CN209024632U - 镀膜机修正板及蒸发镀膜机 - Google Patents

Abstract

本实用新型属于镀膜设备技术领域，涉及一种镀膜机修正板及蒸发镀膜机。该镀膜机修正板包括母板、第一子板、第一控制杆、第二子板以及第二控制杆，所述母板具有相对设置的第一边缘和第二边缘，所述第一控制杆的靠近所述第二边缘的一端转动连接在所述母板上，所述第一控制杆的靠近所述第一边缘的一端转动连接在所述第一子板上，所述第二控制杆的靠近所述第一边缘的一端转动连接在所述母板上，所述第二控制杆的靠近所述第二边缘的一端转动连接在所述第二子板上，所述第一子板覆盖所述第一边缘并沿所述第一边缘的长度方向延伸，所述第二子板覆盖所述第二边缘并沿所述第二边缘的长度方向延伸。该镀膜机修正板可更加精确地调节其大小，提高修正效率。

Description

镀膜机修正板及蒸发镀膜机

技术领域

本实用新型属于镀膜设备技术领域，特别是涉及一种镀膜机修正板及蒸发镀膜机。

背景技术

蒸发镀膜机在蒸发镀膜的过程中，由于蒸发源到伞架上基板的距离不同，易导致基板上镀膜出现不均匀的问题，现有的处理方式是在伞架与蒸发源之间增加修正板，通过修正板对蒸发源的上方进行部分遮挡，使镀在基板的膜层尽可能的均匀。但是蒸发镀膜机在镀膜过程中会使用不同的材料(比如sio2，ti3o5) 对伞架进行镀膜，而修正板对不同膜系(镀膜材料)的修正效果不同，这将导致同一块修正板对不同膜系进行修正时存在误差。

现有的做法中，为了提高修正精度，主要是将不同膜系进行单一膜系修改。但是该方法存在以下问题：

(1)蒸发镀膜机每次发生大型镀膜条件的变动或者膜系的变动，都会导致伞架镀膜的不均匀，需要通过伞架上产品的通过率曲线来更改修正板的形状，以使整个伞架的膜层分布均匀。

(2)伞架的有效使用面积减少。由于镀膜沉积环境的差异，导致越靠近机台门的伞架的膜层分布越不均匀，而同一修正版对不同膜系进行修正时，会增大靠近蒸发镀膜机的机门处的伞架膜层分布的不均匀性，导致接近门口的伞架不能继续使用。由此需要通过直接在修正板上进行加工剪切，使之达到遮挡要求。现有的修正板都是不锈钢或者铝合金，每次的剪板费时费力，而且修正板可以减小但不可增大，给实际的调试均匀性造成不便，同样也造成了浪费。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是：针对现有的修正板调试不便的技术问题，提供一种镀膜机修正板及蒸发镀膜机。

为解决上述技术问题，一方面，本实用新型实施例提供了一种镀膜机修正板，包括母板、第一子板、第一控制杆、第二子板以及第二控制杆，所述母板具有相对设置的第一边缘和第二边缘，所述第一控制杆的一端转动连接在所述母板上，所述第一控制杆的另一端转动连接在所述第一子板上，所述第二控制杆的一端转动连接在所述母板上，所述第二控制杆的另一端转动连接在所述第二子板上，所述第一子板覆盖所述第一边缘并沿所述第一边缘的长度方向延伸，所述第二子板覆盖所述第二边缘并沿所述第二边缘的长度方向延伸。

根据本实用新型实施例的镀膜机修正板，第一控制杆的靠近第二边缘的一端转动连接在母板上，第一控制杆的靠近第一边缘的一端转动连接在第一子板上，第二控制杆的靠近第一边缘的一端转动连接在母板上，第二控制杆的靠近第二边缘的一端转动连接在第二子板上。当第一控制杆摆动时，第一子板可伸出母板，当第二控制杆摆动时，第二子板可伸出母板，从而更加精确地调节镀膜机修正板的大小，提高修正效率。此外，膜系变化对本实用新型实施例的镀膜机修正板的影响较小，减少了手动加板和手动减板的时间浪费。且母板与第一子板及第二子板之间层叠设置，使镀膜机修正板存在多样性，而且不占用面积。

