CN208953421U - 一种铜线分立器件低温开盖反应装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种铜线分立器件低温开盖反应装置，包括样品反应室，以及通过混合酸进液管将混合酸液导入样品反应室的混合酸缓冲室，通过硫酸进液管将硫酸导入混合酸缓冲室的硫酸进样室，通过硝酸进液管将硝酸导入混合酸缓冲室的硝酸进样室，产生超声波作用于样品反应室内样品的超声控制器，以及通过废酸回收管将废酸导入样品反应室的废酸回收室。超声控制器产生的超声波的空化作用使混合酸液受到超声波的作用后分子相互作用而产生气泡，气泡破裂后使酸液雾化，扩大酸与塑封料的接触面积。同时，超声波带来的可控的振动作用及局部气泡破裂产生的局部压力，使分立器件表面塑封料快速脱落，从而达到在常温下保护铜线的目的。
Description
技术领域
本实用新型属于铜线分立器件化学开盖技术领域，具体地说，涉及一种铜线分立器件低温开盖反应装置。
背景技术
分立器件是半导体产业的其中一个分支，铜线分立器件是分立器件的一种。在铜线分立器件生产过程中产生的不良品需要进行失效分析，以根据失效分析结果调整生产参数或者寻求改善方法。在进行失效分析时需要对铜线分立器件开盖，传统的铜线分立器件化学开盖是通过加热混合酸，使铜线分立器件表面塑封料与混合酸反应，混合酸为硝酸与硫酸的混合液，其中HNO3:H2SO4＝2:1。采用这种方式反应后得到的的产品内部铜线出现100％的严重腐蚀。被腐蚀的铜线影响失效分析效果。
而在常温条件下，直接将铜线分立器件放入混合酸中，无明显反应，不能使分立器件表面塑封料被分解剥离。为了能够更好的进行铜线分立器件失效分析，需要寻求一种能够分解剥离分立器件表面塑封料，但又不会对铜线造成严重腐蚀的装置。
实用新型内容
针对现有技术中上述的不足，本实用新型提供一种铜线分立器件低温开盖反应装置，该装置设置有混合酸缓冲室，有利于硫酸和硝酸充分混合，样品反应室内注入混合酸并在混合酸内放置需要开盖的铜线分立器件，超声控制器产生的超声波的空化作用使混合酸液受到超声波的作用后分子相互作用而产生气泡，气泡破裂后使酸液雾化，促使更多的酸液深入分立器件表面塑封料的间隙中，扩大酸与塑封料的接触面积。同时，超声控制器产生的超声波带来的可控的振动作用及局部气泡破裂产生的局部压力，使分立器件表面塑封料快速脱落，减少铜线与混合酸的接触时间，从而达到在常温下保护铜线的目的。
为了达到上述目的，本实用新型采用的解决方案是：一种铜线分立器件低温开盖反应装置，包括样品反应室，以及通过混合酸进液管将混合酸液导入样品反应室的混合酸缓冲室，通过硫酸进液管将硫酸导入混合酸缓冲室的硫酸进样室，通过硝酸进液管将硝酸导入混合酸缓冲室的硝酸进样室，产生超声波作用于样品反应室内样品的超声控制器，以及通过废酸回收管将废酸导入样品反应室的废酸回收室。
进一步地，所述的样品反应室的顶部设置有喷水口。
进一步地，所述的喷水口外接自来水管道。
进一步地，该装置还包括承载台，废酸回收室设置在承载台的底部，混合酸缓冲室设置在承载台上部。
进一步地，所述的硫酸进样室和硝酸进样室设置在承载台上部。
进一步地，所述的硫酸进样室、硝酸进样室的顶部设置有穿线环。
本实用新型的有益效果是：
(1)该装置设置有混合酸缓冲室，有利于硫酸和硝酸充分混合，样品反应室内注入混合酸并在混合酸内放置需要开盖的铜线分立器件，超声控制器产生的超声波的空化作用使混合酸液受到超声波的作用后分子相互作用而产生气泡，气泡破裂后使酸液雾化，促使更多的酸液深入分立器件表面塑封料的间隙中，扩大酸与塑封料的接触面积。同时，超声控制器产生的超声波带来的可控的振动作用及局部气泡破裂产生的局部压力，使分立器件表面塑封料快速脱落，减少铜线与混合酸的接触时间，从而达到在常温下保护铜线的目的；
