CN209049815U - 一种全自动摇动式硅片清洗设备 - Google Patents
一种全自动摇动式硅片清洗设备 Download PDFInfo
- Publication number
- CN209049815U CN209049815U CN201821943584.6U CN201821943584U CN209049815U CN 209049815 U CN209049815 U CN 209049815U CN 201821943584 U CN201821943584 U CN 201821943584U CN 209049815 U CN209049815 U CN 209049815U
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- cleaning equipment
- belt wheel
- silicon wafer
- full
- rack
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 title claims abstract description 106
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 title claims abstract description 69
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 title claims abstract description 69
- 239000010703 silicon Substances 0.000 title claims abstract description 69
- 230000000694 effects Effects 0.000 claims description 11
- 239000007787 solid Substances 0.000 claims description 2
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 abstract description 8
- 230000008901 benefit Effects 0.000 abstract description 5
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 abstract description 4
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 abstract description 4
- 238000005406 washing Methods 0.000 abstract description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 59
- 238000004134 energy conservation Methods 0.000 description 4
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 4
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 3
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 2
- 239000011435 rock Substances 0.000 description 2
- 238000009825 accumulation Methods 0.000 description 1
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 1
- 230000008676 import Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 238000012797 qualification Methods 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 238000006467 substitution reaction Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
本实用新型公开了一种全自动摇动式硅片清洗设备，涉及硅片清洗技术领域，该全自动摇动式硅片清洗设备，包括清洗设备本体和活动盖，清洗设备本体和活动盖固定连接，清洗设备本体的内底壁安装有对称布置的加热器，清洗设备本体的内部底侧活动安装有驱动轴，清洗设备本体的侧面右侧底部固定安装有第一伺服电机。该全自动摇动式硅片清洗设备，提高了硅片的清洗效率，加热器工作使得清洗水变成热水，不仅可以清洗硅片上附着的杂物，而且可以使得硅片上的胶体脱离，增强了清洗设备的实用性，实现了多组硅片放置架可以同时进行摇动式清洗，提高了企业的经济效益，节能环保，提高了硅片清洗的充分性和彻底性，降低了维护成本。
Description
技术领域
本实用新型涉及硅片清洗技术领域，具体为一种全自动摇动式硅片清洗设备。
背景技术
现有生活中，太阳能硅片主要用于太阳能转换，依靠中国半导体设备行业数十年来的技术积累，通过和一流光伏电池企业的深度合作，经过连续多年的不懈努力，中国光伏设备企业已基本具备太阳能电池制造设备的整线装备能力，在国产设备及进口设备混搭的主流建线方案中，国产设备在数量上已占多数，但是随着太阳能的硅片的大面积应用，其清洗问题是成为一大问题，硅片表面的清洁度是影响硅片合格率的关键因素，现有的硅片清洗设备清洗效果不充分和不彻底，清洗效率低下，不能够大批量清洗，不够节能环保，不方便调节，可控性较差，机械性能不好。
目前，现有的硅片清洗设备，使用不便，不利于推广使用。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种全自动摇动式硅片清洗设备，解决了现有的硅片清洗设备清洗效果不充分和不彻底，清洗效率低下，不能够大批量清洗，不够节能环保，不方便调节，可控性较差和机械性能不好的问题。
(二)技术方案
为实现以上目的，本实用新型通过以下技术方案予以实现：
一种全自动摇动式硅片清洗设备，包括清洗设备本体和活动盖，所述清洗设备本体和活动盖固定连接，所述清洗设备本体的内底壁安装有对称布置的加热器，所述清洗设备本体的内部底侧活动安装有驱动轴，所述清洗设备本体的侧面右侧底部固定安装有第一伺服电机，所述驱动轴的外表面固定安装有均匀布置的驱动齿轮；
所述清洗设备本体的内部安装有多个硅片放置架，所述硅片放置架的底部外侧滑动安装有滑轨，所述硅片放置架的外侧固定连接有齿条，所述滑轨的中部底侧活动安装有连动齿轮，所述硅片放置架的两侧均活动安装有限位滑柱，所述限位滑柱靠近硅片放置架的一端固定安装有轴承；
所述滑轨的内部两侧均开设有滑槽，所述限位滑柱与滑槽滑动连接，所述硅片放置架的正面两侧均设置有螺杆，所述螺杆与清洗设备本体的内底壁活动连接，所述螺杆的外表面安装有套筒，所述套筒的外表面固定连接有支撑杆，所述滑轨的正面两侧均固定连接有固定座，所述支撑杆的顶端和固定座的底端均固定安装有定位柱，所述支撑杆的顶端和固定座的底端之间安装有高强弹簧，所述螺杆的底端贯穿清洗设备本体的底壁并固定安装有第一双股带轮；
所述清洗设备本体的底壁正面中部活动插接有连轴，所述连轴的底端固定安装有第二双股带轮，所述第二双股带轮和第一双股带轮的之间安装有第一皮带，所述连轴的顶端固定安装有连动单股带轮，所述清洗设备本体的侧面左侧底部固定安装有第二伺服电机，所述第二伺服电机的底端固定安装有驱动单股带轮，所述驱动单股带轮和连动单股带轮的之间安装有第二皮带。
可选的，所述加热器的底部与清洗设备本体的内底壁固定连接；
所述驱动轴贯穿清洗设备本体的内壁并与第一伺服电机固定连接。
可选的，所述硅片放置架呈半圆形状，多个所述硅片放置架呈等间距布置。
可选的，所述驱动齿轮和连动齿轮对应设置，所述驱动齿轮和连动齿轮啮合连接；
所述齿条与连动齿轮配合设置，所述齿条与连动齿轮啮合连接。
可选的，所述限位滑柱通过轴承与硅片放置架活动连接；
所述滑槽与限位滑柱配合设置。
可选的，所述套筒与螺杆螺纹连接；
所述高强弹簧固定套接在定位柱的外表面。
可选的，所述连轴设置为多个，多个所述连轴呈等间距布置；
所述第一双股带轮通过第一皮带与第二双股带轮活动连接；
所述连动单股带轮通过第二皮带与驱动单股带轮活动连接。
(三)有益效果
本实用新型提供了一种全自动摇动式硅片清洗设备，具备以下有益效果：
