CN110939805A - 一种可重复利用的双头连接器 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种可重复利用的双头连接器，涉及半导体真空蒸镀技术领域，包括第一连接头、连接管和第二连接头，所述连接管的一端与所述第一连接头螺纹连接，另一端与所述第二连接头螺纹连接，所述第一连接头包括第一封头、第一压垫和第一垫圈，所述第一压垫和第一垫圈压紧设置在所述第一封头与所述连接管之间，所述第二连接头包括第二封头、第二压垫和第二垫圈，所述第二压垫和第二垫圈压紧设置在所述第二封头与所述连接管之间，所述第一垫圈和所述第二垫圈均为弹性垫圈。在实现真空蒸镀设备真空检测过程中，可实现真空规管、连接器和预留接入口的多次重复使用，延长上述零部件的使用寿命，降低生产成本，利于绿色工业的发展。

Description

一种可重复利用的双头连接器
技术领域
本发明涉及半导体真空蒸镀技术领域，特别涉及一种可重复利用的双头连接器。
背景技术
真空蒸镀，是指在真空条件下，采用一定的加热蒸发方式蒸发镀膜材料(或称膜料)并使之气化，粒子飞至基片表面凝聚成膜的工艺方法。蒸镀是使用较早、用途较广泛的气相沉积技术，具有成膜方法简单、薄膜纯度和致密性高、膜结构和性能独特等优点。
在真空蒸镀工艺中，真空蒸镀设备设置有预留接入口，用于测量真空蒸镀腔中的真空度。现有真空度检测主要使用真空规管进行真空度检测，检测时是需要使用连接器来连接真空规管和预留接入口。现有的连接器均为机械一次性连接器，不利于绿色工业发展，造成连接器、真空规管和预留接入口等多部件的大规模浪费。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种可重复利用的双头连接器，在实现真空蒸镀设备真空检测过程中，可实现真空规管、连接器和预留接入口的多次重复使用，延长上述零部件的使用寿命，降低生产成本，利于绿色工业的发展。
为解决上述技术问题，本发明采用的技术方案如下：
本发明提供一种可重复利用的双头连接器，包括第一连接头、连接管和第二连接头，所述连接管的一端与所述第一连接头螺纹连接，另一端与所述第二连接头螺纹连接，所述第一连接头包括第一封头、第一压垫和第一垫圈，所述第一压垫和第一垫圈压紧设置在所述第一封头与所述连接管之间，所述第二连接头包括第二封头、第二压垫和第二垫圈，所述第二压垫和第二垫圈压紧设置在所述第二封头与所述连接管之间，所述第一垫圈和所述第二垫圈均为弹性垫圈。
进一步地，所述连接管左端的外表面设有与第一封头配合的第一螺纹，所述连接管右端的外表面设有与第二封头配合的第二螺纹，所述连接管外周的中间区域还设置有螺母，所述连接管贯穿所述螺母。
进一步地，所述连接管左端的内表面设有用于与第一垫圈压合的第一斜面，所述连接管的右端的内表面设有用于与第二垫圈压合的第二斜面。
进一步地，第一封头外径较大的一端设有第一通孔，所述第一封头内表面设有与第一螺纹配合的第三螺纹；第二封头外径较大的一端设有第二通孔，所述第二封头内表面设有与第二螺纹配合的第四螺纹。
进一步地，所述第一通孔位于所述第一封头的中心区域；所述第二通孔位于所述第二封头的中心区域。
进一步地，所述第一压垫外径较小的一端的端面为平面，所述第一压垫外径较小的一端与第一垫圈抵接；所述第二压垫外径较小的一端的端面为平面，所述第二压垫外径较小的一端与第二垫圈抵接。
进一步地，所述第一压垫外径较大的一端的孔外周设有第三斜面，所述第二压垫外径较大的一端的孔外周设有第四斜面。
进一步地，所述第一垫圈和所述第二垫圈均为O形垫圈，所述O形垫圈由橡胶材料制成。
进一步地，所述O形垫圈的截面为圆形。
进一步地，所述第一连接头与所述第二连接头沿所述螺母的轴向方向对称设置。
