CN209148706U - 一种超高真空系统传样装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种超高真空系统传样装置，包括真空腔，分别与真空腔密封连接的手阀、离子泵、传样设备和观察窗，所述真空腔内设置有样品架，真空腔上安装有连接并控制样品架升降和转动的二维调节机构，样品架包括中心轴和安装板，中心轴外表面与安装板固定连接，安装板高度方向与中心轴轴向平行，安装板为多个且沿中心轴周向均匀排布，每个安装板上沿其高度方向设有依次排布的多个窗口，样品架升降和转动状态下，将不同窗口切换至手阀与传样设备的中心连线上，用于样品存取；本实用新型通过切换各安装板的位置，实现多组样品的存取。

Description

一种超高真空系统传样装置

技术领域

本实用新型属于真空设备技术领域，具体是涉及一种超高真空系统传样装置。

背景技术

超高真空系统是指在人造超高真空环境下，对不同类型的样品进行生长、表征和测量的系统；样品在超高真空系统中制备完成后，为了保证其性质稳定，通常需要在不破坏超高真空的环境中进行测试和分析；样品转移的方法一般为：先在真空腔内通入惰性气体做保护气，再将样品取出并快速放入干净的样品盒或真空箱中；或者先在样品上镀上一层保护膜再拿出等；每种方法都不能避免“开腔取样”这一操作步骤，使样品暴露于非真空的气体环境，导致气体吸附到样品表面，都会一定程度的污染样品；目前，还没有一种能够在不破坏超高真空环境的前提下，实现样品在不同超高真空系统间转移的便携式设备。

中国实用新型专利《一种超高真空样品转移设备》（公开号：203849265U；公开日：2014年9月24日）中公开了一种超高真空样品转移设备，其包括样品转移腔；样品转移腔包括真空腔，分别与真空腔密封连接的手阀、离子泵、传样设备、储藏室、观察窗和密封装置，其中，传样设备包括用于夹紧样品并控制样品移动和转动的磁力传样杆，样品储藏室包括：用于存放样品的柱形腔体和控制样品移动的可升降样品台；通过分析可知，该超高真空样品转移设备通过操作可升降样品台，将一组样品沿高度方向叠放在柱形腔体内，导致该超高真空样品转移设备能够储存及传递的样品有限。

发明内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种超高真空系统传样装置，通过样品架的升降和转动，将不同窗口切换至手阀与传样设备的中心连线上，实现多组样品的存取，从而提高本实用新型的工作效率。

为了达到上述目的，本实用新型一种超高真空系统传样装置，包括真空腔，分别与真空腔密封连接的手阀、离子泵、传样设备和观察窗，所述真空腔内设置有样品架，真空腔上安装有连接并控制样品架升降和转动的二维调节机构，样品架包括中心轴和安装板，中心轴外表面与安装板固定连接，安装板高度方向与中心轴轴向平行，安装板为多个且沿中心轴周向均匀排布，每个安装板上沿其高度方向设有依次排布的多个窗口，样品架升降和转动状态下，将不同窗口切换至手阀与传样设备的中心连线上，用于样品存取。

进一步，所述样品架还包括托板，托板水平穿过窗口且与窗口下侧边固定连接，每个窗口对应一个托板，托板用于托放样品。

进一步，所述安装板为四个。

进一步，所述传样设备和二维调节机构均为磁力传样杆，传样设备具有与真空腔密封连接的第一外管和伸入真空腔内部的第一驱动管，二维调节机构具有与真空腔密封连接的第二外管和伸入真空腔内部的第二驱动管。

进一步，所述手阀和传样设备分别对应在真空腔左右两侧，离子泵和观察窗分别对应在真空腔前后两侧，二维调节机构密封连接于真空腔上侧，中心轴上端与第二驱动管下端固定连接。

本实用新型的有益效果在于：

1.本实用新型一种超高真空系统传样装置有利于提高工作效率；这里，每个安装板对应一组样品；通过样品架的升降，实现同一组样品中不同样品存储；通过样品架的转动，切换各安装板的位置，实现不同组样品存储。

2.本实用新型一种超高真空系统传样装置进一步优化了整体结构；这里，每个窗口对应一个托板，通过托板托放样品，因此，安装板的厚度可以进一步降低，从而降低本实用新型整体的重量。

3.本实用新型一种超高真空系统传样装置所述安装板为四个，即任相邻两个安装板之间的夹角为90度，样品架只需以90度的倍数进行旋转即可实现不同组样品的切换，当其中一个安装板垂直于手阀与传样设备的中心连线上时，与该安装板相邻的其他安装板均不会对传样设备的运动产生干涉。

附图说明

为了使本实用新型的目的、技术方案和有益效果更加清楚，本实用新型提供如下附图进行说明：

图1为本实用新型一种超高真空系统传样装置的俯视图；

图2为本实用新型一种超高真空系统传样装置的正视图；

图3为本实用新型一种超高真空系统传样装置所述样品架的正视图；

图4为本实用新型一种超高真空系统传样装置所述样品架的俯视图。

附图标记：1-真空腔；2-手阀；3-离子泵；4-传样设备；5-观察窗；6-样品架；7-二维调节机构；41-第一外管；42-第一驱动管；61-中心轴；62-安装板；63-托板；71-第二外管；72-第二驱动管；621-窗口。

