CN208857392U - 一种均流装置及扩散炉 - Google Patents
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Abstract
本实用新型属于电池片制备技术领域，公开了一种均流装置及扩散炉。其中，均流装置包括壳体和分流板，壳体上设置有漏斗形的通孔，分流板卡装于通孔内，分流板上均布开设有分流孔。其中，扩散炉包括上述均流装置。本实用新型中，壳体和分流板的配合设置，相比于现有的均流板，在阻流功能的基础上，还具有导向的功能，使得工艺气体从漏斗形通孔的小孔径端流入，经分流板均流后，从大孔径端流出，从而有效提高工艺气体在扩散炉内的扩散均匀性，减少丝印产生烧结不良的比例，提升了光电转换的效率。
Description
技术领域
本实用新型涉及电池片制备技术领域，尤其涉及一种均流装置及扩散炉。
背景技术
太阳能电池片制造工艺中的核心环节是扩散工艺。一般采用掺硼的P型硅片作为基底材料，扩散工艺中采用的是POCI3液态源，放置在石英管中被加热到800-950℃，五价的磷原子扩散至基底形成N区，从而形成PN结。扩散工艺步骤主要分为将硅片置于石英舟上、将石英舟推入扩散炉中、通入氧气、通入POCI3气体、扩散制备P-N结、电机带动桨提升石英舟、石英舟载着制好PN结的硅片退出扩散炉等步骤。现有工艺中，工艺气体在通入扩散炉后，在炉口炉尾位置气体流动紊乱，炉管上下位置工艺气体分布不均，从而导致炉口炉尾位置片内均匀性较差。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种均流装置及扩散炉，能够有效提高工艺气体在扩散炉内的扩散均匀性。
为达此目的，本实用新型采用以下技术方案：
一种均流装置，包括：
壳体，所述壳体上设置有漏斗形的通孔；
分流板，卡装于所述通孔内，所述分流板上均布开设有分流孔。
作为优选，所述分流板设置有多个，多个所述分流板相互平行且间隔地卡装于所述通孔内，多个所述分流板相互配合，使得工艺气体在所述通孔的每个断面上均匀分布。
作为优选，从所述通孔的小孔径端到大孔径端，所述分流板上的分流孔的孔径依次变大。
作为优选，相邻的两个所述分流板之间的间隔相等。
作为优选，所述分流板不少于四个。
作为优选，所述分流板由石英板制备而成。
一种扩散炉，包括上述的均流装置。
作为优选，所述均流装置设置有一个，安装于扩散炉内腔的炉口处，所述通孔小孔径端朝向炉口，大口径端朝向所述扩散炉内腔中的石英舟，所述扩散炉的工艺进气管连通于所述通孔的小孔径端。
作为优选，所述均流装置设置有一个，安装于扩散炉内腔的炉尾处，所述通孔小孔径端朝向炉尾，大口径端朝向所述扩散炉内腔中的石英舟，所述扩散炉的工艺尾气管连通于所述通孔的小孔径端。
作为优选，所述均流装置设置有两个，分别安装于扩散炉内腔的炉口处和炉尾处，所述扩散炉内腔中的石英舟夹设于两个所述均流装置之间，两个所述均流装置的大口径端朝向所述石英舟，所述扩散炉的工艺进气管连通于炉口处的所述通孔的小孔径端，所述扩散炉的工艺尾气管连通于炉尾处的所述通孔的小孔径端。
本实用新型的有益效果：
壳体和分流板的配合设置，相比于现有的均流板，在阻流功能的基础上，还具有导向的功能，使得工艺气体从漏斗形通孔的小孔径端流入，经分流板均流后，从大孔径端流出，从而有效提高工艺气体在扩散炉内的扩散均匀性，减少丝印产生烧结不良的比例，提升了光电转换的效率。
附图说明
图1是本实用新型实施例所述的均流装置的侧视图；
图2是本实用新型实施例所述的均流装置的轴向剖视图；
图3是本实用新型实施例所述的一种扩散炉的结构示意图。
图中：
1、壳体；11、通孔；
2、分流板；21、分流孔；
100、石英舟；200、工艺进气管；300、工艺尾气管。
具体实施方式
下面详细描述本实用新型的实施例，实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本实用新型，而不能理解为对本实用新型的限制。
下面结合附图并通过具体实施方式来进一步说明本实用新型的技术方案。
如图1和图2所示，本实用新型提供了一种均流装置，包括壳体1和分流板2。其中，壳体1上设置有漏斗形的通孔11，分流板2卡装于通孔11内(在本实施例中沿通孔11的径向卡装，除此之外，分流板2还可以沿其它位向卡装)，分流板2上均布开设有分流孔21。
本实用新型中，壳体1和分流板2的配合设置，相比于现有的均流板，在阻流功能的基础上，还具有导向的功能，使得工艺气体从漏斗形通孔11的小孔径端流入，经分流板2均流后，从大孔径端流出，从而有效提高工艺气体在扩散炉内的扩散均匀性，减少丝印产生烧结不良的比例，提升了光电转换的效率。
在本实施例中，分流板2设置有多个，多个分流板2相互平行且间隔地卡装于通孔11内，并且，从通孔11的小孔径端到大孔径端，分流板2上的分流孔21的孔径依次变大，相邻的两个分流板2之间的间隔相等。上述设置，使得工艺气体依次被多个分流板2逐步均匀化分流，进一步提高了均流效果。
多个分流板2相互配合，对工艺气体沿通孔11进行导流，使得工艺气体在通孔11的每个断面上均匀分布。当均流装置用于分流时，在工艺气体的流动方向上，在后的分流板2对在先的分流板2分流出的工艺气体进一步均布分流，工艺气体每经过一个分流板2，其均布的半径增大一分，直至从通孔11的大口径端流出。当均流装置用于聚流时，在工艺气体的流动方向上，在后的分流板2对在先的分流板2分流出的工艺气体进一步汇聚集中，工艺气体每经过一个分流板2，其均布的半径减小一分，直至从通孔11的小口径端流出。
