CN209123641U - 一种带有双氧水的电子级废硫酸处理机构 - Google Patents
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Abstract
本实用新型的目的是提供一种带有双氧水的电子级废硫酸处理机构，由循环酸容器、排烟塔、循环泵、储水罐、换热器、阀门和稀释池组成，其特征在于：循环酸容器一侧设有电子级废酸输送管，排烟塔一侧设有尾气输送管，循环泵两侧分别设有双氧水提取管和双氧水输送管，储水罐一侧设有水输送管，换热器一次额设有换热输送管，阀门上还设有双氧水输出管和双氧水稀释输送管，各个管路将整套设备连接起来；此工艺不仅解决了电子级废酸的处理问题，而且最大程度的利用了废酸中的双氧水，降低了尾气处理消耗双氧水的成本，大大降低了尾气中二氧化硫的排放，减少了环境污染；整体机构思路清晰，全封闭式的连接和处理使得操作更加安全可靠。
Description
技术领域
本实用新型涉及废酸处理领域，尤其涉及一种带有双氧水的电子级废硫酸处理机构。
背景技术
随着中国微电子工业的高速发展，电子级硫酸的需求量日益增加。作为集成电路制造业、封装测试业以及整机装配业原料供应的上游行业，电子级硫酸广泛应用于大规模集成电路(IC)、半导体等微电子工业，用作清洗和蚀刻剂。而电子级别的硫酸，都是处理芯片后所产生的，外观为淡黄色或无色液体，根据《HG/T 2692-2015蓄电池用硫酸》的方法进行检测，废酸透明度大于200，整体上看，此种规格的废酸，外观较好，而在生产过程中，对于这些电子级废酸的处理方式有很多，能够达到以上标准的设备或者一系列循环系统也随之衍生，但是目前，这些对于电子级废酸处理的装置，并没有充分利用电子级废酸的特性，对于污染的处理做得不是特别到位，尤其是对于废酸中含有的双氧水的处理，并没有得到充分利用和解决，并且对于后期的稀释处理也不是很周全，无论是单体设备还是处理系统来说，成本的支出和环境的保护都没有得到有效改善。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供了一种用于对废酸排放过程中，将双氧水加入尾气吸收塔中，便于除去尾气中的二氧化硫，最大程度的利用了废酸中的双氧水，从而降低了尾气处理消耗双氧水的成本，减少了环境污染的电子级废硫酸处理机构。
本实用新型的技术方案为：一种带有双氧水的电子级废硫酸处理机构，由循环酸容器、排烟塔、循环泵、储水罐、换热器、阀门和稀释池组成，其特征在于：所述循环酸容器上还设有电子级废酸输送管，所述电子级废酸输送管位于循环酸容器的一侧，所述电子级废酸输送管与循环酸容器为固定连接，所述排烟塔位于循环酸容器的上部，所述排烟塔与循环酸容器为固定连接，所述排烟塔上还设有尾气输送管，所述尾气输送管位于排烟塔的一侧，所述尾气输送管与排烟塔为固定连接，所述循环泵位于循环酸容器的另一侧，所述循环泵与地面或者其他基础设置为固定连接，所述循环泵上还设有双氧水提取管和双氧水输送管，所述双氧水提取管位于循环泵的一侧，所述双氧水提取管的一端与循环泵为固定连接，所述双氧水提取管的另一端与循环酸容器为固定连接，所述双氧水输送管位于循环泵的另一侧，所述双氧水输送管的一端与循环泵为固定连接，所述双氧水输送管的另一端与换热器为固定连接，所述储水罐位于循环酸容器的一侧，所述储水罐与地面或者其他基础设置为固定连接，所述储水罐上还设有水输送管，所述水输送管位于储水罐的一侧，所述水输送管的一端与储水罐为固定连接，所述水输送管的另一端与循环酸容器为固定连接，所述换热器位于循环泵的一侧，所述换热器与地面或者其他基础设置为固定连接，所述换热器上还设有换热输送管，所述换热输送管的一端与换热器为固定连接，所述换热输送管的另一端与阀门为固定连接，所述阀门位于排烟塔的另一侧，所述阀门上还设有双氧水输出管和双氧水稀释输送管，所述双氧水输出管位于排烟塔和阀门之间，所述双氧水输出管的一端与排烟塔为固定连接，所述双氧水输出管的另一端与阀门为固定连接，所述双氧水稀释输送管位于阀门和稀释池之间，所述双氧水稀释输送管的一端与阀门为固定连接，所述双氧水稀释输送管的另一端与稀释池为固定连接，所述稀释池位于储水罐的一侧，所述稀释池与地面或者其他基础设置为固定连接。
