CN208869657U - 一种用于石墨舟的三轴定位装置 - Google Patents

一种用于石墨舟的三轴定位装置 Download PDF

Info

Publication number
CN208869657U
CN208869657U CN201821531764.3U CN201821531764U CN208869657U CN 208869657 U CN208869657 U CN 208869657U CN 201821531764 U CN201821531764 U CN 201821531764U CN 208869657 U CN208869657 U CN 208869657U
Authority
CN
China
Prior art keywords
bar
block
graphite boat
fixed
sliding
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN201821531764.3U
Other languages
English (en)
Inventor
凌杰
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kunshan Micono Precision Machinery Co Ltd
Original Assignee
Kunshan Micono Precision Machinery Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kunshan Micono Precision Machinery Co Ltd filed Critical Kunshan Micono Precision Machinery Co Ltd
Priority to CN201821531764.3U priority Critical patent/CN208869657U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN208869657U publication Critical patent/CN208869657U/zh
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Landscapes

  • Liquid Deposition Of Substances Of Which Semiconductor Devices Are Composed (AREA)

Abstract

本实用新型公开了一种用于石墨舟的三轴定位装置,包括安装座,所述安装座上开设有滑槽,滑槽滑动连接有横向定位杆,横向定位杆的两端均焊接有固定杆,固定杆另一端的一侧设有一体结构的滑块,滑块的内部套设有连接杆,滑块的一侧活动铰接有联动杆,联动杆的另一端通过转动轴连接有相位杆,相位杆的外部套设有第一固定块,安装座的两侧均通过螺栓固定有支撑杆,支撑杆的另一端通过螺丝固定有支撑架,第一固定块与支撑架焊接组装,安装座的中间位置开设有卡槽,通过竖直定位杆、横向定位杆、安装孔、定位卡块、定位板等结构的设置,实现在三个方向对石墨舟进行定位,其定位的精确度高,提高了石墨舟的组装质量。

