CN208895833U - 一种cmp抛光设备用抛光载物台 - Google Patents

Abstract

本实用新型涉及一种CMP抛光设备用抛光载物台，包括载物台，所述载物台的上表面设置有第一吸盘，第一吸盘的外部环绕设置有第二吸盘，所述第二吸盘的外部环绕设置有第三吸盘，所述第一吸盘、第二吸盘和第三吸盘的下端均固定载物台的上表面，所述第一吸盘、第二吸盘和第三吸盘的内壁处设置有吸盘壁空腔；该CMP抛光设备用抛光载物台，通过第一吸盘、第二吸盘、第三吸盘分别通过连管与风机连接，增加吸盘与CMP板连接的吸附点，避免单个吸盘与CMP板之间出现接触不良，造成的CMP板固定松动，提高CMP板安装的稳定性，同时第一吸盘、第二吸盘、第三吸盘的上端均采用V字形吸环，增加吸环与CMP板接触的面积，提高CMP板固定的牢靠性。

Description

一种CMP抛光设备用抛光载物台

技术领域

本实用新型涉及抛光载物台技术领域，具体为一种CMP抛光设备用抛光载物台。

背景技术

CMP抛光机是抛光机的一种，主要用于平面抛光，区别于圆管抛光、凹凸面抛光等，针对可进行平面抛光的工件产品。又可分为单面抛光、双面抛光，对CMP进行祛除工件表面的划痕，斑点，塌边现象，使工件表面光亮，平滑，成镜面效果甚至达到某一精确的粗超度值的机器。现有的CMP抛光设备的载物台拆装不方便，CMP板与载物台放置稳定性差，存在工作效率低的问题。

实用新型内容

针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种CMP抛光设备用抛光载物台，具备CMP板安装和拆卸效率高，固定方式稳定等优点，解决了CMP抛光机在使用时，CMP板与载物台放置稳定性差，容易导致CMP板抛光效率差，同时提高CMP抛光的时间，降低CMP板抛光平滑度，同时CMP板固定后拆卸耗费时间，提高CMP板抛光的工作强度的问题。

为实现上述CMP抛光机在使用时，CMP板与载物台放置稳定性差，容易导致CMP板抛光效率差，同时提高CMP抛光的时间，降低CMP板抛光平滑度，同时CMP板固定后拆卸耗费时间，提高CMP板抛光的工作强度的目的，本实用新型提供如下技术方案：一种CMP抛光设备用抛光载物台，包括载物台，所述载物台的上表面设置有第一吸盘，第一吸盘的外部环绕设置有第二吸盘，所述第二吸盘的外部环绕设置有第三吸盘，所述第一吸盘、第二吸盘和第三吸盘的下端均固定载物台的上表面，所述第一吸盘、第二吸盘和第三吸盘的内壁处设置有吸盘壁空腔，所述第一吸盘、第二吸盘和第三吸盘的上端表面设置有吸环，所述吸环通过粘合分别固定在第一吸盘、第二吸盘和第三吸盘的上端表面，所述第一吸盘、第二吸盘和第三吸盘外侧均设置有支撑外套环，所述支撑外套环的下端通过焊接固定在载物台的上表面。

优选的，所述第一吸盘、第二吸盘和第三吸盘的形状结构相同，所述第二吸盘设置有六个，六个所述第二吸盘环绕在第一吸盘的外部，所述第三吸盘设置有十二个，十二个所述第三吸盘环绕在第二吸盘的外部，所述吸环为环形结构，且所述吸环的截面为V字形结构。

优选的，所述支撑外套环的内部设置有支撑内套环，所述支撑外套环和支撑内套环均为环形结构，所述支撑外套环上端的内表面和支撑内套环下端的外表面均设置有凸起，所述支撑外套环和支撑内套环的内部均设置有压缩弹簧，所述压缩弹簧的上端通过焊接固定在支撑内套环的内表面，所述压缩弹簧的下端通过焊接固定在载物台的上表面，所述支撑内套环的下端通过压缩弹簧和凸起卡合在支撑外套环上端的内部。