具体实施方式

下面将结合附图，对本实用新型的优选实施例进行详细的描述。

如图1至图4所示；本实用新型一种超高真空系统传样装置，包括真空腔1，分别与真空腔1密封连接的手阀2、离子泵3、传样设备4和观察窗5，这里所述的密封连接均为法兰密封连接；真空腔1内设置有样品架6，真空腔1上安装有连接并控制样品架6升降和转动的二维调节机构7，其中，样品架6包括中心轴61和安装板62，中心轴61外表面与安装板62固定连接，安装板62高度方向与中心轴61轴向平行，安装板62为多个且沿中心轴61周向均匀排布，使得多个安装板62呈辐射状，具体地，安装板62使用四个；每个安装板62上沿其高度方向设有依次排布的多个窗口621；样品架6升降和转动状态下，将不同窗口621切换至手阀2与传样设备4的中心连线上，用于样品存取；这里所述的传样设备4和二维调节机构7均采用磁力传样杆，具体地，传样设备4具有与真空腔1密封连接的第一外管41和伸入真空腔1内部的第一驱动管42，二维调节机构7具有与真空腔1密封连接的第二外管71和伸入真空腔1内部的第二驱动管72。磁力传样杆亦称磁结合直线旋转驱动器，为真空系统基本零部件，这里不再赘述。

优选地，样品架6还包括托板63，托板63水平穿过窗口621且与窗口621下侧边固定连接，每个窗口621对应一个托板63，托板63用于托放样品。

为了使本实施方式结构紧凑，手阀2和传样设备4分别对应在真空腔1左右两侧，离子泵3和观察窗5分别对应在真空腔1前后两侧，二维调节机构7密封连接于真空腔1上侧，即中心轴61上端与第二驱动管72下端固定连接。

每个安装板62对应一组样品；通过样品架6的转动，切换各安装板62的位置，实现不同组样品的切换；通过样品架6的升降，实现同一组样品中不同样品存储。

单组存放样品时：手阀2打开，步骤一：第一驱动管42向左侧穿过其中一个窗口621，先将待存放的样品用夹住；步骤二：第一驱动管42向右退回至该窗口621处，然后将该样品放置在托板63上，实现该样品的存放；步骤三：第一驱动管42继续向右运动从窗口621中退出；步骤四：通过第二驱动管72带动样品架6上升，将位于该窗口621下方的另一个窗口621切换至手阀2与传样设备4的中心连线上，重复步骤一到步骤三，完成另一个待存放的样品的存放。安装类似步骤，将同一组样品的个样品分别放置在同一个安装板62的各托板63上。

多组样品存放时：通过第二驱动管72带动样品架6以90度的倍数进行旋转，切换各安装板62的位置，每个安装板62上样品的存放可参照单组存放样品的步骤进行。

最后说明的是，以上优选实施例仅用以说明本实用新型的技术方案而非限制，尽管通过上述优选实施例已经对本实用新型进行了详细的描述，但本领域技术人员应当理解，可以在形式上和细节上对其作出各种各样的改变，而不偏离本实用新型权利要求书所限定的范围。

Claims (5)

1.一种超高真空系统传样装置，包括真空腔，分别与真空腔密封连接的手阀、离子泵、传样设备和观察窗，其特征在于：所述真空腔内设置有样品架，真空腔上安装有连接并控制样品架升降和转动的二维调节机构，样品架包括中心轴和安装板，中心轴外表面与安装板固定连接，安装板高度方向与中心轴轴向平行，安装板为多个且沿中心轴周向均匀排布，每个安装板上沿其高度方向设有依次排布的多个窗口，样品架升降和转动状态下，将不同窗口切换至手阀与传样设备的中心连线上，用于样品存取。

2.如权利要求1所述的一种超高真空系统传样装置，其特征在于：所述样品架还包括托板，托板水平穿过窗口且与窗口下侧边固定连接，每个窗口对应一个托板，托板用于托放样品。

3.如权利要求1或2所述的一种超高真空系统传样装置，其特征在于：所述安装板为四个。

4.如权利要求1或2所述的一种超高真空系统传样装置，其特征在于：所述传样设备和二维调节机构均为磁力传样杆，传样设备具有与真空腔密封连接的第一外管和伸入真空腔内部的第一驱动管，二维调节机构具有与真空腔密封连接的第二外管和伸入真空腔内部的第二驱动管。

5.如权利要求4所述的一种超高真空系统传样装置，其特征在于：所述手阀和传样设备分别对应在真空腔左右两侧，离子泵和观察窗分别对应在真空腔前后两侧，二维调节机构密封连接于真空腔上侧，中心轴上端与第二驱动管下端固定连接。