CN209243180U - 一种蚀刻设备管路排水优化系统 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种蚀刻设备管路排水优化系统，包括药液进入管，过滤器，内槽进入管和过滤器排放管，所述内槽进入管与过滤器排放管间连通一连动管，所述过滤器排放管的端部固定连接有用于废液引流的T型三通Ⅰ，所述T型三通Ⅰ两端分别连接过滤器出水管和连动管，另一端与内槽进入管连接，所述连动管与过滤器排放管连接处固定连接有T型三通Ⅱ，连动管与内槽进入管和过滤器排放管连接端口处均设有控制管路开关的气动阀。本实用新型可以减少管路内残水，降低药液含水量，提高制程良率。
Description
技术领域
本实用新型涉及驱动芯片金凸块封装领域领域，具体是一种蚀刻设备管路排水优化系统。
背景技术
一般金凸块制造工艺，包括如下步骤：溅镀：在集成电路芯片表面溅镀金属膜；光阻涂布：用光阻涂布机在芯片表面涂覆厚度为15-40微米的光阻；曝光：用曝光机，对无需生长金凸块位置的光阻进行曝光；显影：用显影机和显影液去除掉未曝光区的光阻，将需要生长金凸块的位置打开开窗；电镀金：在芯片上光阻开窗区镀10-15微米高度的金凸块；光阻去除；进行电浆处理和金蚀刻处理去除溅镀金属膜中的金层；钛钨蚀刻以去除溅镀金属膜中的钛钨膜，本步钛钨蚀刻的作用是去除金凸块两侧溅镀的钛钨膜。
在光阻去除中使用设备去光阻机，在药液到期时排液后需要注水循环清洗，清洗完成后，从过滤器至内槽的管路中会有一部分水无法完全排尽，在重新注入药液建浴时，该管路内的水与药液混合会增加药液的含水量，药液的含水量增加，影响药液性能，降低制程良率。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种蚀刻设备管路排水优化系统，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
一种蚀刻设备管路排水优化系统，包括药液进入管，过滤器，内槽进入管和过滤器排放管，其特征在于，所述内槽进入管与过滤器排放管间连通一连动管，所述过滤器排放管的端部固定连接有用于废液引流的T型三通Ⅰ，所述T型三通Ⅰ两端分别连接过滤器出水管和连动管，另一端与内槽进入管连接，所述连动管与过滤器排放管连接处固定连接有T型三通Ⅱ，连动管与内槽进入管和过滤器排放管连接端口处均设有控制管路开关的气动阀。
作为本实用新型进一步的方案：所述T型三通Ⅰ与连动管连接处还设有用于管路转接的1寸转1/2直通。
作为本实用新型再进一步的方案：所述T型三通Ⅰ为1寸T型三通。
作为本实用新型再进一步的方案：所述T型三通Ⅱ为1/2寸T型三通。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
本实用新型结构简单，操作方便，在操作过程中，药液从外槽出，经过加热器、泵、过滤器循环再至槽内，循环系统内过滤器至内槽这段管路内的残水在排放时，通过加装的三通接头对药液进行引流，通过加装的气动阀控制废水的排放，排放管路接入至过滤器排放管，在进行过滤器废水排放时同时启动加装的气动阀，进而将无法排放的废水排出。
附图说明
图1为蚀刻设备管路排水优化系统的结构示意图。
图2为现有技术中的蚀刻设备管路排水系统。
其中：1、药液进入管；2、过滤器；3、过滤器排放管；4、T型三通Ⅱ；5、连动管；6、气动阀；7、1寸转1/2直通；8、T型三通Ⅰ；9、内槽进入管；10、过滤器出水管。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1～2，本实用新型实施例中，一种蚀刻设备管路排水优化系统，包括药液进入管1，过滤器2，内槽进入管9和过滤器排放管3，内槽进入管9与过滤器排放管3间连通一连动管5，过滤器排放管3的端部固定连接有用于废液引流的T型三通Ⅰ8，T型三通Ⅰ8为1寸T型三通，T型三通Ⅰ8两端分别连接过滤器出水管10和连动管5，另一端与内槽进入管9连接，T型三通Ⅰ8与连动管5连接处还设有用于管路转接的1寸转1/2直通7，循环系统内过滤器至内槽这段管路内的残水在排放时，对药液进行引流，连动管5与过滤器排放管3连接处固定连接有T型三通Ⅱ4，T型三通Ⅱ4为1/2寸T型三通，连动管5与内槽进入管和过滤器排放管3连接端口处均设有控制管路开关的气动阀6，在进行过滤器废水排放时同时启动加装的气动阀，进而将无法排放的废水(过滤器排放管3和内槽进入管9中的废水)排出。
改进后的蚀刻设备管路排水和现有技术针对药液含水量的数据对照表如下：
本实用新型的工作原理是：循环系统内过滤器2至内槽这段管路内的残水在排放时，通过加装的三通接头(T型三通Ⅰ8和T型三通Ⅱ4)对药液进行引流，通过加装的气动阀6控制废水的排放，在进行过滤器废水排放时同时启动加装的气动阀，进而将无法排放的废水(过滤器排放管3和内槽进入管9中的废水)排出。
尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (4)
1.一种蚀刻设备管路排水优化系统，包括药液进入管(1)，过滤器(2)，内槽进入管(9)和过滤器排放管(3)，其特征在于，所述内槽进入管(9)与过滤器排放管(3)间连通一连动管(5)，所述过滤器排放管(3)的端部固定连接有用于废液引流的T型三通Ⅰ(8)，所述T型三通Ⅰ(8)两端分别连接过滤器出水管(10)和连动管(5)，另一端与内槽进入管(9)连接，所述连动管(5)与过滤器排放管(3)连接处固定连接有T型三通Ⅱ(4)，连动管(5)与内槽进入管和过滤器排放管(3)连接端口处均设有控制管路开关的气动阀(6)。
2.根据权利要求1所述的蚀刻设备管路排水优化系统，其特征在于，所述T型三通Ⅰ(8)与连动管(5)连接处还设有用于管路转接的1寸转1/2直通(7)。
3.根据权利要求1所述的蚀刻设备管路排水优化系统，其特征在于，所述T型三通Ⅰ(8)为1寸T型三通。
4.根据权利要求1所述的蚀刻设备管路排水优化系统，其特征在于，所述T型三通Ⅱ(4)为1/2寸T型三通。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201821921712.7U CN209243180U (zh) | 2018-11-21 | 2018-11-21 | 一种蚀刻设备管路排水优化系统 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
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| CN209243180U true CN209243180U (zh) | 2019-08-13 |
Family
ID=67530232
Family Applications (1)
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|---|---|---|---|
| CN201821921712.7U Active CN209243180U (zh) | 2018-11-21 | 2018-11-21 | 一种蚀刻设备管路排水优化系统 |
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2018
- 2018-11-21 CN CN201821921712.7U patent/CN209243180U/zh active Active
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