CN209146000U - 一种16寸油扩散泵 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种16寸油扩散泵,包括泵体、泵芯、加热器、水冷挡板和水冷挡油装置,泵体内部设置有泵芯,加热器设置在泵芯的底部,泵体顶部设置有水冷挡板,水冷挡板上设置有水冷挡板法兰,水冷挡板法兰上设置有电控箱、吸气口和观察窗,观察窗和电控箱设置在水冷挡板法兰周边一侧,吸气口位于水冷挡板法兰的中部位置,泵体一侧底部设置有扩散器,扩散器的上端设置有水冷挡油装置,水冷挡油装置包括水冷铜管、挡油片、水冷法兰和冷阱叶片。该油扩散泵将油扩散泵的整体尺寸缩小至与12英寸的接口尺寸相匹配,满足了小型真空设备的实际需要,改变了以前需要大量转接后的不便及浪费,节约了资源,制作更加简单,性能更加稳定。
Description
技术领域
本实用新型涉及泵芯,特别涉及一种16寸油扩散泵,属于油扩散泵技术领域。
背景技术
油扩散泵是获得高真空的主要设备,广泛用于真空冶炼、真空镀膜、空间模拟试验和对油污染不敏感的一些真空系统中。泵的抽气过程是被抽气体扩散到油蒸汽射流中而被携带到泵出口排除的过程。它由泵体、泵芯组件、加热器、挡油装置等组件组成。泵体大都采用碳钢或不锈钢制造;泵芯组件是由喷嘴及导流管组成,泵芯组件是高真空油扩散泵的关键部件,材料主要有铝或不锈钢;加热器由金属外壳、高温耐热陶瓷盘及加热组件组成;排气口处装有挡油装置,防止油雾进入真空设备,降低了对真空设备的污染。油扩散泵除了在一般工业中有广泛应用外,特别适用于那些要求对大的被抽容器进行快速抽空以及迅速排除被处理材料在处理过程中放出大量的气体的工艺过程。例如:真空冶金,真空热处理设备及真空镀膜的设备等。
现在国内市场上的扩散泵主要是针对大型真空设备研发的口径普遍大于20 英寸,针对科研、实验室或者小型真空设备并无配套的扩散泵,我们针对国内的这一市场空白,针对实验室真空熔炼炉配套的扩散泵进行了定制。抽速可以达到 4500L/S,同时可以直接接在380V的工业用电。
实用新型内容
本实用新型要解决的技术问题是克服现有油扩散泵口径普遍大于20英寸,科研、实验室或者小型真空设备并无配套的扩散泵的缺陷,提供一种16寸油扩散泵。
为了解决上述技术问题,本实用新型提供了如下的技术方案:
本实用新型提供一种16寸油扩散泵,包括泵体、泵芯、加热器、水冷挡板和水冷挡油装置,所述泵体内部设置有泵芯,所述加热器设置在泵芯的底部,所述泵体顶部设置有水冷挡板,所述水冷挡板上设置有水冷挡板法兰,所述水冷挡板法兰上设置有电控箱、吸气口和观察窗,所述观察窗和电控箱设置在水冷挡板法兰周边一侧,所述吸气口位于水冷挡板法兰的中部位置,所述泵体一侧底部设置有扩散器,所述扩散器的上端设置有水冷挡油装置,所述水冷挡油装置包括水冷铜管、挡油片、水冷法兰和冷阱叶片,所述水冷铜管的形状为“U”型,所述水冷法兰中部位置设置有排气口,所述泵芯包括第一喷嘴帽、第二喷嘴帽和第三喷嘴帽,所述第一喷嘴帽设置在第一喷嘴座上,所述第一喷嘴座的下端设置有第二喷嘴帽,所述第二喷嘴帽的下端连接有第二导流管,所述第二喷嘴帽设置在第三喷嘴帽上,所述第三喷嘴帽的下端连接有第三导流管,所述第一喷嘴帽通过长螺杆与第一喷嘴座、第三导流管安装成一体,所述第三导流管的内部中心位置垂直设置有扩压导流管。
作为本实用新型的一种优选的技术方案,所述加热器上设置有热电偶。
作为本实用新型的一种优选的技术方案,所述泵芯采用旋压件焊接后组装。