进一步，所述循环酸容器为碳钢密封罐。
进一步，所述循环泵为抗酸防腐蚀液体输送泵。
进一步，所述储水罐为过滤式不锈钢储罐。
进一步，所述阀门为旋转式三通路球形阀门。
进一步，所述稀释池为碳钢密封容器。
本实用新型的有益效果在于：该机构是一种用于对废酸排放过程中，将双氧水加入尾气吸收塔中，便于除去尾气中的二氧化硫，最大程度的利用了废酸中的双氧水，从而降低了尾气处理消耗双氧水的成本，减少了环境污染的电子级废硫酸处理机构。将换热后的废酸双氧水其中的一部分沿双氧水输出管进入到排烟塔中，用于除去尾气中的二氧化硫，这样节省了外加双氧水量，而另一部分废酸双氧水沿双氧水稀释输送管进入稀释池，这样也代替了尾气吸收塔加入的工艺水，副产浓度20％的稀酸回到工业硫酸循环槽中。此工艺不仅解决了电子级废酸的处理问题，而且最大程度的利用了废酸中的双氧水，降低了尾气处理消耗双氧水的成本，减少了环境污染。整体机构思路清晰，全封闭式的连接和处理使得操作更加安全可靠。
附图说明
图1为本实用新型的主视图。
图2为本实用新型的工作流程示意图。
其中：1、循环酸容器 2、电子级废酸输送管 3、排烟塔
4、尾气输送管 5、循环泵 6、双氧水提取管
7、双氧水输送管 8、储水罐 9、水输送管
10、换热器 11、换热输送管 12、阀门
13、双氧水输出管 14、双氧水稀释输送管 15、稀释池
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做出简要说明。
如图1、图2所示一种用于硫酸尾气排放的烟囱结构，由循环酸容器1、排烟塔3、循环泵5、储水罐8、换热器10、阀门12和稀释池15组成，其特征在于：所述循环酸容器1上还设有电子级废酸输送管2，所述电子级废酸输送管2位于循环酸容器1的一侧，所述电子级废酸输送管2与循环酸容器1为固定连接，所述排烟塔3位于循环酸容器1的上部，所述排烟塔3与循环酸容器1为固定连接，所述排烟塔3上还设有尾气输送管4，所述尾气输送管4位于排烟塔3的一侧，所述尾气输送管4与排烟塔3为固定连接，所述循环泵5位于循环酸容器1的另一侧，所述循环泵5与地面或者其他基础设置为固定连接，所述循环泵5上还设有双氧水提取管6和双氧水输送管7，所述双氧水提取管6位于循环泵5的一侧，所述双氧水提取管6的一端与循环泵5为固定连接，所述双氧水提取管6的另一端与循环酸容器1为固定连接，所述双氧水输送管7位于循环泵5的另一侧，所述双氧水输送管7的一端与循环泵5为固定连接，所述双氧水输送管7的另一端与换热器10为固定连接，所述储水罐8位于循环酸容器1的一侧，所述储水罐8与地面或者其他基础设置为固定连接，所述储水罐8上还设有水输送管9，所述水输送管9位于储水罐8的一侧，所述水输送管9的一端与储水罐8为固定连接，所述水输送管9的另一端与循环酸容器1为固定连接，所述换热器10位于循环泵5的一侧，所述换热器10与地面或者其他基础设置为固定连接，所述换热器10上还设有换热输送管11，所述换热输送管11的一端与换热器10为固定连接，所述换热输送管11的另一端与阀门12为固定连接，所述阀门12位于排烟塔3的另一侧，所述阀门12上还设有双氧水输出管13和双氧水稀释输送管14，所述双氧水输出管13位于排烟塔3和阀门12之间，所述双氧水输出管13的一端与排烟塔3为固定连接，所述双氧水输出管13的另一端与阀门12为固定连接，所述双氧水稀释输送管14位于阀门12和稀释池15之间，所述双氧水稀释输送管14的一端与阀门12为固定连接，所述双氧水稀释输送管14的另一端与稀释池15为固定连接，所述稀释池15位于储水罐8的一侧，所述稀释池15与地面或者其他基础设置为固定连接。所述循环酸容器1为碳钢密封罐。所述循环泵5为抗酸防腐蚀液体输送泵。所述储水罐8为过滤式不锈钢储罐。所述阀门12为旋转式三通路球形阀门。所述稀释池15为碳钢密封容器。
