面设有显示屏、显示灯和控制按钮,底座侧面设有电源开关。
优选地,所述移动座和探针固定板为环形板。
优选地,所述升降柱在底座内轴向往复运动。
优选地,所述载物板两侧设有限位柱,与所述限位柱相对位置处设有限位槽,所述限位柱设于限位槽内。
优选地,所述探针设为单层结构或双层结构。
与现有技术相比,本实用新型具有以下有益效果:检测装置整体结构简单,设计合理,底座中部设有升降柱,升降柱顶端的移动座、探针固定板均可拆卸安装在其上,方便拆卸运输、清洗;探针也为环形设置,设为单层或双层结构,提高检测效率,同时降低使用成本;底座凹槽内设有弹簧,探针检测时,弹簧起到减震缓冲作用,不会使芯片损坏。
附图说明
图1为本实用新型的主视结构示意图。
具体实施方式
为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白,以下结合附图及实施实例,对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅用于解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
如图1所示,半导体芯片检测装置,包括外壳100和检测装置200,检测装置200设于外壳100内,外壳100主要对检测装置200起到保护作用,防止粉尘进入检测装置,使检测结构不准确;检测装置200包括底座20和升降柱21,升降柱21设于底座20中心处,升降柱21上设有移动座22、探针固定板23和探针24,移动座22和探针固定板23可拆卸安装于升降柱21顶端,探针24设于探针固定板23底部,底座20表面设有环形凹槽25,凹槽25内卡设有载物板26,载物板26呈圆环形,载物板26底部连接有若干弹簧27,弹簧27与底座20固定连接,底座20表面设有显示屏28、显示灯29和控制按钮210,底座20侧面设有电源开关211。
移动座22和探针固定板23为环形板,使用时随着升降柱21上下移动。
升降柱21在底座20内轴向往复运动,主要带动探针24移动。
载物板26两侧设有限位柱212,与限位柱212相对位置处设有纵向限位槽(在附图中未标示出相应位置),限位柱212安装于限位槽内。
探针24设为单层结构或双层结构,根据检测装置的体积大小,可以选择安装的探针24的结构,探针24数量越多检测效率越高,探针24数量越少检测效率越低。
本实用新型的半导体芯片检测装置在具体使用时,将半导体芯片放置在底座凹槽内的载物板26上,打开电源开关211,使升降柱21上下移动并带动移动座22、探针固定板23和探针24向下移动,使探针24与半导体芯片表面相接触,并对芯片表面施加一定的作用力,此时,载物板底部的若干弹簧27发挥其作用,达到减震缓冲的效果,使芯片表面的作用力不会过大导致损坏,提高产品检测良率,降低检测成本。
以上所述仅为本实用新型的较佳实施例,并非因此限制本实用新型的专利范围,凡是在本实用新型的构思之内所作的任何修改,等同替换和改进等均应包含在本实用新型的专利保护范围内。

Claims (6)

1.半导体芯片检测装置,包括外壳和检测装置,检测装置设于外壳内,其特征在于:所述的检测装置包括底座和升降柱,所述升降柱设于底座中心处,所述升降柱上设有移动座、探针固定板和探针,所述移动座和探针固定板可拆卸安装于升降柱顶端,所述探针设于探针固定板底部,所述底座表面设有环形凹槽,凹槽内卡设有载物板,载物板呈圆环形,所述载物板底部连接有若干弹簧,弹簧与底座固定连接。
2.如权利要求1所述的半导体芯片检测装置,其特征在于:所述底座表面设有显示屏、显示灯和控制按钮,底座侧面设有电源开关。
3.如权利要求1所述的半导体芯片检测装置,其特征在于:所述移动座和探针固定板为环形板。
4.如权利要求1所述的半导体芯片检测装置,其特征在于:所述升降柱在底座内轴向往复运动。
5.如权利要求1所述的半导体芯片检测装置,其特征在于:所述载物板两侧设有限位柱,与所述限位柱相对位置处设有限位槽,所述限位柱设于限位槽内。
6.如权利要求1所述的半导体芯片检测装置,其特征在于:所述探针设为单层结构或双层结构。
CN201821337195.9U 2018-08-20 2018-08-20 半导体芯片检测装置 Expired - Fee Related CN209296871U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201821337195.9U CN209296871U (zh) 2018-08-20 2018-08-20 半导体芯片检测装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201821337195.9U CN209296871U (zh) 2018-08-20 2018-08-20 半导体芯片检测装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN209296871U true CN209296871U (zh) 2019-08-23

Family

ID=67652095

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201821337195.9U Expired - Fee Related CN209296871U (zh) 2018-08-20 2018-08-20 半导体芯片检测装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN209296871U (zh)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117269629A (zh) * 2022-03-01 2023-12-22 深圳绿灯侠新能源有限公司 一种光伏发电用防过载电容检测装置

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN117269629A (zh) * 2022-03-01 2023-12-22 深圳绿灯侠新能源有限公司 一种光伏发电用防过载电容检测装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP7022291B2 (ja) プローバ
WO2008076172A3 (en) Proof-mass with supporting structure on integrated circuit-mems platform and method of fabricating the same
CN209296871U (zh) 半导体芯片检测装置
JP2007178132A (ja) 半導体検査装置および半導体検査方法
CN208985957U (zh) 大容量nand flash芯片的检测装置
TWI541510B (zh) Can improve the detection efficiency of the point measurement method
CN113990787A (zh) 一种芯片加工生产用芯片检测设备
CN209296872U (zh) 芯片检测装置
CN208421164U (zh) 一种可循环上料的检测装置
CN211014349U (zh) 一种用于集成电路的测试装置
CN106353536A (zh) 用于承载托盘的浮动定位装置
CN104808129B (zh) 一种全新的led晶粒检测技术
CN207472528U (zh) 一种定向跌落测试机
CN207623470U (zh) 一种电子芯片检测装置
CN102914497A (zh) 一种键合强度测量装置
CN207387231U (zh) 生产设备智能采集终端
CN206505156U (zh) 一种晶圆级环境可靠性测试载具及测试机台
CN207528869U (zh) 一种半导体芯片测试仪
CN106324487B (zh) 一种集成电路板自动化检测线
CN103852711B (zh) 利用探针台测试晶圆的方法
CN213122203U (zh) 一种主控芯片电路测试装置
CN208970177U (zh) 小容量spi flash芯片的检测装置
CN220933138U (zh) 一种可连续测试的集成电路封装测试机
CN206892266U (zh) 应用静电载具测试半导体制品的机构
CN204989257U (zh) 一种探针卡

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20190823

Termination date: 20200820