CN209212672U - 一种扩散泵新型冷却装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种扩散泵新型冷却装置，包括扩散泵和外壳，所述外壳外部呈圆柱形设置，所述外壳由两组半圆壳组成，所述外壳的两组半圆壳上部内部上方一圈均等距设有通孔，所述外壳套接于扩散泵的外部，所述外壳的两组半圆壳内部下方均通过支架安装有过滤网，所述过滤网的一侧靠近外壳内壁的方向安装有半导体制冷片，半导体制冷片的制冷效果可以通过风扇工作使冷气穿过过滤网传递至外壳内部，外壳罩在扩散泵的外部，对扩散泵工作产生的热量进行冷却降温，散热效果好，通过通孔来排出热量，最终达到对扩散泵散热的目的，以延长扩散泵的使用寿命，减少扩散泵因过热的导致损坏的几率。

Description

一种扩散泵新型冷却装置

技术领域

本实用新型涉及扩散泵冷却装置技术领域，具体为一种扩散泵新型冷却装置。

背景技术

扩散泵作为真空系统的主泵已经有几十年的历史，传统的真空镀膜设备扩散泵加热是用耗电量比较高的电阻丝通过烧红来烘烤真空锅炉（扩散泵）底部，从而加热里面的导热油来使真空泵里面的温度上升来达到设备的工作要求。这种加热方式使得大部分的热量散发到空气中，导致损失大量的热量，使得扩散泵工作环境温度变高，现在通常在扩散泵外部设有冷却装置来降温。现有的扩散泵冷却装置直接暴露在外，也不便于与扩散泵拆卸，导致后期维护操作麻烦，为此，我们推出一种扩散泵新型冷却装置。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种扩散泵新型冷却装置，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种扩散泵新型冷却装置，包括扩散泵和外壳，所述外壳外部呈圆柱形设置，所述外壳由两组半圆壳组成，所述外壳的两组半圆壳上部内部上方一圈均等距设有通孔，所述外壳套接于扩散泵的外部，所述外壳的两组半圆壳内部下方均通过支架安装有过滤网，所述过滤网的一侧靠近外壳内壁的方向安装有半导体制冷片，所述支架的一端还安装有风扇，所述风扇位于过滤网的另一侧，通过风扇对扩散泵进行吹风冷却，半导体制冷片的冷气通过风扇吹向扩散泵，散热效果好，通过通孔来排出热量。

作为本技术方案的进一步优化，所述外壳的两组半圆壳内部上端均设有第一连接圈，所述外壳的两组半圆壳内部下端均设有第二连接圈，所述第一连接圈、第二连接圈均呈半圆形设置，所述第一连接圈、第二连接圈的一侧分别贴合于扩散泵的外部上侧和下侧，所述第一连接圈、第二连接圈的一侧与扩散泵的贴合处连接有橡胶垫，这样设置便于组合安装，便于拆卸，提高安装效率和后期的拆卸维修效率。

作为本技术方案的进一步优化，所述外壳的两组半圆壳的两侧还连接有连接板，所述连接板的上端、下端均设有紧固件，所述紧固件包括螺栓、螺帽，且螺栓贯穿于连接板上，螺帽螺接于螺栓的两端，通过连接板对两组半圆壳进行校对，通过紧固件对两组半圆壳进行固定，使得外壳成为一个整体的圆柱形，并且这样设置便于安装和拆卸，便于后期对外壳内部的元件进行检修。

作为本技术方案的进一步优化，所述第一连接圈的半径大于第二连接圈的半径，所述连接板的一侧分别连接至第一连接圈、第二连接圈的端部，更好的贴合扩散泵的外壁。

作为本技术方案的进一步优化，作为本技术方案的进一步优化，所述过滤网为铝合金过滤网，且厚度为三厘米，通过过滤网的设置，来安装半导体制冷片，并且半导体制冷片的制冷效果可以通过风扇工作使冷气穿过过滤网传递至外壳内部，外壳罩在扩散泵的外部，对扩散泵工作产生的热量进行冷却降温。