Description

一种用于石墨舟的三轴定位装置
技术领域
本实用新型涉及石墨舟三轴定位装置技术领域,尤其涉及一种用于石墨舟的三轴定位装置。
背景技术
石墨舟是给太阳能电池片中的硅片镀膜的载体,在进行镀膜时,将插有未镀膜的硅片的石墨舟送入PECVD真空镀膜设备墙体内且利用PECVD工艺进行放电镀膜,镀膜结束后,取出石墨舟,将硅片从石墨舟上卸取下来。
现有技术中的石墨舟来安装的过程中,其位置定位不精确,易发生偏差,导致石墨舟的组装质量差。
实用新型内容
本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在定位不精确的缺点,而提出的一种用于石墨舟的三轴定位装置。
为了实现上述目的,本实用新型采用了如下技术方案:
一种用于石墨舟的三轴定位装置,包括安装座,所述安装座上开设有滑槽,滑槽滑动连接有横向定位杆,横向定位杆的两端均焊接有固定杆,固定杆另一端的一侧设有一体结构的滑块,滑块的内部套设有连接杆,滑块的一侧活动铰接有联动杆,联动杆的另一端通过转动轴连接有相位杆,相位杆的外部套设有第一固定块,安装座的两侧均通过螺栓固定有支撑杆,支撑杆的另一端通过螺丝固定有支撑架,第一固定块与支撑架焊接组装,安装座的中间位置开设有卡槽,卡槽上开设有安装孔,安装座的两端均通过螺母螺栓固定有骨架,骨架的中间部分设有一体结构的第二固定块,第二固定块的内部套设有竖直定位杆,竖直定位杆的底部焊接有定位卡块。
优选的,所述第一固定块的中心开设有圆孔,所述相位杆嵌入在圆孔的内部,相位杆的一端通过螺钉固定有定位板。
优选的,所述定位卡块的中间部分为开口,定位卡块位于卡槽的正上方。
优选的,所述滑块的中心开设有通孔,通孔的内壁通过铆钉固定有滑轨,所述连接杆的外侧装设有滚珠,滚珠与滑轨滑动连接。
优选的,所述滑槽的两端均设有限位块,所述横向定位杆的顶部焊接有把手。
优选的,所述第二固定块的中心开设有活动孔,所述竖直定位杆嵌入在活动孔的内部。
本实用新型的有益效果是:
1、本实用新型中通过竖直定位杆、横向定位杆、安装孔、定位卡块、定位板等结构的设置,实现在三个方向对石墨舟进行定位,其定位的精确度高,提高了石墨舟的组装质量。
2、本实用新型中通过滑块、联动杆、滑槽等结构的设置,在横向定位的同时进行竖直定位,使用者操作起来方便且定位迅速,适用于现场工作使用。
附图说明
图1为本实用新型提出的一种用于石墨舟的三轴定位装置的俯视结构示意图;
图2为本实用新型提出的一种用于石墨舟的三轴定位装置的主视图;
图3为本实用新型提出的定位卡块的主观图。
图中:1安装座、2固定杆、3滑块、4联动杆、5滑槽、6把手、7卡槽、8相位杆、9第一固定块、10支撑架、11支撑杆、12横向定位杆、13安装孔、14定位板、15竖直定位杆、16第二固定块、17骨架、18定位卡块。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图,对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例,而不是全部的实施例。
参照图1-3,一种用于石墨舟的三轴定位装置,包括安装座1,所述安装座1上开设有滑槽5,滑槽5滑动连接有横向定位杆12,横向定位杆12的两端均焊接有固定杆2,固定杆2另一端的一侧设有一体结构的滑块3,滑块3的内部套设有连接杆,滑块3的一侧活动铰接有联动杆4,联动杆4的另一端通过转动轴连接有相位杆8,相位杆8的外部套设有第一固定块9,安装座1的两侧均通过螺栓固定有支撑杆11,通过竖直定位杆15、横向定位杆12、安装孔13、定位卡块18、定位板14等结构的设置,实现在三个方向对石墨舟进行定位,其定位的精确度高,提高了石墨舟的组装质量,支撑杆11的另一端通过螺丝固定有支撑架10,第一固定块9与支撑架10焊接组装,安装座1的中间位置开设有卡槽7,卡槽7上开设有安装孔13,安装座1的两端均通过螺母螺栓固定有骨架17,骨架17的中间部分设有一体结构的第二固定块16,第二固定块16的内部套设有竖直定位杆15,竖直定位杆15的底部焊接有定位卡块18,第一固定块9的中心开设有圆孔,相位杆8嵌入在圆孔的内部,相位杆8的一端通过螺钉固定有定位板14,定位卡块18的中间部分为开口,定位卡块18位于卡槽7的正上方,滑块3的中心开设有通孔,通孔的内壁通过铆钉固定有滑轨,连接杆的外侧装设有滚珠,滚珠与滑轨滑动连接,滑槽5的两端均设有限位块,横向定位杆12的顶部焊接有把手6,第二固定块16的中心开设有活动孔,竖直定位杆15嵌入在活动孔的内部,通过滑块3、联动杆4、滑槽5等结构的设置,在横向定位的同时进行竖直定位,使用者操作起来方便且定位迅速,适用于现场工作使用。
本实施例中,首先使用者将石墨舟放置在安装座1上的卡槽7内部,使用者将横向定位杆12,向中间滑动,横向定位杆12的底部装设有钢珠,钢珠可在滑槽5的内部滑动,横向定位杆12向中间移动时,带动滑块3向中间滑动,联动杆4的一端有向中间移动,联动杆4的另一端有向中间推力,相位杆8在第一固定块9的内部向中间移动,推动定位板14将石墨舟夹紧,横向定位杆12将石墨舟在X轴方向定位时,定位板14同时在Y轴方向将石墨舟定位,随后使用者拉动竖直定位杆15向下移动,使定位卡块18将石墨舟的上半部分固定住,实现Z轴方向的定位,此时石墨舟的定位完成,使用者将螺钉通过石墨舟固定在安装孔13的内部,完成安装。
以上所述,仅为本实用新型较佳的具体实施方式,但本实用新型的保护范围并不局限于此,任何熟悉本技术领域的技术使用者在本实用新型揭露的技术范围内,根据本实用新型的技术方案及其实用新型构思加以等同替换或改变,都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。

Claims (6)