与现有技术相比，本发明提供的技术方案具有如下优点和有益效果：本发明提供一种可重复利用的双头连接器，包括第一连接头、连接管和第二连接头，所述连接管的一端与所述第一连接头螺纹连接，另一端与所述第二连接头螺纹连接，所述第一连接头包括第一封头、第一压垫和第一垫圈，所述第一压垫和第一垫圈压紧设置在所述第一封头与所述连接管之间，所述第二连接头包括第二封头、第二压垫和第二垫圈，所述第二压垫和第二垫圈压紧设置在所述第二封头与所述连接管之间，所述第一垫圈和所述第二垫圈均为弹性垫圈。通过采用弹性垫圈，实现对真空规管和真空蒸镀设备预留入接口的无损伤密封连接，进而实现真空规管、真空蒸镀设备预留接入口和连接器的多次重复使用，延长零部件的使用寿命，降低生产成本，实现绿色工业发展。
附图说明
为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为实施例中双头连接器的爆炸图；
图2为实施例中连接管的立体图；
图3为实施例中第一封头的左视图；
图4为实施例中第一封头的立体图；
图5为实施例中第一压垫的立体图。
图中：100-双头连接器；1-第一连接头；11-第一封头；111-第一通孔；12-第一压垫；121-第三斜面；13-第一垫圈；2-连接管；21-第一螺纹；22-第二螺纹；23-螺母；25-第二斜面；3-第二连接头；31-第二封头；32-第二压垫；33-第二垫圈。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
在本发明的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“水平”、“左”、“右”、“前”、“后”等指示的方位或位置关系均为基于附图所示的方位或位置关系，仅仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。此外，术语“第一”、“第二”、“第三”、“第四”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性。
在本发明的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“连接”、“安装”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。
实施例
如图1-5所示，一种可重复利用的双头连接器100，包括第一连接头1、连接管2和第二连接头3，所述连接管2的一端与所述第一连接头1螺纹连接，另一端与所述第二连接头3螺纹连接，所述第一连接头1包括第一封头11、第一压垫12和第一垫圈13，所述第一压垫12和第一垫圈13压紧设置在所述第一封头11与所述连接管2之间，所述第二连接头3包括第二封头31、第二压垫32和第二垫圈33，所述第二压垫32和第二垫圈33压紧设置在所述第二封头31与所述连接管之间，所述第一垫圈13和所述第二垫圈33均为弹性垫圈。
第一连接头1用于连接真空规管或真空蒸镀设备的预留接头；第二连接头3用于连接真空规管或真空蒸镀设备的预留接头；第一连接头1与第二连接头3结构和作用均相同，可互换位置。
第一封头11通过螺纹结构向连接管2方向推进，进而推动第一压垫12和第一垫圈13，从而实现对真空规管或真空蒸镀设备预留接头的密封连接。
双头连接器100在与真空规管或真空蒸镀设备预留接头连接时，例如真空规管，真空规管的检测端进入第一封头11，穿过第一压垫12和第一垫圈13，在第一封头11通过螺纹结构向连接管方向推进时，推动第一压垫12和第一垫圈13，第一垫圈13受压变形，从而实现对真空规管检测端的密封连接。
本实施例中，所述连接管2左端的外表面设有与第一封头11配合的第一螺纹21，所述连接管2右端的外表面设有与第二封头31配合的第二螺纹22，所述连接管2外周的中间区域还设置有螺母23，所述连接管2贯穿所述螺母23。
螺母23设置在连接管2的外周中间区域，螺母23与连接管2固定连接(例如为一体结构)，便于连接管的固定，便于封头与连接管2之间的紧固。
本实施例中，所述连接管2左端的内表面设有用于与第一垫圈13压合的第一斜面(图中未示出)，所述连接管2的右端的内表面设有用于与第二垫圈33压合的第二斜面25。
在连接管2端口内侧设置斜面，可以缓解垫圈靠近斜面侧的受力，从而延长垫圈的使用寿命；另一方面，连接管2端口处的内径大于连接管中部区域的内径，便于引导压垫和垫圈向连接管2轴向方向延伸，从而实现对待连接管(例如真空规管)的更好的密封连接。
