CN209053921U

CN209053921U - 气体检测工装连接件

Info

Publication number: CN209053921U
Application number: CN201821670099.6U
Authority: CN
Inventors: 翟桃
Original assignee: Beijing Apollo Ding Rong Solar Technology Co Ltd
Current assignee: Shanghai zuqiang Energy Co.,Ltd.
Priority date: 2018-10-15
Filing date: 2018-10-15
Publication date: 2019-07-02
Anticipated expiration: 2028-10-15

Abstract

本实用新型实施例涉及检测技术领域，公开了一种气体检测工装连接件，包括螺母及螺栓；螺母开设有阶梯孔，螺母包括围成孔径较大孔的第一孔壁、围成孔径较小孔的第二孔壁、连接第一孔壁与第二孔壁的台阶面、与第一孔壁和第二孔壁间隔设置的外侧壁；螺栓包括杆部，转换接头，以及沿杆部的径向方向延伸、并与杆部一体形成的凸缘；螺栓上设有通孔；杆部包括延伸至孔径较大孔内、并与第一孔壁经由螺纹固定连接的连接端；转换接头上设有向连接端延伸、并与通孔连通的凹槽。本实用新型实施例提供的气体检测工装连接件能简化组装工序、提高组装效率，降低了配合节点过多导致的检验误差，不易漏气而避免导致氦检误判。

Description

气体检测工装连接件

技术领域

本实用新型实施例涉及检测技术领域，特别涉及一种气体检测工装连接件。

背景技术

在半导体制备工艺中，冷却夹套在使用前需要检测是否漏气，现有技术中通常采用气体检测方法检测冷却夹套的密封性能，具体的，在检测时需要在冷却夹套的接口处安装连接件，并利用连接件将冷却夹套与检测仪连接起来。例如，采用氦检法检测冷却夹套的密封性能时，利用的工装连接件为两个轴向上开设有通孔的螺杆；在冷却夹套的进水口处，利用一个螺杆作为进水口的堵头，该螺杆的一端通过圆螺母连接进水管、另一端通过圆螺母连接量棒；在冷却夹套的出水口处，利用另一个螺杆作为出水口和氦检装置的接头，该螺杆的一端通过圆螺母连接出水管，另一端通过圆螺母连接氦检装置的丁字形管道；使用时连通氦检仪的波纹管连通丁字形管道的外径较大的一端。

本实用新型的发明人发现，现有技术中存在如下问题：作为接头的气体检测工装连接件需要通过一个圆螺母将螺杆与氦检装置的丁字形管道连接，螺杆的另一端又需要通过一个螺母与出水管连接，多个螺母的组装工序繁复，导致组装效率低下；并且，螺杆与其他结构之间的配合节点过多，检验误差较大，且容易漏气，导致氦检误判。

实用新型内容

本实用新型实施方式的目的在于提供气体检测工装连接件，其能简化组装工序、提高组装效率，降低了配合节点过多导致的检验误差，不易漏气而避免导致氦检误判。

为解决上述技术问题，本实用新型的实施方式提供了一种气体检测工装连接件，包括螺母及螺栓；所述螺母开设有阶梯孔，所述阶梯孔包括相互连通的孔径较小孔和孔径较大孔；所述螺母包括围成所述孔径较大孔的第一孔壁、围成所述孔径较小孔的第二孔壁、连接所述第一孔壁与所述第二孔壁的台阶面、与所述第一孔壁和所述第二孔壁间隔设置的外侧壁；所述螺栓包括杆部，转换接头，以及沿所述杆部的径向方向延伸、并与所述杆部一体形成的凸缘；所述螺栓上设有沿所述杆部的轴向方向延伸、并贯穿所述杆部的通孔；所述杆部包括延伸至所述孔径较大孔内、并与所述第一孔壁经由螺纹固定连接的连接端；所述转换接头自所述杆部远离所述连接端的末端弯折、并沿所述杆部的径向方向延伸，所述转换接头上设有向所述连接端延伸、并与所述通孔连通的凹槽。

本实用新型实施方式相对于现有技术而言，螺栓同时包括杆部、凸缘和转换接头，实现了冷却夹套接头处的工装结构一体化，便于治具卡持，无需额外利用螺母连接螺杆，精简了工装连接件的结构，减少了螺母的用量，简化了组装工序，从而提高了组装效率，同时减少了连接件与其他结构之间的配合节点，从而降低了检验误差，不易漏气而避免导致氦检误判。

另外，还包括：设置在所述孔径较大孔内并抵接所述连接端的密封圈。阶梯孔内容置有密封圈，冷却夹套进水口的金属管可以通过孔径较小孔进入螺母的阶梯孔、并抵持在螺栓的连接端上，使密封圈套设在金属管外壁，从而增强连接处的密封性，减少漏气的几率，进而减少误判几率；密封圈设置在所述孔径较大孔中，能防止密封圈脱离螺母、导致漏气，保证工装的可靠性。