作为本技术方案的进一步优化，所述外壳为铝合金外壳，整体轻盈，减少扩散泵的承重量。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型通过外壳外部呈圆柱形设置，与扩散泵的外部形状相似整体更加美观，外壳套接于扩散泵的外部，可以将扩散泵的外部大部分给保护起来，减少扩散泵外部氧化的速度，并且还可以加强外壳内部元件的散热效果，通过外壳由两组半圆壳组成，外壳的两组半圆壳的两侧还连接有连接板，连接板的上端、下端均设有紧固件，这样设置便于组合安装，便于拆卸，提高安装效率和后期的拆卸维修效率，使得外壳成为一个整体的圆柱形，并且这样设置便于安装和拆卸，便于后期对外壳内部的元件进行检修，第一连接圈的半径大于第二连接圈的半径，更好的贴合扩散泵的外壁，通过过滤网的设置，来安装半导体制冷片，并且半导体制冷片的制冷效果可以通过风扇工作使冷气穿过过滤网传递至外壳内部，外壳罩在扩散泵的外部，对扩散泵工作产生的热量进行冷却降温，散热效果好，通过通孔来排出热量，最终达到对扩散泵散热的目的，以延长扩散泵的使用寿命，减少扩散泵因过热的导致损坏的几率。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图；

图2为本实用新型外壳内部结构示意图；

图3为本实用新型外部结构示意图；

图4为本实用新型外壳俯视结构示意图。

图中：1-扩散泵；2-外壳；3-通孔；4-第一连接圈；5-第二连接圈；6-连接板；7-紧固件；8-支架；9-过滤网；10-半导体制冷片；11-风扇。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。

在本实用新型的描述中，除非另有说明，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“前”、“后”、“顶部”、“底部”等指示的方位或状态关系为基于附图所示的方位或状态关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的机构或部件必须具有的特定方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。

请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种扩散泵新型冷却装置，包括扩散泵1和外壳2，所述外壳2外部呈圆柱形设置，所述外壳2由两组半圆壳组成，所述外壳2的两组半圆壳上部内部上方一圈均等距设有通孔3，所述外壳2套接于扩散泵1的外部，所述外壳2的两组半圆壳内部下方均通过支架8安装有过滤网9，所述过滤网9的一侧靠近外壳2内壁的方向安装有半导体制冷片10，所述支架8的一端还安装有风扇11，所述风扇11位于过滤网9的另一侧，通过风扇11对扩散泵1进行吹风冷却，半导体制冷片10的冷气通过风扇11吹向扩散泵1，散热效果好，通过通孔3来排出热量。

具体的，所述外壳2的两组半圆壳内部上端均设有第一连接圈4，所述外壳2的两组半圆壳内部下端均设有第二连接圈5，所述第一连接圈4、第二连接圈5均呈半圆形设置，所述第一连接圈4、第二连接圈5的一侧分别贴合于扩散泵1的外部上侧和下侧，所述第一连接圈4、第二连接圈5的一侧与扩散泵1的贴合处连接有橡胶垫，这样设置便于组合安装，便于拆卸，提高安装效率和后期的拆卸维修效率。

具体的，所述外壳2的两组半圆壳的两侧还连接有连接板6，所述连接板6的上端、下端均设有紧固件7，所述紧固件7包括螺栓、螺帽，且螺栓贯穿于连接板6上，螺帽螺接于螺栓的两端，通过连接板6对两组半圆壳进行校对，通过紧固件7对两组半圆壳进行固定，使得外壳2成为一个整体的圆柱形，并且这样设置便于安装和拆卸，便于后期对外壳2内部的元件进行检修。

具体的，所述第一连接圈4的半径大于第二连接圈5的半径，所述连接板6的一侧分别连接至第一连接圈4、第二连接圈5的端部，更好的贴合扩散泵1的外壁。

具体的，具体的，所述过滤网9为铝合金过滤网，且厚度为三厘米，通过过滤网9的设置，来安装半导体制冷片10，并且半导体制冷片10的制冷效果可以通过风扇11工作使冷气穿过过滤网9传递至外壳2内部，外壳2罩在扩散泵1的外部，对扩散泵1工作产生的热量进行冷却降温。

