CN208964013U - 光刻机的送料装置 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及光刻机技术领域，针对操作麻烦的问题，提供了一种光刻机的送料装置，该技术方案如下：包括设于保护柜内的储料组件、传输组件以及收集组件，储料组件包括竖直设置的第一传送带，第一传送带上均匀凸出有若干第一支撑条，第一传送带上设有驱动第一传送带的第一电机，传输组件包括水平设置的第三传送带，第三传送带置于第一传送带的下方，第三传送带上设有驱动第三传送带的第三电机，收集组件包括收集箱，收集箱一端开口，收集箱的开口正对第三传送带靠近光刻机的一端。通过在第一传送带以及收集箱的设置，使得进料与取料均可批量操作，无需每进行一次光刻操作，就打开一次柜门进行进料和取料的操作，操作简便。

Description

光刻机的送料装置

技术领域

本实用新型涉及光刻机技术领域，更具体地说，它涉及一种光刻机的送料装置。

背景技术

在集成电路芯片的生产过程中，芯片的设计图形在硅片表面光刻胶上的曝光转印（光刻）是其中最重要的工序之一，该工序所用的设备称为光刻机。

光刻机最核心的部件之一是紫外光源，硅片的光刻也是主要通过紫外光实现。由于紫外光容易对人体造成损害，光刻机外通常设有保护柜，光刻的过程通常在保护柜内进行。但是，现有的光刻机通常在每次检测前都需要打开柜门以放入原料，再关上柜门进行光刻操作，在光刻操作完成后需要重新打开柜门，取出已光刻好的硅片，再将待光刻的原料放入，并重复以上操作，操作麻烦，仍有改进的空间。

实用新型内容

针对现有技术存在的不足，本实用新型的目的在于提供一种光刻机的送料装置，具有操作简便的优点。

为实现上述目的，本实用新型提供了如下技术方案：

一种光刻机的送料装置，包括设于保护柜内的储料组件、传输组件以及收集组件，所述储料组件包括竖直设置的第一传送带，所述第一传送带上均匀凸出有若干第一支撑条，所述第一传送带上设有驱动第一传送带的第一电机，所述传输组件包括水平设置的第三传送带，所述第三传送带置于第一传送带的下方，所述第三传送带上设有驱动第三传送带的第三电机，所述收集组件包括收集箱，所述收集箱一端开口，所述收集箱的开口正对第三传送带靠近光刻机一端的端部。

采用上述技术方案，打开柜门，往第一传送带其中一侧的支撑板上放置光刻原料，再关上柜门，启动第一电机，使得第一传送带传动，光刻原料在第一传送带的传动下沿竖直方向朝向第三传送带运动，当光刻原料被传送至第一传送带的拐弯处时，支撑板倾斜，光刻原料沿支撑板滑落至第三传送带上。当最靠近第三传送带的光刻原料置于第三传送带上时，关闭第一电机，同时启动第三电机，使得第三传送带传动，光刻原料在第三传送带的传动下沿水平方向朝向光刻机运动，当光刻原料被运输至光刻机紫外光源的正下方时，关闭第三电机，并启动光刻机对光刻原料进行光刻操作，光刻操作完成后，启动第三电机，使得光刻原料在第三传送带的传动下沿水平方向朝向收集箱运动，并落入至收集箱中被收集，最后关闭第三电机。重复以上操作，直至第一传送带上的全部光刻原料均完成光刻操作，打开柜门，重新在第一传送带上放上若干光刻原料，再进行同样的操作，当收集箱中的光刻原料收集到一定量以后，将收集箱取出，对已光刻好的光刻原料集中处理，从而使得进料可批量进料，取料也可批量取料，无需每进行一次光刻操作，就打开一次柜门进行进料和取料的操作，操作简便，有利于提高工作效率。

优选的，所述储料组件还包括竖直设置的第二传送带，所述第二传送带与第一传送带正对，所述第二传送带与第一传送带相向传动，所述第二传送带上均匀凸出有若干第二支撑条，所述第二支撑条与第一支撑条一一对应，所述第二传送带上设有驱动第二传送带的第二电机。

采用上述技术方案，通过第二传送带的设置，使得光刻原料在沿竖直方向朝向第三传送带运动的过程中，光刻原料被第一凸条以及第二凸条托着，有利于提高光刻原料重心的稳定性，减少重心偏移的情况；同时，使得光刻原料在降落至第三传送带上时，光刻原料的两侧均沿倾斜的导向面滑落，使得光刻原料降落至第三传送带的过程更加稳定，减少光刻原料容易倾斜的情况，从而使得光刻原料不容易滚动，同时有利于提高光刻原料落至第三传送带上的位置的一致性。