作为本实用新型的一种优选的技术方案,所述冷阱叶片采用折弯式。
作为本实用新型的一种优选的技术方案,所述第一喷嘴帽、第二喷嘴帽和第三喷嘴帽均为伞帽形扩散喷嘴帽。
作为本实用新型的一种优选的技术方案,所述第一喷嘴帽、第二喷嘴帽和第三喷嘴帽的喷射角度为53~63度。
本实用新型所达到的有益效果是:该油扩散泵将油扩散泵的整体尺寸缩小至与12英寸的接口尺寸相匹配,满足了小型真空设备的实际需要,改变了以前需要大量转接后的不便及浪费,节约了资源,制作更加简单,性能更加稳定。
附图说明
附图用来提供对本实用新型的进一步理解,并且构成说明书的一部分,与本实用新型的实施例一起用于解释本实用新型,并不构成对本实用新型的限制。在附图中:
图1是本实用新型的结构示意图;
图2是本实用新型的俯视结构示意图;
图中:1、水冷挡板;2、水冷挡板法兰;3、第一喷嘴帽;4、泵芯;5、第二喷嘴帽;6、水冷挡油装置;7、水冷铜管;8、挡油片;9、水冷法兰;10、扩散器;11、热电偶;12、加热器;13、扩压导流管;14、第三导流管;15、第三喷嘴帽;16、第二导流管;17、泵体;18、第一喷嘴座;19、吸气口;20、排气口;21、电控箱;22、观察窗;23、长螺杆。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型的优选实施例进行说明,应当理解,此处所描述的优选实施例仅用于说明和解释本实用新型,并不用于限定本实用新型。
实施例1:
如图1-2所示,本实用新型提供一种16寸油扩散泵,包括泵体17、泵芯4、加热器12、水冷挡板1和水冷挡油装置6,泵体17内部设置有泵芯4,加热器 12设置在泵芯4的底部,泵体17顶部设置有水冷挡板1,水冷挡板1上设置有水冷挡板法兰2,水冷挡板法兰2上设置有电控箱21、吸气口19和观察窗22,观察窗22和电控箱21设置在水冷挡板法兰2周边一侧,吸气口19位于水冷挡板法兰2的中部位置,泵体17一侧底部设置有扩散器10,扩散器10的上端设置有水冷挡油装置6,水冷挡油装置6包括水冷铜管7、挡油片8、水冷法兰9 和冷阱叶片,水冷铜管7的形状为“U”型,水冷法兰9中部位置设置有排气口 20,泵芯4包括第一喷嘴帽3、第二喷嘴帽5和第三喷嘴帽15,第一喷嘴帽3 设置在第一喷嘴座18上,第一喷嘴座18的下端设置有第二喷嘴帽5,第二喷嘴帽5的下端连接有第二导流管16,第二喷嘴帽5设置在第三喷嘴帽15上,第三喷嘴帽15的下端连接有第三导流管14,第一喷嘴帽3通过长螺杆23与第一喷嘴座18、第三导流管14安装成一体,第三导流管14的内部中心位置垂直设置有扩压导流管13。
加热器12上设置有热电偶11,便于加热器12加热,提高加热效果;泵芯 23采用旋压件焊接后组装,能够控制油蒸汽的喷射速度及范围,便于组装;冷阱叶片采用折弯式,避免旋压式的结构加工局限;第一喷嘴帽3、第二喷嘴帽5 和第三喷嘴帽15均为伞帽形扩散喷嘴帽,第一喷嘴帽3、第二喷嘴帽5和第三喷嘴帽15的喷射角度为53~63度,可以加快泵体内抽气介质的排除,可以达到最佳喷射效率,达到最佳抽气速率的效果。
具体的,在使用时,将油扩散泵的整体尺寸缩小至与12英寸的接口尺寸相匹配,将冷阱、泵芯4、及加热器12全部进行定制研发,满足了小型真空设备的实际需要,改变了以前需要大量转接后的不便及浪费,同时泵芯4采用旋压件焊接后组装组装,使得连接稳定,可拆卸,制作更加简单,能够控制油蒸汽的喷射速度及范围,冷阱叶片采用折弯式,能够避免旋压式的结构加工局限,第一喷嘴帽3、第二喷嘴帽5和第三喷嘴帽15的喷射角度均为53~63度,可以加快泵体内抽气介质的排除,可以达到最佳喷射效率,达到最佳抽气速率的效果。
