CN209210554U - 一种电子级超纯水系统 - Google Patents

Abstract

本实用新型揭示了一种电子级超纯水系统，包括有清洗系统，清洗系统包括清洗水罐和清洗保安过滤器，一级反渗透系统的进水端、二级反渗透系统的进水端、及EDI超纯水单元的进水端分别连接清洗保安过滤器的出水端，一级反渗透系统的浓水出水端设有排水路，二级反渗透系统的浓水出水端设有回流路、及清洗回水路，EDI超纯水单元的浓水出水端设有回流路、及清洗回水路。本实用新型的清洗系统能对反渗透单元和EDI超纯水单元进行正向冲洗，并且其清洗水由二级反渗透系统和EDI超纯水单元的浓水回流，经过处理后达到冲洗水的需求，无需采用终端纯水进行冲洗，节约了冲洗成本，提高了中间净水资源利用率。系统整体构成合理，使用寿命长，维护成本低廉。

Description

一种电子级超纯水系统

技术领域

本实用新型涉及纯水预处理，尤其涉及一种电子级超纯水系统，属于水处理设备的技术领域。

背景技术

纯水指的是不含杂质的H2O。从学术角度讲，纯水又名高纯水，是指化学纯度极高的水，其主要应用在生物、 化学化工、冶金、宇航、电力等领域，但其对水质纯度要求相当高，所以一般应用最普遍的还是电子工业。例如电力系统所用的纯水，要求各杂质含量低达到“微克/升”级。在纯水的制作中，水质标准所规定的各项指标应该根据电子(微电子)元器件(或材料)的生产工艺而定(如普遍认为造成电路性能破坏的颗粒物质的尺寸为其线宽的1/5-1/10)，但由于微电子技术的复杂性和影响产品质量的因素繁多，至今尚无一份由工艺试验得到的适用于某种电路生产的完整的水质标准。随着电子级水标准的不断修订，而且高纯水分析领域的许多突破和发展，新的仪器和新分析方法的不断应用都为制纯水工艺的发展创造了条件。

在高纯水的生产过程中，水中的阴、阳离子可用电渗析法、反渗透法及离子交换树脂技术等去除；水中的颗粒一般可用超过滤、膜过滤等技术去除；水中的细菌，目前国内多采用加药或紫外灯照射或臭氧杀菌的方法去除；水中的TOC则一般用活性炭、反渗透处理。在高纯水应用的领域中，水的纯度直接关系到器件的性能、可靠性、阈值电压，导致低击穿，产生缺陷，还影响材料的少子寿命，因此高纯水要求具有相当高的纯度和精度。

大型的纯水设备一般按流径包括原水箱、加药装置、多介质过滤器、加药装置、活性碳过滤器、全自动软化器、保安过滤器、一级反渗透系统、中间水箱、二级反渗透系统、纯水箱、TOC分解器、脱气膜、精密过滤器、EDI装置、纯水箱、抛光混床、膜过滤器。

传统的纯水设备存在一些缺陷，无法实现对反渗透系统及EDI装置的有效冲洗，而采用终端纯水进行冲洗又浪费资源，另外加药点位置设置不合理。

实用新型内容

本实用新型的目的是解决上述现有技术的不足，针对传统超纯水系统存在的问题，提出一种电子级超纯水系统。

为了达到上述目的，本实用新型所采用的技术方案为：

一种电子级超纯水系统，按照水处理流径依次包括原水箱、原水泵组、多介质过滤器、活性碳过滤器、原水换热器、保安过滤器、反渗透单元、淡水箱、淡水泵、UV杀菌器、EDI进水精密过滤器、EDI超纯水单元、氮封纯水箱、纯水泵、树脂抛光混床、终端过滤器，

所述反渗透单元按照水处理流径依次包括一级泵组、一级反渗透系统、中间水箱、二级泵组、二级反渗透系统，

所述超纯水系统包括有清洗系统，所述清洗系统包括清洗水罐，所述清洗水罐的出水管路上设有清洗保安过滤器，

所述一级反渗透系统的进水端、所述二级反渗透系统的进水端、及所述EDI超纯水单元的进水端分别连接所述清洗保安过滤器的出水端，

所述一级反渗透系统的浓水出水端设有排水路，所述二级反渗透系统的浓水出水端设有连接至所述原水箱的回流路、及连接至所述清洗水罐的清洗回水路，所述EDI超纯水单元的浓水出水端设有连接至所述原水箱的回流路、及连接至所述清洗水罐的清洗回水路。