(2)铜线分立器件采用本实用新型的开盖反应装置进行化学开盖后得到的铜线分立器件的焊线质量提高，为进行铜线分立器件失效分析提供了更高质量的分析样品，有效提高了分析数据的准确性，为调整生产参数或者寻求改善方法提供了有效的依据，减少生产过程中的资源浪费。
附图说明
图1为本实用新型低温开盖反应装置实施例一示意图；
图2为本实用新型低温开盖反应装置实施例二示意图；
附图中：
1-样品反应室，2-混合酸缓冲室，3-硫酸进样室，4-硝酸进样室，5-废酸回收室，6-超声控制器，7-喷水口，8-承载台，9-硫酸进液管，10-硝酸进液管，11-混合酸进液管，12-废酸回收管，13-穿线环，14-挂环。
具体实施方式
以下结合附图对本实用新型作进一步描述：
实施例一
如图1所示，一种铜线分立器件低温开盖反应装置，包括样品反应室1，以及通过混合酸进液管11将混合酸液导入样品反应室1的混合酸缓冲室2，通过硫酸进液管9将硫酸导入混合酸缓冲室2的硫酸进样室3，通过硝酸进液管10将硝酸导入混合酸缓冲室2的硝酸进样室4，产生超声波作用于样品反应室1内样品的超声控制器6，以及通过废酸回收管12将废酸导入样品反应室1的废酸回收室5，样品反应室1的顶部设置有喷水口7，所述的喷水口7外接自来水管道，样品反应室1的一侧设置有承载台8，混合酸缓冲室2、硫酸进样室3和硝酸进样室4设置在承载台8上部，废酸回收室5设置在承载台8的底部。
硫酸进液管9、硝酸进液管10和混合酸进液管11上分别设置有流量计、阀门和泵，设置在硝酸进液管10上的硝酸进液泵和设置在硫酸进液管9上的硫酸进液泵运转将硝酸进样室4和硫酸进样室3内的酸液按HNO3:H2SO4＝2:1吸入混合酸缓冲室2进行混合缓冲。需要进行样品反应时，设置在混合酸进液管11上的混合酸进液泵运转将混合酸缓冲室2内的混合酸吸入样品反应室1中，浸没样品反应室1中的铜线分立器件样品，开启超声控制器6，在超声控制器产生的超声波的作用下样品进行反应，反应完成后打开废酸回收管12上设置的阀门，废酸流入废酸回收室5，喷水口7外接的自来水管道上的阀门打开，使用自来水冲洗样品反应室1及室内的样品，清洗完成后取出反应后的样品。
实施例二
如图2所示，一种铜线分立器件低温开盖反应装置，包括样品反应室1，以及通过混合酸进液管11将混合酸液导入样品反应室1的混合酸缓冲室2，通过硫酸进液管9将硫酸导入混合酸缓冲室2的硫酸进样室3，通过硝酸进液管10将硝酸导入混合酸缓冲室2的硝酸进样室4，产生超声波作用于样品反应室1内样品的超声控制器6，以及通过废酸回收管12将废酸导入样品反应室1的废酸回收室5，样品反应室1的顶部设置有喷水口7，所述的喷水口7外接自来水管道，样品反应室1的一侧设置有承载台8，混合酸缓冲室2设置在承载台8上部，废酸回收室5设置在承载台8的底部。硫酸进样室3和硝酸进样室4的顶部分别设置有穿线环13，挂绳或者链条穿过穿线环13后连接挂环14，挂环14挂在挂钩上使硫酸进样室3和硝酸进样室4位于混合酸缓冲室2上方，使硫酸进样室3和硝酸进样室4内的液体与混合酸缓冲室2内的液体形成液位差。
硫酸进液管9和硝酸进液管10上设置有流量计和阀门，混合酸进液管11上分别设置有流量计、阀门和泵，打开硫酸进液管9和硝酸进液管10上的阀门，将硝酸进样室4和硫酸进样室3内的酸液按HNO3:H2SO4＝2:1流入混合酸缓冲室2进行混合缓冲。需要进行样品反应时，设置在混合酸进液管11上的混合酸进液泵运转将混合酸缓冲室2内的混合酸吸入样品反应室1中，浸没样品反应室1中的铜线分立器件样品，开启超声控制器6，在超声控制器产生的超声波的作用下样品进行反应，反应完成后打开废酸回收管12上设置的阀门，废酸流入废酸回收室5，喷水口7外接的自来水管道上的阀门打开，使用自来水冲洗样品反应室1及室内的样品，清洗完成后取出反应后的样品。
