CN209199883U - 一种集成电路封测凸块供气管路 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了空气动力供应设备领域内的一种集成电路封测凸块供气管路，包括2台并联设置的储气罐一，储气罐一的进气口与空压系统相连，储气罐的出气口与过滤系统相连，所述过滤系统包括3条并联设置的过滤管路，过滤管路上依次设置有AO过滤器、冷干机、AA过滤器一、吸干机、AR过滤器和AA过滤器二，AA过滤器二的出气口与用气管网相连；任意一条所述过滤管路上靠近AO过滤器的一端设有压力传感器，所述过滤管路靠近AA过滤器二的一端设有控制器；任意一条所述过滤管路上AA过滤器一的出气口与AR过滤器的进气口之间设有旁通管路一，旁通管路一上设有电动阀门，所述控制器与电动阀门相连接。本实用新型能够保证气源稳定供应。
Description
技术领域
本实用新型属于空气动力供应设备领域，特别涉及一种集成电路封测凸块供气管路。
背景技术
半导体生产流程由晶圆制造、晶圆测试、芯片封装和封装后测试组成。半导体封装测试是指将通过测试的晶圆按照产品型号及功能需求加工得到独立芯片的过程。IC芯片是将大量的微电子元器件(晶体管、电阻、电容等)形成的集成电路放在一块塑基上，做成一块芯片。在IC芯片生产车间，为了防止污染芯片，要求用气机台设备提供的空气是干净的，空气中不能含有大颗粒的杂质，因此需要对用气机台供应纯净的气源。供气管路是指气瓶至用气终端之间的连接管线，随着公司新进的用气机台数量增多，用气需求量日渐增大，当冷干机故障、过滤器脏堵或者需要设备保养时，往往需要停机进行保养，无法保证气源稳定供应，影响了车间的正常生产。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种集成电路封测凸块供气管路，能够在出现异常情况时，切换到旁通管路一直接进行供气，无需停机进行保养，保证气源稳定供应。
本实用新型的目的是这样实现的：一种集成电路封测凸块供气管路，包括2台并联设置的储气罐一，储气罐一的进气口与空压系统相连，储气罐的出气口与过滤系统相连，所述过滤系统包括3条并联设置的过滤管路，过滤管路上依次设置有AO过滤器、冷干机、AA过滤器一、吸干机、AR过滤器和AA过滤器二，AA过滤器二的出气口与用气管网相连；任意一条所述过滤管路上靠近AO过滤器的一端设有压力传感器，所述过滤管路靠近AA过滤器二的一端设有控制器；任意一条所述过滤管路上AA过滤器一的出气口与AR过滤器的进气口之间设有旁通管路一，旁通管路一上设有电动阀门，所述控制器与电动阀门相连接。
本实用新型工作时，空压系统将储气罐一内的空气压入过滤系统，空气经过AO过滤器滤去大颗粒的水滴，冷干机对空气中水分干燥，AA过滤器、AR过滤器对小颗粒的粉尘进行过滤，吸干机进行干燥，经过过滤、干燥后的空气进入用气管网；控制器对压力传感器进行压力检测，当检测到压力下降到6.5kg/cm2时自动打开电动阀门直接供气，空气通过旁通管路一进入用气管网，保证供气稳定。与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：对储气罐一的出气口进行压力监控，更加及时地反馈管路压力；当冷干机故障、过滤器脏堵或者设备需要保养时，切换旁通管路一供应气源，无需停机进行保养，保证气源稳定供应；增加供气稳定性；异常情况发生时，在保证系统稳定及车间正常用气情况下能够有充足时间检修；电动阀门控制，操作简便。
作为本实用新型的进一步改进，所述空压系统包括3条并联设置的空压管路，空压管路上依次设置有空气过滤器、空压机和常开阀门一。经过空气过滤器过滤后，空气进入储气罐一。
作为本实用新型的进一步改进，所述储气罐一设置在储气管路上，储气管路位于储气罐一的前端和后端均设有常开阀门二，与2条储气管路相并联设置有常闭阀门管路，常闭阀门管路上设有常闭阀门一，3条空压管路与2条储气管路、常闭阀门管路一一对应相连。常闭阀门一始终关闭，常闭阀门管路不通，3条空压管路通过2条储气管路将储气罐一内的空气压出。