(1)、该全自动摇动式硅片清洗设备，一方面通过设置加热器，提高了硅片的清洗效率，加热器工作使得清洗水变成热水，不仅可以清洗硅片上附着的杂物，而且可以使得硅片上的胶体脱离，增强了清洗设备的实用性，另一方面通过设置第一伺服电机、驱动齿轮、滑轨、齿条、连动齿轮、限位滑柱、轴承和滑槽，实现了多组硅片放置架可以同时进行摇动式清洗，通过摇动可以将硅片上的杂物甩落下来，可以对硅片进行大批量清洗，提高了企业的经济效益，满足了使用需求，节能环保，提高了硅片清洗的充分性和彻底性。
(2)、该全自动摇动式硅片清洗设备，一方面通过设置支撑杆、固定座、定位柱和高强弹簧，减震效果好，提高了清洗设备的稳定性，使得清洗设备保持良好的机械性能，延长了使用寿命，避免了损坏，降低了维护成本，另一方面通过设置螺杆、套筒、第一双股带轮、连轴、第二双股带轮、第一皮带、连动单股带轮、第二伺服电机、驱动单股带轮和第二皮带，传动效果好，可以通过一个电机同时带动多组硅片放置架进行升降调节，降低了损耗，提高了清洗设备的可控性和可靠性，方便控制清洗设备工作和停止，还方便取拿和放置硅片，减轻了劳动强度，提高了清洗设备的便捷性。
附图说明
图1为本实用新型的硅片清洗设备正视剖面示意图；
图2为本实用新型的硅片清洗设备侧视剖面示意图；
图3为本实用新型的图2中A处结构放大示意图；
图4为本实用新型的图1中B处结构放大示意图。
图中：清洗设备本体1、活动盖2、加热器3、驱动轴4、第一伺服电机5、驱动齿轮6、硅片放置架7、滑轨8、齿条9、连动齿轮10、限位滑柱11、轴承12、滑槽13、螺杆14、套筒15、支撑杆16、固定座17、定位柱18、高强弹簧19、第一双股带轮20、连轴21、第二双股带轮22、第一皮带23、连动单股带轮24、第二伺服电机25、驱动单股带轮26、第二皮带27。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。
在本实用新型的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接；可以是机械连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本实用新型的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。
请参阅图1-4，本实用新型提供一种技术方案：
一种全自动摇动式硅片清洗设备，包括清洗设备本体1和活动盖2，清洗设备本体1和活动盖2固定连接，清洗设备本体1的内底壁安装有对称布置的加热器3，清洗设备本体1的内部底侧活动安装有驱动轴4，清洗设备本体1的侧面右侧底部固定安装有第一伺服电机5，驱动轴4的外表面固定安装有均匀布置的驱动齿轮6；
清洗设备本体1的内部安装有多个硅片放置架7，硅片放置架7的底部外侧滑动安装有滑轨8，硅片放置架7的外侧固定连接有齿条9，滑轨8的中部底侧活动安装有连动齿轮10，硅片放置架7的两侧均活动安装有限位滑柱11，限位滑柱11靠近硅片放置架7的一端固定安装有轴承12；
滑轨8的内部两侧均开设有滑槽13，限位滑柱11与滑槽13滑动连接，硅片放置架7的正面两侧均设置有螺杆14，螺杆14与清洗设备本体1的内底壁活动连接，螺杆14的外表面安装有套筒15，套筒15的外表面固定连接有支撑杆16，滑轨8的正面两侧均固定连接有固定座17，支撑杆16的顶端和固定座17的底端均固定安装有定位柱18，支撑杆16的顶端和固定座17的底端之间安装有高强弹簧19，螺杆14的底端贯穿清洗设备本体1的底壁并固定安装有第一双股带轮20；
清洗设备本体1的底壁正面中部活动插接有连轴21，连轴21的底端固定安装有第二双股带轮22，第二双股带轮22和第一双股带轮20的之间安装有第一皮带23，连轴21的顶端固定安装有连动单股带轮24，清洗设备本体1的侧面左侧底部固定安装有第二伺服电机25，第二伺服电机25的底端固定安装有驱动单股带轮26，驱动单股带轮26和连动单股带轮24的之间安装有第二皮带27。
作为本实用新型的一种可选技术方案：
加热器3的底部与清洗设备本体1的内底壁固定连接，通过设置加热器3，提高了硅片的清洗效率，加热器3工作使得清洗水变成热水，不仅可以清洗硅片上附着的杂物，而且可以使得硅片上的胶体脱离，增强了清洗设备的实用性；
驱动轴4贯穿清洗设备本体1的内壁并与第一伺服电机5固定连接。
作为本实用新型的一种可选技术方案：
硅片放置架7呈半圆形状，多个硅片放置架7呈等间距布置。
作为本实用新型的一种可选技术方案：
驱动齿轮6和连动齿轮10对应设置，驱动齿轮6和连动齿轮10啮合连接；