具体的，所述外壳2为铝合金外壳，整体轻盈，减少扩散泵1的承重量。

具体的，使用时，通过外壳2外部呈圆柱形设置，与扩散泵1的外部形状相似整体更加美观，外壳2套接于扩散泵1的外部，可以将扩散泵1的外部大部分给保护起来，也对外壳2内部元件起到保护作用，使得外壳2内部元件不会直接暴露在外显得凌乱也避免了外部撞击到内部元件，减少扩散泵1外部氧化的速度，并且还可以加强外壳2内部元件的散热效果，内部元件为风扇11、半导体制冷片10，通过外壳2由两组半圆壳组成，外壳2的两组半圆壳的两侧还连接有连接板6，连接板6的上端、下端均设有紧固件7，这样设置便于组合安装，便于拆卸，提高安装效率和后期的拆卸维修效率，使得外壳2成为一个整体的圆柱形，并且这样设置便于安装和拆卸，便于后期对外壳2内部的元件进行检修，第一连接圈4的半径大于第二连接圈5的半径，更好的贴合扩散泵1的外壁，通过过滤网9的设置，来安装半导体制冷片10，并且半导体制冷片10的制冷效果可以通过风扇11工作使冷气穿过过滤网9传递至外壳2内部，外壳2罩在扩散泵1的外部，对扩散泵1工作产生的热量进行冷却降温，散热效果好，通过通孔3来排出热量。

需要说明的是，半导体制冷片10、风扇11均通过导线电性连接于外部电源，半导体制冷片10、风扇11的工作原理、电性连接本领域均为现有技术，在此不做过多说明，半导体制冷片10、风扇11的具体型号需要根据实际使用对象的规格进行选型限定。

尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (6)

1.一种扩散泵新型冷却装置，包括扩散泵（1）和外壳（2），其特征在于：所述外壳（2）外部呈圆柱形设置，所述外壳（2）由两组半圆壳组成，所述外壳（2）的两组半圆壳上部内部上方一圈均等距设有通孔（3），所述外壳（2）套接于扩散泵（1）的外部，所述外壳（2）的两组半圆壳内部下方均通过支架（8）安装有过滤网（9），所述过滤网（9）的一侧靠近外壳（2）内壁的方向安装有半导体制冷片（10），所述支架（8）的一端还安装有风扇（11），所述风扇（11）位于过滤网（9）的另一侧。

2.根据权利要求1所述的一种扩散泵新型冷却装置，其特征在于：所述外壳（2）的两组半圆壳内部上端均设有第一连接圈（4），所述外壳（2）的两组半圆壳内部下端均设有第二连接圈（5），所述第一连接圈（4）、第二连接圈（5）均呈半圆形设置，所述第一连接圈（4）、第二连接圈（5）的一侧分别贴合于扩散泵（1）的外部上侧和下侧，所述第一连接圈（4）、第二连接圈（5）的一侧与扩散泵（1）的贴合处连接有橡胶垫。

3.根据权利要求1所述的一种扩散泵新型冷却装置，其特征在于：所述外壳（2）的两组半圆壳的两侧还连接有连接板（6），所述连接板（6）的上端、下端均设有紧固件（7），所述紧固件（7）包括螺栓、螺帽，且螺栓贯穿于连接板（6）上，螺帽螺接于螺栓的两端。

4.根据权利要求2所述的一种扩散泵新型冷却装置，其特征在于：所述第一连接圈（4）的半径大于第二连接圈（5）的半径。

5.根据权利要求1所述的一种扩散泵新型冷却装置，其特征在于：所述过滤网（9）为铝合金过滤网，且厚度为三厘米。

6.根据权利要求1所述的一种扩散泵新型冷却装置，其特征在于：所述外壳（2）为铝合金外壳。