CN113291724A - 一种超高真空电动样品传样杆 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种超高真空电动样品传样杆，设置在取样腔内，包括传样杆本体，所述传样杆本体包括主传样杆、可拆卸固定在主传样杆端部的样品托、固定在主传样杆两侧的限位架；所述主传样杆底部设置有从动机构，所述取样腔一侧设置有由取样腔外伸入取样腔内的主动机构，所述主动机构与从动机构连接；所述取样腔内设置有用于限位架穿过的限位件，所述限位件与限位架滑动连接。在主传样杆移动过程中，限位件限制限位架的运动轨迹，保证主传样杆直线传样至指定位点。通过主动机构带动从动机构运动实现传样杆的传样工作，相较于手动操控传样杆采用本方法操控更加稳定、误差也较小。
Description
技术领域
本发明涉及真空样品输送技术领域，更具体地说，涉及一种超高真空电动样品传样杆。
背景技术
金属、氧化物纳米团簇由于量子尺寸效应，造成电子、能带结构的变化。通过控制纳米团簇尺寸的制备，可以实现不同用途的功能材料，如生物医学、气体传感、光催化、抗辐照特性等，广泛用于工件表面的掺杂、蚀刻、清洁、平滑以及薄膜沉积。对于团簇沉积的制备，通常有水热合成方法及高压磁控溅射方法。相比于水热合成，高压磁控溅射沉积方法制备的纳米团簇具有尺寸可控、无其它杂相，方法简单等特点。
沉积过程在沉积室内完成，样品通过传样杆送入沉积室内，现有的传递管多为人工手动操作，需要反复调试才能将样品传送到指定位点处，精准度较差，同时手动操作稳定性较差，对操作人员技术要求较高。
发明内容
本发明的目的在于提供一种超高真空电动样品传样杆，用以解决上述背景技术中存在的技术问题。
本发明技术方案一种超高真空电动样品传样杆，设置在取样腔内，包括传样杆本体，所述传样杆本体包括主传样杆、可拆卸固定在主传样杆端部的样品托、固定在主传样杆两侧的限位架；所述主传样杆底部设置有从动机构，所述取样腔一侧设置有由取样腔外伸入取样腔内的主动机构，所述主动机构与从动机构连接；所述取样腔内设置有用于限位架穿过的限位件，所述限位件与限位架滑动连接。
在一个优选地实施例中，所述限位架包括两侧的侧杆和设置在两侧杆之间且沿主传样杆长度方向设置的限位杆，两所述侧杆与住传样杆固定，所述限位杆穿过限位件。
在一个优选地实施例中，所述限位件包括设置在主传样杆两侧的且槽口相对的两限位槽和设置在两限位槽底部用于对两限位槽支撑的支撑架。
在一个优选地实施例中，所述主传样杆底部沿主传样杆长度方向设置有安装座，所述从动机构包括固定在安装座上的齿条，所述齿条长度与安装座长度相适应，所述主动机构与齿条连接。
在一个优选地实施例中，所述主动机构包括伺服电机、与伺服电机输出轴固定的连接轴和与连接轴固定的主动齿轮，所述主动齿轮与齿条啮合。
在一个优选地实施例中，所述取样腔一侧设置有电机安装腔，所述连接轴穿过取样腔且与取样腔密封连接。
在一个优选地实施例中，所述主传样杆端部设置有安装板，所述安装板上设置有插孔，所述样品托底部固定有插杆，所述样品托与安装板固定时插杆插入插孔内。
本发明技术方案的有益效果是：
传样时，主动机构运动，从而驱动位于主传样杆下固定的从动机构运动，从动机构进而带着主传样杆移动，将位于主传样杆端部的装有样品的样品托送入沉积腔内。在主传样杆移动过程中，限位件限制限位架的运动轨迹，保证主传样杆直线传样至指定位点。通过主动机构带动从动机构运动实现传样杆的传样工作，相较于手动操控传样杆采用本方法操控更加稳定、误差也较小。
附图说明
图1为本发明俯视图，
图2为本发明传样杆本体结构示意图，
图3为本发明限位件结构示意图。
图4为本发明主动齿轮与从动齿轮侧视图
附图标记说明：1取样腔、2快开门、3连接口、4主传样杆、5样品托、6限位架、7侧杆、8限位杆、9限位件、10限位槽、11支撑架、12安装座、13齿条、14伺服电机、15连接轴、16主动齿轮、17电机安装腔、18安装板、19插孔、20插杆、21支撑座。
具体实施方式
下面结合附图和具体实施方式对本发明作进一步详细的说明。本发明的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本发明限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本发明的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本发明从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。
参照图1-图4，本发明技术方案一种超高真空电动样品传样杆，设置在取样腔1内，包括传样杆本体。取样腔1一侧延伸出一长密封腔体用于收纳传样杆本体，取样腔1通过连接口3与沉积腔连接，连接处可设置插板阀用于使取样腔1和沉积腔连通或隔断。设置取样腔1上的快开门2用于将样品放入或取出取样腔1，快开门2在关闭时是和取样腔1体密封连接的，保证取样腔1在抽真空后真空度不被破坏。