可选地，所述第一控制杆设有两个，两个所述第一控制杆平行，所述第二控制杆设有两个，两个所述第二控制杆平行。

可选地，所述镀膜机修正板还包括第一转轴、第二转轴、第三转轴以及第四转轴，所述第一转轴、第二转轴、第三转轴及第四转轴均垂直于所述母板，所述母板、第一子板及第二子板平行；

所述第一控制杆的一端通过所述第一转轴转动连接在所述母板上，所述第一控制杆的另一端通过所述第二转轴转动连接在所述第一子板上；

所述第二控制杆的一端通过所述第三转轴转动连接在所述母板上，所述第二控制杆的另一端通过所述第四转轴转动连接在所述第二子板上。

可选地，所述第一子板和所述第二子板位于所述母板的厚度方向的同一侧。

可选地，所述第一子板设置有两个，两个所述第一子板分别位于所述母板的厚度方向的相对的两侧；

所述第二子板设置有两个，两个所述第二子板分别位于所述母板的厚度方向的相对的两侧。

可选地，所述镀膜机修正板还包括多个第一滑板及多个第二滑板，多个所述第一滑板滑动设置在所述第一子板上远离所述母板的第二边缘的一侧，多个所述第二滑板滑动设置在所述第二子板上远离所述母板的第一边缘的一侧；

在所述第一滑板滑动至与所述第一边缘距离最远时，所述第一滑板突出于所述第一子板的远离所述母板的一侧的边缘；

在所述第二滑板滑动至与所述第二边缘距离最远时，所述第二滑板突出于所述第二子板的远离所述母板的一侧的边缘。

可选地，所述母板为矩形板，所述第一边缘和第二边缘为所述母板的两个长边，所述第一子板为矩形板，所述第二子板为矩形板，所述母板、第一子板及第二子板的长度方向平行。

可选地，所述第一滑板为矩形板，多个所述第一滑板沿所述第一子板的长度方向并排设置，所述第一滑板的滑动方向与所述第一子板的长度方向垂直；

所述第二滑板为矩形板，多个所述第二滑板沿所述第二子板的长度方向并排设置，所述第二滑板的滑动方向与所述第二子板的长度方向垂直。

可选地，所述第一子板上设置有沿所述第一子板的宽度方向延伸的第一导向孔，所述第一滑板上设置有第一限位件，所述第一限位件滑动设置于所述第一导向孔中；

所述第二子板上设置有沿所述第二子板的宽度方向延伸的第二导向孔，所述第二滑板上设置有第二限位件，所述第二限位件滑动设置于所述第二导向孔中。

可选地，所述第一限位件包括第一柱体以及第一框体，所述第一柱体的一端固定在所述第一滑板上，所述第一柱体的另一端压装在所述第一框体内，所述第一框体抵接在所述第一子板的厚度方向上的背离所述母板的一侧表面；

所述第二限位件包括第二柱体以及第二框体，所述第二柱体的一端固定在所述第二滑板上，所述第二柱体的另一端压装在所述第二框体内，所述第二框体抵接在所述第二子板的厚度方向上的背离所述母板的一侧表面。

另一方面，本实用新型实施例提供了一种蒸发镀膜机，其包括控制器、第一电机、第二电机以及上述的镀膜机修正板，所述第一电机用于驱动第一控制杆旋转，所述第二电机用于驱动第二控制杆旋转，所述第一电机及第二电机分别与所述控制器电连接。

附图说明

图1是本实用新型一实施例提供的镀膜机修正板的第一示意图；

图2是图1中A处的放大图；

图3是本实用新型一实施例提供的镀膜机修正板的第二示意图。

说明书中的附图标记如下：

1、母板；11、第一边缘；12、第二边缘；

2、第一子板；21、第一导向孔；

3、第一控制杆；

4、第二子板；41、第二导向孔；

5、第二控制杆；

6、第一转轴；

7、第三转轴；

8、第一滑板；81、第一限位件；811、第一柱体；812、第一框体；

9、第二滑板；91、第二限位件；911、第二柱体；912、第二框体。

具体实施方式

为了使本实用新型所解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步的详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

如图1至图3所示，本实用新型实施例提供的镀膜机修正板，包括母板1、第一子板2、第一控制杆3、第二子板4以及第二控制杆5，所述母板1具有相对设置的第一边缘11和第二边缘12，所述第一控制杆3的一端转动连接在所述母板1上，所述第一控制杆3的另一端转动连接在所述第一子板2上，所述第二控制杆5的一端转动连接在所述母板1上，所述第二控制杆5的另一端转动连接在所述第二子板4上，所述第一子板2覆盖所述第一边缘11并沿所述第一边缘11的长度方向延伸，所述第二子板4覆盖所述第二边缘12并沿所述第二边缘12的长度方向延伸。