另外，还包括：设置在所述孔径较大孔内的挡圈，所述挡圈一侧抵持所述密封圈，另一侧抵持所述台阶面。如此设置可以防止密封圈夹持在螺栓与螺母之间，防止组装时密封圈受螺栓和螺母挤压而被损坏、导致产生氦检误判的情况发生；同时，还可以避免螺母的台阶面与连接端之间的距离过长，导致密封圈未被抵接在杆部上，密封圈与连接端之间存在漏点，导致氦检误判。

另外，所述杆部上设有自所述连接端朝所述转换接头凹陷的容置孔，所述通孔在所述容置孔底部与所述容置孔连通，所述密封圈设置在所述容置孔底部。如此设置可以防止密封圈受挤压后抵接螺母上的螺纹，导致密封圈被损坏、产生氦检误判。

另外，所述挡圈部分伸至所述容置孔内。

另外，所述杆部上还设有自所述容置孔底部朝所述转换接头凹陷的连接孔，所述通孔经由所述连接孔与所述容置孔连通。如此设置使冷却夹套上的金属管可以伸至杆部的连接孔内并抵持杆部，提高工装的密闭性能。

另外，所述螺母的所述外侧壁包括若干个环绕所述螺母的中心线依次排列的平面。如此设置可以便于利用工装治具禁锢螺母，节省操作人员的体力。

另外，各个所述平面在所述外侧壁上等间隔设置。

另外，所述凸缘的外周缘包括若干个环绕所述螺栓的中心轴依次排列的平面。如此设置可以便于利用工装治具禁锢凸缘，节省操作人员的体力。

另外，各个所述平面在所述外周缘上等间隔设置。

附图说明

图1是本实用新型实施方式提供的气体检测工装连接件的主视图；

图2是本实用新型实施方式提供的气体检测工装连接件的剖视图；

图3是本实用新型实施方式提供的气体检测工装连接件的拆解结构示意图。

具体实施方式

为使本实用新型实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本实用新型的各实施方式进行详细的阐述。然而，本领域的普通技术人员可以理解，在本实用新型各实施方式中，为了使读者更好地理解本实用新型而提出了许多技术细节。但是，即使没有这些技术细节和基于以下各实施方式的种种变化和修改，也可以实现本实用新型所要求保护的技术方案。

本实用新型实施方式涉及一种气体检测工装连接件100，如图1所示，包括螺母30及螺栓10；如图2所示，螺母30开设有阶梯孔31，阶梯孔31包括相互连通的孔径较小孔302和孔径较大孔301；螺母30包括围成孔径较大孔301的第一孔壁311、围成孔径较小孔302的第二孔壁312、连接第一孔壁311与第二孔壁312的台阶面313、与第一孔壁311和第二孔壁312间隔设置的外侧壁32；螺栓10包括杆部12，转换接头13，以及沿杆部12的径向方向延伸、并与杆部12一体形成的凸缘11；螺栓10上设有沿杆部12的轴向方向延伸、并贯穿杆部12的通孔101；杆部12包括延伸至孔径较大孔301内、并与第一孔壁311经由螺纹固定连接的连接端121；转换接头13自杆部12远离连接端121的末端弯折、并沿杆部12的径向方向延伸，转换接头13上设有向连接端121延伸、并与通孔101连通的凹槽130。

与现有技术相比，本实施方式中螺栓10同时包括杆部12、凸缘11和转换接头13，实现了冷却夹套接头处的工装结构一体化，便于治具卡持，无需额外利用螺母连接螺杆，精简了工装连接件100的结构，减少了螺母30的用量，简化了组装工序，从而提高了组装效率，同时减少了连接件与其他结构之间的配合节点，从而降低了检验误差，不易漏气而避免导致氦检误判。

下面对本实施方式的实现细节进行具体的说明，以下内容仅为方便理解提供的实现细节，并非实施本方案的必须。

具体的，如图3所示，气体检测工装连接件100还包括：设置在孔径较大孔301内并抵接连接端121的密封圈20。阶梯孔31内容置有密封圈20，冷却夹套的金属管可以通过孔径较小孔302进入螺母30的阶梯孔31、并抵持在螺栓10的连接端121上，使密封圈20套设在金属管外壁，从而增强气体检测工装连接件100与冷却夹套连接处的密封性，减少漏气的几率，进而减少误判几率；密封圈20设置在孔径较大孔301中，能防止密封圈20脱离螺母30、导致漏气，保证工装的可靠性。在本实施方式中，密封圈20具体为O形密封圈。