优选的，所述第一传送带与第二传送带之间的间距可调节。

采用上述技术方案，通过调节第一传送带与第二传送带之间的间距，使得第一凸条与第二凸条之间的间距可调节，从而使得第一凸条与第二凸条之间的间距可适应于不同规格型号的光刻原料，有利于扩大送料装置的适用范围，使得不同规格型号的光刻原料无需适配特定的送料装置，有利于降低生产成本，提高经济效益。

优选的，所述第三传送带靠近光刻机紫外光源一侧的皮带远离光刻机的一侧设有支撑板，所述支撑板水平设置，所述支撑板置于光刻机紫外光源的正下方，所述支撑板上还设有驱动支撑板沿竖直方向朝向或远离光刻机运动的气缸。

采用上述技术方案，在对光刻原料进行光刻的过程中，通过气缸驱动支撑板朝向光刻机运动，使得支撑板与第三传送带靠近光刻机紫外光源一侧的皮带抵接，从而使得皮带对光刻原料的支撑作用为刚性支撑，减少光刻原料在光刻过程中容易随皮带的晃动而发生位移的情况，有利于提高光刻的精准度。

优选的，所述第二传送带上固定有移动板，所述移动板上贯穿有限制移动板转动的限位杆，所述移动板上贯穿有螺纹孔，所述螺纹孔上螺纹连接有水平设置的螺杆，所述螺杆远离移动板的一端固定有螺母，所述螺母转动连接于保护柜的侧壁上。

采用上述技术方案，通过螺杆与螺纹孔的螺纹配合调节第一传送带与第二传送带之间的间距，使得调节的精度提高，从而使得料装置可适用于规格型号变化不大的光刻原料，使得送料装置的适用范围更加广泛；同时，利用螺纹连接的自锁功能，使得第二传送带的位置在调节的过程中同时被固定，无需进行其他固定操作，操作简便，同时有利于提高第二传送带的稳定性。

优选的，所述支撑板上贯穿有限定支撑板沿竖直方向运动的定位杆。

采用上述技术方案，通过定位杆的设置，限定了支撑板的位移方向为竖直方向，有利于支撑板在运动过程中保持水平状态，从而有利于光刻原料在光刻过程中保持水平的状态，有利于提高光刻的精度。

优选的，所述收集箱靠近第三传送带一侧的侧壁顶部设有倾斜的导向面。

采用上述技术方案，通过倾斜的导向面的设置，使得已完成光刻的光刻原料从第三传送带的端部滑落时，沿导向面缓慢落入收集箱中，便于对光刻原料的集中收集，同时有利于减小光刻原料的运动速度，使得光刻原料的重力势能减小，使得光刻原料之间不容易互相磨损。

优选的，所述收集箱的内壁与导向面上均覆盖有气囊。

采用上述技术方案，通过气囊的设置，有利于减缓光刻原料与收集箱以及气囊之间的碰撞，从而使得光刻原料不容易被磨损。

综上所述，本实用新型具有以下有益效果：

1.通过在第一传送带上放置若干待光刻的光刻原料，同时通过收集箱收集若干已完成光刻的光刻原料，使得进料与取料均可批量操作，无需每进行一次光刻操作，就打开一次柜门进行进料和取料的操作，操作简便，有利于提高工作效率；

2.通过第二传送带与第一传送带的配合，有利于提高光刻原料重心的稳定性，同时使得光刻原料降落至第三传送带的过程更加稳定，使得光刻原料不容易滚动，另外，有利于提高光刻原料落至第三传送带上的位置的一致性；

3.通过第一传送带与第二传送带之间的间距可调节，使得送料装置可适应于不同规格型号的光刻原料，有利于降低生产成本，提高经济效益；

4.通过支撑板的设置，使得皮带对光刻原料的支撑为刚性支撑，有利于提高光刻操作的精度；

5.通过螺纹配合调节第一传送带与第二传送带之间的间距，有利于提高调节精度，使得送料装置的适用范围更加广泛。

附图说明

图1为本实用新型中保护柜的外部结构示意图；

图2为本实用新型中光刻机的送料装置的内部结构示意图；

图3为图2中A部的放大示意图。

图中：1、固定座；2、保护柜；21、柜门；22、透明玻璃板；23、门把手；3、储料组件；31、第一传送带；311、第一支撑条；32、第二传送带；321、第二支撑条；33、第一电机；34、第二电机；35、限位杆；36、限位块；37、移动板；38、螺杆；39、螺母；4、传输组件；41、第三传送带；42、第三电机；43、气缸；44、支撑座；45、定位杆；46、支撑板；5、收集组件；51、收集箱；52、导向面；53、气囊；6、固定板；61、光刻机。