工作方式：该机构是一种用于对废酸排放过程中，将双氧水加入尾气吸收塔中，便于除去尾气中的二氧化硫，最大程度的利用了废酸中的双氧水，从而降低了尾气处理消耗双氧水的成本，减少了环境污染的电子级废硫酸处理机构。主要是由循环酸容器1、排烟塔3、循环泵5、储水罐8、换热器10、阀门12和稀释池15这几大部分组成，在整个设备运行的时候，最初，电子级废酸会从电子级废酸输送管2进入循环酸容器1中，同时，储水罐8会将水沿着水输送管9流进循环酸容器1中，进行混合处理生成废酸双氧水，该循环酸容器1采用碳钢密封罐，安全性更强，并且能够使得混合处理更加充分，接着，经过循环泵5利用双氧水提取管6将循环酸容器1中混合后的废酸双氧水进行提取，该循环泵5采用抗酸防腐蚀液体输送泵，可以保证整个系统废酸双氧水的正常输送，废酸双氧水会从双氧水输送管7进入换热器10进行热量转换，换热后的废酸双氧水从换热输送管11输出，而阀门12用于连接换热输送管11，该阀门12采用旋转式三通路球形阀门，其余的两端分别利用双氧水输出管13与排烟塔3进行连接，以及利用双氧水稀释输送管14与稀释池15进行连接，最后，操作人员只需打开该阀门12，将换热输送管11中的换热后的废酸双氧水其中的一部分沿双氧水输出管13进入到排烟塔3中，与此同时，待处理的尾气会从尾气输送管4进入排烟塔3，由于废酸中含双氧水，加入尾气吸收塔中，双氧水可除去尾气中的二氧化硫，这样节省了外加双氧水量；除此之外，另一部分废酸双氧水沿双氧水稀释输送管14进入稀释池15，这样也代替了尾气吸收塔加入的工艺水，副产浓度20％的稀酸回到工业硫酸循环槽中。此工艺不仅解决了电子级废酸的处理问题，而且最大程度的利用了废酸中的双氧水，降低了尾气处理消耗双氧水的成本，减少了环境污染。整体机构思路清晰，全封闭式的连接和处理使得操作更加安全可靠。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”、“顶部”、“底部”、“端部”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
以上对本实用新型的一个实施例进行了详细说明，但所述内容仅为本实用新型的较佳实施例，不能被认为用于限定本实用新型的实施范围。凡依本实用新型申请范围所作的均等变化与改进等，均应仍归属于本实用新型的专利涵盖范围之内。
Claims (6)
1.一种带有双氧水的电子级废硫酸处理机构，由循环酸容器、排烟塔、循环泵、储水罐、换热器、阀门和稀释池组成，其特征在于：所述循环酸容器上还设有电子级废酸输送管，所述电子级废酸输送管位于循环酸容器的一侧，所述电子级废酸输送管与循环酸容器为固定连接，所述排烟塔位于循环酸容器的上部，所述排烟塔与循环酸容器为固定连接，所述排烟塔上还设有尾气输送管，所述尾气输送管位于排烟塔的一侧，所述尾气输送管与排烟塔为固定连接，所述循环泵位于循环酸容器的另一侧，所述循环泵与地面或者其他基础设置为固定连接，所述循环泵上还设有双氧水提取管和双氧水输送管，所述双氧水提取管位于循环泵的一侧，所述双氧水提取管的一端与循环泵为固定连接，所述双氧水提取管的另一端与循环酸容器为固定连接，所述双氧水输送管位于循环泵的另一侧，所述双氧水输送管的一端与循环泵为固定连接，所述双氧水输送管的另一端与换热器为固定连接，所述储水罐位于循环酸容器的一侧，所述储水罐与地面或者其他基础设置为固定连接，所述储水罐上还设有水输送管，所述水输送管位于储水罐的一侧，所述水输送管的一端与储水罐为固定连接，所述水输送管的另一端与循环酸容器为固定连接，所述换热器位于循环泵的一侧，所述换热器与地面或