CN209254409U - 有机气态污染物的冷凝处理系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供一种有机气态污染物的冷凝处理系统，该高浓度废气进气部一侧连通有对挥发性有机废气进行过滤、水洗、冷凝、二次水洗、三次水洗及二次冷凝处理的高浓度废气处理装置，且高浓度废气处理装置通过排气管路来连通于供吸附、脱附有机废气的沸石转轮，而沸石转轮利用排气部来排放净化后气体，以及可利用冷凝器来处理脱附出的气体，且冷凝器为凭借连通管路来与低浓度废气进气部的低浓度废气进气管路形成连通，再凭借低浓度废气进气管路来与排气管路连通形成汇流，而当沸石转轮脱附出的气体通过冷凝器处理后，可降低气体中的有机化合物浓度，且利用冷凝器可减少设备及燃料成本，该沸石转轮也不会有过热爆炸的风险，以提升使用上的安全性。

Description

有机气态污染物的冷凝处理系统

技术领域

本实用新型涉及一种有机气态污染物的冷凝处理系统，尤指沸石转轮所脱附的气体系利用冷凝器来降低气体中的有机化合物浓度，即可通过使用冷凝器来减少设备及燃料的成本，且沸石转轮也不会有因过热而产生爆炸的风险，如此达到提升使用上安全性的效果。

背景技术

光电、晶圆及积体电路等高科技产业的制造过程中，几乎每个步骤都分别使用各式各样的酸碱物质、有机溶剂及毒性气体等，而各种物质经过反应后又形成种类颇为复杂的产物，各制程不同所使用的化学物质也不同，故所有制程也都可能是空气的污染源，且生产制程所产生的废气都为连续排放，并依污染物的特性予以归类，可将晶圆及积体电路制程造成对空气污染的情况区分为：氧化扩散及化学蒸着沉积制程中所使用具有毒性、可燃性的气体以及反应后所生成的气体，蚀刻及清洗制程中所产生的酸碱气体，黄光室制程中所产生的有机溶剂气体；至于晶圆切割成晶片，再经过一连串的构装作业，可能的空气污染源包括有电镀区产生的酸碱废气、浸锡区产生的锡煤烟，以及清洗过程中产生的酸气与有机溶剂蒸气等几类，在这些制程中都会产生含有大量具有毒性的总有机化合物(TotalOrganic Compounds；TOCs)的废气，为了避免废气对环境造成污染与公害，必须将废气中的有害物质予以净化去除后，才能排放至外界大气中。

而目前处理含TOCs的废气主要是利用沸石转轮来吸附浓缩废气，再通过焚化炉以摄氏600～900度以上的温度进行燃烧，如此烧结这些含TOCs废气，以使排放出的废气可达到排放标准，但是，该焚化炉本身建造成本很高，且焚化炉燃烧的过程中需耗费大量地瓦斯，以致于燃料成本也很高，且不环保，况且焚化炉燃烧会使周围环境的温度很高，导致系统容易发生跳机的情形，并且沸石转轮在极高温的环境下，若无紧急处理(如：洒水、喷入冷却氮气等)，如此将会造成沸石转轮产生闷热状态，使得其局部温度异常突升，如此使沸石转轮产生永久性的结构破坏，严重者甚至会发生爆炸的情况，进而影响整体厂房及人员的安全性。

是以，要如何设法解决上述现有的缺失与不便，即为相关业者所亟欲研究改善的方向所在。

实用新型内容

因此，本实用新型设计人有鉴于上述缺失，乃搜集相关资料，经由多方评估及考量，并以从事于此行业累积的多年经验，经由不断试作及修改，始设计出此种有机气态污染物的冷凝处理系统的新型专利。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种有机气态污染物的冷凝处理系统，其特征在于：包括高浓度废气进气部、高浓度废气处理装置、沸石转轮、冷凝器、低浓度废气进气部及排气部，其中：

