CN209216936U - 一种圆盘类产品的真空搬运到位检测装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种圆盘类产品的真空搬运到位检测装置，包括：机器人，用于通过其设有的真空吸附机械手，对晶圆盒中的晶圆进行搬运；检测模块，面向所述真空吸附机械手设于所述机器人上，用于在所述真空吸附机械手伸进晶圆盒时，对待搬运位置上的晶圆进行位置检测；真空发生模块，连接所述真空吸附机械手，用于在收到所述检测模块的晶圆位置到位信号时，使所述真空吸附机械手产生真空，对晶圆进行吸附搬运。本实用新型通过改变目前由真空压力传感器检测的方式进行检测到位产品，有效解决了真空压力传感器响应时间慢的问题，而且可以有效提高检测晶圆到位的准确性，从而有效保证了产品的低破片率。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体行业晶圆自动化制程中圆盘类产品搬运设备技术领域，更具体地，涉及一种用于检测圆盘类产品真空搬运是否到位的检测装置。
背景技术
在半导体行业自动化制程中，目前对晶圆的上下料，是采用通过机器人上真空吸附机械手对晶圆进行真空吸附后，从Foup(前开式晶圆盒)中取出的方式。对搬运到位的检测，是由真空压力传感器的真空值反馈信号来决定的。
但采用上述方式响应时间长，而且对于搬运没有到位而已被吸附的晶圆产品是不能进行判别的。
所以，需要设计一种可以使响应速度加快，而且可以保证晶圆吸附到位的准确检测装置，以有效地保证产品的低破片率。
实用新型内容
本实用新型的目的在于克服现有技术存在的上述缺陷，提供一种圆盘类产品的真空搬运到位检测装置。
为实现上述目的，本实用新型的技术方案如下：
一种圆盘类产品的真空搬运到位检测装置，包括：
机器人，用于通过其设有的真空吸附机械手，对晶圆盒中的晶圆进行搬运；
检测模块，面向所述真空吸附机械手设于所述机器人上，用于在所述真空吸附机械手伸进晶圆盒时，对待搬运位置上的晶圆进行位置检测；
真空发生模块，连接所述真空吸附机械手，用于在收到所述检测模块的晶圆位置到位信号时，使所述真空吸附机械手产生真空，对晶圆进行吸附搬运。
进一步地，所述机器人设有手臂，所述手臂的前端连接所述真空吸附机械手。
进一步地，所述手臂上设有机器人法兰，所述机器人法兰通过法兰固定块转动连接所述真空吸附机械手。
进一步地，所述法兰固定块与所述真空吸附机械手的连接端侧部设有检测模块。
进一步地，所述检测模块通过固定架连接设于所述法兰固定块与所述真空吸附机械手连接端的侧部。
进一步地，所述检测模块为传感器。
进一步地，所述传感器为激光传感器。
进一步地，所述真空发生模块包括真空泵及连接至所述真空吸附机械手的真空气路。
进一步地，所述真空气路通过所述法兰固定块连接至所述真空吸附机械手。
进一步地，所述法兰固定块上设有真空气路连接块，所述真空气路通过所述真空气路连接块连接至所述真空吸附机械手。
从上述技术方案可以看出，本实用新型通过改变目前由真空压力传感器检测的方式进行检测到位产品，有效解决了真空压力传感器响应时间慢的问题，而且可以有效提高检测晶圆到位的准确性，从而有效保证了产品的低破片率。本实用新型通过采用传感器检测到位+真空搬运的方式，有着以下优点：
(1)可以提高检测反馈的响应时间，提高生产效率。
(2)可以稳定检测产品精确到位位置，大大提高产品的良率。
附图说明
图1是本实用新型一较佳实施例的一种圆盘类产品的真空搬运到位检测装置结构示意图。
具体实施方式
下面结合附图，对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细说明。
需要说明的是，在下述的具体实施方式中，在详述本实用新型的实施方式时，为了清楚地表示本实用新型的结构以便于说明，特对附图中的结构不依照一般比例绘图，并进行了局部放大、变形及简化处理，因此，应避免以此作为对本实用新型的限定来加以理解。
在以下本实用新型的具体实施方式中，请参考图1，图1是本实用新型一较佳实施例的一种圆盘类产品的真空搬运到位检测装置结构示意图。如图1所示，本实用新型的一种圆盘类产品的真空搬运到位检测装置，包括：机器人，检测模块，真空发生模块等几个主要组成部分。
请参考图1。机器人用于通过其设有的真空吸附机械手(Fork)6，对晶圆盒中待搬运的晶圆进行搬运。检测模块面向真空吸附机械手6设于机器人上，用于在真空吸附机械手6伸进晶圆盒时，对待搬运位置上的晶圆进行位置检测。真空发生模块连接真空吸附机械手6，用于在收到检测模块的晶圆位置到位检测信号时，使真空吸附机械手6产生真空，对晶圆进行吸附搬运。