优选的，所述支撑内套环的上端表面设置有橡胶垫，所述橡胶垫通过粘合固定在支撑内套环的上端表面，所述橡胶垫的截面为U形结构，所述橡胶垫的内部设置有缓冲板，所述橡胶垫和缓冲板为一体式结构。

优选的，所述载物台的内部设置有载物台内腔，所述载物台内腔内部的下表面设置有风机，所述风机通过螺栓固定在载物台内腔内部的下表面，所述风机设置有三个。

优选的，三个所述风机的一端依次连接设置有第一连管、第二连管和第三连管，所述第一连管、第二连管和第三连管的下端通过螺栓分别与风机的上端旋合连接，所述第一连管的上端贯穿载物台的表面并通过螺栓与第一吸盘进行旋合连接，所述第二连管的上端贯穿载物台的表面并通过螺栓旋合与第二吸盘连接，所述第三连管的上端贯穿载物台的表面并通过螺栓旋合与第三吸盘连接。

优选的，所述第二连管和第三连管的中部均为环形圆管，所述第二连管的上端设置有六个支管，所述第三连管的上端设置有十二个支管。

与现有技术相比，本实用新型提供了一种CMP抛光设备用抛光载物台，具备以下有益效果：

1、该CMP抛光设备用抛光载物台，通过第一吸盘、第二吸盘、第三吸盘分别通过连管与风机连接，增加吸盘与CMP板连接的吸附点，避免单个吸盘与CMP板之间出现接触不良，造成的CMP板固定松动，提高CMP板安装的稳定性，同时第一吸盘、第二吸盘、第三吸盘的上端均采用V字形吸环，增加吸环与CMP板接触的面积，提高CMP板固定的牢靠性，同时第一吸盘、第二吸盘、第三吸盘内壁处采用吸盘壁空腔，使吸盘发生形变后降低高度。

2、该CMP抛光设备用抛光载物台，通过支撑外套环、支撑内套环、压缩弹簧和橡胶垫对吸附后的CMP板进行支撑，增加CMP板支撑的接触面积，提高CMP板打磨的安全性，同时压缩弹簧增加支撑内套环在支撑外套环移动的稳定性，提高CMP板打磨的稳固性，提高CMP板打磨的合格率。

附图说明

图1为本实用新型载物台俯视图；

图2为本实用新型载物台剖面图。

图3为本实用新型第一吸盘结构示意图；

图4为本实用新型支撑外套环和支撑内套环截面图。

图中：1、载物台；2、第一吸盘；3、第二吸盘；4、第三吸盘；5、吸环；6、支撑外套环；7、支撑内套环；8、压缩弹簧；9、橡胶垫；10、缓冲板；11、吸盘壁空腔；12、载物台内腔；13、第一连管；14、第二连管；15、第三连管；16、风机。

具体实施方式

结合图1-4，本实用新型提供一种技术方案：一种CMP抛光设备用抛光载物台，包括载物台1，载物台1的上表面设置有第一吸盘2，第一吸盘2的外部环绕设置有第二吸盘3，第二吸盘3的外部环绕设置有第三吸盘4，第一吸盘2、第二吸盘3和第三吸盘4的下端均固定载物台1的上表面，第一吸盘2、第二吸盘3和第三吸盘4的内壁处设置有吸盘壁空腔11，第一吸盘2、第二吸盘3和第三吸盘4的上端表面设置有吸环5，吸环5通过粘合分别固定在第一吸盘2、第二吸盘3和第三吸盘4的上端表面，第一吸盘2、第二吸盘3和第三吸盘4外侧均设置有支撑外套环6，支撑外套环6的下端通过焊接固定在载物台1的上表面。