本实用新型所达到的有益效果是:该油扩散泵将油扩散泵的整体尺寸缩小至与12英寸的接口尺寸相匹配,满足了小型真空设备的实际需要,改变了以前需要大量转接后的不便及浪费,节约了资源,制作更加简单,性能更加稳定。
最后应说明的是:以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已,并不用于限制本实用新型,尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明,对于本领域的技术人员来说,其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改,或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内,所作的任何修改、等同替换、改进等,均应包含在本实用新型的保护范围之内。
Claims (6)
1.一种16寸油扩散泵,包括泵体(17)、泵芯(4)、加热器(12)、水冷挡板(1)和水冷挡油装置(6),其特征在于,所述泵体(17)内部设置有泵芯(4),所述加热器(12)设置在泵芯(4)的底部,所述泵体(17)顶部设置有水冷挡板(1),所述水冷挡板(1)上设置有水冷挡板法兰(2),所述水冷挡板法兰(2)上设置有电控箱(21)、吸气口(19)和观察窗(22),所述观察窗(22)和电控箱(21)设置在水冷挡板法兰(2)周边一侧,所述吸气口(19)位于水冷挡板法兰(2)的中部位置,所述泵体(17)一侧底部设置有扩散器(10),所述扩散器(10)的上端设置有水冷挡油装置(6),所述水冷挡油装置(6)包括水冷铜管(7)、挡油片(8)、水冷法兰(9)和冷阱叶片,所述水冷铜管(7)的形状为“U”型,所述水冷法兰(9)中部位置设置有排气口(20),所述泵芯(4)包括第一喷嘴帽(3)、第二喷嘴帽(5)和第三喷嘴帽(15),所述第一喷嘴帽(3)设置在第一喷嘴座(18)上,所述第一喷嘴座(18)的下端设置有第二喷嘴帽(5),所述第二喷嘴帽(5)的下端连接有第二导流管(16),所述第二喷嘴帽(5)设置在第三喷嘴帽(15)上,所述第三喷嘴帽(15)的下端连接有第三导流管(14),所述第一喷嘴帽(3)通过长螺杆(23)与第一喷嘴座(18)、第三导流管(14)安装成一体,所述第三导流管(14)的内部中心位置垂直设置有扩压导流管(13)。
2.根据权利要求1所述的一种16寸油扩散泵,其特征在于,所述加热器(12)上设置有热电偶(11)。
3.根据权利要求1所述的一种16寸油扩散泵,其特征在于,所述泵芯(4)采用旋压件焊接后组装。
4.根据权利要求1所述的一种16寸油扩散泵,其特征在于,所述冷阱叶片采用折弯式。
5.根据权利要求4所述的一种16寸油扩散泵,其特征在于,所述第一喷嘴帽(3)、第二喷嘴帽(5)和第三喷嘴帽(15)均为伞帽形扩散喷嘴帽。
6.根据权利要求4所述的一种16寸油扩散泵,其特征在于,所述第一喷嘴帽(3)、第二喷嘴帽(5)和第三喷嘴帽(15)的喷射角度为53~63度。
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