该高浓度废气进气部一侧设有高浓度废气进气管路；

该高浓度废气处理装置一侧连接于高浓度废气进气管路，并具有中空状的通风座，且通风座内部设有贯穿的通道，而通道一侧分别贯设有连通至高浓度废气进气管路处的入风口，且通道另一侧贯设有出风口，再在通道内部从入风口朝出风口方向依序组装有滤网、第一水洗单元、第一冷凝单元、第二水洗单元、第三水洗单元及第二冷凝单元，而通风座的出风口处设有形成连通的排气管路；

该沸石转轮一侧连接于排气管路，而沸石转轮另一侧则设有净气排气管路及旁通管路；

该冷凝器一侧连接于旁通管路，而另一侧则设有连通管路；

该低浓度废气进气部一侧设有与连通管路形成连通的低浓度废气进气管路，且低浓度废气进气管路另一侧连通于排气管路处形成汇流；

该排气部连接于沸石转轮的净气排气管路。

所述有机气态污染物的冷凝处理系统，其中：该高浓度废气处理装置的滤网为不锈钢材质、铝质、棉质或尼龙材质制成。

所述有机气态污染物的冷凝处理系统，其中：该高浓度废气处理装置的第一水洗单元、第二水洗单元及第三水洗单元分别包括有第一喷水装置、第二喷水装置、第三喷水装置，以及受到第一喷水装置、第二喷水装置与第三喷水装置喷洒的第一网材、第二网材与第三网材。

所述有机气态污染物的冷凝处理系统，其中：该第一喷水装置、第二喷水装置及第三喷水装置分别具有第一水液处理器、第二水液处理器及第三水液处理器，且第一水液处理器、第二水液处理器及第三水液处理器分别连设有第一供水管、第二供水管及第三供水管，再在第一供水管、第二供水管及第三供水管表面上分别设有复数第一喷雾头、第二喷雾头及第三喷雾头。

所述有机气态污染物的冷凝处理系统，其中：该高浓度废气处理装置的第一冷凝单元及第二冷凝单元分别设有第一冷凝盘管及第二冷凝盘管，并在第一冷凝盘管及第二冷凝盘管二侧分别设有第一入水口、第二入水口及第二出水口、第二出水口。

所述有机气态污染物的冷凝处理系统，其中：该通风座的通道内部装设有节能装置，该节能装置在第一水洗单元前方处设有预热盘管，且预热盘管内部填充有预热液，而预热盘管一侧连通有位于第二冷凝单元后方处且供预热液流入的升温盘管。

所述有机气态污染物的冷凝处理系统，其中：该冷凝器一侧设有废液排放管路，且废液排放管路连接有废液处理装置。

本实用新型的主要优点乃在于该高浓度废气进气部一侧的高浓度废气进气管路连接于高浓度废气处理装置，且高浓度废气处理装置另一侧的排气管路连接于沸石转轮，而沸石转轮另一侧则设有净气排气管路及旁通管路，其中该净气排气管路连接于排气部，另该旁通管路连接于冷凝器，而冷凝器另一侧设有连通管路，其连通管路连接于低浓度废气进气部的低浓度废气进气管路，且低浓度废气进气管路会与排气管路连通形成汇流，当高浓度与低浓度挥发性有机废气分别从高浓度废气进气部与低浓度废气进气部处进入时，会通过沸石转轮来进行吸附，以降低废气中有机化合物的浓度，再将净化过的气体通过排气部进行排放，而当沸石转轮吸附有机化合物达到饱和状态时，其沸石转轮即会脱附含高浓度有机化合物的气体，并利用旁通管路输送至冷凝器，进而凭借冷凝方式来对沸石转轮脱附出的气体进行处理，以降低气体中有机化合物的浓度，其通过冷凝器不用烧瓦斯来产生热能，以可大幅减少燃料使用成本，且沸石转轮也不会有因过热而产生爆炸的风险，如此达到提升使用上安全性的目的。