所述传样杆本体包括主传样杆4、可拆卸固定在主传样杆4端部的样品托5、固定在主传样杆4两侧的限位架6。样品托5用于放置待覆膜的样品，限位架6用于多主传样杆4进行位置限定。
所述主传样杆4底部设置有从动机构，所述取样腔1一侧设置有由取样腔1外伸入取样腔1内的主动机构，所述主动机构与从动机构连接。所述取样腔1内设置有用于限位架6穿过的限位件9，所述限位件9与限位架6滑动连接。
传样时，主动机构运动，从而驱动位于主传样杆4下固定的从动机构运动，从动机构进而带着主传样杆4移动，将位于主传样杆4端部的装有样品的样品托5送入沉积腔内。在主传样杆4移动过程中，限位件9限制限位架6的运动轨迹，保证主传样杆4直线传样至指定位点。通过主动机构带动从动机构运动实现传样杆的传样工作，相较于手动操控传样杆采用本方法操控更加稳定、误差也较小。
所述限位架6包括两侧的侧杆7和设置在两侧杆7之间且沿主传样杆4长度方向设置的限位杆8，两所述侧杆7与住传样杆固定，所述限位杆8穿过限位件9。所述限位件9包括设置在主传样杆4两侧的且槽口相对的两限位槽10和设置在两限位槽10底部用于对两限位槽10支撑的支撑架11。
限位杆8位于限位槽10内，且在主传样杆4移动过程中在限位槽10内滑动，支撑架11实现对两限位槽10的连接和支撑。限位槽10在起到限位作用的同时还对限位杆8还具有支撑作用。
所述主传样杆4底部沿主传样杆4长度方向设置有安装座12，所述从动机构包括固定在安装座12上的齿条13，所述齿条13长度与安装座12长度相适应，所述主动机构与齿条13连接。所述主动机构包括伺服电机14、与伺服电机14输出轴固定的连接轴15和与连接轴15固定的主动齿轮16，所述主动齿轮16与齿条13啮合。
连接轴15位于取样腔1内部分通过支撑座21进行支撑，保证连接轴15转动的稳定性。传动时，首先主动齿轮16被伺服电机14驱动，然后使得齿条13被传动，进而带动主传样杆4移动。当样品托5被传动至指定位置处时，伺服电机14停止运行，当样品托5内的样品被取走后，伺服电机14驱反向制动，使主传样杆4被传送会最初的位置等待下一次传样工作。
所述取样腔1一侧设置有电机安装腔17，所述连接轴15穿过取样腔1且与取样腔1密封连接。伺服电机14设置在取样腔1外便于检修和维护，同时连接轴15与取样腔1密封连接保证取样腔1内部的真空度。
所述主传样杆4端部设置有安装板18，所述安装板18上设置有插孔19，所述样品托5底部固定有插杆20，所述样品托5与安装板18固定时插杆20插入插孔19内。样品托5固定时直接将其底部的插杆20插入插孔19内即可，可拆卸设计方便样品托5的更换和清洁。
显然，所描述的实施例仅仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域及相关领域的普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都应属于本发明保护的范围。本发明中未具体描述和解释说明的结构、装置以及操作方法，如无特别说明和限定，均按照本领域的常规手段进行实施。
Claims (7)
1.一种超高真空电动样品传样杆，设置在取样腔内，包括传样杆本体，其特征在于：所述传样杆本体包括主传样杆、可拆卸固定在主传样杆端部的样品托、固定在主传样杆两侧的限位架；所述主传样杆底部设置有从动机构，所述取样腔一侧设置有由取样腔外伸入取样腔内的主动机构，所述主动机构与从动机构连接；所述取样腔内设置有用于限位架穿过的限位件，所述限位件与限位架滑动连接。
2.根据权利要求1所述的一种超高真空电动样品传样杆，其特征在于：所述限位架包括两侧的侧杆和设置在两侧杆之间且沿主传样杆长度方向设置的限位杆，两所述侧杆与住传样杆固定，所述限位杆穿过限位件。
3.根据权利要求1所述的一种超高真空电动样品传样杆，其特征在于：所述限位件包括设置在主传样杆两侧的且槽口相对的两限位槽和设置在两限位槽底部用于对两限位槽支撑的支撑架。
4.根据权利要求1所述的一种超高真空电动样品传样杆，其特征在于：所述主传样杆底部沿主传样杆长度方向设置有安装座，所述从动机构包括固定在安装座上的齿条，所述齿条长度与安装座长度相适应，所述主动机构与齿条连接。
5.根据权利要求4所述的一种超高真空电动样品传样杆，其特征在于：所述主动机构包括伺服电机、与伺服电机输出轴固定的连接轴和与连接轴固定的主动齿轮，所述主动齿轮与齿条啮合。
6.根据权利要求5所述的一种超高真空电动样品传样杆，其特征在于：所述取样腔一侧设置有电机安装腔，所述连接轴穿过取样腔且与取样腔密封连接。
7.根据权利要求1所述的一种超高真空电动样品传样杆，其特征在于：所述主传样杆端部设置有安装板，所述安装板上设置有插孔，所述样品托底部固定有插杆，所述样品托与安装板固定时插杆插入插孔内。
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