作为本实用新型的进一步改进，所述过滤管路上靠近AO过滤器的进气口处设有常开阀门三，AO过滤器和冷干机之间设有切换阀门，冷干机和AA过滤器一之间设有常开阀门三，AA过滤器一和吸干机之间设有常开阀门三，靠近AA过滤器二的出气口处设有常开阀门三。过滤系统中有1条过滤管路上的切换阀门关闭，有2条过滤管路上的切换阀门打开，即2条过滤管路工作，1条过滤管路备用。
作为本实用新型的进一步改进，所述用气管网与AA过滤器二的出气口之间设有2条并联的出气管路，其中一条出气管路上设有储气罐二，出气管路上位于储气罐二的两端均设有常开阀门四， 储气罐二的进气口和出气口之间连接有旁通管路二，旁通管路二上设有常闭阀门二。常闭阀门二始终关闭，旁通管路二不通，过滤系统过滤后的空气通过2条并联的出气管路进入用气管网。
作为本实用新型的进一步改进，所述用气管网具有2进气口，2个进气口分别与2条出气管路一一对应相连。
附图说明
图1为本实用新型的结构示意图。
图2为空压系统和储气罐一的放大图。
其中，1储气罐一，2过滤管路，3AO过滤器，4冷干机，5AA过滤器一，6吸干机，7AR过滤器，8AA过滤器二，9用气管网，10压力传感器，11控制器，12旁通管路一， 13电动阀门，14空压管路，15空气过滤器，16空压机，17常开阀门一，18储气管路，19常开阀门二，20常闭阀门管路，21常闭阀门一，22常开阀门三，23切换阀门，24出气管路，25储气罐二，26常开阀门四，27常闭阀门二，28旁通管路二。
具体实施方式
如图1和2所示，为一种集成电路封测凸块供气管路，包括2台并联设置的储气罐一1，储气罐一1的进气口与空压系统相连，储气罐的出气口与过滤系统相连，所述过滤系统包括3条并联设置的过滤管路2，过滤管路2上依次设置有AO过滤器3、冷干机4、AA过滤器一5、吸干机6、AR过滤器7和AA过滤器二8，AA过滤器二8的出气口与用气管网9相连；任意一条过滤管路2上靠近AO过滤器3的一端设有压力传感器10，过滤管路2靠近AA过滤器二8的一端设有控制器11；任意一条过滤管路2上AA过滤器一5的出气口与AR过滤器7的进气口之间设有旁通管路一12，旁通管路一12上设有电动阀门13，控制器11与电动阀门13相连接。所述空压系统包括3条并联设置的空压管路14，空压管路14上依次设置有空气过滤器15、空压机16和常开阀门一17。储气罐一1设置在储气管路18上，储气管路18位于储气罐一1的前端和后端均设有常开阀门二19，与2条储气管路18相并联设置有常闭阀门管路20，常闭阀门管路20上设有常闭阀门一21，3条空压管路14与2条储气管路18、常闭阀门管路20一一对应相连。过滤管路2上靠近AO过滤器3的进气口处设有常开阀门三22，AO过滤器3和冷干机4之间设有切换阀门23，冷干机4和AA过滤器一5之间设有常开阀门三22，AA过滤器一5和吸干机6之间设有常开阀门三22，靠近AA过滤器二8的出气口处设有常开阀门三22。用气管网9与AA过滤器二8的出气口之间设有2条并联的出气管路24，其中一条出气管路24上设有储气罐二25，出气管路24上位于储气罐二25的两端均设有常开阀门四26， 储气罐二25的进气口和出气口之间连接有旁通管路二28，旁通管路二28上设有常闭阀门二27。用气管网9具有2进气口，2个进气口分别与2条出气管路24一一对应相连。
本系统工作时，经过空气过滤器15过滤后，空气进入储气罐一1，常闭阀门一21始终关闭，常闭阀门管路20不通，3条空压管路14通过2条储气管路18将储气罐一1内的空气压出，过滤系统中有1条过滤管路2上的切换阀门23关闭，有2条过滤管路2上的切换阀门23打开，即2条过滤管路2工作，1条过滤管路2备用；空气经过AO过滤器3滤去大颗粒的水滴，冷干机4对空气中水分干燥，AA过滤器、AR过滤器7对小颗粒的粉尘进行过滤，吸干机6进行干燥，经过过滤、干燥后的空气进入用气管网9；控制器11对压力传感器10进行压力检测，当检测到压力下降到6.5kg/cm2时自动打开电动阀门13直接供气，空气通过旁通管路一12进入用气管网9，保证供气稳定。本系统的优点在于：对储气罐一1的出气口进行压力监控，更加及时地反馈管路压力；当冷干机4故障、过滤器脏堵或者设备需要保养时，切换旁通管路一12供应气源，无需停机进行保养，保证气源稳定供应；增加供气稳定性；异常情况发生时，在保证系统稳定及车间正常用气情况下能够有充足时间检修；电动阀门13控制，操作简便。