具体实施方式

以下结合附图及实施例，对本实用新型作进一步详细说明。

一种光刻机的送料装置，参见图2，包括设于保护柜2内的储料组件3、传输组件4以及收集组件5，储料组件3包括竖直设置的第一传送带31以及第二传送带32，第一传送带31上设有第一支撑条311，第二传送带32上设有第二支撑条321。第一传送带31上设有驱动第一传送带31的第一电机33，第二传送带32上设有驱动第二传送带32的第二电机34。传输组件4包括水平设置的第三传送带41，第三传送带41置于第一传送带31以及第二传送带32的下方，第三传送带41上设有驱动第三传送带41的第三电机42。收集组件5包括收集箱51。

参见图1，保护柜2的底部设置有固定座1，固定座1的顶部与保护柜2的底端抵接。保护柜2上铰接有柜门21，柜门21固定有门把手23，柜门21中还嵌入有透明玻璃板22。

参见图2，第一传送带31与第二传送带32互相平行，第一传送带31的顶部与第二传送带32的顶部齐平，第一传送带31的底部与第二传送的底部齐平。第一传送带31与第二传送带32相向传动。

参见图2，第一传送带31转动连接于第一电机33上。

参见图2，第一支撑条311以及第二支撑条321均设有若干，若干第一支撑条311围绕第一传送带31的外周均匀凸出，若干第二支撑条321围绕第二传送带32的外周均匀凸起。第一支撑条311与第二支撑条321一一对应，相邻第一支撑条311之间的间距与相邻第二支撑条321之间的间距一致。

参见图1以及图2，第一电机33固定于保护柜2的内壁上。第二传送带32上固定有移动板37，移动板37固定于第二传送带32远离柜门21的一侧，第二电机34固定于移动板37远离第二传送带32的一侧。

参见图2，移动板37上贯穿有螺杆38以及限位杆35，螺杆38置于移动板37长度方向的中间位置，限位杆35设有两根，两根限位杆35与螺杆38之间的距离相同。螺杆38以及两根限位杆35的长度方向一致，螺杆38以及两根限位杆35均水平设置。限位杆35靠近第一传送带31的一端固定连接有限位块36，限位杆35远离第一传送带31的一端固定于保护柜2的内壁上。

参见图2，移动板37上开有螺纹孔（图中未示出），螺杆38与螺纹孔螺纹连接。螺杆38远离第一传送带31的一端固定连接有螺母39，螺母39转动连接于保护柜2的内壁上。

参见图2，保护柜2内固定有固定板6，光刻机61固定于固定板6上，光刻机61置于第三传送带41的正上方。

参见图2，第三电机42固定于保护柜2内壁上。第三传送带41的一端正对第一传送带31与第二传送带32之间的间隙，第三传送带41的另一端正对光刻机61的紫外光源。

参见图2以及图3，保护柜2的内壁还固定有支撑座44，支撑座44水平设置。支撑座44上固定有气缸43，气缸43竖直设置。气缸43远离支撑座44的一端固定有支撑板46，支撑板46水平设置，支撑板46呈长方体状，支撑板46的长度方向与第三传送带41的长度方向一致，支撑板46的宽度与第三传送带41的宽度一致。支撑板46置于光刻机61紫外光源的正下方，支撑座44、气缸43以及支撑板46均置于第三传送带41的两条传送皮带之间。

参见图2以及图3，支撑座44上还固定有定位杆45，定位杆45分别置于气缸43沿支撑板46长度方向的两侧，定位杆45竖直设置。支撑板46上开有供定位杆45贯穿的通孔（图中未示出）。当支撑板46与第三传送带41靠近光刻机61一侧的传送皮带抵接时，定位杆45部分伸入至通孔中。