齿条9与连动齿轮10配合设置，齿条9与连动齿轮10啮合连接。
作为本实用新型的一种可选技术方案：
限位滑柱11通过轴承12与硅片放置架7活动连接；
滑槽13与限位滑柱11配合设置，通过设置第一伺服电机5、驱动齿轮6、滑轨8、齿条9、连动齿轮10、限位滑柱11、轴承12和滑槽13，实现了多组硅片放置架7可以同时进行摇动式清洗，通过摇动可以将硅片上的杂物甩落下来，可以对硅片进行大批量清洗，提高了企业的经济效益，满足了使用需求，节能环保，提高了硅片清洗的充分性和彻底性。
作为本实用新型的一种可选技术方案：
套筒15与螺杆14螺纹连接；
高强弹簧19固定套接在定位柱18的外表面，通过设置支撑杆16、固定座17、定位柱18和高强弹簧19，减震效果好，提高了清洗设备的稳定性，使得清洗设备保持良好的机械性能，延长了使用寿命，避免了损坏，降低了维护成本。
作为本实用新型的一种可选技术方案：
连轴21设置为多个，多个连轴21呈等间距布置；
第一双股带轮20通过第一皮带23与第二双股带轮22活动连接；
连动单股带轮24通过第二皮带27与驱动单股带轮26活动连接，通过设置螺杆14、套筒15、第一双股带轮20、连轴21、第二双股带轮22、第一皮带23、连动单股带轮24、第二伺服电机25、驱动单股带轮26和第二皮带27，传动效果好，可以通过一个电机同时带动多组硅片放置架7进行升降调节，降低了损耗，提高了清洗设备的可控性和可靠性，方便控制清洗设备工作和停止，还方便取拿和放置硅片，减轻了劳动强度，提高了清洗设备的便捷性。
该文中出现的电器元件均与外界的主控器及220V市电电连接，并且主控器可为计算机等起到控制的常规已知设备。
综上所述，该全自动摇动式硅片清洗设备，在使用的情况下，第一伺服电机5正反转动，由于驱动齿轮6和连动齿轮10传动连接，连动齿轮10和齿条9传动连接吗，使得硅片放置架7可以在滑轨8上做半圆周来回摇摆运动，第二伺服电机25正反转动，由于第一双股带轮20和第二双股带轮22通过第一皮带23传动连接，驱动单股带轮26和连动单股带轮24通过第二皮带27传动连接，使得套筒15可以在螺杆14上做上下运动，进而达到硅片放置架7升降调节的目的，一方面通过设置加热器3，提高了硅片的清洗效率，加热器3工作使得清洗水变成热水，不仅可以清洗硅片上附着的杂物，而且可以使得硅片上的胶体脱离，增强了清洗设备的实用性，另一方面通过设置第一伺服电机5、驱动齿轮6、滑轨8、齿条9、连动齿轮10、限位滑柱11、轴承12和滑槽13，实现了多组硅片放置架7可以同时进行摇动式清洗，通过摇动可以将硅片上的杂物甩落下来，可以对硅片进行大批量清洗，提高了企业的经济效益，满足了使用需求，节能环保，提高了硅片清洗的充分性和彻底性，其次通过设置支撑杆16、固定座17、定位柱18和高强弹簧19，减震效果好，提高了清洗设备的稳定性，使得清洗设备保持良好的机械性能，延长了使用寿命，避免了损坏，降低了维护成本，此外通过设置螺杆14、套筒15、第一双股带轮20、连轴21、第二双股带轮22、第一皮带23、连动单股带轮24、第二伺服电机25、驱动单股带轮26和第二皮带27，传动效果好，可以通过一个电机同时带动多组硅片放置架7进行升降调节，降低了损耗，提高了清洗设备的可控性和可靠性，方便控制清洗设备工作和停止，还方便取拿和放置硅片，减轻了劳动强度，提高了清洗设备的便捷性。
需要说明的是，在本实用新型中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征“上”或“下”可以是第一和第二特征直接接触，或第一和第二特征通过中间媒介间接接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”可是第一特征在第二特征正上方或斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”可以是第一特征在第二特征正下方或斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。
Claims (7)
1.一种全自动摇动式硅片清洗设备，包括清洗设备本体(1)和活动盖(2)，其特征在于：所述清洗设备本体(1)和活动盖(2)固定连接，所述清洗设备本体(1)的内底壁安装有对称布置的加热器(3)，所述清洗设备本体(1)的内部底侧活动安装有驱动轴(4)，所述清洗设备本体(1)的侧面右侧底部固定安装有第一伺服电机(5)，所述驱动轴(4)的外表面固定安装有均匀布置的驱动齿轮(6)；