本实用新型并不局限于上述实施例，在本实用新型公开的技术方案的基础上，本领域的技术人员根据所公开的技术内容，不需要创造性的劳动就可以对其中的一些技术特征作出一些替换和变形，这些替换和变形均在本实用新型的保护范围内。
Claims (6)
1.一种集成电路封测凸块供气管路，其特征在于，包括2台并联设置的储气罐一，储气罐一的进气口与空压系统相连，储气罐的出气口与过滤系统相连，所述过滤系统包括3条并联设置的过滤管路，过滤管路上依次设置有AO过滤器、冷干机、AA过滤器一、吸干机、AR过滤器和AA过滤器二，AA过滤器二的出气口与用气管网相连；任意一条所述过滤管路上靠近AO过滤器的一端设有压力传感器，所述过滤管路靠近AA过滤器二的一端设有控制器；任意一条所述过滤管路上AA过滤器一的出气口与AR过滤器的进气口之间设有旁通管路一，旁通管路一上设有电动阀门，所述控制器与电动阀门相连接。
2.根据权利要求1所述的一种集成电路封测凸块供气管路，其特征在于，所述空压系统包括3条并联设置的空压管路，空压管路上依次设置有空气过滤器、空压机和常开阀门一。
3.根据权利要求2所述的一种集成电路封测凸块供气管路，其特征在于，所述储气罐一设置在储气管路上，储气管路位于储气罐一的前端和后端均设有常开阀门二，与2条储气管路相并联设置有常闭阀门管路，常闭阀门管路上设有常闭阀门一，3条空压管路与2条储气管路、常闭阀门管路一一对应相连。
4.根据权利要求1-3任一项所述的一种集成电路封测凸块供气管路，其特征在于，所述过滤管路上靠近AO过滤器的进气口处设有常开阀门三，AO过滤器和冷干机之间设有切换阀门，冷干机和AA过滤器一之间设有常开阀门三，AA过滤器一和吸干机之间设有常开阀门三，靠近AA过滤器二的出气口处设有常开阀门三。
5.根据权利要求1-3任一项所述的一种集成电路封测凸块供气管路，其特征在于，所述用气管网与AA过滤器二的出气口之间设有2条并联的出气管路，其中一条出气管路上设有储气罐二，出气管路上位于储气罐二的两端均设有常开阀门四， 储气罐二的进气口和出气口之间连接有旁通管路二，旁通管路二上设有常闭阀门二。
6.根据权利要求5所述的一种集成电路封测凸块供气管路，其特征在于，所述用气管网具有2进气口，2个进气口分别与2条出气管路一一对应相连。
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| CN201821996488.8U CN209199883U (zh) | 2018-11-30 | 2018-11-30 | 一种集成电路封测凸块供气管路 |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110594592A (zh) * | 2019-10-24 | 2019-12-20 | 衢州职业技术学院 | 一种节能型多空压机供气系统 |
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2018
- 2018-11-30 CN CN201821996488.8U patent/CN209199883U/zh active Active
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| CN110594592A (zh) * | 2019-10-24 | 2019-12-20 | 衢州职业技术学院 | 一种节能型多空压机供气系统 |
| CN110594592B (zh) * | 2019-10-24 | 2021-04-13 | 衢州职业技术学院 | 一种节能型多空压机供气系统 |
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