CN201956382U - 一种磷扩散用匀流板 - Google Patents

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王立建
李潘剑
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Abstract

本实用新型公开了一种磷扩散用匀流板，所述匀流板的材质为石英板，石英板上均匀分布有匀流气孔；所述匀流气孔的直径3-5mm；所述石英板的厚度为300um-500um。本实用新型的匀流板由于分布有多个匀流气孔，在使用时，将匀流板至于扩散用石英舟的炉口及炉尾，在进行磷扩散时，掺杂源的气流会匀流气孔中均匀的流入待扩散的硅片中，达到气氛在硅片与硅片之间的均匀分布，从而提高方块电阻的均匀性。

Description

一种磷扩散用匀流板
技术领域
本发明属于晶体硅太阳电池的制造领域，更具体涉及一种磷扩散用匀流板。
技术背景
随着常规能源的逐步枯竭和对能源需求的的日益剧增，人类面临的越来越严重的能源危机，而发展太阳能电池是解决上述问题的途经之一。目前晶体硅太阳电池作为主要的光伏材料占市场份额的80-90%，现有的制造晶体硅太阳电池的制造流程为：表面清洗及织构化、扩散制结、清洗刻蚀去边、镀减反射膜、丝网印刷、烧结形成欧姆接触、测试。这种商业化的晶体硅电池制造技术相对简单、成本较低，适合工业化、自动化生产，因而得到了广泛应用。其中，扩散制结工艺作为晶体硅太阳电池的核心技术，目的是形成与基体导电类型相反的发射区，从而形成PN结。
众所周知，方块电阻的均匀性是扩散制结追求的首要目标，方块电阻均匀性的好坏严重影响着太阳电池效率的高低。而在进行磷扩散时，扩散炉口及炉尾处方块电阻的均匀性不容易控制，因为炉口和炉尾是进气和出气所处位置，与炉内气氛相比差异较大。
实用新型内容
本实用新型旨在克服以上现有技术存在的不足，提供一种能提高扩散炉气氛均匀性，提高方块电阻均匀性的磷扩散用匀流板。
本实用新型解决技术问题采用如下技术方案：
一种磷扩散用匀流板，所述匀流板的材质为石英板，石英板上均匀分布有匀流气孔；所述匀流气孔的直径3-5mm；所述匀流板的厚度为300um-500um。
本实用新型的有益效果如下：本实用新型的匀流板由于分布有多个匀流气孔，在使用时，将匀流板至于扩散用石英舟的炉口及炉尾，在进行磷扩散时，掺杂源的气流会匀流气孔中均匀的流入待扩散的硅片中，达到气氛在硅片与硅片之间的均匀分布，从而提高方块电阻的均匀性。
附图说明
图1为本实用新型磷扩散用匀流板主视结构示意图；
图2为本实用新型磷扩散用匀流板的A-A截面结构示意图。
图中标记示意为：1-石英板、2-匀流小孔。
具体实施方式
实施例1
一种磷扩散用匀流板，所述匀流板的材质为石英板，石英板1上均匀分布有匀流气孔2；匀流气孔2的直径3-5mm；石英板1的厚度为300um-500um。
最后应说明的是：以上所述仅为本实用新型的优选实施例而已，并不用于限制本实用新型，尽管参照前述实施例对本实用新型进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。

Claims (1)

1.一种磷扩散用匀流板，其特征是：所述匀流板的材质为石英板，石英板上均匀分布有匀流气孔；所述匀流气孔的直径3-5mm；所述石英板的厚度为300um-500um。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103409803A (zh) * 2013-08-22 2013-11-27 天威新能源控股有限公司 用于晶体硅扩散的匀流板及其晶体硅扩散工艺炉
CN103436967A (zh) * 2013-08-12 2013-12-11 英利集团有限公司 一种优化太阳能电池片管式扩散炉气流分布的方法

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103436967A (zh) * 2013-08-12 2013-12-11 英利集团有限公司 一种优化太阳能电池片管式扩散炉气流分布的方法
CN103436967B (zh) * 2013-08-12 2015-09-30 英利集团有限公司 一种优化太阳能电池片管式扩散炉气流分布的方法
CN103409803A (zh) * 2013-08-22 2013-11-27 天威新能源控股有限公司 用于晶体硅扩散的匀流板及其晶体硅扩散工艺炉
CN103409803B (zh) * 2013-08-22 2016-12-28 天威新能源控股有限公司 用于晶体硅扩散的匀流板及其晶体硅扩散工艺炉

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C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C56 Change in the name or address of the patentee

Owner name: ZHEJIANG RENESOLA JIANGSU CO., LTD.

Free format text: FORMER NAME: WUXI JIACHENG SOLAR ENERGY TECHNOLOGY CO., LTD.

CP03 Change of name, title or address

Address after: 214200 Jiangsu city of Wuxi province Yixing Qingyuan Road Economic Development Zone No. 27 (East)

Patentee after: Zhejiang Yuhui Solar Energy Jiangsu Co., Ltd.

Address before: 214200 Jiangsu city of Wuxi province Jiangsu Yixing Qingyuan Road Economic Development Zone No. 27 (East)

Patentee before: Wuxi Jiacheng Solar Energy Technology Co., Ltd.

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TR01 Transfer of patent right

Effective date of registration: 20160214

Address after: The British Virgin Islands of Tortola Rodez VG1110

Patentee after: Fai Fai investment management company

Address before: 214200 Jiangsu city of Wuxi province Yixing Qingyuan Road Economic Development Zone No. 27 (East)

Patentee before: Zhejiang Yuhui Solar Energy Jiangsu Co., Ltd.

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