本实用新型的次要优点乃在于该冷凝处理系统使用冷凝器可减少设备成本，且因脱附出的气体是通过冷凝的方式来进行处理，所以沸石转轮不会处于高温环境中，进而使沸石转轮内部的构件不易损坏，以可延长设备使用寿命及减少后续保养费用，如此达到降低整体设备、维护成本的目的。

本实用新型的另一优点乃在于该高浓度废气处理装置为可通过滤网、第一水洗单元、第一冷凝单元、第二水洗单元、第三水洗单元及第二冷凝单元来使废气依序进行过滤、水洗、冷凝、二次水洗、三次水洗及二次冷凝的净化处理，且净化过的废气为朝高浓度废气处理装置的排气管路外排出，以达到有效降低废气中的污染物浓度的目的。

本实用新型的再一优点乃在于该废气进入于高浓度废气处理装置中时，可加热预热盘管内的预热液，且该预热液可输送至升温盘管，以加温第二冷凝单元处理后的废气，从而可提高废气出风时温度，以具有环保、节能的效用，且温度较高的废气进入于沸石转轮进行吸附作用时，可使沸石转轮具有较佳的吸附效果，进而达到提升废气净化效率的目的。

附图说明

图1是本实用新型的方块图。

图2是本实用新型高浓度废气处理装置的侧视剖面图。

图3是本实用新型第一冷凝单元及第二冷凝单元另一视角的侧视剖面图。

附图标记说明：1-高浓度废气进气部；10-高浓度废气进气管路；2-高浓度废气处理装置；20-排气管路；21-通风座；210-通道；211-入风口；212-出风口；22-滤网；23-第一水洗单元；231-第一喷水装置；2311-第一水液处理器；2312-第一供水管；2313-第一喷雾头；232-第一网材；24-第一冷凝单元；241-第一冷凝盘管；2411-第一入水口；2412-第二出水口；25-第二水洗单元；251-第二喷水装置；2511-第二水液处理器；2512-第二供水管；2513-第二喷雾头；252-第二网材；26-第三水洗单元；261-第三喷水装置；2611-第三水液处理器；2612-第三供水管；2613-第三喷雾头；262-第三网材；27-第二冷凝单元；271-第二冷凝盘管；2711-第二入水口；2712-第二出水口；28-节能装置；281-预热盘管；2811-预热液；282-升温盘管；283-抽取马达；3-沸石转轮；30-净气排气管路；31-旁通管路；4-冷凝器；40-连通管路；41-废液排放管路；42-废液处理装置；5-低浓度废气进气部；50-低浓度废气进气管路；6-排气部。

具体实施方式

为达成上述目的及功效，本实用新型所采用的技术手段及其构造，兹绘图就本实用新型的较佳实施例详加说明其特征与功能如下，以利完全了解。

请参阅图1、图2、图3所示，是本实用新型的方块图、高浓度废气处理装置的侧视剖面图及第一冷凝单元及第二冷凝单元另一视角的侧视剖面图，由图中可清楚看出，本实用新型的冷凝处理系统包括高浓度废气进气部1、高浓度废气处理装置2、沸石转轮3、冷凝器4、低浓度废气进气部5及排气部6，其中：

该高浓度废气进气部1一侧设有高浓度废气进气管路10。

该高浓度废气处理装置2一侧连接于高浓度废气进气管路10，并具有中空状的通风座21，且通风座21内部设有贯穿的通道210，而通道210一侧分别贯设有连通至高浓度废气进气管路10处的入风口211，且通道210另一侧贯设有出风口212，再在通道210内部从入风口211朝出风口212方向依序组装有滤网22、第一水洗单元23、第一冷凝单元24、第二水洗单元25、第三水洗单元26及第二冷凝单元27，又于通道210内部装设有节能装置28，其节能装置28位于第一水洗单元23前方处设有预热盘管281，且预热盘管281内部填充有预热液2811，而预热盘管281一侧连通有位于第二冷凝单元27后方处的升温盘管282，再在通风座21的出风口212处设有形成连通的排气管路20。