进一步的，第一吸盘2、第二吸盘3和第三吸盘4的形状结构相同，第二吸盘3设置有六个，六个第二吸盘3环绕在第一吸盘2的外部，第三吸盘4设置有十二个，十二个第三吸盘4环绕在第二吸盘3的外部，吸环5为环形结构，且吸环5的截面为V字形结构，本实施例中，第一吸盘2、第二吸盘3和第三吸盘4依次环绕排布，增加第一吸盘2、第二吸盘3和第三吸盘4排布的紧凑性，截面为V字形结构的吸环5，使CMP板与吸环5接触时，增加吸环5与CMP板接触的面积，进一步的，支撑外套环6的内部设置有支撑内套环7，支撑外套环6和支撑内套环7均为环形结构，支撑外套环6上端的内表面和支撑内套环7下端的外表面均设置有凸起，支撑外套环6和支撑内套环7的内部均设置有压缩弹簧8，压缩弹簧8的上端通过焊接固定在支撑内套环7的内表面，压缩弹簧8的下端通过焊接固定在载物台1的上表面，支撑内套环7的下端通过压缩弹簧8和凸起卡合在支撑外套环6上端的内部，本实施例中，支撑内套环7通过使压缩弹簧8继续压缩在支撑外套环6上端的内部移动，提高支撑内套环7在支撑外套环6上端的内部移动的稳定性，进一步的，支撑内套环7的上端表面设置有橡胶垫9，橡胶垫9通过粘合固定在支撑内套环7的上端表面，橡胶垫9的截面为U形结构，橡胶垫9的内部设置有缓冲板10，橡胶垫9和缓冲板10为一体式结构，本实施例中，橡胶垫9通过粘合固定在支撑内套环7的上端表面，使CMP板与橡胶垫9挤压时，橡胶垫9通过挤压并使缓冲板10形变，增加橡胶垫9弹性形变的强度，增加橡胶垫9与CMP板接触的面积，进一步的，载物台1的内部设置有载物台内腔12，载物台内腔12内部的下表面设置有风机16，风机16通过螺栓固定在载物台内腔12内部的下表面，风机16设置有三个，本实施例中，三个风机16独立设置，增加风机16运行的安全性，进一步的，三个风机16的一端依次连接设置有第一连管13、第二连管14和第三连管15，第一连管13、第二连管14和第三连管15的下端通过螺栓分别与风机16的上端旋合连接，第一连管13的上端贯穿载物台1的表面并通过螺栓与第一吸盘2进行旋合连接，第二连管14的上端贯穿载物台1的表面并通过螺栓旋合与第二吸盘3连接，第三连管15的上端贯穿载物台1的表面并通过螺栓旋合与第三吸盘4连接，本实施例中，三个风机16依次通过第一连管13、第二连管14和第三连管15与第一吸盘2、第二吸盘3和第三吸盘4连接，增加第一吸盘2、第二吸盘3和第三吸盘4相互之间独立性，增加CMP板固定的稳定性，进一步的，第二连管14和第三连管15的中部均为环形圆管，第二连管14的上端设置有六个支管，第三连管15的上端设置有十二个支管，本实施例中，第二连管14和第三连管15分别通过上端的支管依次与第二吸盘3和第三吸盘4连接，提高CMP板固定的牢靠性，本实施例中风机16的型号为GD30K2-12。

工作原理：使用时，工人把CMP板放置在载物台1的上方，并使CMP的中心点与第一吸盘2中点对准，CMP板与吸环5的上表面接触，此时启动风机16，风机16通过抽吸，使第一吸盘2、第二吸盘3和第三吸盘4内部的空气通过第一连管13、第二连管14和第三连管15并由风机16排出，此时第一吸盘2、第二吸盘3和第三吸盘4的内部产生负压，使CMP板挤压吸环5，同时吸环5通过挤压使V字形的下端与CMP板接触，同时吸盘壁空腔11通过形变，使第一吸盘2、第二吸盘3和第三吸盘4压缩，并使CMP板与支撑内套环7上端的橡胶垫9接触，同时CMP板继续挤压橡胶垫9，压缩弹簧8继续压缩，同时支撑内套环7的下端在支撑外套环6的内部移动。

在以上的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是以上描述仅是本实用新型的较佳实施例而已，本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，因此本实用新型不受上面公开的具体实施的限制。同时任何熟悉本领域技术人员在不脱离本实用新型技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和技术内容对本实用新型技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。凡是未脱离本实用新型技术方案的内容，依据本实用新型的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本实用新型技术方案保护的范围内。