参见图2以及图3，收集箱51顶部开口，收集箱51的开口正对第三传送带41远离第二传送带32一端的端部。收集箱51靠近第三传送带41一侧侧壁的顶部铰接有倾斜的导向面52，导向面52由靠近第三传送带41一端朝向收集箱51一端倾斜向下设置。收集箱51的内壁以及导向面52靠近收集箱51内壁一侧均覆盖有气囊53。

本实施例的工况及原理如下：

打开柜门21，根据实际需要光刻的光刻原料的规格尺寸调节第二传送带32的位置。通过转动螺母39，使得螺杆38随螺母39同步转动，由于限位杆35限制了移动板37的转动，则移动板37会在螺杆38的驱动下朝向或远离第一传送带31运动，使得第一传送带31与第二传送带32之间的间距发生变化。同时，第一支撑条311与第二支撑条321之间的间距同步随第一传送带31与第二传送带32之间的间距变化而变化，从而使得第一支撑条311与第二支撑条321之间的间距适应光刻原料的规格尺寸。

当第二传送带32的位置调节完成后，同时启动第一电机33以及第二电机34，使得第一传送带31与第二传送带32同时相向传动。然后往置于第一传送带31以及第二传送带32顶部的第一支撑条311与第二支撑条321之间放置光刻原料，并随第一传送带31以及第二传送带32的传动逐一往顶部的第一支撑条311与第二支撑条321之间放置光刻原料，直至置于第一传送带31以及第二传送带32之间的位置被放满光刻原料，同时停止第一电机33以及第二电机34，使得第一传送带31以及第二传送带32同时停止传动，并关上柜门21。

同时启动第一电机33与第二电机34，使得第一电机33与第二电机34同步传动，使得第一支撑条311与第二支撑条321之间的光刻原料随第一传送带31与第二传送带32的传动沿竖直方向朝向第三传送带41运动。当第一支撑条311与第二支撑条321均运动至拐弯处时，第一支撑条311与第二支撑条321倾斜，则光刻原料沿第一支撑条311与第二支撑条321的倾斜面缓慢滑落至第三传送带41上。

当最靠近第三传送带41的光刻原料滑落至第三传送带41上时，同时停止第一电机33与第二电机34，使得第一传送带31与第二传送带32同时停止传动。同时，启动第三电机42，使得置于第三传送带41上的光刻原料随第三传送带41的传动朝向光刻机61移动。

当光刻原料移动至光刻机61紫外光源的正下方时，停止第三电机42，使得第三传送带41停止传动，使得光刻原料的位置固定。然后启动气缸43，使得支撑板46被顶起至与第三传送带41抵接的位置，使得支撑板46置于光刻原料的正下方。随后通过光刻机61的校准装置调整光刻原料的操作位置，再启动光刻机61，对光刻原料进行光刻操作。

在光刻操作完成后，启动第三电机42，使得第三传送带41传动，使得已完成光刻操作的光刻原料随第三传送带41朝向收集箱51运动。光刻原料离开第三传送带41后，沿倾斜的导向面52缓慢滑落至收集箱51中。同时，关闭第三电机42，使得第三传送带41停止传动，同时启动气缸43，使得支撑板46沿竖直方向朝向远离第三传送带41的方向运动，并与第三传送带41分离。

重复以上操作，使得第一传送带31与第二传送带32之间的光刻原料均被逐一光刻完成。然后再打开柜门21，重复进行批量进料操作以及光刻操作，当收集箱51中的光刻原料收集到一定量时，通过取出收集箱51并对其中的光刻原料进行统一的搬运和处理，使得进料以及取料均可批量操作，无需每进行一次光刻操作，就打开一次柜门21进行进料和取料的操作，操作简便，有利于提高工作效率。

通过第一传送带31与第二传送带32的配合，使得第一传送带31与第二传送带32同时具备储料和送料的功能，同时有利于提高光刻原料在传送过程中的稳定性，使得光刻原料的重心不容易偏移，有利于提高光刻原料降落至第三传送带41的过程的稳定性，从而有利于提高光刻原料降落至第三传送带41上的位置的一致性，便于校准装置对光刻原料位置的调整。

通过第一传送带31与第二传送带32之间的间距可调节，使得第一支撑条311与第二支撑条321之间的间距可调节，从而使得送料装置的适用范围扩大，使得不同规格型号的光刻原料无需配用特定的送料装置，有利于降低生产成本，提高经济效益。

