CN209197899U - 光电探测器的测试装置和系统 - Google Patents
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Abstract
本申请公开了一种光电探测器的测试装置，包括：支撑件，设置有用以固定待测探测器的第一固定件和用以固定标准探测器的第二固定件，所述第一固定件和第二固定件位于第一方向；运动平台，作用于所述支撑件，并可带动所述支撑件在第一方向上移动。本申请还公开了一种光电探测器的测试系统及应用。本实用新型装置在一次测试过程中能够实现待测探测器的测试和与标准探测器的比对，能有效避免XY位置及角度的偏离，同时避免拔插探测器造成的静电损伤。
Description
技术领域
本申请涉及一种光电探测器的测试装置和系统，特别涉及一种测试近红外/短波红外探测器TO封装后的光谱测试方法，属于半导体器件测试领域。
背景技术
不同的材料制成的红外探测器响应波段不同，例如硅光电二极管响应范围在700～1000nm，而晶格匹配的In0.53Ga0.47As光电探测器截止波长为1700nm。另外，FTIR测量的响应和峰值与探测器光敏面和激光的角度和距离有关。
目前的测试方法只能进行单次测量，需要进行两次或更多；测试完标准探测器后拔下换待测探测器，容易对TO造成ESD损坏，造成角度、高度的偏离甚至对探测器造成破坏性的静电损伤。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种光电探测器的测试装置和系统，以满足在一次测试过程中能够实现待测探测器的测试和与标准探测器的比对。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：
本申请实施例公开一种光电探测器的测试装置，包括：
支撑件，设置有用以固定待测探测器的第一固定件和用以固定标准探测器的第二固定件，所述第一固定件和第二固定件位于第一方向；
运动平台，作用于所述支撑件，并可带动所述支撑件在第一方向上移动。
优选的，在上述的光电探测器的测试装置中，第一方向为竖直方向。
优选的，在上述的光电探测器的测试装置中，所述支撑件为一支撑板，所述第一固定件和第二固定件形成于所述支撑板的同一表面。
优选的，在上述的光电探测器的测试装置中，所述支撑板为PCB板，
所述PCB板上设置有第一端子和第二端子，所述第一端子和第一固定件之间设置有电连接线路，所述第二端子和第二固定件之间设置有电连接线路。
优选的，在上述的光电探测器的测试装置中，第一端子和第二端子靠近所述PCB板的边缘设置。
优选的，在上述的光电探测器的测试装置中，所述第一端子和第二端子均为排插端子。
优选的，在上述的光电探测器的测试装置中，所述运动平台包括一水平设置的底板、支撑于底板上的竖直升降装置、以及固定于竖直升降装置顶端的板夹，PCB板竖直固定于板夹上。
优选的，在上述的光电探测器的测试装置中，所述第一固定件和第二固定件相同。
相应的，本申请还公开了一种光电探测器的测试系统，包括：
所述的光电探测器的测试装置；
FTIR光谱仪。
本申请还公开了所述的光电探测器的测试装置，用于近红外/短波红外探测器TO封装后的光谱测试。
与现有技术相比，本实用新型的优点在于：本实用新型装置在一次测试过程中能够实现待测探测器的测试和与标准探测器的比对，能有效避免XY位置及角度的偏离，同时避免拔插探测器造成的静电损伤。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请中记载的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1所示为本实用新型具体实施例中光电探测器的测试装置的结构示意图。
具体实施方式
下面将结合附图对本实用新型的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
结合图1所示，本申请的一实施例中，提供一种光电探测器的测试系统，包括光电探测器的测试装置10和FTIR光谱仪20。
FTIR光谱仪20通过获取待测探测器的响应曲线实现检测过程。
在优选的实施例中，测试系统用于近红外/短波红外探测器TO封装后的光谱测试。
进一步地，光电探测器的测试装置10可以在一次测试过程中能够实现待测探测器的测试和与标准探测器的比对。
光电探测器的测试装置10包括支撑件101和运动平台102，运动平台102作用于支撑件101，并可带动支撑件101在竖直方向上移动。
支撑件101上设置有用以固定待测探测器的第一固定件103和用以固定标准探测器的第二固定件104，第一固定件103和第二固定件104沿竖直方向设置。
该技术方案中，运动平台102优选为单轴运动平台，更优选为：仅仅能实现带动支撑件101在竖直方向移动。
在一实施例中，支撑件101为一支撑板，第一固定件103和第二固定件104形成于支撑板的同一表面。
进一步地，支撑板为PCB板，PCB板上设置有第一端子105和第二端子106，第一端子105和第一固定件103之间设置有电连接线路107，第二端子106和第二固定件104之间设置有电连接线路108。
在优选的实施例中，第一端子105和第二端子106靠近PCB板的边缘设置。
该技术方案中，第一端子105和第二端子106设置于边缘，可以通过引出BNC线109、110至FTIR外接探测器20。
在一实施例中，标准探测器和待测探测器上下设置，第一端子105和第二端子106水平并列设置于PCB板的底端边缘。
在优选的实施例中，第一端子105和第二端子106均为排插端子。
运动平台102包括一水平设置的底板1021、支撑于底板1021上的竖直升降装置1022、以及固定于竖直升降装置1022顶端的板夹1023，PCB板竖直固定于板夹1023上。
竖直升降装置可以为油缸、气缸等，PCB固定于伸缩杆的末端，工作时，竖直升降装置带动PCB板、待测探测器、标准探测器整体上下移动。
在优选的实施例中，第一固定件103和第二固定件104结构相同。
待测探测器和标准探测器在安装固定后，其光敏面的角度、以及光敏面与支撑面之间的距离相同，确保待测探测器和标准探测器处于相同的检测条件。
待测探测器和标准探测器安装后，光敏面均背离支撑件101的支撑面。