1.一种用于石墨舟的三轴定位装置,包括安装座(1),其特征在于,所述安装座(1)上开设有滑槽(5),滑槽(5)滑动连接有横向定位杆(12),横向定位杆(12)的两端均焊接有固定杆(2),固定杆(2)另一端的一侧设有一体结构的滑块(3),滑块(3)的内部套设有连接杆,滑块(3)的一侧活动铰接有联动杆(4),联动杆(4)的另一端通过转动轴连接有相位杆(8),相位杆(8)的外部套设有第一固定块(9),安装座(1)的两侧均通过螺栓固定有支撑杆(11),支撑杆(11)的另一端通过螺丝固定有支撑架(10),第一固定块(9)与支撑架(10)焊接组装,安装座(1)的中间位置开设有卡槽(7),卡槽(7)上开设有安装孔(13),安装座(1)的两端均通过螺母螺栓固定有骨架(17),骨架(17)的中间部分设有一体结构的第二固定块(16),第二固定块(16)的内部套设有竖直定位杆(15),竖直定位杆(15)的底部焊接有定位卡块(18)。
2.根据权利要求1所述的一种用于石墨舟的三轴定位装置,其特征在于,所述第一固定块(9)的中心开设有圆孔,所述相位杆(8)嵌入在圆孔的内部,相位杆(8)的一端通过螺钉固定有定位板(14)。
3.根据权利要求1所述的一种用于石墨舟的三轴定位装置,其特征在于,所述定位卡块(18)的中间部分为开口,定位卡块(18)位于卡槽(7)的正上方。
4.根据权利要求1所述的一种用于石墨舟的三轴定位装置,其特征在于,所述滑块(3)的中心开设有通孔,通孔的内壁通过铆钉固定有滑轨,所述连接杆的外侧装设有滚珠,滚珠与滑轨滑动连接。
5.根据权利要求1所述的一种用于石墨舟的三轴定位装置,其特征在于,所述滑槽(5)的两端均设有限位块,所述横向定位杆(12)的顶部焊接有把手(6)。
6.根据权利要求1所述的一种用于石墨舟的三轴定位装置,其特征在于,所述第二固定块(16)的中心开设有活动孔,所述竖直定位杆(15)嵌入在活动孔的内部。
CN201821531764.3U 2018-09-19 2018-09-19 一种用于石墨舟的三轴定位装置 Expired - Fee Related CN208869657U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201821531764.3U CN208869657U (zh) 2018-09-19 2018-09-19 一种用于石墨舟的三轴定位装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201821531764.3U CN208869657U (zh) 2018-09-19 2018-09-19 一种用于石墨舟的三轴定位装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN208869657U true CN208869657U (zh) 2019-05-17

Family

ID=66468099

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201821531764.3U Expired - Fee Related CN208869657U (zh) 2018-09-19 2018-09-19 一种用于石墨舟的三轴定位装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN208869657U (zh)

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110777364A (zh) * 2019-09-19 2020-02-11 苏州拓升智能装备有限公司 一种石墨舟的缓存导正装置及管式pecvd设备
CN115233194A (zh) * 2022-07-27 2022-10-25 深圳市艾特自动化有限公司 用于实现全自动校准、锁紧及检测石墨舟的自动化设备

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110777364A (zh) * 2019-09-19 2020-02-11 苏州拓升智能装备有限公司 一种石墨舟的缓存导正装置及管式pecvd设备
CN110777364B (zh) * 2019-09-19 2024-04-23 苏州拓升智能装备有限公司 一种石墨舟的缓存导正装置及管式pecvd设备
CN115233194A (zh) * 2022-07-27 2022-10-25 深圳市艾特自动化有限公司 用于实现全自动校准、锁紧及检测石墨舟的自动化设备

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN208869657U (zh) 一种用于石墨舟的三轴定位装置
CN210947789U (zh) 一种装配式建筑用组装式墙体定位架
CN206351434U (zh) 一种前横梁及框架分装台
CN111927136A (zh) 一种建筑结构加固装置
CN115326598A (zh) 一种脚手架扣件扭转刚度性能测试试验装置
CN207534450U (zh) 一种便于拆装调节的磁芯夹具
CN206864610U (zh) 一种广播电视工程用天线安装支架
CN109787131B (zh) 折臂式隔离开关检修专用工装平台
CN208425009U (zh) 一种带有调节底座的电器柜
CN214723543U (zh) 一种电子产品加工用定位装置
CN209313278U (zh) 一种折臂式隔离开关检修专用工装平台
CN204988833U (zh) 一种扁铜线试样压力试验工装
CN208012963U (zh) 一种钢结构抗压检测装置
CN207650049U (zh) 一种汽车专用漆性能检测装置
CN208134139U (zh) 一种实用型的弓形腕臂调节底座
CN111179682A (zh) 一种新型电气安装及楼宇实训考核装置
CN206376018U (zh) 一种版辊电镀工作台
CN213244015U (zh) 一种新型用于通信设备的测试工装设备
CN219530329U (zh) 一种气象站气象采集装置
CN217765809U (zh) 一种建筑施工检测用钢材强度检测装置
CN208518822U (zh) 一种风力发电机组安装用机座安装结构
CN213039602U (zh) 一种钢管家具长寿命无焊连接结构
CN209512902U (zh) 一种汽车检具用双向滑动机构
CN211540358U (zh) 一种飞机零部件加工用定位装置
CN213879128U (zh) 一种单孔管线支架装配简易工装夹具

Legal Events

Date Code Title Description
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20190517

Termination date: 20210919