本实用新型实施例提供的镀膜机修正板，所述第一控制杆3的靠近所述第二边缘12的一端转动连接在所述母板1上，所述第一控制杆3的靠近所述第一边缘11的一端转动连接在所述第一子板2上，所述第二控制杆5的靠近所述第一边缘11的一端转动连接在所述母板1上，所述第二控制杆5的靠近所述第二边缘12的一端转动连接在所述第二子板4上。当所述第一控制杆3摆动时，所述第一子板2可伸出所述母板1或收回，当所述第二控制杆5摆动时，所述第二子板4可伸出所述母板1或收回，从而更加精确地调节所述镀膜机修正板的大小，提高修正效率。此外，膜系变化时对本实用新型实施例的镀膜机修正板影响较小，减少了手动加板和手动减板的时间浪费。且所述母板1与所述第一子板2之间层叠设置，所述母板1与所述第二子板4之间层叠设置，使所述镀膜机修正板存在多样性，而且不占用面积。

所述第一控制杆3的转动连接在所述母板1上的一端靠近所述第二边缘12，所述第一控制杆3的转动连接在所述第一子板2上的另一端靠近所述第一边缘 11，所述第二控制杆5的转动连接在所述母板1上的一端靠近所述第一边缘11，所述第二控制杆5的转动连接在所述第二子板4上的另一端靠近所述第二边缘 12。本实用新型实施例提供的镀膜机修正板可应用于卧式蒸发机和立式蒸发机。

在一实施例中，如图1及图3所示，所述第一控制杆3设有两个，两个所述第一控制杆3平行，所述第二控制杆5设有两个，两个所述第二控制杆5平行。

两个所述第一控制杆3平行，以使所述第一子板2伸出或收回时，所述第一子板2的长度方向始终平行与所述第一边缘11，同时使所述第一子板2的伸出或收回更加平稳。

两个所述第二控制杆5平行，以使所述第二子板4伸出或收回时，所述第二子板4的长度方向始终平行与所述第二边缘12，同时使所述第二子板4的伸出或收回更加平稳。

在一实施例中，如图1及图3所示，所述镀膜机修正板还包括第一转轴6、第二转轴(图未示)、第三转轴7以及第四转轴(图未示)，所述第一转轴6、第二转轴、第三转轴7及第四转轴均垂直于所述母板1，所述母板1、第一子板2 及第二子板4平行，以使所述第一子板2及第二子板4仅在与所述母板1平行的同一平面内移动。

所述第一控制杆3的一端通过所述第一转轴6转动连接在所述母板1上，所述第一控制杆3的另一端通过所述第二转轴转动连接在所述第一子板2上。

所述第二控制杆5的一端通过所述第三转轴7转动连接在所述母板1上，所述第二控制杆5的另一端通过所述第四转轴转动连接在所述第二子板4上。

在一实施例中，如图1及图3所示，所述第一子板2和所述第二子板4位于所述母板1的厚度方向的同一侧。

在图未示出的其他实施例中，所述第一子板2和所述第二子板4可分别位于所述母板1的厚度方向的不同一侧。

在一实施例中，所述第一子板设置有两个，两个所述第一子板分别位于所述母板的厚度方向的相对的两侧。所述第二子板设置有两个，两个所述第二子板分别位于所述母板的厚度方向的相对的两侧，以从所述母板的厚度方向的相对的两侧分别调节所述镀膜机修正板的覆盖面积。

在一实施例中，如图1及图3所示，所述镀膜机修正板还包括多个第一滑板8及多个第二滑板9，多个所述第一滑板8滑动设置在所述第一子板2上远离所述母板1的第二边缘12的一侧，多个所述第二滑板9滑动设置在所述第二子板4上远离所述母板1的第一边缘11的一侧。

通过滑动所述第一滑板8或/及第二滑板9，从而进一步增加所述镀膜机修正板的可覆盖面积，提高修正效率。同时进一步降低膜系变化时对所述镀膜机修正板的影响，减少手动加板和手动减板的时间浪费。