本实施例中，第一封头11外径较大的一端设有第一通孔111，所述第一封头11内表面设有与第一螺纹21配合的第三螺纹112；第二封头31外径较大的一端设有第二通孔(图中未示出)，所述第二封头31内表面设有与第二螺纹22配合的第四螺纹(图中未示出)。
第一通孔111和第二通孔用于真空规管的穿入。
本实施例中，所述第一通孔111位于所述第一封头11的中心区域；所述第二通孔位于所述第二封头31的中心区域。
本实施例中，所述第一压垫12外径较小的一端的端面为平面，所述第一压垫12外径较小的一端与第一垫圈13抵接；所述第二压垫32外径较小的一端的端面为平面，所述第二压垫32外径较小的一端与第二垫圈33抵接。
压垫的一端设置为平面结构，可以增大压垫与垫圈的接触面积，增大垫圈的受力面积，从而实现压垫对垫圈的平稳推压。
本实施例中，所述第一压垫12外径较大的一端的孔外周设有第三斜面121，所述第二压垫32外径较大的一端的孔外周设有第四斜面(图中未示出)。
第三斜面121和第四斜面的设置，斜面对真空规管具有引导作用，方便真空规管从第一通孔导入后顺利穿入压垫。
本实施例中，所述第一垫圈13和所述第二垫圈33均为O形垫圈，所述O形垫圈由橡胶材料制成。
O形垫圈与连接管2的内径更加贴合，方便插入结构的密封。
本实施例中，所述O形垫圈的截面为圆形。
本实施例中，所述第一连接头1与所述第二连接头3沿所述螺母的轴向方向对称设置。
以上所述仅为本发明的较佳实施例而已，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种可重复利用的双头连接器，其特征在于，包括第一连接头、连接管和第二连接头，所述连接管的一端与所述第一连接头螺纹连接，另一端与所述第二连接头螺纹连接，所述第一连接头包括第一封头、第一压垫和第一垫圈，所述第一压垫和第一垫圈压紧设置在所述第一封头与所述连接管之间，所述第二连接头包括第二封头、第二压垫和第二垫圈，所述第二压垫和第二垫圈压紧设置在所述第二封头与所述连接管之间，所述第一垫圈和所述第二垫圈均为弹性垫圈。
2.根据权利要求1所述的可重复利用的双头连接器，其特征在于，所述连接管左端的外表面设有与第一封头配合的第一螺纹，所述连接管右端的外表面设有与第二封头配合的第二螺纹，所述连接管外周的中间区域还设置有螺母，所述连接管贯穿所述螺母。
3.根据权利要求1所述的可重复利用的双头连接器，其特征在于，所述连接管左端的内表面设有与第一垫圈压合的第一斜面，所述连接管的右端的内表面设有与第二垫圈压合的第二斜面。
4.根据权利要求1所述的可重复利用的双头连接器，其特征在于，第一封头外径较大的一端设有第一通孔，所述第一封头内表面设有与第一螺纹配合的第三螺纹；第二封头外径较大的一端设有第二通孔，所述第二封头内表面设有与第二螺纹配合的第四螺纹。
5.根据权利要求4所述的可重复利用的双头连接器，其特征在于，所述第一通孔位于所述第一封头的中心区域；所述第二通孔位于所述第二封头的中心区域。
6.根据权利要求1所述的可重复利用的双头连接器，其特征在于，所述第一压垫外径较小的一端的端面为平面，所述第一压垫外径较小的一端与第一垫圈抵接；所述第二压垫外径较小的一端的端面为平面，所述第二压垫外径较小的一端与第二垫圈抵接。
7.根据权利要求6所述的可重复利用的双头连接器，其特征在于，所述第一压垫外径较大的一端的孔外周设有第三斜面，所述第二压垫外径较大的一端的孔外周设有第四斜面。
8.根据权利要求1所述的可重复利用的双头连接器，其特征在于，所述第一垫圈和所述第二垫圈均为O形垫圈，所述O形垫圈由橡胶材料制成。
9.根据权利要求8所述的可重复利用的双头连接器，其特征在于，所述O形垫圈的纵截面为圆形。
10.根据权利要求2所述的可重复利用的双头连接器，其特征在于，所述第一连接头与所述第二连接头沿所述螺母的轴向方向对称设置。
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