者其他基础设置为固定连接，所述换热器上还设有换热输送管，所述换热输送管的一端与换热器为固定连接，所述换热输送管的另一端与阀门为固定连接，所述阀门位于排烟塔的另一侧，所述阀门上还设有双氧水输出管和双氧水稀释输送管，所述双氧水输出管位于排烟塔和阀门之间，所述双氧水输出管的一端与排烟塔为固定连接，所述双氧水输出管的另一端与阀门为固定连接，所述双氧水稀释输送管位于阀门和稀释池之间，所述双氧水稀释输送管的一端与阀门为固定连接，所述双氧水稀释输送管的另一端与稀释池为固定连接，所述稀释池位于储水罐的一侧，所述稀释池与地面或者其他基础设置为固定连接。
2.根据权利要求1所述一种带有双氧水的电子级废硫酸处理机构，其特征在于：所述循环酸容器为碳钢密封罐。
3.根据权利要求1所述一种带有双氧水的电子级废硫酸处理机构，其特征在于：所述循环泵为抗酸防腐蚀液体输送泵。
4.根据权利要求1所述一种带有双氧水的电子级废硫酸处理机构，其特征在于：所述储水罐为过滤式不锈钢储罐。
5.根据权利要求1所述一种带有双氧水的电子级废硫酸处理机构，其特征在于：所述阀门为旋转式三通路球形阀门。
6.根据权利要求1所述一种带有双氧水的电子级废硫酸处理机构，其特征在于：所述稀释池为碳钢密封容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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| CN201821752656.9U CN209123641U (zh) | 2018-10-29 | 2018-10-29 | 一种带有双氧水的电子级废硫酸处理机构 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201821752656.9U CN209123641U (zh) | 2018-10-29 | 2018-10-29 | 一种带有双氧水的电子级废硫酸处理机构 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN209123641U true CN209123641U (zh) | 2019-07-19 |
Family
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Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201821752656.9U Active CN209123641U (zh) | 2018-10-29 | 2018-10-29 | 一种带有双氧水的电子级废硫酸处理机构 |
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| CN (1) | CN209123641U (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN114426264A (zh) * | 2021-12-24 | 2022-05-03 | 天津环渤新材料有限公司 | 一种电子酸废液预处理模块及电子酸废液回收处理方法 |
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2018
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|---|---|---|---|---|
| CN114426264A (zh) * | 2021-12-24 | 2022-05-03 | 天津环渤新材料有限公司 | 一种电子酸废液预处理模块及电子酸废液回收处理方法 |
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