优选地，所述一级反渗透系统包括一级前道滤组和一级后道滤组，所述一级前道滤组的浓水出水端与所述一级后道滤阻的进水端相连，所述一级前道滤组的净水出水端、及所述一级后道滤阻的净水出水端分别连接所述中间水箱的进水端，

所述二级反渗透系统包括二级前道滤组和二级后道滤组，所述二级前道滤组的浓水出水端与所述二级后道滤阻的进水端相连，所述二级前道滤组的净水出水端、及所述二级后道滤阻的净水出水端分别连接所述淡水箱的进水端。

优选地，所述纯水泵与所述树脂抛光混床之间设有除TOC单元。

优选地，所述原水换热器的进水端设有还原剂加药点。

优选地，所述保安过滤器的进水端设有阻垢剂加药点。

优选地，所述中间水箱的出水端设有加碱加药点。

优选地，所述保安过滤器为5μ级保安过滤器。

优选地，所述EDI进水精密过滤器为0.2μ级保安过滤器。

优选地，所述终端过滤器为0.1μ级过滤器。

本实用新型的有益效果主要体现在：

1.清洗系统能对反渗透单元和EDI超纯水单元进行正向冲洗，并且其清洗水由二级反渗透系统和EDI超纯水单元的浓水回流，经过处理后达到冲洗水的需求，无需采用终端纯水进行冲洗，节约了冲洗成本，提高了中间净水资源利用率。

2.系统整体构成合理，终端纯水达到电子级，满足使用标准，并且具备使用寿命长，维护成本低廉等特点。

附图说明

图1是本实用新型一种电子级超纯水系统的结构示意图。

具体实施方式

本实用新型提供一种电子级超纯水系统。以下结合附图对本实用新型技术方案进行详细描述，以使其更易于理解和掌握。

一种电子级超纯水系统，如图1所示，按照水处理流径依次包括原水箱1、原水泵组2、多介质过滤器3、活性碳过滤器4、原水换热器5、保安过滤器6、反渗透单元7、淡水箱8、淡水泵9、UV杀菌器10、EDI进水精密过滤器11、EDI超纯水单元12、氮封纯水箱13、纯水泵14、树脂抛光混床15、终端过滤器16。

以上超纯水系统的构成属于现有技术，在此不再赘述。

本案中，反渗透单元7按照水处理流径依次包括一级泵组71、一级反渗透系统72、中间水箱73、二级泵组74、二级反渗透系统75。

超纯水系统包括有清洗系统17，清洗系统17包括清洗水罐171，清洗水罐171的出水管路上设有清洗保安过滤器172。该清洗水罐171用于盛装冲洗液及用于给冲洗液加药，而清洗保安过滤器172用于过滤冲洗液中杂质。

细化地，一级反渗透系统72的进水端、二级反渗透系统75的进水端、及EDI超纯水单元12的进水端分别连接清洗保安过滤器172的出水端。

一级反渗透系统72的浓水出水端设有排水路721，二级反渗透系统75的浓水出水端设有连接至原水箱1的回流路751、及连接至清洗水罐171的清洗回水路752，EDI超纯水单元12的浓水出水端设有连接至原水箱1的回流路121、及连接至清洗水罐171的清洗回水路122。

具体地说明，通过清洗保安过滤器172的出水能提供给一级反渗透系统72、二级反渗透系统75、EDI超纯水单元12的正向冲洗，而一级反渗透系统72的冲洗回流液直接排出，二级反渗透系统75和EDI超纯水单元12的冲洗回流液可回流至原水箱1或者清洗水罐171中进行循环。提高了水资源的利用率。无需采用终端纯水进行冲洗，降低冲洗成本。

对整个方案进行细化，保安过滤器为5μ级保安过滤器。EDI进水精密过滤器为0.2μ级保安过滤器。终端过滤器为0.1μ级过滤器，清洗保安过滤器172为0.5μ级保安过滤器。