该沸石转轮3一侧连接于排气管路20，而沸石转轮3另一侧则设有净气排气管路30及旁通管路31。

该冷凝器4一侧连接于旁通管路31，而另一侧则设有连通管路40及废液排放管路41，再在废液排放管路41连接有废液处理装置42。

该低浓度废气进气部5一侧设有与连通管路40形成连通的低浓度废气进气管路50，而低浓度废气进气管路50另一侧则连通于排气管路20处形成汇流。

该排气部6连接于沸石转轮3的净气排气管路30。

上述高浓度废气处理装置2的滤网22可为不锈钢材质(如：304不锈钢编织网)、铝质、棉质、尼龙材质或其它可过滤气体的材质制成，以可通过滤网22来吸附通过的尘屑、杂质或脏污等异物。

再者，上述高浓度废气处理装置2的第一水洗单元23、第二水洗单元25及第三水洗单元26分别包括有第一喷水装置231、第二喷水装置251、第三喷水装置261，以及受到第一喷水装置231、第二喷水装置251与第三喷水装置261喷洒的第一网材232、第二网材252与第三网材262，其中该第一喷水装置231、第二喷水装置251及第三喷水装置261分别具有第一水液处理器2311、第二水液处理器2511及第三水液处理器2611，且第一水液处理器2311、第二水液处理器2511及第三水液处理器2611分别连设有第一供水管2312、第二供水管2512及第三供水管2612，再在第一供水管2312、第二供水管2512及第三供水管2612表面上分别设有复数第一喷雾头2313、第二喷雾头2513及第三喷雾头2613。

然而，上述高浓度废气处理装置2的第一冷凝单元24及第二冷凝单元27分别设有第一冷凝盘管241及第二冷凝盘管271，并在第一冷凝盘管241及第二冷凝盘管271二侧分别设有可供冷水或冰水注入的第一入水口2411、第二入水口2711及第二出水口2412、第二出水口2712。

另外，上述节能装置28的预热盘管281较佳设置于滤网22与第一水洗单元23之间，但于实际应用时，也可设置于滤网22前方处，其预热盘管281仅需设置于第一水洗单元23前方即可，故举凡可达成前述位置的结构都应受本实用新型所涵盖，均应同理包括于本实用新型的专利范围内，合予陈明；另外，该节能装置28为可通过抽取马达283来将预热盘管281内的预热液2811抽取至升温盘管282。