当所述第一子板设置有两个时，部分所述第一滑板将滑动设置在其中一个所述第一子板上，其余的所述第一滑板8将滑动设置在另外一个所述第一子板上。

当所述第二子板设置有两个时，部分所述第二滑板将滑动设置在其中一个所述第二子板上，其余的所述第二滑板将滑动设置在另外一个所述第二子板上。

如图1及图3所示，在所述第一滑板8滑动至与所述第一边缘11距离最远时，所述第一滑板8突出于所述第一子板2的远离所述母板1的一侧的边缘，以增加所述镀膜机修正板设有所述第一子板2的一侧的覆盖面积。

在所述第二滑板9滑动至与所述第二边缘12距离最远时，所述第二滑板9 突出于所述第二子板4的远离所述母板1的一侧的边缘，以增加所述镀膜机修正板设有所述第二子板4的一侧的覆盖面积。

在一实施例中，如图1及图3所示，所述母板1为矩形板，所述第一边缘11和第二边缘12为所述母板1的两个长边，所述第一子板2为矩形板，所述第二子板4为矩形板，所述母板1、第一子板2及第二子板4的长度方向平行，从而在所述第一子板2及第二子板4移动时，保证所述第一子板2的长度方向始终平行与所述母板1的长度方向平行，使所述第一子板2及第二子板4的伸出或收回更加平稳。

“所述母板、第一子板及第二子板的长度方向平行”指所述母板的长边、所述第一子板的长边及所述第二子板的长边平行。

在一实施例中，如图1及图3所示，所述第一滑板8为矩形板，多个所述第一滑板8沿所述第一子板2的长度方向并排设置，所述第一滑板8的滑动方向与所述第一子板2的长度方向垂直，以有效增加所述镀膜机修正板的宽度，使所述镀膜机修正板的覆盖面积增加。

所述第二滑板9为矩形板，多个所述第二滑板9沿所述第二子板4的长度方向并排设置，所述第二滑板9的滑动方向与所述第二子板4的长度方向垂直，以有效增加所述镀膜机修正板的宽度，使所述镀膜机修正板的覆盖面积增加。

在一实施例中，如图1及图3所示，所述第一子板2上设置有沿所述第一子板2的宽度方向延伸的第一导向孔21，所述第一滑板8上设置有第一限位件 81，所述第一限位件81滑动设置于所述第一导向孔21中，以使所述第一滑板8 沿所述第一子板2的宽度方向滑动。

所述第二子板4上设置有沿所述第二子板4的宽度方向延伸的第二导向孔41，所述第二滑板9上设置有第二限位件91，所述第二限位件91滑动设置于所述第二导向孔41中，以使所述第二滑板9沿所述第二子板4的宽度方向滑动。

在一实施例中，如图2及图3所示，所述第一限位件81包括第一柱体811 以及第一框体812，所述第一柱体811的一端固定在所述第一滑板8上，所述第一柱体811的另一端压装在所述第一框体812内，所述第一框体812抵接在所述第一子板2的厚度方向上的背离所述母板1的一侧表面。

所述第一限位件81可保证所述第一滑板8仅沿所述第一子板2的宽度方向滑动，同时可防止所述第一滑板8从所述第一子板2上脱落。

所述第二限位件91包括第二柱体911以及第二框体912，所述第二柱体911 的一端固定在所述第二滑板9上，所述第二柱体911的另一端压装在所述第二框体912内，所述第二框体912抵接在所述第二子板4的厚度方向上的背离所述母板1的一侧表面。

所述第一限位件81可保证所述第二滑板9仅沿所述第二子板4的宽度方向滑动，同时可防止所述第二滑板9从所述第二子板4上脱落。

本实用新型实施例提供的蒸发镀膜机，包括控制器、第一电机、第二电机以及上述的镀膜机修正板，所述第一电机用于驱动第一控制杆旋转，所述第二电机用于驱动第二控制杆旋转，所述第一电机及第二电机分别与所述控制器电连接。

当所述蒸发镀膜机工作时，所述控制器将控制所述第一电机和第二电机工作，使所述第一电机驱动第一控制杆旋转，所述第二电机驱动第二控制杆旋转，从而根据实际需要，带动所述第一子板及第二子板伸出所述母板，以更加精确地调节所述镀膜机修正板的大小，提高修正效率。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例而已，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (11)

1.一种镀膜机修正板，其特征在于，包括母板、第一子板、第一控制杆、第二子板以及第二控制杆，所述母板具有相对设置的第一边缘和第二边缘，所述第一控制杆的一端转动连接在所述母板上，所述第一控制杆的另一端转动连接在所述第一子板上，所述第二控制杆的一端转动连接在所述母板上，所述第二控制杆的另一端转动连接在所述第二子板上，所述第一子板覆盖所述第一边缘并沿所述第一边缘的长度方向延伸，所述第二子板覆盖所述第二边缘并沿所述第二边缘的长度方向延伸。

2.根据权利要求1所述的镀膜机修正板，其特征在于，所述第一控制杆设有两个，两个所述第一控制杆平行，所述第二控制杆设有两个，两个所述第二控制杆平行。

3.根据权利要求2所述的镀膜机修正板，其特征在于，所述镀膜机修正板还包括第一转轴、第二转轴、第三转轴以及第四转轴，所述第一转轴、第二转轴、第三转轴及第四转轴均垂直于所述母板，所述母板、第一子板及第二子板平行；

所述第一控制杆的一端通过所述第一转轴转动连接在所述母板上，所述第一控制杆的另一端通过所述第二转轴转动连接在所述第一子板上；

所述第二控制杆的一端通过所述第三转轴转动连接在所述母板上，所述第二控制杆的另一端通过所述第四转轴转动连接在所述第二子板上。

4.根据权利要求1所述的镀膜机修正板，其特征在于，所述第一子板和所述第二子板位于所述母板的厚度方向的同一侧。

5.根据权利要求1所述的镀膜机修正板，其特征在于，所述第一子板设置有两个，两个所述第一子板分别位于所述母板的厚度方向的相对的两侧；

所述第二子板设置有两个，两个所述第二子板分别位于所述母板的厚度方向的相对的两侧。

6.根据权利要求1-5任一项所述的镀膜机修正板，其特征在于，所述镀膜机修正板还包括多个第一滑板及多个第二滑板，多个所述第一滑板滑动设置在所述第一子板上远离所述母板的第二边缘的一侧，多个所述第二滑板滑动设置在所述第二子板上远离所述母板的第一边缘的一侧；

在所述第一滑板滑动至与所述第一边缘距离最远时，所述第一滑板突出于所述第一子板的远离所述母板的一侧的边缘；

在所述第二滑板滑动至与所述第二边缘距离最远时，所述第二滑板突出于所述第二子板的远离所述母板的一侧的边缘。

7.根据权利要求6所述的镀膜机修正板，其特征在于，所述母板为矩形板，所述第一边缘和第二边缘为所述母板的两个长边，所述第一子板为矩形板，所述第二子板为矩形板，所述母板、第一子板及第二子板的长度方向平行。

8.根据权利要求7所述的镀膜机修正板，其特征在于，所述第一滑板为矩形板，多个所述第一滑板沿所述第一子板的长度方向并排设置，所述第一滑板的滑动方向与所述第一子板的长度方向垂直；

所述第二滑板为矩形板，多个所述第二滑板沿所述第二子板的长度方向并排设置，所述第二滑板的滑动方向与所述第二子板的长度方向垂直。

9.根据权利要求6所述的镀膜机修正板，其特征在于，所述第一子板上设置有沿所述第一子板的宽度方向延伸的第一导向孔，所述第一滑板上设置有第一限位件，所述第一限位件滑动设置于所述第一导向孔中；

所述第二子板上设置有沿所述第二子板的宽度方向延伸的第二导向孔，所述第二滑板上设置有第二限位件，所述第二限位件滑动设置于所述第二导向孔中。

10.根据权利要求9所述的镀膜机修正板，其特征在于，所述第一限位件包括第一柱体以及第一框体，所述第一柱体的一端固定在所述第一滑板上，所述第一柱体的另一端压装在所述第一框体内，所述第一框体抵接在所述第一子板的厚度方向上的背离所述母板的一侧表面；

所述第二限位件包括第二柱体以及第二框体，所述第二柱体的一端固定在所述第二滑板上，所述第二柱体的另一端压装在所述第二框体内，所述第二框体抵接在所述第二子板的厚度方向上的背离所述母板的一侧表面。

11.一种蒸发镀膜机，其特征在于，包括控制器、第一电机、第二电机以及权利要求1-10任一项所述的镀膜机修正板，所述第一电机用于驱动第一控制杆旋转，所述第二电机用于驱动第二控制杆旋转，所述第一电机及第二电机分别与所述控制器电连接。