所述清洗设备本体(1)的内部安装有多个硅片放置架(7)，所述硅片放置架(7)的底部外侧滑动安装有滑轨(8)，所述硅片放置架(7)的外侧固定连接有齿条(9)，所述滑轨(8)的中部底侧活动安装有连动齿轮(10)，所述硅片放置架(7)的两侧均活动安装有限位滑柱(11)，所述限位滑柱(11)靠近硅片放置架(7)的一端固定安装有轴承(12)；
所述滑轨(8)的内部两侧均开设有滑槽(13)，所述限位滑柱(11)与滑槽(13)滑动连接，所述硅片放置架(7)的正面两侧均设置有螺杆(14)，所述螺杆(14)与清洗设备本体(1)的内底壁活动连接，所述螺杆(14)的外表面安装有套筒(15)，所述套筒(15)的外表面固定连接有支撑杆(16)，所述滑轨(8)的正面两侧均固定连接有固定座(17)，所述支撑杆(16)的顶端和固定座(17)的底端均固定安装有定位柱(18)，所述支撑杆(16)的顶端和固定座(17)的底端之间安装有高强弹簧(19)，所述螺杆(14)的底端贯穿清洗设备本体(1)的底壁并固定安装有第一双股带轮(20)；
所述清洗设备本体(1)的底壁正面中部活动插接有连轴(21)，所述连轴(21)的底端固定安装有第二双股带轮(22)，所述第二双股带轮(22)和第一双股带轮(20)的之间安装有第一皮带(23)，所述连轴(21)的顶端固定安装有连动单股带轮(24)，所述清洗设备本体(1)的侧面左侧底部固定安装有第二伺服电机(25)，所述第二伺服电机(25)的底端固定安装有驱动单股带轮(26)，所述驱动单股带轮(26)和连动单股带轮(24)的之间安装有第二皮带(27)。
2.根据权利要求1所述的一种全自动摇动式硅片清洗设备，其特征在于：
所述加热器(3)的底部与清洗设备本体(1)的内底壁固定连接；
所述驱动轴(4)贯穿清洗设备本体(1)的内壁并与第一伺服电机(5)固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种全自动摇动式硅片清洗设备，其特征在于：
所述硅片放置架(7)呈半圆形状，多个所述硅片放置架(7)呈等间距布置。
4.根据权利要求1所述的一种全自动摇动式硅片清洗设备，其特征在于：
所述驱动齿轮(6)和连动齿轮(10)对应设置，所述驱动齿轮(6)和连动齿轮(10)啮合连接；
所述齿条(9)与连动齿轮(10)配合设置，所述齿条(9)与连动齿轮(10)啮合连接。
5.根据权利要求1所述的一种全自动摇动式硅片清洗设备，其特征在于：
所述限位滑柱(11)通过轴承(12)与硅片放置架(7)活动连接；
所述滑槽(13)与限位滑柱(11)配合设置。
6.根据权利要求1所述的一种全自动摇动式硅片清洗设备，其特征在于：
所述套筒(15)与螺杆(14)螺纹连接；
所述高强弹簧(19)固定套接在定位柱(18)的外表面。
7.根据权利要求1所述的一种全自动摇动式硅片清洗设备，其特征在于：
所述连轴(21)设置为多个，多个所述连轴(21)呈等间距布置；
所述第一双股带轮(20)通过第一皮带(23)与第二双股带轮(22)活动连接；
所述连动单股带轮(24)通过第二皮带(27)与驱动单股带轮(26)活动连接。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201821943584.6U CN209049815U (zh) | 2018-11-23 | 2018-11-23 | 一种全自动摇动式硅片清洗设备 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201821943584.6U CN209049815U (zh) | 2018-11-23 | 2018-11-23 | 一种全自动摇动式硅片清洗设备 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN209049815U true CN209049815U (zh) | 2019-07-02 |
Family
ID=67054296