本实用新型于实际使用时，该光电、半导体等产业于制造过程中所产生的高浓度及低浓度挥发性有机废气(volatile organic compounds，VOCs)为可分别从高浓度废气进气部1及低浓度废气进气部5进入，其高浓度的挥发性有机废气可经由高浓度废气进气管路10进入至高浓度废气处理装置2，并从高浓度废气处理装置2的通风座21的入风口211朝出风口212方向输送流通，当废气碰触到高浓度废气处理装置2的滤网22时，即可通过滤网22来吸附废气中的尘屑、杂质或脏污等异物，且待废气进入后续的第一水洗单元23时，其第一水洗单元23便会利用第一喷水装置231的复数第一喷雾头2313来对废气喷洒水雾，以使水雾相互撞击，让废气中的尘屑、杂质、脏污或有机污染物等污染物沾附于水雾上，并可使废气的相对湿度增加达到饱和线，而当废气进入至第一冷凝单元24前，其部份水雾便会附着于第一水洗单元23的第一网材232上，以通过第一网材232来对污染物予以过滤，再使废气进入至第一冷凝单元24，并可利用第一冷凝单元24的第一冷凝盘管241中循环的低温冷水或冰水等，来对废气进行冷凝的凝核作用，以使沾附污染物的水雾开始产生凝核作用沉降，如此降低废气中污染物的浓度，而待气体通过第一冷凝单元24后，便会进入至高浓度废气处理装置2的气体第二水洗单元25，以可凭借第二喷水装置251的复数第二喷雾头2513来对废气喷洒水雾，且使水雾相互撞击，以更进一步抓取废气中的污染物，再利用第二水洗单元25的第二网材252过滤，而使废气进入至第三水洗单元26处，即可凭借第三喷水装置261的复数第三喷雾头2613来对废气喷洒非循环水的水雾，并利用水雾再次撞击废气，以进一步抓取废气中的污染物，再凭借第三网材262来将废气中相对湿度饱和且经凝核作用的污染物利用撞击、抓取予以洗去，而可有效去除废气中大多数的污染物，且当废气中绝大多数的污染物洗去后，该废气便会进入至第二冷凝单元27中，即可通过第二冷凝单元27的第二冷凝盘管271来对废气进行再次冷凝处理，以可避免污染物发生再次挥发的情形，进而将污染物予以再度冷凝后，使废气中的污染物更进一步地有效被去除，且可使挥发性有机废气中的有机化合物予以凝结收集，以降低挥发性有机废气中有机化合物的浓度，而待挥发性有机废气浓度降低后，则可再通过排气管路20往沸石转轮3方向输送，同时，从低浓度废气进气部5处进入的低浓度挥发性有机废气即会通入于排气管路20中形成汇流，再利用排气管路20来将汇流后的挥发性有机废气输送至沸石转轮3，其沸石转轮3即会吸附挥发性有机废气中的有机化合物，以净化挥发性有机废气，且待有机化合物的浓度符合排放标准后，便可通过净气排气管路30输送至排气部6，再凭借排气部6来将净化过的挥发性有机废气排放至外部大气中。

而当沸石转轮3吸附力到达饱和时，其沸石转轮3即会将所吸附的高浓度有机化合物进行脱附作业，如此使沸石转轮3可供再次进行吸附作业，而沸石转轮3所脱附的气体则会凭借旁通管路31来输送至冷凝器4，再通过冷凝器4来对脱附的气体进行冷凝处理，以降低脱附气体中的有机化合物浓度，而经由冷凝器4处理过后的气体便可再利用连通管路40输送至低浓度废气进气部5的低浓度废气进气管路50，以凭借低浓度废气进气管路50输送至高浓度废气处理装置2的排气管路20形成汇流，再通过排气管路20输送至沸石转轮3吸附，用以进行吸附、脱附循环作业，且沸石转轮3吸附后可利用脱附作业来达到长久使用的效果。

上述高浓度废气处理装置2的第一水洗单元23、第二水洗单元25及第三水洗单元26为可通过第一喷水装置231的第一水液处理器2311、第二喷水装置251的第二水液处理器2511及第三喷水装置261的第三水液处理器2611供水至第一供水管2312、第二供水管2512及第三供水管2612，再凭借复数第一喷雾头2313、第二喷雾头2513及第三喷雾头2613分别向通风座21的通道210内喷洒水雾，并可增加废气中的相对湿度，以可使废气中的污染物湿度达到饱和线，如此可供废气进入于第一冷凝单元24及第二冷凝单元27时，可提高废气被冷凝的效率，且湿度较高也可提升污染物被冷凝的凝核效果，进而增加废气中污染物的去除行程，以达到提升整体去除滤净的效果。

再者，上述高浓度废气处理装置2的第一冷凝单元24及第二冷凝单元27为可凭借第一冷凝盘管241及第二冷凝盘管271以连续环转式填满在通风座21的通道210空间内，并可利用第一入水口2411、第二入水口2711分别注入低温的冷水或冰水(其入水温度约可为7℃)，使冷水可于第一冷凝盘管241及第二冷凝盘管271内部循环流动，所以当废气进入至通风座21的通道210内时，其废气约为70℃，即可利用第一冷凝盘管241及第二冷凝盘管271来对进入通风座21的通道210内的废气进行冷却、凝结，而通过第一冷凝单元24将废气温度降至9﹒8℃，而第二冷凝单元27再将废气温度降至8﹒5℃，可有效提高对废气中含带的大多数污染物质被冷凝的凝核效果，即可将废气中的污染物质凭借冷凝的凝核方式予以去除，而第一冷凝盘管241中的冷水由第一入水口2411注入后，再由第二出水口2412排出(其出水温度约为9℃)；至于第二冷凝盘管271中的冷水由第二入水口2711注入后，再由第二出水口2712排出(其出水温度约为8℃)，以供第一冷凝盘管241及第二冷凝盘管271中的低温冷水或冰水等(可依实际应用时作选择，并不因此局限本实用新型的低温冷水或冰水等的应用方式)可以循环流动。