使用本实用新型的低温开盖反应装置进行低温开盖时，超声控制器产生的超声波的空化作用使混合酸液受到超声波的作用后分子相互作用而产生气泡，气泡破裂后使酸液雾化，促使更多的酸液深入分立器件表面塑封料的间隙中，扩大酸与塑封料的接触面积。同时，超声控制器产生的超声波带来的可控的振动作用及局部气泡破裂产生的局部压力，使分立器件表面塑封料快速脱落，减少铜线与混合酸的接触时间，从而达到在常温下保护铜线的目的。
在本实用新型的描述中，需要说明的是，术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，或者是该实用新型产品使用时惯常摆放的方位或位置关系，仅是为了便于描述本实用新型和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本实用新型的限制。
在本实用新型的描述中，还需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“设置”、“安装”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本实用新型中的具体含义。
以上所述实施例仅表达了本实用新型的具体实施方式，其描述较为具体和详细，但并不能因此而理解为对本实用新型专利范围的限制。应当指出的是，对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本实用新型的保护范围。
Claims (6)
1.一种铜线分立器件低温开盖反应装置，其特征在于：包括样品反应室(1)，以及通过混合酸进液管(11)将混合酸液导入样品反应室(1)的混合酸缓冲室(2)，通过硫酸进液管(9)将硫酸导入混合酸缓冲室(2)的硫酸进样室(3)，通过硝酸进液管(10)将硝酸导入混合酸缓冲室(2)的硝酸进样室(4)，产生超声波作用于样品反应室(1)内样品的超声控制器(6)，以及通过废酸回收管(12)将废酸导入样品反应室(1)的废酸回收室(5)。
2.根据权利要求1所述的铜线分立器件的低温开盖反应装置，其特征在于：所述的样品反应室(1)的顶部设置有喷水口(7)。
3.根据权利要求2所述的铜线分立器件的低温开盖反应装置，其特征在于：所述的喷水口(7)外接自来水管道。
4.根据权利要求3所述的铜线分立器件的低温开盖反应装置，其特征在于：该装置还包括承载台(8)，废酸回收室(5)设置在承载台(8)的底部，混合酸缓冲室(2)设置在承载台(8)上部。
5.根据权利要求4所述的铜线分立器件的低温开盖反应装置，其特征在于：所述的硫酸进样室(3)和硝酸进样室(4)设置在承载台(8)上部。
6.根据权利要求3所述的铜线分立器件的低温开盖反应装置，其特征在于：所述的硫酸进样室(3)、硝酸进样室(4)的顶部设置有穿线环(13)。
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| CN201821405481.4U CN208953421U (zh) | 2018-08-29 | 2018-08-29 | 一种铜线分立器件低温开盖反应装置 |
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Publications (1)
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Family Applications (1)
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2018
- 2018-08-29 CN CN201821405481.4U patent/CN208953421U/zh active Active
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