具体的，分流板2不少于四个，在本实施例中，分流板2设置有六个。上述设置，避免了分流板2的设置过少，对工艺气体分流不充分的状况。
更为具体的，分流板2由石英板制备而成。上述石英板热膨胀系数低，热稳定性好，提高了均流装置使用寿命。
本实用新型还提供了一种扩散炉，包括上述的均流装置。
在扩散炉中，均流装置的设置有三种情况。
一种情况下，均流装置设置有一个，安装于扩散炉内腔的炉口处，通孔11小孔径端朝向炉口，大口径端朝向扩散炉内腔中的石英舟100，扩散炉的工艺进气管200连通于通孔11的小孔径端。
第二种情况下，均流装置设置有一个，安装于扩散炉内腔的炉尾处，通孔11小孔径端朝向炉尾，大口径端朝向扩散炉内腔中的石英舟100，扩散炉的工艺尾气管300连通于通孔11的小孔径端。
第三种情况下，如图3所示，均流装置设置有两个，分别安装于扩散炉内腔的炉口处和炉尾处，扩散炉内腔中的石英舟100夹设于两个均流装置之间，两个均流装置的大口径端朝向石英舟100，扩散炉的工艺进气管200连通于炉口处的通孔11的小孔径端，扩散炉的工艺尾气管300连通于炉尾处的通孔11的小孔径端。
本实用新型的扩散炉中，均流装置的设置，提高了内腔炉口处和/或炉尾处工艺气体分布的均匀性，改善了炉口处和/或炉尾处的气氛和气体分布，从而提高了炉口和/或炉尾位置电池片的片内均匀性，在添加均流装置后，减小了内腔炉口处和/或炉尾处的方阻极差，减少丝印产生烧结不良的比例，在添加均流装置后，内腔炉口处和/或炉尾处的方阻集中度大大提高，减轻了较高和较低方阻的效率拖尾现象，提升整管的光电转换效率。
显然，本实用新型的上述实施例仅仅是为了清楚说明本实用新型所作的举例，而并非是对本实用新型的实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。凡在本实用新型的精神和原则之内所作的任何修改、等同替换和改进等，均应包含在本实用新型权利要求的保护范围之内。
Claims (10)
1.一种均流装置，其特征在于，包括：
壳体(1)，所述壳体(1)上设置有漏斗形的通孔(11)；
分流板(2)，卡装于所述通孔(11)内，所述分流板(2)上均布开设有分流孔(21)。
2.根据权利要求1所述的均流装置，其特征在于，所述分流板(2)设置有多个，多个所述分流板(2)相互平行且间隔地卡装于所述通孔(11)内，多个所述分流板(2)相互配合，使得工艺气体在所述通孔(11)的每个断面上均匀分布。
3.根据权利要求2所述的均流装置，其特征在于，从所述通孔(11)的小孔径端到大孔径端，所述分流板(2)上的分流孔(21)的孔径依次变大。
4.根据权利要求2所述的均流装置，其特征在于，相邻的两个所述分流板(2)之间的间隔相等。
5.根据权利要求2所述的均流装置，其特征在于，所述分流板(2)不少于四个。
6.根据权利要求1-5任一所述的均流装置，其特征在于，所述分流板(2)由石英板制备而成。
7.一种扩散炉，其特征在于，包括权利要求1-6任一所述的均流装置。
8.根据权利要求7所述的扩散炉，其特征在于，所述均流装置设置有一个，安装于扩散炉内腔的炉口处，所述通孔(11)小孔径端朝向炉口，大口径端朝向所述扩散炉内腔中的石英舟(100)，所述扩散炉的工艺进气管(200)连通于所述通孔(11)的小孔径端。
9.根据权利要求7所述的扩散炉，其特征在于，所述均流装置设置有一个，安装于扩散炉内腔的炉尾处，所述通孔(11)小孔径端朝向炉尾，大口径端朝向所述扩散炉内腔中的石英舟(100)，所述扩散炉的工艺尾气管(300)连通于所述通孔(11)的小孔径端。
10.根据权利要求7所述的扩散炉，其特征在于，所述均流装置设置有两个，分别安装于扩散炉内腔的炉口处和炉尾处，所述扩散炉内腔中的石英舟(100)夹设于两个所述均流装置之间，两个所述均流装置的大口径端朝向所述石英舟(100)，所述扩散炉的工艺进气管(200)连通于炉口处的所述通孔(11)的小孔径端，所述扩散炉的工艺尾气管(300)连通于炉尾处的所述通孔(11)的小孔径端。
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Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN111270219A (zh) * | 2020-03-24 | 2020-06-12 | 无锡市正罡自动化设备有限公司 | Ald加热炉 |
| CN114182353A (zh) * | 2021-12-06 | 2022-03-15 | 东海县奥博石英制品有限公司 | 一种内设平衡流量结构的石英扩散管及其方法 |
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2018
- 2018-09-27 CN CN201821582566.XU patent/CN208857392U/zh not_active Expired - Fee Related
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