另外，上述高浓度废气处理装置2的节能装置28位于第一水洗单元23前方处设有预热盘管281，且预热盘管281内部填充有预热液2811，而预热盘管281一侧连通有位于第二冷凝单元27后方处的升温盘管282，当高浓度废气进气部1的高浓度废气进气管路10处将废气排入至通风座21的通道210内时，其废气温度大约70℃，即可通过高温的废气来对预热盘管281内的预热液2811进行加热升温，以使预热液2811升温到28﹒5℃，便可将此预热液2811输送至升温盘管282，进而可利用升温盘管282来对第二冷凝单元27处理后的废气进行加温，如此使第二冷凝单元27处理后的废气升温至27﹒5℃，其因是通过进风时的废气温度来加热预热液2811，且该预热液2811为输送升温盘管282，并加温第二冷凝单元27处理后的废气，从而可达到提高出风时温度的效用，所以不需安装任何的加热单元，达到环保又节能的效果，且温度较高的废气经由沸石转轮3进行吸附作用时，可使沸石转轮3具有较佳的吸附效果，以达到提升废气净化效率的效用。

且上述沸石转轮3所脱附废气中的有机化合物经由冷凝器4处理后，会凝结成有机化合物废液，而冷凝器4收集的有机化合物废液较佳为可凭借废液排放管路41来输送至废液处理装置42集中处理，但于实际应用时，其冷凝器4也可将废液直接储放于冷凝器4机台内部，再凭借外部人员进行更换处理，然而，有关冷凝器4收集的有机化合物废液后续处理方式很多，故，该较佳实施例并非局限本实用新型的申请专利范围，凡其它未脱离本实用新型所揭示的技艺精神下所完成的均等变化与修饰变更，均应包含于本实用新型所涵盖的专利范围中。

再者，上述沸石转轮3如何进行吸附、脱附作业，且该冷凝器4如何降低温度以对气体进行冷凝处理，而沸石转轮3及冷凝器4内部的装置、构件很多，又非本案实用新型的重点，故不赘述，以兹了解。

另外，上述冷凝处理系统为可分别于高浓度废气进气管路10、排气管路20、净气排气管路30、旁通管路31、连通管路40或低浓度废气进气管路50上装设有风机(图中未示出)，即可利用风机的抽风功能来将各管路的气体进行输送流动。

本实用新型为具有下列的优点：

(一)该冷凝处理系统为利用冷凝器4的冷凝方式来对沸石转轮3脱附出的气体进行处理，其通过冷凝器4即不用烧瓦斯来产生热能，以可大幅减少燃料使用成本，且沸石转轮3也不会有因过热而产生爆炸的风险，如此达到提升使用上安全性的效果。

(二)该冷凝器4相较于现有焚化炉的设备成本较低，且因脱附出的气体是通过冷凝的方式来进行处理，所以沸石转轮3则不会处于高温环境中，进而使沸石转轮3内部的构件不易损坏，以可延长设备使用寿命及减少后续保养费用，如此达到降低整体设备、维护成本的效用。

(三)该高浓度废气处理装置2为可通过滤网22、第一水洗单元23、第一冷凝单元24、第二水洗单元25、第三水洗单元26及第二冷凝单元27来使废气依序进行过滤、水洗、冷凝、二次水洗、三次水洗及二次冷凝的净化处理，再将净化过的废气朝高浓度废气处理装置2的排气管路20外排出，以凭借高浓度废气处理装置2内部的净化作业来有效达到降低废气中的污染物浓度的目的。