本案的优选实施例中，一级反渗透系统72包括一级前道滤组和一级后道滤组，一级前道滤组的浓水出水端与一级后道滤阻的进水端相连，一级前道滤组的净水出水端、及一级后道滤阻的净水出水端分别连接中间水箱的进水端，二级反渗透系统包括二级前道滤组和二级后道滤组，二级前道滤组的浓水出水端与二级后道滤阻的进水端相连，二级前道滤组的净水出水端、及二级后道滤阻的净水出水端分别连接淡水箱的进水端。

如此设计能增加反渗透单元7的原水利用率。

另一个方案中，纯水泵14与树脂抛光混床15之间设有除TOC单元18，该TOC单元18为用于消除TOC的紫外设备，其与UV杀菌器10能相互补充，提高纯水的净化率。

本案中，原水换热器5的进水端设有还原剂加药点。保安过滤器6的进水端设有阻垢剂加药点。中间水箱73的出水端设有加碱加药点。如此设计更合理。

通过以上描述可以发现，本实用新型一种电子级超纯水系统，清洗系统能对反渗透单元和EDI超纯水单元进行正向冲洗，并且其清洗水由二级反渗透系统和EDI超纯水单元的浓水回流，经过处理后达到冲洗水的需求，无需采用终端纯水进行冲洗，节约了冲洗成本，提高了中间净水资源利用率。系统整体构成合理，易于实现，终端纯水达到电子级，满足使用标准，并且具备使用寿命长，维护成本低廉等特点。

以上对本实用新型的技术方案进行了充分描述，需要说明的是，本实用新型的具体实施方式并不受上述描述的限制，本领域的普通技术人员依据本实用新型的精神实质在结构、方法或功能等方面采用等同变换或者等效变换而形成的所有技术方案，均落在本实用新型的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种电子级超纯水系统，按照水处理流径依次包括原水箱、原水泵组、多介质过滤器、活性碳过滤器、原水换热器、保安过滤器、反渗透单元、淡水箱、淡水泵、UV杀菌器、EDI进水精密过滤器、EDI超纯水单元、氮封纯水箱、纯水泵、树脂抛光混床、终端过滤器，

其特征在于：

所述反渗透单元按照水处理流径依次包括一级泵组、一级反渗透系统、中间水箱、二级泵组、二级反渗透系统，

所述超纯水系统包括有清洗系统，所述清洗系统包括清洗水罐，所述清洗水罐的出水管路上设有清洗保安过滤器，

所述一级反渗透系统的进水端、所述二级反渗透系统的进水端、及所述EDI超纯水单元的进水端分别连接所述清洗保安过滤器的出水端，

所述一级反渗透系统的浓水出水端设有排水路，所述二级反渗透系统的浓水出水端设有连接至所述原水箱的回流路、及连接至所述清洗水罐的清洗回水路，所述EDI超纯水单元的浓水出水端设有连接至所述原水箱的回流路、及连接至所述清洗水罐的清洗回水路。

2.根据权利要求1所述一种电子级超纯水系统，其特征在于：

所述一级反渗透系统包括一级前道滤组和一级后道滤组，所述一级前道滤组的浓水出水端与所述一级后道滤阻的进水端相连，所述一级前道滤组的净水出水端、及所述一级后道滤阻的净水出水端分别连接所述中间水箱的进水端，

所述二级反渗透系统包括二级前道滤组和二级后道滤组，所述二级前道滤组的浓水出水端与所述二级后道滤阻的进水端相连，所述二级前道滤组的净水出水端、及所述二级后道滤阻的净水出水端分别连接所述淡水箱的进水端。

3.根据权利要求1所述一种电子级超纯水系统，其特征在于：

所述纯水泵与所述树脂抛光混床之间设有除TOC单元。

4.根据权利要求1所述一种电子级超纯水系统，其特征在于：

所述原水换热器的进水端设有还原剂加药点。

5.根据权利要求1所述一种电子级超纯水系统，其特征在于：

所述保安过滤器的进水端设有阻垢剂加药点。

6.根据权利要求1所述一种电子级超纯水系统，其特征在于：

所述中间水箱的出水端设有加碱加药点。

7.根据权利要求1所述一种电子级超纯水系统，其特征在于：

所述保安过滤器为5μ级保安过滤器。

8.根据权利要求1所述一种电子级超纯水系统，其特征在于：

所述EDI进水精密过滤器为0.2μ级保安过滤器。

9.根据权利要求1所述一种电子级超纯水系统，其特征在于：

所述终端过滤器为0.1μ级过滤器。