优选的，凸缘11的外周缘包括若干个环绕螺栓10的中心轴依次排列的平面。如此设置可以便于利用工装治具禁锢凸缘11，节省操作人员的体力。更优的，各个平面在外周缘上等间隔设置。在本实施方式中，凸缘11的外周缘111包括六个平面，螺栓10为六角螺栓，可方便旋拧、防止打滑，增加工装的使用寿命。

优选的，杆部12上设有自连接端121朝转换接头13凹陷的容置孔122，通孔101在容置孔122底部与容置孔122连通，密封圈20设置在容置孔122底部。如此设置可以防止密封圈20受挤压后抵接螺母30上的螺纹，导致密封圈20被损坏、产生氦检误判。

更优的，杆部12上还设有自容置孔122底部朝转换接头13凹陷的连接孔123，通孔101经由连接孔123与容置孔122连通。如此设置使冷却夹套上的金属管可以伸至杆部12的连接孔123内并抵持杆部12，提高工装的密闭性能。

需要说明的是，根据实际情况和需求，可适当增加或减少螺栓10的长度。

具体的，螺母30的外侧壁32包括若干个环绕螺母30的中心线依次排列的平面。如此设置可以便于利用工装治具禁锢螺母30，操作人员利用工装治具卡持外侧壁32上具有平面的螺母30所需的力远小于夹持禁锢圆螺母所需的力，因而得以节省操作人员的体力。更优的，各个平面在外侧壁32上等间隔设置。在本实施方式中，螺母30为六角螺母，可方便旋拧、防止打滑，增加工装的使用寿命。

值得一提的是，本实施方式的气体检测工装连接件还包括设置在孔径较大孔301内的挡圈40，挡圈40一侧抵持密封圈20，另一侧抵持台阶面313。如此设置可以防止密封圈20夹持在螺栓10与螺母30之间，防止组装时密封圈20受螺栓10和螺母30挤压而被损坏、导致产生氦检误判的情况发生；同时，还可以避免螺母30的台阶面313与连接端121之间的距离过长，导致密封圈20未被抵接在杆部12上，密封圈20与连接端121之间存在漏点，导致氦检误判。值得一提的是，在本实施方式中，挡圈40部分延伸至容置孔122内。

本领域的普通技术人员可以理解，上述各实施方式是实现本实用新型的具体实施例，而在实际应用中，可以在形式上和细节上对其作各种改变，而不偏离本实用新型的精神和范围。

Claims

1.一种气体检测工装连接件，其特征在于，包括螺母及螺栓；

所述螺母开设有阶梯孔，所述阶梯孔包括相互连通的孔径较小孔和孔径较大孔；所述螺母包括围成所述孔径较大孔的第一孔壁、围成所述孔径较小孔的第二孔壁、连接所述第一孔壁与所述第二孔壁的台阶面、与所述第一孔壁和所述第二孔壁间隔设置的外侧壁；

所述螺栓包括杆部，转换接头，以及沿所述杆部的径向方向延伸、并与所述杆部一体形成的凸缘；所述螺栓上设有沿所述杆部的轴向方向延伸、并贯穿所述杆部的通孔；

所述杆部包括延伸至所述孔径较大孔内、并与所述第一孔壁经由螺纹固定连接的连接端；所述转换接头自所述杆部远离所述连接端的末端弯折、并沿所述杆部的径向方向延伸，所述转换接头上设有向所述连接端延伸、并与所述通孔连通的凹槽。

2.根据权利要求1所述的气体检测工装连接件，其特征在于，还包括：设置在所述孔径较大孔内并抵接所述连接端的密封圈。

3.根据权利要求2所述的气体检测工装连接件，其特征在于，还包括：设置在所述孔径较大孔内的挡圈，所述挡圈一侧抵持所述密封圈，另一侧抵持所述台阶面。

4.根据权利要求3所述的气体检测工装连接件，其特征在于，所述杆部上设有自所述连接端朝所述转换接头凹陷的容置孔，所述通孔在所述容置孔底部与所述容置孔连通，所述密封圈设置在所述容置孔底部。

5.根据权利要求4所述的气体检测工装连接件，其特征在于，所述挡圈部分伸至所述容置孔内。

6.根据权利要求4所述的气体检测工装连接件，其特征在于，所述杆部上还设有自所述容置孔底部朝所述转换接头凹陷的连接孔，所述通孔经由所述连接孔与所述容置孔连通。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的气体检测工装连接件，其特征在于，所述螺母的所述外侧壁包括若干个环绕所述螺母的中心线依次排列的平面。

8.根据权利要求7所述的气体检测工装连接件，其特征在于，各个所述平面在所述外侧壁上等间隔设置。

9.根据权利要求1至6中任一项所述的气体检测工装连接件，其特征在于，所述凸缘的外周缘包括若干个环绕所述螺栓的中心轴依次排列的平面。

10.根据权利要求9所述的气体检测工装连接件，其特征在于，各个所述平面在所述外周缘上等间隔设置。