(四)该废气进入于高浓度废气处理装置2中时，可加热预热盘管281内的预热液2811，且该预热液2811可再输送至升温盘管282，以加温第二冷凝单元27处理后的废气，从而可提高废气出风时温度，而不需安装任何的加热单元，达到环保、节能的效果，且温度较高的废气进入于沸石转轮3进行吸附作用时，可具有较佳的吸附效果，进而达到提升废气净化效率的效用。

以上说明对本实用新型而言只是说明性的，而非限制性的，本领域普通技术人员理解，在不脱离权利要求所限定的精神和范围的情况下，可作出许多修改、变化或等效，但都将落入本实用新型的保护范围之内。

Claims (7)

1.一种有机气态污染物的冷凝处理系统，其特征在于：包括高浓度废气进气部、高浓度废气处理装置、沸石转轮、冷凝器、低浓度废气进气部及排气部，其中：

该高浓度废气进气部一侧设有高浓度废气进气管路；

该高浓度废气处理装置一侧连接于高浓度废气进气管路，并具有中空状的通风座，且通风座内部设有贯穿的通道，而通道一侧分别贯设有连通至高浓度废气进气管路处的入风口，且通道另一侧贯设有出风口，再在通道内部从入风口朝出风口方向依序组装有滤网、第一水洗单元、第一冷凝单元、第二水洗单元、第三水洗单元及第二冷凝单元，而通风座的出风口处设有形成连通的排气管路；

该沸石转轮一侧连接于排气管路，而沸石转轮另一侧则设有净气排气管路及旁通管路；

该冷凝器一侧连接于旁通管路，而另一侧则设有连通管路；

该低浓度废气进气部一侧设有与连通管路形成连通的低浓度废气进气管路，且低浓度废气进气管路另一侧连通于排气管路处形成汇流；

该排气部连接于沸石转轮的净气排气管路。

2.根据权利要求1所述有机气态污染物的冷凝处理系统，其特征在于：该高浓度废气处理装置的滤网为不锈钢材质、铝质、棉质或尼龙材质制成。

3.根据权利要求1所述有机气态污染物的冷凝处理系统，其特征在于：该高浓度废气处理装置的第一水洗单元、第二水洗单元及第三水洗单元分别包括有第一喷水装置、第二喷水装置、第三喷水装置，以及受到第一喷水装置、第二喷水装置与第三喷水装置喷洒的第一网材、第二网材与第三网材。

4.根据权利要求3所述有机气态污染物的冷凝处理系统，其特征在于：该第一喷水装置、第二喷水装置及第三喷水装置分别具有第一水液处理器、第二水液处理器及第三水液处理器，且第一水液处理器、第二水液处理器及第三水液处理器分别连设有第一供水管、第二供水管及第三供水管，再在第一供水管、第二供水管及第三供水管表面上分别设有复数第一喷雾头、第二喷雾头及第三喷雾头。

5.根据权利要求1所述有机气态污染物的冷凝处理系统，其特征在于：该高浓度废气处理装置的第一冷凝单元及第二冷凝单元分别设有第一冷凝盘管及第二冷凝盘管，并在第一冷凝盘管及第二冷凝盘管二侧分别设有第一入水口、第二入水口及第二出水口、第二出水口。

6.根据权利要求1所述有机气态污染物的冷凝处理系统，其特征在于：该通风座的通道内部装设有节能装置，该节能装置在第一水洗单元前方处设有预热盘管，且预热盘管内部填充有预热液，而预热盘管一侧连通有位于第二冷凝单元后方处且供预热液流入的升温盘管。

7.根据权利要求1所述有机气态污染物的冷凝处理系统，其特征在于：该冷凝器一侧设有废液排放管路，且废液排放管路连接有废液处理装置。