Claims (7)

1.一种CMP抛光设备用抛光载物台，包括载物台(1)，其特征在于：所述载物台(1)的上表面设置有第一吸盘(2)，所述第一吸盘(2)的外部环绕设置有第二吸盘(3)，所述第二吸盘(3)的外部环绕设置有第三吸盘(4)，所述第一吸盘(2)、第二吸盘(3)和第三吸盘(4)的下端均固定载物台(1)的上表面，所述第一吸盘(2)、第二吸盘(3)和第三吸盘(4)的内壁处设置有吸盘壁空腔(11)，所述第一吸盘(2)、第二吸盘(3)和第三吸盘(4)的上端表面设置有吸环(5)，所述吸环(5)通过粘合分别固定在第一吸盘(2)、第二吸盘(3)和第三吸盘(4)的上端表面，所述第一吸盘(2)、第二吸盘(3)和第三吸盘(4)外侧均设置有支撑外套环(6)，所述支撑外套环(6)的下端通过焊接固定在载物台(1)的上表面。

2.根据权利要求1所述的一种CMP抛光设备用抛光载物台，其特征在于：所述第一吸盘(2)、第二吸盘(3)和第三吸盘(4)的形状结构相同，所述第二吸盘(3)设置有六个，六个所述第二吸盘(3)环绕在第一吸盘(2)的外部，所述第三吸盘(4)设置有十二个，十二个所述第三吸盘(4)环绕在第二吸盘(3)的外部，所述吸环(5)为环形结构，且所述吸环(5)的截面为V字形结构。

3.根据权利要求1所述的一种CMP抛光设备用抛光载物台，其特征在于：所述支撑外套环(6)的内部设置有支撑内套环(7)，所述支撑外套环(6)和支撑内套环(7)均为环形结构，所述支撑外套环(6)上端的内表面和支撑内套环(7)下端的外表面均设置有凸起，所述支撑外套环(6)和支撑内套环(7)的内部均设置有压缩弹簧(8)，所述压缩弹簧(8)的上端通过焊接固定在支撑内套环(7)的内表面，所述压缩弹簧(8)的下端通过焊接固定在载物台(1)的上表面，所述支撑内套环(7)的下端通过压缩弹簧(8)和凸起卡合在支撑外套环(6)上端的内部。

4.根据权利要求3所述的一种CMP抛光设备用抛光载物台，其特征在于：所述支撑内套环(7)的上端表面设置有橡胶垫(9)，所述橡胶垫(9)通过粘合固定在支撑内套环(7)的上端表面，所述橡胶垫(9)的截面为U形结构，所述橡胶垫(9)的内部设置有缓冲板(10)，所述橡胶垫(9)和缓冲板(10)为一体式结构。

5.根据权利要求1所述的一种CMP抛光设备用抛光载物台，其特征在于：所述载物台(1)的内部设置有载物台内腔(12)，所述载物台内腔(12)内部的下表面设置有风机(16)，所述风机(16)通过螺栓固定在载物台内腔(12)内部的下表面，所述风机(16)设置有三个。

6.根据权利要求5所述的一种CMP抛光设备用抛光载物台，其特征在于：三个所述风机(16)的一端依次连接设置有第一连管(13)、第二连管(14)和第三连管(15)，所述第一连管(13)、第二连管(14)和第三连管(15)的下端通过螺栓分别与风机(16)的上端旋合连接，所述第一连管(13)的上端贯穿载物台(1)的表面并通过螺栓与第一吸盘(2)进行旋合连接，所述第二连管(14)的上端贯穿载物台(1)的表面并通过螺栓旋合与第二吸盘(3)连接，所述第三连管(15)的上端贯穿载物台(1)的表面并通过螺栓旋合与第三吸盘(4)连接。

7.根据权利要求6所述的一种CMP抛光设备用抛光载物台，其特征在于：所述第二连管(14)和第三连管(15)的中部均为环形圆管，所述第二连管(14)的上端设置有六个支管，所述第三连管(15)的上端设置有十二个支管。