通过螺纹配合调节第一传送带31与第二传送带32之间的间距，有利于提高调节的精度，使得送料装置对规格型号差异很小的光刻原料均适用，有利于扩大送料装置的适用范围；同时，利用螺纹连接的自锁功能，使得第二传送带32的位置在被调节的同时被固定，无需进行其他的固定操作，操作简便，同时有利于提高第二传送带32的稳定性，使得第二传送带32的位置不容易发生移动。

通过支撑板46的设置，使得光刻过程中第三传送带41对光刻原料的支撑为刚性支撑，减少光刻原料在光刻过程中容易发生晃动的情况，有利于提高光刻的精度。

通过定位杆45的设置，使得支撑板46的位移方向被限制，有利于支撑板46保持水平的状态，从而有利于光刻原料在光刻过程中保持水平的状态，进而有利于提高光刻的精度。

通过倾斜的导向面52以及气囊53的设置，有利于减慢光刻原料的运动速度，使得光刻原料离开第三传送带41后缓慢落入收集箱51中，有利于减缓光刻原料落入收集箱51时与收集箱51、导向面52以及光刻原料相互之间的磨损，使得光刻原料不容易被磨损。

通过透明玻璃板22的设置，便于对送料以及光刻过程的工作状态进行观察，便于根据实际的工作状况对工作进程进行控制，同时，便于对工作故障进行及时的调整，有利于提高工作效率。

本具体实施例仅仅是对本实用新型的解释，其并不是对本实用新型的限制，本领域技术人员在阅读完本说明书后可以根据需要对本实施例做出没有创造性贡献的修改，但只要在本实用新型的权利要求范围内都受到专利法的保护。

Claims (8)

1.一种光刻机的送料装置，其特征是：包括设于保护柜(2)内的储料组件(3)、传输组件(4)以及收集组件(5)，所述储料组件(3)包括竖直设置的第一传送带(31)，所述第一传送带(31)上均匀凸出有若干第一支撑条(311)，所述第一传送带(31)上设有驱动第一传送带(31)的第一电机(33)，所述传输组件(4)包括水平设置的第三传送带(41)，所述第三传送带(41)置于第一传送带(31)的下方，所述第三传送带(41)上设有驱动第三传送带(41)的第三电机(42)，所述收集组件(5)包括收集箱(51)，所述收集箱(51)一端开口，所述收集箱(51)的开口正对第三传送带(41)靠近光刻机(61)一端的端部。

2.根据权利要求1所述的光刻机的送料装置，其特征是：所述储料组件(3)还包括竖直设置的第二传送带(32)，所述第二传送带(32)与第一传送带(31)正对，所述第二传送带(32)与第一传送带(31)相向传动，所述第二传送带(32)上均匀凸出有若干第二支撑条(321)，所述第二支撑条(321)与第一支撑条(311)一一对应，所述第二传送带(32)上设有驱动第二传送带(32)的第二电机(34)。

3.根据权利要求2所述的光刻机的送料装置，其特征是：所述第一传送带(31)与第二传送带(32)之间的间距可调节。

4.根据权利要求3所述的光刻机的送料装置，其特征是：所述第三传送带(41)靠近光刻机(61)紫外光源一侧的皮带远离光刻机(61)的一侧设有支撑板(46)，所述支撑板(46)水平设置，所述支撑板(46)置于光刻机(61)紫外光源的正下方，所述支撑板(46)上还设有驱动支撑板(46)沿竖直方向朝向或远离光刻机(61)运动的气缸(43)。

5.根据权利要求4所述的光刻机的送料装置，其特征是：所述第二传送带上固定有移动板(37)，所述移动板(37)上贯穿有限制移动板(37)转动的限位杆(35)，所述移动板(37)上贯穿有螺纹孔，所述螺纹孔上螺纹连接有水平设置的螺杆(38)，所述螺杆(38)远离移动板(37)的一端固定有螺母(39)，所述螺母(39)转动连接于保护柜(2)的侧壁上。

6.根据权利要求4所述的光刻机的送料装置，其特征是：所述支撑板(46)上贯穿有限定支撑板(46)沿竖直方向运动的定位杆(45)。

7.根据权利要求1所述的光刻机的送料装置，其特征是：所述收集箱(51)靠近第三传送带(41)一侧的侧壁顶部设有倾斜的导向面(52)。

8.根据权利要求7所述的光刻机的送料装置，其特征是：所述收集箱(51)的内壁与导向面(52)上均覆盖有气囊(53)。