该技术方案中，固定件对探测器的固定方式可以采用常用的夹持、吸附、插接等方式，本案并不限制。
在优选的实施例中，第一固定件103和第二固定件104均为TO管座。
在其他实施例中，第一固定件103和第二固定件104也可以位于水平方向，或者与水平方向呈一定角度的其他方向，本案目的在于，通过一个轴方向的移动，依次实现标准探测器和待测探测器的检测，同时检测过程中可以控制光源与探测器光敏面之间的距离、角度相同。
本案中，可将标准探测器固定在第二固定件104位置，更换第一固定件103位置探测器进行测试比对。测试时除了调节竖直升降装置，需要更换BNC线109和BNC线110处的BNC接头。
本实施例的工作原理在于：
(1)、将标准探测器固定于第一固定件103上，将待测探测器固定于第二固定件104上，固定后，标准探测器位于待测探测器的正上方，且标准探测器和待测探测器的光敏面均面向FTIR光谱仪的激光光源，且标准探测器和待测探测器的光敏面的角度相同、与PCB板之间的距离相同；
(2)、将第二端子106引出BNC线109至相应的FTIR外接探测器20，其中正极接BNC线内芯，负极接BNC线外壳，调节支撑件101高度，使得标准探测器面向激光；开始FTIR测试，扫得响应曲线；
(3)、将第一端子105引出BNC线110至相应的FTIR外接探测器20，其中正极接BNC线内芯，负极接BNC线外壳，调节支撑件101高度，使得待测探测器面向激光；再次FTIR测试，扫得响应曲线；
本案测试时只需要更换BNC线109、110的插线并对竖直方向高度进行调节，能有效避免XY位置及角度的偏离，同时避免拔插探测器造成的静电损伤。
最后应说明的是：以上各实施例仅用以说明本实用新型的技术方案，而非对其限制；尽管参照前述各实施例对本实用新型进行了详细的说明，本领域的普通技术人员应当理解：其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分或者全部技术特征进行等同替换；而这些修改或者替换，并不使相应技术方案的本质脱离本实用新型各实施例技术方案的范围。
Claims (9)
1.一种光电探测器的测试装置，其特征在于，包括：
支撑件，设置有用以固定待测探测器的第一固定件和用以固定标准探测器的第二固定件，所述第一固定件和第二固定件位于第一方向；
运动平台，作用于所述支撑件，并可带动所述支撑件在第一方向上移动。
2.根据权利要求1所述的光电探测器的测试装置，其特征在于，第一方向为竖直方向。
3.根据权利要求1或2所述的光电探测器的测试装置，其特征在于，所述支撑件为一支撑板，所述第一固定件和第二固定件形成于所述支撑板的同一表面。
4.根据权利要求3所述的光电探测器的测试装置，其特征在于，所述支撑板为PCB板，
所述PCB板上设置有第一端子和第二端子，所述第一端子和第一固定件之间设置有电连接线路，所述第二端子和第二固定件之间设置有电连接线路。
5.根据权利要求4所述的光电探测器的测试装置，其特征在于，第一端子和第二端子靠近所述PCB板的边缘设置。
6.根据权利要求5所述的光电探测器的测试装置，其特征在于，所述第一端子和第二端子均为排插端子。
7.根据权利要求2所述的光电探测器的测试装置，其特征在于，所述运动平台包括一水平设置的底板、支撑于底板上的竖直升降装置、以及固定于竖直升降装置顶端的板夹，PCB板竖直固定于板夹上。
8.根据权利要求1所述的光电探测器的测试装置，其特征在于，所述第一固定件和第二固定件相同。
9.一种光电探测器的测试系统，其特征在于，包括：
权利要求1所述的光电探测器的测试装置；
FTIR光谱仪。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201821633257.0U CN209197899U (zh) | 2018-10-09 | 2018-10-09 | 光电探测器的测试装置和系统 |
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| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201821633257.0U CN209197899U (zh) | 2018-10-09 | 2018-10-09 | 光电探测器的测试装置和系统 |
Publications (1)
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| CN209197899U true CN209197899U (zh) | 2019-08-02 |
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Family Applications (1)
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| CN201821633257.0U Active CN209197899U (zh) | 2018-10-09 | 2018-10-09 | 光电探测器的测试装置和系统 |
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| CN (1) | CN209197899U (zh) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111609877A (zh) * | 2020-05-28 | 2020-09-01 | 上海三达电子科技有限公司 | 一种光学探测器的测试装置 |
| CN113188580A (zh) * | 2021-03-29 | 2021-07-30 | 深圳市华怡丰科技有限公司 | 一种光电传感器校准装置 |
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2018
- 2018-10-09 CN CN201821633257.0U patent/CN209197899U/zh active Active
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