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201821943584.6U Active CN209049815U (zh) | 2018-11-23 | 2018-11-23 | 一种全自动摇动式硅片清洗设备 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN209049815U (zh) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112427392A (zh) * | 2020-12-08 | 2021-03-02 | 江西舜源电子科技有限公司 | 一种用于硅片清洗的花篮晃动装置 |
| CN112657153A (zh) * | 2020-12-14 | 2021-04-16 | 马鞍山河谷照阳信息科技咨询有限公司 | 足球训练场用足球清洁装置 |
| CN117976583A (zh) * | 2024-03-29 | 2024-05-03 | 江苏英思特半导体科技有限公司 | 一种硅片花篮的自动抓取清洗设备 |
-
2018
- 2018-11-23 CN CN201821943584.6U patent/CN209049815U/zh active Active
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112427392A (zh) * | 2020-12-08 | 2021-03-02 | 江西舜源电子科技有限公司 | 一种用于硅片清洗的花篮晃动装置 |
| CN112657153A (zh) * | 2020-12-14 | 2021-04-16 | 马鞍山河谷照阳信息科技咨询有限公司 | 足球训练场用足球清洁装置 |
| CN117976583A (zh) * | 2024-03-29 | 2024-05-03 | 江苏英思特半导体科技有限公司 | 一种硅片花篮的自动抓取清洗设备 |
| CN117976583B (zh) * | 2024-03-29 | 2024-05-28 | 江苏英思特半导体科技有限公司 | 一种硅片花篮的自动抓取清洗设备 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN209049815U (zh) | 一种全自动摇动式硅片清洗设备 | |
| CN209350003U (zh) | 一种电机侧板加工用打磨装置 | |
| CN209292744U (zh) | 一种纺织产品生产废料再回收用清洗装置 | |
| CN208781878U (zh) | 一种光伏组件安装装置 | |
| CN111411886A (zh) | 一种被动房智能遮阳发电装置 | |
| CN109330003A (zh) | 一种巧克力浸涂装置 | |
| CN208801351U (zh) | 一种化妆品盒体夹持移动机构 | |
| CN208759796U (zh) | 一种塑料生产用原料混合装置 | |
| CN207835405U (zh) | 一种薄膜太阳能电池板 | |
| CN209156652U (zh) | 一种料桶快速水洗装置 | |
| CN205955601U (zh) | 一种可收集太阳能的节能环保窗户 | |
| CN211109452U (zh) | 一种带有摩擦力增大结构的特氟龙传送带 | |
| CN211719566U (zh) | 清洗机花篮驱动装置 | |
| CN208189620U (zh) | 一种用于电池片组装的转送装置 | |
| CN208215068U (zh) | 一种机械自动化抛光机 | |
| CN202700195U (zh) | 一种全自动污水过滤装置 | |
| CN209095792U (zh) | 一种橡胶用循环水冷的冷却装置 | |
| CN207387330U (zh) | 一种不锈钢板打磨装置 | |
| CN202579328U (zh) | 一种化工离心泵 | |
| CN207498620U (zh) | 用于毛料的清洗桶 | |
| CN208623611U (zh) | 一种节能水泵用可调整太阳能板角度的安装架 | |
| CN208514203U (zh) | 一种型材颗粒打磨机 | |
| CN208307972U (zh) | 一种机械式板棒材自动收集装置 | |
| CN208197134U (zh) | 一种滚筒式粉料颗粒布料机 | |
| CN208179285U (zh) | 一种玻璃磨边机用磨轮安装磨头 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |