CN209010595U - 一种真空镀膜机的固化装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型公开了一种真空镀膜机的固化装置，包括底座、外壳、风道、工作台、基板以及光源；外壳与底座焊接连接，外壳与底座之间形成空腔；外壳的顶部设置有第一风机、第二风机以及控制器；风道嵌入在外壳的左右两侧，风道的底部设置有多个吸风口；工作台固定设置在伸缩件上；外壳底部设置有滑轨，工作台与外壳之间通过滑轨滑动连接；基板安装在工作台的上方，基板的两侧与外壳固定连接；多个光源等间距设置在基板上；光源的外部设置有反光罩，反光罩的焦点朝向工作台；基板的顶部竖直设置多个散热鳍片；保证了工作台内的温度适中，不会过高，同时也避免了风机直接对着紫外线灯管吹，造成紫外线灯管功率不足，胶水干燥不彻底的问题。

Description

一种真空镀膜机的固化装置

技术领域

本实用新型涉及镀膜固化技术领域，尤其涉及一种真空镀膜机的固化装置。

背景技术

真空镀膜机主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜，具体包括很多种类，包括真空离子蒸发，磁控溅射，MBE分子束外延，PLD激光溅射沉积等很多种。主要思路是分成蒸发和溅射两种，需要镀膜的被称为基片，镀的材料被称为靶材。基片与靶材同在真空腔中。蒸发镀膜一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。并且沉降在基片表面，通过成膜过程(散点－岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。对于溅射类镀膜，可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材，并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来，并且最终沉积在基片表面，经历成膜过程，最终形成薄膜；薄膜附着在基片上之后需要通过固化装置，保持固定；现有技术中一般使用紫外线照射进行固化，紫外线灯照射后会产生大量的热，多余的热量需要散发；一般的散热组件直接对着紫外线灯吹，这样做的后果是使紫外线灯因热量损失过大而不能全功率工作(灯光由白色变为不刺眼的蓝色)，使胶水根本不能干燥。

实用新型内容

为解决背景技术中存在的技术问题，本实用新型提出一种真空镀膜机的固化装置，以解决固化装置内的散热问题。

本实用新型提出的一种真空镀膜机的固化装置，包括底座、外壳、风道、工作台、基板以及光源；

外壳与底座焊接连接，外壳与底座之间形成空腔；外壳的顶部设置有第一风机、第二风机以及控制器；风道嵌入在外壳的左右两侧，风道的顶部与第一风机相连接，风道的底部设置有多个吸风口；

底座上设置有多个伸缩件，底座的内部设置有驱动伸缩件沿着竖直方向上下运动的驱动件；工作台固定设置在伸缩件上；外壳底部设置有滑轨，工作台与外壳之间通过滑轨滑动连接；

基板安装在工作台的上方，基板的两侧与外壳固定连接；多个光源等间距设置在基板上；光源的外部设置有反光罩，反光罩的焦点朝向工作台；相邻设置的光源之间设置有超声波传感器；基板内设置有空腔，空腔内设置有供光源供电的电缆线以及供超声波传感器传递信息的通讯线；基板的顶部竖直设置多个散热鳍片；

控制器与超声波传感器通讯连接，控制器与驱动件的电源开关通讯连接；控制器与光源的开关通讯连接。

优选的，第一风机、第二风机均负压风机；第一风机、第二风机的电源开关均与控制器通讯连接。

优选的，光源包括紫外线灯管、灯罩以及连接管；灯罩设置在紫外线灯管的外部，连接管设置在紫外线灯管的顶部，连接管与基板内部的空腔相连接。

优选的，反光罩为半圆形，反光罩采用铝材制作，反光罩的内侧设置有镜面氧化铝涂层。

优选的，连接管与基板采用铝合金材料制成。

优选的，紫外线灯管为汞蒸气压灯，紫外线灯管采用石英制成，石英管内含有用于发射能量的汞以及氩气；紫外线灯管的波长为200nm到450nm。

本实用新型中，先将待固化的工件放在工作台上，超声波传感器启动，检测工件与光源之间的高度差；根据加工工件的不同，在控制器的作用下调节工作台至合适的高度；驱动件为伸缩件提供驱动力，伸缩件带动工作台上升或者下降，位于工作台两侧的滑轨，能够起到导向作用，防止工作台在上升或者下降的过程中出现旋转，影响固化效果；光源的外部设置有反光罩，反光罩的焦点朝向工作台，紫外线反射效率高，固化效率高；基板的顶部竖直设置多个散热鳍片，紫外线灯管在工作中产生的热量，能够与基板进行热交换，而设置的散热鳍片增大了与空气的接触面积，配合第二风机使用，能够带走热量，而在外壳的内部还设置有风道，风道的底部设置有多个吸风口；在第一风机的作用下，一部分热量能够通过吸风口与风道从第一风机处排出装置外；保证了工作台内的温度适中，不会过高，同时也避免了风机直接对着紫外线灯管吹，造成紫外线灯管功率不足，胶水干燥不彻底的问题。

本实用新型的有益效果为，第一风机、第二风机均负压风机；第一风机、第二风机的电源开关均与控制器通讯连接；在工作中，负压风机，能够保证装置内部空气具有流通性，热量更容易散发出来。

本实用新型的有益效果为，反光罩为半圆形，反光罩采用铝材制作，反光罩的内侧设置有镜面氧化铝涂层；不锈钢在高温下会变成黑色，变黑后不但不会起到反光作用，还会吸光；相对与不锈钢来说铝材耐高温效果较好，不会出现上述问题；而镜面氧化铝板，其反射率可达80％以上，从而大大提高紫外线的利用率。

本实用新型的有益效果为，紫外线灯管为汞蒸气压灯，紫外线灯管采用石英制成，石英管内含有用于发射能量的汞以及氩气；紫外线灯管的波长为200nm 到450nm；在工作中，当给灯具通电以后，在两极之间产生电弧。随着电极间电压的增加，气体的温度升高，使汞蒸发，产生汞蒸气弧光并发射具有特征的紫外光，紫外光与照射特殊胶水使胶水产生聚合反应从而固化。

附图说明

图1为本实用新型提出的真空镀膜机的固化装置的整体结构示意图。

图2为本实用新型提出的真空镀膜机的固化装置中的光源的结构示意图。

1、底座；2、外壳；3、风道；4、吸风口；5、第一风机；6、第二风机；7、控制器；8、散热鳍片；9、基板；10、超声波传感器；11、反光罩；12、光源； 13、滑轨；14、工作台；15、驱动件；16、伸缩件；17、紫外线灯管；18、灯罩；19、连接管。

具体实施方式

如图1-2所示，图1为本实用新型提出的真空镀膜机的固化装置的整体结构示意图。

图2为本实用新型提出的真空镀膜机的固化装置中的光源的结构示意图。

参照图1-2，本实用新型提出的一种真空镀膜机的固化装置，包括底座1、外壳2、风道3、工作台14、基板9以及光源12；

外壳2与底座1焊接连接，外壳2与底座1之间形成空腔；外壳2的顶部设置有第一风机5、第二风机6以及控制器7；风道3嵌入在外壳2的左右两侧，风道3的顶部与第一风机5相连接，风道3的底部设置有多个吸风口4；

底座1上设置有多个伸缩件16，底座1的内部设置有驱动伸缩件16沿着竖直方向上下运动的驱动件15；工作台14固定设置在伸缩件16上；外壳2底部设置有滑轨13，工作台14与外壳2之间通过滑轨13滑动连接；

基板9安装在工作台14的上方，基板9的两侧与外壳2固定连接；多个光源12等间距设置在基板9上；光源12的外部设置有反光罩11，反光罩11的焦点朝向工作台14；相邻设置的光源12之间设置有超声波传感器10；基板9内设置有空腔，空腔内设置有供光源12供电的电缆线以及供超声波传感器10传递信息的通讯线；基板9的顶部竖直设置多个散热鳍片8；

控制器7与超声波传感器10通讯连接，控制器7与驱动件15的电源开关通讯连接；控制器7与光源12的开关通讯连接。

本实施例的具体工作过程中，先将待固化的工件放在工作台14上，超声波传感器10启动，检测工件与光源12之间的高度差；根据加工工件的不同，在控制器的作用下调节工作台14至合适的高度；驱动件15为伸缩件16提供驱动力，伸缩件16带动工作台14上升或者下降，位于工作台14两侧的滑轨13，能够起到导向作用，防止工作台14在上升或者下降的过程中出现旋转，影响固化效果；光源12的外部设置有反光罩11，反光罩11的焦点朝向工作台14，紫外线反射效率高，固化效率高；基板9的顶部竖直设置多个散热鳍片8，紫外线灯管17在工作中产生的热量，能够与基板9进行热交换，而设置的散热鳍片8增大了与空气的接触面积，配合第二风机6使用，能够带走热量，而在外壳2的内部还设置有风道3，风道3的底部设置有多个吸风口4；在第一风机5的作用下，一部分热量能够通过吸风口4与风道3从第一风机5处排出装置外；保证了工作台14内的温度适中，不会过高，同时也避免了风机直接对着紫外线灯管 17吹，造成紫外线灯管17功率不足，胶水干燥不彻底的问题。

在具体实施方式中，第一风机5、第二风机6均负压风机；第一风机5、第二风机6的电源开关均与控制器7通讯连接；在工作中，负压风机，能够保证装置内部空气具有流通性，热量更容易散发出来。

在具体实施方式中，光源12包括紫外线灯管17、灯罩18以及连接管19；灯罩18设置在紫外线灯管17的外部，连接管19设置在紫外线灯管17的顶部，连接管19与基板9内部的空腔相连接，在工作中，连接管19起到了一定的导热作用，同时连接管19中空，便于安装通讯线路以及供电线路。

在具体实施方式中，反光罩11为半圆形，反光罩11采用铝材制作，反光罩11的内侧设置有镜面氧化铝涂层；不锈钢在高温下会变成黑色，变黑后不但不会起到反光作用，还会吸光；相对与不锈钢来说铝材耐高温效果较好，不会出现上述问题；而镜面氧化铝板，其反射率可达80％以上，从而大大提高紫外线的利用率。

在具体实施方式中，连接管19与基板9采用铝合金材料制成；铝合金材料具有一定的强度，起到了支撑的作用；同时铝合金材料导热性能好，便于散热。

在具体实施方式中，紫外线灯管17为汞蒸气压灯，紫外线灯管17采用石英制成，石英管内含有用于发射能量的汞以及氩气；紫外线灯管17的波长为 200nm到450nm；在工作中，当给灯具通电以后，在两极之间产生电弧。随着电极间电压的增加，气体的温度升高，使汞蒸发，产生汞蒸气弧光并发射具有特征的紫外光，紫外光与照射特殊胶水使胶水产生聚合反应从而固化。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型的保护范围并不局限于此，任何熟悉本技术领域的技术人员在本实用新型揭露的技术范围内，根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种真空镀膜机的固化装置，其特征在于，包括底座(1)、外壳(2)、风道(3)、工作台(14)、基板(9)以及光源(12)；

外壳(2)与底座(1)焊接连接，外壳(2)与底座(1)之间形成空腔；外壳(2)的顶部设置有第一风机(5)、第二风机(6)以及控制器(7)；风道(3)嵌入在外壳(2)的左右两侧，风道(3)的顶部与第一风机(5)相连接，风道(3)的底部设置有多个吸风口(4)；

底座(1)上设置有多个伸缩件(16)，底座(1)的内部设置有驱动伸缩件(16)沿着竖直方向上下运动的驱动件(15)；工作台(14)固定设置在伸缩件(16)上；外壳(2)底部设置有滑轨(13)，工作台(14)与外壳(2)之间通过滑轨(13)滑动连接；

基板(9)安装在工作台(14)的上方，基板(9)的两侧与外壳(2)固定连接；多个光源(12)等间距设置在基板(9)上；光源(12)的外部设置有反光罩(11)，反光罩(11)的焦点朝向工作台(14)；相邻设置的光源(12)之间设置有超声波传感器(10)；基板(9)内设置有空腔，空腔内设置有供光源(12)供电的电缆线以及供超声波传感器(10)传递信息的通讯线；基板(9)的顶部竖直设置多个散热鳍片(8)；

控制器(7)与超声波传感器(10)通讯连接，控制器(7)与驱动件(15)的电源开关通讯连接；控制器(7)与光源(12)的开关通讯连接。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜机的固化装置，其特征在于，第一风机(5)、第二风机(6)均负压风机；第一风机(5)、第二风机(6)的电源开关均与控制器(7)通讯连接。

3.根据权利要求1所述的真空镀膜机的固化装置，其特征在于，光源(12)包括紫外线灯管(17)、灯罩(18)以及连接管(19)；灯罩(18)设置在紫外线灯管(17)的外部，连接管(19)设置在紫外线灯管(17)的顶部，连接管(19)与基板(9)内部的空腔相连接。

4.根据权利要求1所述的真空镀膜机的固化装置，其特征在于，反光罩(11)为半圆形，反光罩(11)采用铝材制作，反光罩(11)的内侧设置有镜面氧化铝涂层。

5.根据权利要求3所述的真空镀膜机的固化装置，其特征在于，连接管(19)与基板(9)采用铝合金材料制成。

6.根据权利要求1所述的真空镀膜机的固化装置，其特征在于，紫外线灯管(17)为汞蒸气压灯，紫外线灯管(17)采用石英制成，石英管内含有用于发射能量的汞以及氩气；紫外线灯管(17)的波长为200nm到450nm。