请参考图1。机器人可设有手臂；手臂的前端连接真空吸附机械手6。
作为一可选的实施方式，在机器人的手臂上可设有机器人法兰1，用于进行多级手臂之间的连接，使手臂实现三维运动。机器人法兰1可通过法兰固定块2转动连接真空吸附机械手6。
检测模块可设置在法兰固定块2与真空吸附机械手6的连接端的侧部，并面向真空吸附机械手6设置。检测模块可通过一个固定架4安装在法兰固定块2与真空吸附机械手6连接端的侧部。
作为一可选的实施方式，检测模块可为传感器5。进一步地，作为优选，传感器5可为激光传感器5。
真空发生模块采用真空发生器，可包括真空泵及连接至真空吸附机械手6的真空气路。真空气路可通过法兰固定块2连接至真空吸附机械手6。
请参考图1。作为一可选的实施方式，可在法兰固定块2上设置真空气路连接块3；这样，真空气路即可通过真空气路连接块3进行中转，并进一步连接至真空吸附机械手6。
本实用新型在机器人的带动下，将真空吸附机械手6伸进晶圆盒中，通过检测传感器检测到产品硅盘7，由真空发生器产生真空将产品硅盘7进行吸附，再由机器人将产品硅盘7取出。产品硅盘7上放置有多个晶圆。由于采用了激光传感器5，其响应速度快，而且可通过距离的设定，将很稳定地保证取放产品的稳定性。
综上所述，本实用新型通过改变目前由真空压力传感器检测的方式进行检测到位产品，有效解决了真空压力传感器响应时间慢的问题，而且可以有效提高检测晶圆到位的准确性，从而有效保证了产品的低破片率。
以上的仅为本实用新型的优选实施例，实施例并非用以限制本实用新型的专利保护范围，因此凡是运用本实用新型的说明书及附图内容所作的等同结构变化，同理均应包含在本实用新型的保护范围内。
Claims (10)
1.一种圆盘类产品的真空搬运到位检测装置，其特征在于，包括：
机器人，用于通过其设有的真空吸附机械手，对晶圆盒中的晶圆进行搬运；
检测模块，面向所述真空吸附机械手设于所述机器人上，用于在所述真空吸附机械手伸进晶圆盒时，对待搬运位置上的晶圆进行位置检测；
真空发生模块，连接所述真空吸附机械手，用于在收到所述检测模块的晶圆位置到位信号时，使所述真空吸附机械手产生真空，对晶圆进行吸附搬运。
2.根据权利要求1所述的圆盘类产品的真空搬运到位检测装置，其特征在于，所述机器人设有手臂，所述手臂的前端连接所述真空吸附机械手。
3.根据权利要求2所述的圆盘类产品的真空搬运到位检测装置，其特征在于，所述手臂上设有机器人法兰，所述机器人法兰通过法兰固定块转动连接所述真空吸附机械手。
4.根据权利要求3所述的圆盘类产品的真空搬运到位检测装置，其特征在于，所述法兰固定块与所述真空吸附机械手的连接端侧部设有检测模块。
5.根据权利要求4所述的圆盘类产品的真空搬运到位检测装置，其特征在于，所述检测模块通过固定架连接设于所述法兰固定块与所述真空吸附机械手连接端的侧部。
6.根据权利要求1-5任一所述的圆盘类产品的真空搬运到位检测装置，其特征在于，所述检测模块为传感器。
7.根据权利要求6所述的圆盘类产品的真空搬运到位检测装置，其特征在于，所述传感器为激光传感器。
8.根据权利要求3所述的圆盘类产品的真空搬运到位检测装置，其特征在于，所述真空发生模块包括真空泵及连接至所述真空吸附机械手的真空气路。
9.根据权利要求8所述的圆盘类产品的真空搬运到位检测装置，其特征在于，所述真空气路通过所述法兰固定块连接至所述真空吸附机械手。
10.根据权利要求9所述的圆盘类产品的真空搬运到位检测装置，其特征在于，所述法兰固定块上设有真空气路连接块，所述真空气路通过所述真空气路连接块连接至所述真空吸附机械手。
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|---|---|---|---|---|
| CN114156216A (zh) * | 2022-02-10 | 2022-03-08 | 绍兴中芯集成电路制造股份有限公司 | 自动取片方法、自动取片控制系统、计算机存储介质 |
| CN114235840A (zh) * | 2021-12-29 | 2022-03-25 | 复旦大学 | 一种基于光切显微镜的晶圆表面缺陷检测方法 |
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